【課題】微弱信号を増幅可能な増幅装置を提供する。
【解決手段】増幅装置は、被測定系の観測量＾Ａを測定する際に、測定器と、初期状態が事前選択された被測定系を相互作用させ、次に被測定系の終状態を事後選択し、測定器の波動関数ξ（ｐ）を用いて物理量の測定を行う。被測定系の量子状態の事前選択状態、事後選択状態それぞれのベクトルを｜ｉ＞、｜ｆ＞とするとき、式（１）の弱値Ａ_Ｗが既知であり、Ａ_Ｗ＝＜ｆ｜＾Ａ｜ｉ＞／＜ｆ｜ｉ＞…（１）、測定器と被測定系の相互作用ハミルトニアンＨが、測定器の運動量演算子＾ｐおよび結合係数ｇ（ただしｇ＞０）を用いて式（２）で与えられ、Ｈ＝ｇ・δ（ｔ−ｔ_０）・＾Ａ・＾ｐ…（２）、＾Ａ^２＝１のときに、測定器は、波動関数ξ（ｐ）が運動量表示で実質的に式（３）となる。
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【課題】グイ位相に伴って生じる計測誤差を低減する。
【解決手段】計測装置１００は、光源から射出された光を参照光と被検光とに分割する分割部１１０と、前記参照光を反射する参照面１１１と、前記被検光を被検面１１３に集光する集光部１１２と、前記被検面でキャッツアイ反射された被検光と前記参照面で反射された参照光との干渉光を検出する第１検出器１１４とを含む計測ヘッド１０１と、前記計測ヘッドを前記被検面に沿って駆動する駆動部１４０と、前記計測ヘッドの位置を検出する第２検出器１５０と、前記被検光の前記被検面における回折によって生じるグイ位相を取得し、前記第１検出器により検出された干渉光の情報から前記被検光と前記参照光との間の位相差を算出し、前記第２検出器により検出された前記計測ヘッドの位置と前記取得されたグイ位相と前記算出された位相差とから前記被検面の形状を算出する処理部１１５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成からなる位置検出装置を得る。
【解決手段】所定の移動方向（矢印ＡＲ）に移動する板ばね部４１（被測定物）の位置を検出する位置検出装置７０は、受光部７２Ａと、受光部７２Ａに対向し受光部７２Ａに向けて測定光８０を投光する投光部７１Ａとを備える。受光部７２Ａおよび投光部７１Ａは、受光部７２Ａおよび投光部７１Ａの間で移動する板ばね部４１の移動方向（矢印ＡＲ）に対して、測定光８０が斜めに交差するように配置される。板ばね部４１の移動に伴って、測定光８０の一部は板ばね部４１に遮られるとともに、測定光８０の残部は受光部７２Ａに到達する。受光部７２Ａが受光する測定光８０の残部の受光量に基づいて、板ばね部４１の位置が検出される。 （もっと読む）

【課題】 測定後の原点を高精度に設定することができ、被測定物の変位情報（絶対変位情報）を高精度に測定することができる干渉測定装置を得ること。
【解決手段】 第１光源手段からの第１の光束と第２光源手段からの第２の光束を合波する第１の合波手段と、第１の光束と第２の光束が合波された光束を、２つの光束に分割し、一方の光束を被測定物の測定面に入射させ、他方の光束を参照面に入射させ、測定面からの反射光束と参照面からの反射光束を合波する光学系と、
測定面と参照面からの反射光束とに含まれている分割された２つの第１の光束により形成される光束と、２つの第２の光束により形成される光束を受光する受光手段と、
受光手段で受光した第１の光束に基づく第１の信号と受光手段で受光した第２の光束に基づく第２の信号とを用いて測定原点を決定する決定手段を有すること。 （もっと読む）

