【課題】 本発明は隣接するスペクトルの重なりの影響を低減することができ、且つ、波数空間上のスペクトルをフィッティングして位相回復を行うよりも少ない計算量で位相回復を行うことができる計算方法、プログラムと、撮像装置を提供すること。
【解決手段】 撮像装置は、シアリング干渉計と、シアリング干渉計により得られる干渉パターンから被検体の情報を算出する算出手段を備える。
算出手段は、干渉パターンを窓フーリエ変換することにより得られる波数空間上の座標におけるフーリエ成分を表す式を３以上用い、それらのフーリエ成分を表す式を連立方程式として解くことで被検体の情報を算出する。 （もっと読む）

【課題】試料表面の変位量が大きくても、フェーズラッピングの問題が生ずることなく、試料の微細な表面形状を高分解能で測定できる形状測定装置を実現する。
【解決手段】白色光源から出射した照明光は、入射光をシャーリングする第１の光路と入射光に対して可変光路長ないし可変位相量を導入してフリンジスキャンを行う第２の光路とを有する干渉光学系及び対物レンズを経て試料に入射する。試料上には、シャーリングされた参照ビームにより形成される第１の照明領域とフリンジスキャンされた測定ビームにより形成される第２の照明領域が形成される。第１及び第２の照明領域から出射した反射光は、対物レンズ及び干渉光学系を介して２次元撮像装置に入射し、２つの照明領域の画像が合成された干渉画像が形成される。フリンジスキャンにより、２つの画像を構成する反射光間に白色干渉が発生し、干渉信号を検出することで、試料の形状又は孔の深さが測定される。 （もっと読む）

【課題】装置を小型化し、かつ非干渉成分の影響を受けず、光パルスの波長分散測定を確実かつ高安定に行う波長分散測定装置等を提供する。
【解決手段】出射する伝搬光の波長が可変な光源と、伝搬光を第1及び第2伝搬光に分離し、出射する際に第1及び第2伝搬光の間に波長差を発生させる光分岐結合部と、偏波保持特性を有するプローブ及び参照光ファイバと、これらの光ファイバのいずれかに設けられ、光伝搬光の位相α_ｉを周期的に変化させる光位相シフタと、プローブ光ファイバに設けられた試料測定部内の試料を透過あるいは反射した第1伝搬光と、参照光ファイバを伝搬する第2伝搬光とを合波し、合波光の位相α_ｉのα_ｉ光成分の干渉要素を干渉信号とする光検出部と、前記光源での波長掃引に同期し、サンプリングクロックを出力する制御部と、サンプリングクロックに同期して第ｉ光成分に対応する干渉信号を時系列に取得するデータ取得部とを有する。 （もっと読む）

【課題】シアリング干渉測定装置においてシア量を高精度に決定するために有利な技術を提供する。
【解決手段】撮像素子の撮像面におけるシア量が第１の目標シア量Ｓ１になるように駆動機構に回折格子を駆動させたときに前記撮像素子によって得られる第１の干渉縞データを複数のシア量のそれぞれを使って処理することによって得られる複数の波面をそれぞれ近似する複数の多項式のそれぞれにおける少なくとも１つの係数と当該複数のシア量との関係を示す直線１を決定し、前記撮像面におけるシア量が第２の目標シア量Ｓ２になるように前記駆動機構に前記回折格子を駆動させたときに直線１と同様にして直線２を決定し、直線１、２におけるシア量の差分ＤＤが第１の目標シア量Ｓ１と第２の目標シア量Ｓ２との差分ＳＤと等しくなる直線１、２におけるシア量Ｓ１Ｔ、Ｓ２Ｔをそれぞれ真のシア量として決定する。 （もっと読む）

