【課題】高精度に被検面と参照面の間の絶対距離を計測可能な計測装置および計測方法を提供する。
【解決手段】第１の基準波長λ_１と第２の基準波長λ_２との間で波長走査が可能な光源１１と、第３の基準波長λ_３の光を射出する光源１０を有する光波干渉計測装置は、各波長に対応した干渉光の信号に基づいて被検面と参照面との間の光路長に相当する位相の誤差を補正し、誤差が補正された位相に基づいて被検面と参照面の間の絶対距離を算出する処理部１９を有する。 （もっと読む）

【課題】計測装置の測長軸の調整を不要とし、簡便な取り付け及び光学素子の汚染防止の点で有利な技術を提供する。
【解決手段】参照面と被検面との間の距離を計測する計測装置であって、光源からの光を分割させる光分割素子と、前記参照面、前記被検面及び前記光分割素子を内部に収納すると共に、前記内部において前記参照面及び前記光分割素子を固定するハウジングと、前記ハウジングの外部に設けられ、前記光分割素子から前記参照面までの第１の光路長と前記光分割素子から前記被検面までの第２の光路長とが等しくなるときの前記被検面の位置を示す測長基点を表示する第１の表示部と、前記ハウジングの外部に設けられ、前記第２の光の光路に平行な軸を示す測長軸を表示する第２の表示部と、前記参照面と前記被検面からの反射光との干渉信号から前記参照面と前記被検面との間の距離を算出する処理部と、を有することを特徴とする計測装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】被測定物までの絶対距離を良好に算出できる絶対距離測定方法を提供する。
【解決手段】絶対距離測定方法は、被測定物が静止した状態で、共振器長を変化させて、レーザ光の波長を変更する波長変更工程Ｓ１Ａ，Ｓ１Ｄ，Ｓ１Ｇと、レーザ光の発振周波数が複数の飽和吸収線の各周波数にそれぞれ合致した各時点での各干渉信号の位相を検出する位相検出工程Ｓ１Ｂ，Ｓ１Ｅ，Ｓ１Ｈと、複数の飽和吸収線の各周波数と各干渉信号の位相とに基づいて、被測定物までの第１の絶対距離を算出する第１絶対距離算出工程Ｓ１Ｊとを備える。 （もっと読む）

【課題】 干渉計測の応答速度を損なう事無く高精度な屈折率補正を実現可能な干渉計測方法を提供する。
【解決手段】 参照面で反射された光束と被検面で反射された光束との干渉信号を検出することによって被検光路の幾何学的距離を計測する干渉計測方法において、互いに波長が異なる複数の光束を用いて被検光路の光路長を算出する多波長光路長算出工程、多波長光路長算出工程で算出された被検光路の光路長から被検光路の空気の屈折率を算出する屈折率算出工程、屈折率算出工程で算出された屈折率を平滑化することによって平滑化屈折率を算出する平滑化屈折率算出工程、平滑化屈折率算出工程で算出された平滑化屈折率から被検光路の幾何学的距離を算出する幾何学的距離算出工程を有する事を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】干渉計を利用した測長において、環境変動により測定光路上の光学窓の厚みが変動しても影響の小さい測長装置を提供する。
【解決手段】測定光路上に、内部が真空で両端に光学窓１０ｂ、１０ｃを有する真空管１０を配置する。各光学窓１０ｂ、１０ｃは、厚みが異なる２つの部分を有する構成とする。各光学窓１０ｂ、１０ｃの厚みが異なる部位へ２本の測長レーザ２ａ、２ｂの測定光を入射させ、測定ミラー５でそれぞれ反射させて、参照ミラー６による参照光と干渉させる。測長レーザ２ａ、２ｂによる２つの測長値を用いて、環境変動に起因する光学窓１０ｂ、１０ｃの厚み変化による光路長変動の影響を除去した測長を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】共振器の可動側反射面の変位量を高精度に取得できる変位測定装置を提供する。
【解決手段】一定の波長可変幅を有する２つの測定用レーザ光源１０、１１と、ファブリーペロー共振器１２と、共振器からのレーザ光出力を検出する光検出器１８、１９と、光検出器の値に基づき共振器長Ｌの変位量に追従するように測定用レーザ光源１０、１１の周波数を該共振器１２の共振周波数にロックする波長制御手段２０と、測定用レーザ光の周波数の変化量を検出する周波数検出手段５０とを備える。波長制御手段２０は、所定の共振周波数に測定用レーザ光源１０の周波数をロックする第１ロック手段６２と、測定用レーザ光源１０の波長可変幅内で、ロック状態が解除されている他の測定用レーザ光源１１の周波数を、第１ロック手段でロックされた共振周波数よりも大きいまたは小さい別の共振周波数にロックする第２ロック手段とを含む。 （もっと読む）