【課題】被検曲面の傾きが大きい場合でも被検曲面の形状を高精度に測定することが可能な被検曲面形状測定装置を得る。
【解決手段】被検曲面Ｐの形状の設計データに基づき形成された反射曲面３１を有する反射偏向素子３を用いて測定を行う。この反射曲面３１は、干渉計１から反射曲面３１に入射した測定光の各光線が、被検曲面Ｐに対し垂直に入射して再帰反射され反射曲面３１を経由して干渉計１に戻るとともに、該各光線の光路長が互いに等しくなるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】 大口径の被検光学系の面形状を測定する波面形状測定方法、及び大口径の被検光学系の面形状を測定するための波面形状測定装置を提供する。
【解決手段】被検光学系の面形状を測定するための波面形状測定方法において、重力方向に伸びた回転軸（ＫＪ）を中心に液体（ＥＴ）を入れた容器（ＹＫ）を回転させることにより、重力方向に凹んだ回転放物面の液体反射面（ＥＨ）を形成する液体反射面形成工程と、反射平面（ＨＭ）を有する基準平面鏡（ＫＨ）を液体反射面に対向するように配置する工程と、干渉計（ＫＳ）から可干渉性を有する光束を液体反射面に照射し、液体反射面で反射された光束が基準平面鏡で反射され、再び液体反射面を経由して干渉計に戻った光束を干渉させて、基準平面鏡の面形状を測定する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】折り返し平面鏡の変形によって生じる被検光学系の透過波面を繋ぎ合わせるときの誤差を低減させた光学装置を提供する。
【解決手段】被検光学系Ｔ₁の被測定領域よりも小口径の折り返し平面鏡Ｆ₁を挟んで、被検光学系Ｔ₁の透過波面を測定する第１の干渉計Ｉ₁と対向するように第２の干渉計Ｉ₂を設ける。そして、第２の干渉計Ｉ₂は、測定光を照射し、折り返し平面鏡Ｆ₁の表面に形成された鏡面Ｓ₁で反射され、再び第２の干渉計Ｉ₂に戻ってきた戻り光を基に、第２の干渉縞画像を取得する。解析装置１１は、第２の干渉計Ｉ₂により取得された第２の干渉縞画像を解析して、折り返し平面鏡Ｆ₁の鏡面Ｓ₁の変形量を測定し、折り返し平面鏡Ｆ₁の変形によって生じた誤差を打ち消すように透過波面の補正を行う。 （もっと読む）

【課題】高精度且つ高感度の形状測定を実現できるフリンジ投影法による形状測定方法及び装置、並びに歪み測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】光源部１１からの光２２を格子板１２に照射し、格子板１２を透過した光２３を被測定物１４上に格子像として投影し、その格子像を撮影して格子像の歪みから被測定物１４の３次元形状を計算して数値化する。三次元形状の数値化は、格子像の画像データ取り込みステップ、取り込んだ画像データの二次元フーリエ変換ステップ、ｎ次のピーク信号取り出しステップ、位相分布を含む信号の逆フーリエ変換ステップ、及び三次元形状数値化ステップをその順で含む。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ高強度の球面波を得ることが可能な光学素子、照明光学系及び測定装置を提供する。
【解決手段】光を透過する基材１０と、基材１０の表面に形成された金属薄膜１１と、金属薄膜１１に形成されるとともに、基材１０の内部から基材１０の表面に向けて光を全反射条件で入射させたときに励起される表面プラズモンを球面波に変換して出射させる散乱部１２と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】干渉計において被検体を効率よく交換できるとともに、簡素な構成であっても被検体と干渉計本体部との間の位置調整を容易に行うことができるようにする。
【解決手段】干渉計１は、被検面１０ａの球心Ｒを軸線Ｏ上に保持する保持突起５と、光源からの可干渉光束を、被検面１０ａに照射する測定光束と参照面で反射された参照光束とに分割して、測定光束による被検面１０ａでの反射光束と参照光束とを干渉させる干渉光学系を収容する干渉計本体部１４と、干渉計本体部１４を保持突起５に対向する位置に配置する架台部２と、干渉計本体部１４を少なくとも軸線Ｏに直交する方向に移動可能に保持し干渉光学系の光軸Ｌを軸線Ｏに対して位置合わせする調整機構２０と、保持突起５を保持し軸線Ｏに沿う方向に移動可能に設けられた可動保持台６と、を備え、調整機構２０と可動保持台６とにより、被検レンズ１０と干渉計本体部１４との位置関係を調整する。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバーを伝わってくる振動を吸収することで、除振器の本来の性能を発揮させることにより高精度なレンズ、ミラーの形状・透過波面の計測を行う。
【解決手段】真空チャンバー１０８の外から干渉計１０１を除振するために真空と大気を隔て、且つ振動を吸収するベローズとして、弾性ベローズ１１３を用いる。さらに弾性ベローズ１１３の変形に関しては、剛体である規制部材１１４を弾性ベローズ１１３の内側に設けることにより変形量を制限している。 （もっと読む）