【課題】被検光束のシア量の設定の自由度を向上させるために有利な技術を提供する。
【解決手段】被検光学系からの光の波面を測定するシアリング干渉測定装置は、撮像素子と、前記被検光学系の瞳を前記撮像素子の撮像面に結像させる瞳結像光学系と、前記瞳結像光学系の光路に配置され、前記被検光学系からの光の波面を分割することによって複数の波面を形成する回折格子と、前記回折格子によって分割された複数の波面の間の前記撮像面におけるシア量が変更されるように前記シアリング干渉測定装置の光軸に平行な方向における前記回折格子の位置を変更するための駆動機構とを備え、前記回折格子によって分割された複数の波面によって形成される干渉縞を前記撮像素子によって撮像する。 （もっと読む）

【課題】目標とする非球面波をより正確に発生する非球面波発生光学系。
【解決手段】非球面波を発生するための非球面波発生光学系は、第１非球面を有する第１アルバレツレンズと、第２非球面を有する第２アルバレツレンズと、前記第１アルバレツレンズと前記第２アルバレツレンズとの間に配置されたリレー光学系とを備え、前記第１非球面および前記第２非球面が前記リレー光学系に関して互いに共役な位置に配置され、前記非球面波発生光学系の光軸をｚ軸とするｘｙｚ座標系において、前記第１非球面の形状をｚ＝ｆ１（ｘ、ｙ）、前記第２非球面の形状をｚ＝ｆ２（ｘ、ｙ）とし、前記リレー光学系の倍率をβ、定数をＣとしたときに、前記第１非球面および前記第２非球面が、ｆ２（ｘ，ｙ）＝ｆ１（βｘ，βｙ）＋Ｃを満たすことができる形状を有する。 （もっと読む）

【課題】測定対象の幅方向に対して広範囲で欠陥を検出する。
【解決手段】第１のミラー群１２に入射されたレーザ光の波面は、分割されて反射され、光学フィルム１０の幅方向に配列された状態で光学フィルム１０に照射される。光学フィルム１０に照射されたそれぞれのレーザ光の波面は、光学フィルム１０を介して第２のミラー群１３で反射され、光学フィルム１０を介して、第１のミラー群１２に対して入射される。第１のミラー群１２に入射されたレーザ光は、再び１つの波面が揃い、ウェッジプレート４に入射される。そして、ウェッジプレート４の第１の面Ｓ１で反射されるとともに、第２の面Ｓ２で反射されることにより２つの波面に分割される。２つの波面が干渉することにより、撮像部７において干渉縞が撮像され、撮像された干渉縞の画像データに対して、解析部８による解析が行われる。 （もっと読む）

【課題】フラットパネルの表面、ウエハーおよび基板のパターン付き表面といった表面の全領域光計測値を取得する。
【解決手段】均一な波面を有する光プローブビーム１１２を被計測表面１３０に照射し、表面１３０によって引き起こされるひずみを帯びた反射波面を有する反射プローブビーム１３２を、光シェアリング干渉計デバイス１０１に向け、光干渉模様を取得する。次に、反射波面と、反射波面のレプリカとの間の位相シフトを調整し、別の干渉模様を取得する。干渉模様を処理し、被計測表面１３０の照射場所の全域で、表面傾斜に関する情報を取得する。 （もっと読む）

