【課題】被測定物に対する面方向の分解能や測定位置の変更を容易に行うことができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】光源１０と、光源１０からの光を２つの光束に分割して、一方の光束を被測定物Ｔに照射し、他方の光束を参照ミラー４０に照射させると共に、これらから反射された光を合波させるスプリッタ２０と、スプリッタ２０によって合波された光により得られる画像を撮像するＣＣＤ５０と、２つの傾き状態に制御される複数の微小ミラーを有するＤＭＤと、複数の微小ミラーを制御して被測定物Ｔや参照ミラー４０への照射光等を絞り込み、その状態で撮像された画像に基づき、測定点の高さを測定する制御手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】キャリア周波数の干渉により生じる深さ方向の像の不鮮明さや誤差を低減して、深さ方向の構造をより鮮明かつ高精度に観察・測定する。
【解決手段】周波数が異なる複数のレーザ光を発生する光源１１と、コム周波数間隔が可変で中心角周波数が異なる複数のコム光を順次生成するコム光生成装置１２からのコム光が順次入射され参照鏡からの戻り光と測定対象からの戻り光との干渉出力を、コム周波数間隔を掃引することにより複数回検出する光学干渉計１３と、複数のコム光の中心角周波数を設定し、コム周波数間隔を掃引し、所定の演算を行う演算制御部１４は、光学干渉計１３における参照鏡からの戻り光と測定対象からの戻り光との干渉出力を、コム周波数間隔を掃引することにより複数回検出し、各検出において得られた干渉成分の検出値から、測定対象の深さ方向の反射構率分布や散乱係数分布のみを取り出す演算を行うことで、測定対象の構造測定を行う。 （もっと読む）

【課題】シアリング干渉測定装置においてシア量を高精度に決定するために有利な技術を提供する。
【解決手段】撮像素子の撮像面におけるシア量が第１の目標シア量Ｓ１になるように駆動機構に回折格子を駆動させたときに前記撮像素子によって得られる第１の干渉縞データを複数のシア量のそれぞれを使って処理することによって得られる複数の波面をそれぞれ近似する複数の多項式のそれぞれにおける少なくとも１つの係数と当該複数のシア量との関係を示す直線１を決定し、前記撮像面におけるシア量が第２の目標シア量Ｓ２になるように前記駆動機構に前記回折格子を駆動させたときに直線１と同様にして直線２を決定し、直線１、２におけるシア量の差分ＤＤが第１の目標シア量Ｓ１と第２の目標シア量Ｓ２との差分ＳＤと等しくなる直線１、２におけるシア量Ｓ１Ｔ、Ｓ２Ｔをそれぞれ真のシア量として決定する。 （もっと読む）

【課題】別途光源を用意することなく、被検レンズの光軸をレーザ光の進行方向に一致させる傾き調整が可能なレンズの透過波面測定装置を提供する。
【解決手段】透過波面測定装置が、入射部から光を取り入れて出射部から出射させ、入射部を被検レンズの第１レンズ面近傍に出射部を被検レンズの第２レンズ面近傍に夫々配置可能であり、入射部から観察光を出射部に導いて被検レンズのフランジ部の第２レンズ面側に形成された平面部に照射させる傾斜検出用光路形成部と、被検レンズの平面部で反射された観察光による被検レンズの傾きを判別するための点像を観察するための傾斜検出用カメラとを有し、傾斜検出用光路形成部は、被検レンズから離れて観察光を被検レンズの第１レンズ面に入射させる第１の位置と、被検レンズの第１レンズ面側及び第２レンズ面側に入射部及び出射部が夫々位置して観察光を平面部に照射させる第２の位置との間で移動可能である。 （もっと読む）

【課題】参照光および被検光を偏光の回転方向が互いに逆向きとなる２つの円偏光に変換するための光学素子を通過する際の波面の乱れを抑制し、実時間での光干渉測定をより高精度に行うことが可能な実時間測定分岐干渉計を得る。
【解決手段】光源部１からの光ビームを２光束に分岐し、第１光束を第２光束に対して所定の光学距離だけ迂回させた後に１光束に再合波して出射する迂回路部２を設ける。この迂回路部２における第１光束の光路上に第１のλ／２板１５を配置し、第２光束の光路上に、第１のλ／２板１５とは光学軸の方向が４５度だけ異なる第２のλ／２板１９を設置する。さらに、迂回路部２とビーム径拡大部３との間の光路上にλ／４板２１を配置することにより、第１光束および第２光束を偏光の回転方向が互いに逆向きとなる２つの円偏光に変換する。 （もっと読む）

【課題】測定光および参照光の光軸を容易に一致させることが可能な斜入射干渉計を提供する。
【解決手段】斜入射干渉計１は、光源２と、光を平行光にするレンズ３，４と、平行光を測定光および参照光に分離し、測定光を被測定面Ｓに対して斜めに射出する光分離部５と、参照光、および被測定面で反射された測定光を合成して干渉光とする光合成部６と、干渉光を検出する検出部と、光源２から光分離部５までの光路内に設けられるとともに、光の光断面サイズよりも小さいサイズの光通過孔８１を有し、この光通過孔８１でのみ光を通過させるスポット形成部８と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の特徴である可干渉性を利用するとともに、被測定物の２つの測定点間の厚み方向の距離を高精度に測定する測距方法及びレーザ測距装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る測距方法及レーザ測距装置によれば、測定光を第１測定光と第２測定光とに分割し、第１測定光を被測定物６の第１測定点Ｓ１に照射した上で、第１測定光と参照光との光路長が等しくなる反射点の位置を取得する。また、第２測定光を被測定物６の第２測定点Ｓ２に照射した上で、第２測定光と参照光との光路長が等しくなる反射点の位置を取得する。そして、これらの位置に基づいて第１測定点Ｓ１と第２測定点Ｓ２間の厚み方向の距離を高精度に測定する。 （もっと読む）