【課題】被検物に対する被検面の形状測定データの座標を高精度に求めること。
【解決手段】マーク形成工程（Ｓ１）と、形状測定工程（Ｓ２）と、マーク検出工程（Ｓ３）と、座標算出工程（Ｓ４）とからなる干渉計測方法であり、Ｓ１のマーク形成工程では、被検物の被検面に基準マークを形成する。マーク検出工程では、形状測定工程で得られた形状測定データからエリアセンサの座標系を基準とする基準マークの位置を検出する。座標算出工程では、マーク形成工程にて形成された被検物の座標系を基準とする基準マークの位置情報と、マーク検出工程にて検出されたエリアセンサの座標系を基準とする基準マークの位置情報との対応関係を求める。この対応関係に基づき、形状測定工程により得られた形状測定データを被検物の座標系に変換する演算を行う。 （もっと読む）

【課題】物体の振動振幅を精度良く求める。
【解決手段】振動振幅計測装置は、物体１２にレーザ光を放射する半導体レーザ１と、発振波長が増加する期間と発振波長が減少する期間とが交互に存在するように半導体レーザ１を動作させるレーザドライバ４と、半導体レーザ１から放射されたレーザ光と物体１２からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出するフォトダイオード２および電流−電圧変換増幅部５と、電流−電圧変換増幅部５の出力信号に含まれる干渉波形を数える計数部７と、計数結果に基づいて物体１２の振動の最大速度を算出する振動最大速度算出部８と、計数結果に基づいて物体１２の振動周波数を算出する振動周波数算出部９と、振動最大速度と振動周波数とから物体１２の振動振幅を算出する振動振幅算出部１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】干渉計において、光源部からの光を干渉計本体部に導入するファイバを光源部に対して容易に着脱することができるようにする。
【解決手段】光源部５２、干渉計本体部、およびファイバ１２を有し、光源部５２からの平行光３１ａをファイバ１２の入射端に入射してファイバ１２の出射端から干渉計本体部の内部に導入する干渉計であって、ファイバ１２の入射端側を保持するとともに、光源部５２に対して着脱可能に設けられたファイバ保持部材２５と、ファイバ保持部材２５の内部に、ファイバ１２の入射端に焦点位置を合わせて配置された集光レンズ２６と、を備え、光源部５２は、平行光３１ａを出射するレーザ光源２０と、ファイバ保持部材２５を着脱可能に保持し、装着時に平行光３１ａが集光レンズ２６の光軸に沿って入射するようにファイバ保持部材２５を位置決めする固定部材２４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被検面が非球面であってもその面形状を高精度に測定する。
【解決手段】測定光発生用の光ファイバー１８Ｍから射出して被検面２Ｓを介した測定光ＬＭと参照光とを干渉させて得られる干渉縞３５に基づいて被検面２Ｓの面形状を測定する干渉計１０において、複数の位置ＱＡ〜ＱＣで参照光ＬＡ〜ＬＣを射出する参照光発生用の光ファイバー１８Ａ〜１８Ｃと、参照光ＬＡ〜ＬＣの発生を切り替えるシャッター２４Ａ〜２４Ｃと、参照光毎に得られる干渉縞から求められる面形状を合成する信号処理装置３２とを備える。 （もっと読む）