【課題】被検光学系（投影光学系）の波面収差を高精度に測定することができる測定装置を提供する。
【解決手段】被検光学系の波面収差を測定する測定装置であって、前記被検光学系の物体面側に配置され、光源からの光を被検光と参照光とに分離する光学素子と、前記被検光と前記参照光との位相差を変化させて複数の位相状態を生成する生成部と、前記被検光と前記参照光との位相差を変化させてフリンジスキャンを行うフリンジスキャン部と、前記生成部によって生成された前記複数の位相状態のそれぞれにおいて、予め決定された制御データに従って前記フリンジスキャン部でフリンジスキャンを行って、前記制御データに対する前記被検光と前記参照光との干渉パターンから導出される特徴量の非線形な変化を示す非線形誤差を決定する決定部と、前記決定部によって決定された前記非線形誤差に基づいて、前記被検光と前記参照光との干渉パターンから算出される前記被検光学系の波面収差を補正する補正部と、を有することを特徴とする測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】被検光学素子の光学性能を高精度に計測すると共に長寿命な干渉計を提供する。
【解決手段】光源１０１ａからの光Ｌを利用して被検光学素子ＴＳ、ＴＢの光学性能を干渉縞として計測する干渉計１００は、干渉縞を撮像する撮像素子１０９と、各被検光学素子に対して干渉縞を生成するのに使用される参照波面を変更する参照波面変更手段１０６と、径の異なる複数の被検光学素子の間で撮像素子における干渉縞の径が等しくなるように倍率を調整する倍率調整光学系１０８と、径が小さな被検光学素子よりも径が大きな被検光学素子に対する前記撮像素子における前記光の光強度が小さくなるように前記光源の出力を制御する制御ユニット１１０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】面光源や複数の点光源等、一点とみなせない光源からの波面に対しても計測を行うことができる波面センサを提供する。
【解決手段】入射瞳Ｐに入った被測定光波面は半透鏡３で第１の光路Ｌ１と第２の光路Ｌ２とに分岐され、第１の光路Ｌ１を進む波面Ｗ１は第１の光路差補償部材７を透過し、第２の光路Ｌ２を進む波面Ｗ２は第２の光路差補償部材８を透過する。これら波面Ｗ１及びＷ２は、シェアリング量Ｓだけ互いに位置をずらした状態で半透鏡６により再度混合され、干渉計測面Ｍに干渉縞を形成する。この干渉縞の強度分布が光検出器９によって測定され、波面計測部１０で被測定光波面の形状が測定される。被測定光波面の到来方向に起因して傾斜した状態で干渉計測面Ｍに至る波面Ｗ１’と波面Ｗ２’との間に発生する光路差は、これら波面Ｗ１’及びＷ２’がそれぞれ第１の光路差補償部材７及び第２の光路差補償部材８を透過する際に事前に補償される。 （もっと読む）

【課題】基準レンズを必要とせずコンパクトであって振動等の外乱の影響を受けにくく非球面レンズ（自由形状レンズ）の測定を低コストで実現できる干渉縞生成方法および干渉計を提供する。
【解決手段】光源２から出た光Ｓ０を複屈折光学素子７で出射角度が微小に異なる２つの光束Ｓ１，Ｓ２に分割して第一，第二の検査光として被検体１３の被検面１３ａに垂直に照射し、その反射光を照射時の経路に沿って逆行する向きで複屈折光学素子７に透過させることで再び重ね合わせ、重ね合わせた光を受光面１２に投影することで干渉縞を生成する。第一，第二の検査光と其の反射光の往復経路が光源２から受光面１２に至る区間で完全に共通となり振動等に対しては相対運動が行われるので測定精度が向上し、温度差や空気の揺らぎ等による光路の微妙な変化、あるいは、干渉計の設置環境下で生じる振動や光学部品の経年変化等の影響を受けにくくなり、干渉縞の生成と維持が容易となって特殊な防振対策も不要となり簡単なもので済むようになる。 （もっと読む）

【課題】干渉計におけるコヒーレントアーティファクトの影響を低減するための干渉計装置および方法を提供すること。
【解決手段】干渉計におけるフリンジコントラストは、干渉図形内のフリンジコントラストが維持される一方で、干渉計において発生された望ましくない放射光のコヒーレントな重なりが抑制されるために、干渉計においてコヒーレントアーティファクトが存在する。干渉計における照明の異なるオフアクシス場所の視界からテスト表面の選択された特性の個々の干渉図形を生成する照明および干渉結像アーキテクチャの使用がなされ、次いで、それらのアーキテクチャを結合して、フリンジコントラストを維持すると同時に、異なる視界領域において存在するようにアーティファクトを配列することにより、結合された干渉図形における寄与が弱められる。 （もっと読む）