【課題】
光干渉を用いた変位計測装置において、プローブ光路と参照光路とが空間的に分離して
いるため、空気の揺らぎ等による温度分布や屈折率分布、あるいは機械振動が生じた場合
、両光路間で光路差が変動し、測定誤差となってしまう。
【解決手段】
プローブ光の光軸と参照光の光軸を外乱の影響を受けない距離まで近接させて、プロー
ブ光を対象物に、参照光を参照面に各々照射し、その反射光同士を干渉させ、生じた干渉
光から対象物の変位量を求める （もっと読む）

【課題】空気組成に空間的な分布があっても高精度な屈折率補正が可能な測長干渉計を提供する。
【解決手段】干渉計測用の多波長光源１０を用いて、参照面５２と被検面５３の間の光路長差を計測して該光路長差の幾何学的距離を算出する光波干渉計測装置において、分圧計測用光源２０と、多波長光源の波長における空気の分散を計測する分散干渉計３０と、分散干渉計における空気の成分気体の分圧を計測する第１分圧検出器４０と、多波長光源の波長における参照面と被検面の間の光路長差を計測する測長干渉計５０と、測長干渉計における成分気体の分圧を計測する第２分圧検出器６０と、第１分圧検出器の検出結果によって分散干渉計における成分気体以外の空気分散比を算出し、成分気体以外の空気分散比と第２分圧検出器の検出結果から測長干渉計の空気の分散を算出し、参照面と被検面の間の光路長差の幾何学的距離を算出する解析器７０とを有する。 （もっと読む）

【課題】位置決め装置を初期化する際に、短時間で移動体の絶対位置測定が可能であり、なおかつ長時間に渡り安定した移動体の移動量測定が可能な光干渉測長装置を提供する。
【解決手段】移動体であるスライダ１０の移動量を測定する光干渉測長装置は、光を測定光と参照光に分離し、測定光を、スライダ１０に設置された測定ミラー９によって反射させ、参照光を参照ミラー８によって反射させる。測定ミラー９による測定光路の屈折率を、チャンバー２の内部の気圧を増減させることによって変化させ、屈折率の変化による干渉計の測長値の変化から、スライダ１０の絶対位置を測定する。 （もっと読む）

【課題】干渉縞の濃淡に基づき対象物の形状を測定する光学干渉測定装置において、干渉縞の観測対象領域を自動的に設定する。
【解決手段】ベースプレート３６と、これの上に置いたブロックゲージ３４の干渉縞画像を複数得る。取得した複数の画像において、ベースプレートとブロックゲージの境界であるエッジ抽出を行い、エッジ画像を得る。エッジ画像を加算して、さらに所定のしきい値により二値化し、ベースプレートとブロックゲージの境界を抽出する。得られた境界に基づきブロックゲージ上の干渉縞画像を得る。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でありながら、参照面と被検面との間の絶対距離を高精度に計測することができる計測装置を提供する。
【解決手段】第１の光源から射出される光の波長を、既知の真空波長である第１の基準波長又は第１の基準波長とは異なる既知の真空波長である第２の基準波長に設定するための波長基準素子と、参照面と被検面との間の空間の群屈折率を検出する屈折率検出部と、参照面で反射された光と被検面で反射された光との干渉信号を検出して、干渉信号から参照面と被検面との間の光路長に相当する位相を検出する位相検出部と、波長基準素子を用いて第１の光源から射出される光の波長を第１の基準波長から第２の基準波長に連続的に変更させながら第１の基準波長及び第２の基準波長のそれぞれについて、参照面と被検面との間の光路長に相当する位相を検出するように位相検出部を制御して、絶対距離を求める処理部とを有する計測装置。 （もっと読む）