【課題】目標形状からの光学面のずれを測定する方法および装置において、精度を改善した方法および装置を提供する。
【解決手段】波長λを有する電磁光線の入射ビームを光学試験面に向け、光学試験面と相互作用した測定ビームを生成し、参照ビームに測定ビームを重畳して干渉計を用いた測定を行い、参照ビームからの測定ビームの波面ずれを決定し、この測定に基づいて決定した波面ずれにおける追跡エラーを除去して波面ずれを補正する。波面ずれを最小化するように光学試験面と干渉計の光学構成部材とを最適に整列した状態で測定を行った場合に１０×λより大きい波面ずれが得られるように光学試験面を構成し、測定中に測定ビームによって干渉計に蓄積された収差と、最適の整列状態で得られる波面ずれがλより小さくなるように光学試験面を構成した場合に測定ビームによって蓄積されたであろう仮想収差とが異なるようにし、蓄積された収差の差によって波面ずれに追跡エラーを生じさせる。 （もっと読む）

【課題】干渉計において、被検体の光軸調整作業を円滑かつ高精度に行うことができるようにする。
【解決手段】干渉計１は、参照面反射光Ｌ_４および被検面反射光Ｌ_３を集光するコリメータレンズ５と、参照面反射光Ｌ_４および被検面反射光Ｌ_３の光路を、第１光路Ｐ_１および第２光路Ｐ_２に分岐するハーフプリズム１７と、干渉縞の像を光電変換して第１の映像信号を取得する干渉縞カメラ１２と、ピンホール１８ａとスクリーン部１８ｂとを有するスクリーン板１８と、スクリーン板１８の像を光電変換して第２の映像信号を取得するスポットカメラ１６と、ピンホール１８ａを通過する光を受光する受光素子１９と、映像信号を表示する表示部１３と、受光素子１９の出力値に応じて、第１および第２の映像信号のいずれかを選択的に切り替えて表示部１３に供給する信号選択部２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】安価な構成で、被検物等の検査を容易に行うことができる干渉計を提供する。
【解決手段】本発明の干渉計は、ワークＷの表面形状によって形成される干渉縞を撮像するＣＣＤ３１を有する干渉計本体と、ＣＣＤ３１により撮像された干渉縞の画像を表示する表示部７０と、表示部７０に表示された干渉縞の評価基準となる基準線を含むチャートを表示させるパソコン６０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】参照面と被検面との間の光路の幾何学的な距離を高精度に計測することができる計測装置を提供する。
【解決手段】基準面に固定された参照面１１６と、被検物体に配置された被検面１１８との間の距離を計測する計測装置であって、複数の光周波数成分のそれぞれが均等な光周波数差となる光束を生成する光周波数コム生成ユニット１０４と、複数の光周波数成分のそれぞれについて、参照面で反射された光束と被検面で反射された光束との干渉信号を検出して、参照面と被検面との間の光路長に相当する位相を検出する検出ユニット１１２，１２０と、検出ユニットで検出された位相に基づいて、参照面と被検面との間の幾何学的な距離を算出する算出ユニット１２２とを有し、算出ユニットは複数の光周波数成分のそれぞれについて、検出ユニットで検出された位相を光路長に変換し、光路長に対して関数をフィッティングさせることによって、幾何学的な距離を算出する。 （もっと読む）

【課題】曲率半径測定方法および装置において、検査効率および測定精度を向上することができるようにする。
【解決手段】曲率半径測定装置５０は、フィゾー面４ａ、被測定面５ａをコンフォーカル状態とキャッツアイ状態の各調整目標位置の間および近傍で光軸Ｃ方向に相対移動させる直動ステージ１６、ピエゾ素子９と、相対移動位置を測定するレーザー測長器１２と、被測定面５ａを光軸Ｃ方向の少なくとも２位置に相対移動させ、干渉縞の画像情報に基づいて波面を測定し、この波面に対応する各相対移動位置の情報とともに記憶させる波面測定部と、波面を解析して位置ずれ評価値を算出する位置ずれ評価値算出部と、相対移動位置と位置ずれ評価値とにより、各調整目標位置の推定値を算出する調整目標位置算出部とを備え、これら調整目標位置の推定値の差から被測定面５ａの曲率半径を求める。 （もっと読む）