【課題】干渉パターンのノイズを低減し、被検光学系の光学性能（波面収差）を高精度に測定することができる測定装置を提供する。
【解決手段】被検光学系の波面収差を測定する測定装置であって、前記被検光学系の物体面に配置され、光を反射して球面波を生成する複数の反射部を含む測定用マスクと、前記測定用マスク及び前記被検光学系を経た光を回折させる回折光学素子と、前記回折光学素子によって回折された光の干渉によって形成される干渉パターンを検出する検出部とを有し、前記測定用マスクは、光を反射する反射層と、前記反射層の上に配置され、複数の開口を有し、第１の物質からなる第１の層と、前記第１の層の上に配置され、前記複数の開口が配列された領域を露出させる窓を有し、前記第１の物質と異なる第２の物質からなる第２の層とを有し、前記反射部は、前記反射層のうち前記複数の開口によって露出した部分によって形成されていることを特徴とする測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】位相シフタの位相シフト量を一層正確に測定できる位相シフト量測定装置を実現することにある。
【解決手段】シャリング干渉計（６，４４）により、位相シフトマスク（３）の横ずらし干渉画像を形成し、当該干渉画像を2次元撮像装置（１７，４８）により撮像する。2次元撮像装置の各受光素子から出力される出力信号は信号処理装置（１９）に供給され、各受光素子毎に位相シフト量を算出する。受光素子の受光面積は微小であるため、回折光や多重反射光が入射することにより特異的な位相量を出力する受光素子の位相シフト量を除外し、残りの受光素子の出力信号から求めた位相シフト量に基づいて位相シフト量を決定する。 （もっと読む）

【課題】 投影光学系の光学性能を本体上で測定することができる投影光学系の光学性能測定方法を得ること。
【解決手段】 露光光源からの露光光で第１物体を照明する照明系と前記第１物体のパターンを第２物体上に投影する投影光学系とを備える露光装置の、前記投影光学系の光学性能を前記露光装置に搭載された干渉計で測定する投影光学系の光学性能測定方法において、
前記投影光学系を通過した前記露光光源からの露光光から参照光を生成し、該参照光と前記投影光学系を通過した前記露光光とを干渉させることにより形成された干渉縞を、観察するステップを有すること。 （もっと読む）

【課題】本発明では、従来の方法では焦点深度程度の範囲でしか利用できなかった微分干渉像からの位相像再生法をより広い範囲に拡張する。
【解決手段】本発明の上記課題は、リタデーション変化装置、撮像装置、演算装置、焦点駆動装置を備えた微分干渉顕微鏡を使って、前記焦点駆動装置により焦点位置をある範囲内で一定の間隔で走査し、それぞれの前記焦点位置でリタデーション量を反転させた２枚の画像を撮像し、前記２枚の画像から差演算を行うことによって差画像を形成し、前記差画像を光学的応答関数によってデコンボリューションすることによって前記焦点位置での位相分布画像を形成し、前記差画像から絶対値演算を行うことによって絶対値画像を形成し、すべて焦点位置での前記絶対値画像の各画素を比較することによって最大値を与える画素によってマスク画像を形成し、前記位相分布画像から前記マスク画像を使ってその焦点位置での位相分布情報を抽出することによって達成できる。 （もっと読む）

【課題】再現性の良い非球面干渉計を得ること
【解決手段】 光学素子の光学面の形状を測定するためのフィゾー型干渉計は、非球面形状の参照面と；該参照面と前記光学面とを近接させた状態で、前記参照面と前記光学面とを一体に保持する保持部材とを有する。そして、前記光学面からの光と前記参照面からの光とを干渉させる。 （もっと読む）

【課題】基板テーブルに当たる光ビームの偏光状態に関する情報を取得可能であるリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置は、放射ビームを調節するように構成された照明システム、投影された放射ビームとして放射ビームの少なくとも一部を投影するように構成された投影システム、および投影された放射ビームの波面状態を感知するレンズ干渉計を含む。レンズ干渉計には、投影された放射ビームの偏光状態を感知可能であるように、偏光要素が設けられる。偏光要素として、透過型回折格子構造ＧＲは、Ｘ方向およびＹ方向に延在する２次元のチェッカー盤構造であり、最適化された透開放領域Ｅ２と不透明領域Ｅ１を有する。 （もっと読む）