【課題】外乱振動や空気の揺らぎがある場合であっても、高い測定精度で被測定物の形状測定を可能にする形状測定方法及び装置等を提供する。
【解決手段】光源１から出射した可干渉光束１１を分岐して被測定物７と参照鏡８とに照射する分岐装置６と、被測定物７と参照鏡８との間に相対運動を生じさせる駆動装置２０と、被測定物７で反射した物体光１２と参照鏡８で反射した参照光１３とを重ね合わせて干渉縞を形成する重畳装置６と、前記干渉縞を連続的に撮像して連続撮像データを得る撮像装置１０と、前記連続撮像データから被測定物７の３次元形状を計算する計算装置２１とを有する。計算装置２１は、相対運動によって物体光１２と参照光１３の周波数がドップラー効果により変調することにより両光の周波数差のスペクトルから位相シフトスペクトルを得て、位相シフトスペクトルと連続撮像データとから被測定物７の３次元形状を計算する。 （もっと読む）

【課題】光波干渉光学機器の使用者の作業効率を向上させることができるようにする。
【解決手段】温度検出部１０１は、温度センサ６１_１ないし６１_５のそれぞれから供給される検出信号に対応する温度、湿度、気圧等の環境パラメータを検出し、比較演算部１０２は、環境パラメータに基づいて、光波干渉光学系内の空気が揺らいでいるか否かを判定する。装置制御部１０３は、空気が揺らいでいると判定された場合であって、標本画像の取得ができないと判定された場合、CCDカメラ１４による標本の撮像を停止させるとともに、表示部１０４に、「ＮＧ」である文字列を表示させる。本発明は、光波干渉光学系を有する顕微鏡に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】被測定物が移動をする場合であっても適切に被測定物の変位を測定することができるレーザ干渉計の提供。
【解決手段】レーザ干渉計１は、所定の周波数を有する変調信号にてレーザ光を変調することでレーザ光の中心波長を安定化して射出するレーザ光源２と、参照鏡４と、測定鏡５と、参照鏡４、及び測定鏡５にて反射される光の干渉光に基づいて、測定鏡５の変位を検出する変位検出装置６とを備える。変位検出装置６は、干渉光における干渉縞の波数を取得する干渉縞取得手段６１と、レーザ光の波長を取得する波長取得手段６２と、干渉縞の波数と、干渉縞の波数を取得したときのレーザ光の波長とに基づいて、測定鏡５の変位を算出する変位算出手段６５とを備える。 （もっと読む）

【課題】二光束の光路長差が安定に一定となる構成を備えることにより光源波長の変動をｐｍ以下の精度、分解能で測定可能な波長ずれ測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の波長ずれ測定装置は、光源から射出される光束の波長の変動量を測定する波長ずれ検出センサＷＬＣＤ１であって、光源から射出された光束を複数の光束に分割し、複数の光束のうち二光束を合成して干渉光を生成するビームスプリッタＢＳ２と、ビームスプリッタＢＳ２により分割された二光束の光路長差が一定になるように設けられたスペーサ部材ＳＰと、ビームスプリッタＢＳ２により生成された干渉光を検出する複数の光電センサＰＤＡ＋、ＰＤＢ＋とを有し、複数の光電センサＰＤＡ＋、ＰＤＢ＋は、干渉光に基づいて互いに位相がずれた複数の干渉信号を出力し、複数の干渉信号を用いて波長ずれ量を算出する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、かつ高精度に狭範囲における変位を測定可能な変位測定装置、および変位測定方法を提供する。
【解決手段】レーザ干渉測長装置は、１０６４nmおよび５３２nmのレーザ光を射出する光源部１１０と、偏光ビームスプリッタ１２０と、測定光路３００の長波長レーザ光を分離するダイクロイックミラー３２０と、分離したレーザ光を反射する長波長コーナキューブ３３０と、測定光路３００に対し変位可能な測定コーナキューブ３４０と、参照光路２００に対し変位可能な参照コーナキューブ２２０と、長波長レーザ光の光路長を変更する光路変更手段と、干渉信号を出力する位相検出部４２０と、和信号を演算する和信号演算手段と、和信号の位相が変化しないように、参照コーナキューブ２２０を変位させる変位制御手段と、その変位量を検出する参照変位量検出手段と、測定コーナキューブ３４０の変位量を演算する測定変位量演算手段と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】
安価で高精度の絶対位置の計測装置を提供する。
【解決手段】
計測装置１００は、第一の光線を射出する第一の光源１と、第一の光線より干渉性の低い第二の光線を射出する第二の光源２と、第一の光線に第二の光線を重ね合わせる第一のビームスプリッタ３と、第一のビームスプリッタからの射出光を計測光と参照光とに分岐する第二のビームスプリッタ４と、参照光及び計測光の反射光を合成して干渉信号を検出する干渉計測装置８と、干渉計測装置から出力された信号を処理する信号処理装置２０とを有し、第一の光線及び第二の光線の波長は同一に設定されており、信号処理装置２０は、第二の光源２から得られる干渉信号の強度を計測する信号強度計測部１４−１、１４−２、及び、第二の光源２から得られる干渉信号の強度の最大点を原点と判定する原点判定部１６を有する。 （もっと読む）

【課題】空気屈折率の影響を低減した幾何学距離の干渉測定に際し、安定度の高いレーザを使用せずに、安価な装置を実現する。
【解決手段】干渉計本体からターゲット１１０までの幾何学距離Ｌを、複数の波長λ₁、λ₂のレーザ光を用いた光波干渉測定により求めた距離測定値Ｄ₁、Ｄ₂から、空気の屈折率を補正して高精度に測定する際に、光コム１０４を用いて複数のレーザ光の波長を測定する。その際、光コムを用いて波長可変レーザ１０１の発振波長を測定してフィードバック制御をかけることにより、所定の複数の波長のレーザ光を得たり、波長可変レーザを任意の複数波長で発振させて複数の距離測定値を得、各距離測定値を得た時のレーザ光の波長（周波数）を光コムで測定し、幾何学距離の演算に用いたり、複数のレーザ４１６、４１７を用い、各レーザから発振されるレーザ光の波長を光コムで測定しながら距離測定値を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】波長の異なる２種類の光波の光軸のずれに基づく測定誤差を防止し、高精度な測定が実現可能な２波長レーザ干渉計を提供する。
【解決手段】波長の異なる２種類のレーザ光Ｌ１，Ｌ２を出射する２波長レーザ光源１１と、２種類のレーザ光をそれぞれ参照光Ｌ１１，Ｌ２１と測定光Ｌ１２，Ｌ２２に分割する光分割手段、および、参照光および測定光が参照面および被測定面によって反射された光を重ね合わせる光重ね合わせ手段を有する２波長ビームスプリッタ１５と、この重ね合わされた光から、波長ごとに、被測定面の変位量を求め、これら波長ごとに求められた変位量を用いた演算によって空気屈折率補正された被測定面の変位量を求める演算部２４とを備える。２波長レーザ光源と光分割手段との間には、２波長レーザ光源から出射された波長の異なる２種類のレーザ光を一旦分離したのち互いの光軸を重ね合わせる光軸重ね合わせ光学系１３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】
ゴースト光の影響を抑制した高精度の干渉計を提供する。
【解決手段】
光源装置１からの光をリファレンス光及び測定光に分割するＰＢＳ２と、ＰＢＳ２で分割されて第１の方向から入射するリファレンス光を反射するリファレンスミラー４ａと、ＰＢＳ２で分割されて第２の方向から入射する測定光を反射する測定ミラー４ｂと、ＰＢＳ２を介して、リファレンスミラー４ａ及び測定ミラー４ｂからの反射光を入射するレンズ系６と、レンズ系６からの光を反射する反射素子５と、リファレンスミラー４ａ及び測定ミラー４ｂのそれぞれに二度照射して合波された光を受光する受光素子１６とを有し、リファレンスミラー４ａ及び測定ミラー４ｂは、反射素子５と共役関係にあり、リファレンスミラー４ａ及び測定ミラー４ｂの少なくとも一つは、その法線方向が第１の方向及び第２の方向とは異なるように傾いて配置されている。 （もっと読む）