【課題】使用する光学素子の数を抑えた干渉計を提供する。
【解決手段】所定の光軸Ｃ２上に光束Ｌ１を出射する光源２と、光軸上に配置される参照面３と、光軸上に配置される被検面Ｗ１と、参照面と被検面とで反射された光束により光軸に対する被検面と参照面の傾きを検出するアライメント観察手段５と、被検面と参照面とで反射された光束を干渉させた干渉光束Ｌ４の干渉縞の像を観察する干渉縞観察手段４と、光源と参照面との間の光軸上に配置され、干渉光束をビームスプリッタ面６ａで反射するビームスプリッタ６と、ビームスプリッタを移動させることで、反射された干渉光束の光路をアライメント観察手段の光軸Ｃ３又は干渉縞観察手段の光軸Ｃ４のいずれか一方に向かうように切替える光路切替え手段７と、を備える。 （もっと読む）

超高分解能走査光学測定装置が開示され、該走査光学測定装置は、光源と、光源から照射された光を集束させる第１レンズと、第１レンズの次に配される第１ピンホールと、第１ピンホールを通過した光を発散させる第２レンズと、第２レンズを通過した光を走査するための走査ユニットと、第２レンズと走査ユニットとの間に配された第１ビームスプリッタと、走査ユニットから出てきた光を第１経路上に配させるものであり、被検体をスキャニングするためのスキャニング・ユニットと、スキャニング・ユニットを通過した光を被検体に集束するための対物レンズと、被検体が置かれるスライドと、光源から照射された後、被検体を通過した光を反射させる光学探針と、スキャニング・ユニットと対物レンズとの間に配された第２ビームスプリッタと、被検体と光学探針とから反射され、第１ビームスプリッタを経由した光を検出するための第１光検出器と、第１ビームスプリッタと第１光検出器との間に配された第２ピンホールと、被検体と光学探針とから反射され、第２ビームスプリッタを経由した光を検出するための第２光検出器とを含む。
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【課題】干渉像を有する干渉画像と干渉像が重畳されていない明視野画像を容易、且つ確実に選択可能に取得できる干渉対物レンズと、その干渉対物レンズを備える干渉顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】本発明は、切換環５２を枠５３に対して光軸２２の周りに沿って回動させ、第１のビームスプリッタ１２は光軸２２に沿って対物レンズ１０に対して相対移動させる。切換環５２を回動させ、目盛５４ａが目盛５４ｂを選択すると、参照面１３が第１のビームスプリッタ１２を介して対物レンズ１０の物体側焦点位置と光学的に共役な位置に配置され、干渉画像が取得される。また切換環５２を回動させ、目盛５４ａが目盛５４ｃを選択すると、参照面１３が共役な位置から離れた位置に配置され、明視野画像が取得される。 （もっと読む）

【課題】アライメント調整を容易に行うことができるとともに、ノイズ光の発生を抑制しつつ被検光の光量を十分に確保して被測定放物面の形状を高精度に測定し得る光波干渉測定装置を得る。
【解決手段】参照基準板２と被測定放物面４１との間の光路上に球面波生成手段３を配置する。この球面波生成手段３は、被測定放物面４１の焦点位置に配置されるピンホールミラー３１を備えており、該ピンホールミラー３１は、被測定放物面４１に照射された照明用平行光束のうち該被測定放物面４１で反射され、その焦点位置に集光する光束の一部を、波面整形された球面波に変換して反射し被測定放物面４１に向けて出力するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 投影光学系の光学性能を本体上で測定することができる投影光学系の光学性能測定方法を得ること。
【解決手段】 露光光源からの露光光で第１物体を照明する照明系と前記第１物体のパターンを第２物体上に投影する投影光学系とを備える露光装置の、前記投影光学系の光学性能を前記露光装置に搭載された干渉計で測定する投影光学系の光学性能測定方法において、
前記投影光学系を通過した前記露光光源からの露光光から参照光を生成し、該参照光と前記投影光学系を通過した前記露光光とを干渉させることにより形成された干渉縞を、観察するステップを有すること。 （もっと読む）

【課題】計測時間の短縮、ドリフト誤差低減等を図り被検物の絶対形状を効率よく計測する干渉計測方法、干渉計、これを用いる露光装置、その露光装置を用いるデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の干渉計測方法を実施し、露光装置、デバイス製造方法に用いる干渉計は、被検物１の代りとなるダミー真球２の全ての球面に被検光が当たるようにダミー真球２を回転する第１の回転機構４と、ランダムに回転するダミー真球２を第１の回転機構４とともに光軸周りに回転する第２の回転機構５と、参照光を形成する参照面の形状誤差を演算する第１の演算手段と、参照面の形状誤差に基づき被検物１の真の形状を演算する第２の演算手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】低時間コヒーレンス光源を用い、精度劣化がなく偏光照明時の収差計測が容易である干渉計を提供する。
【解決手段】ＴＳレンズ４からの参照光束５、及び被検物８の光軸からわずかにずれる凹球面状ミラー９からの被検光束７を干渉縞形成部６の回折格子で複数次数の回折光に分割する。分割後の参照光束５の内１つの波面情報を干渉縞形成部６のマスクで消し、１つの波面だけを該マスクで選択する。分割後の干渉光束７の内１つの波面情報を該マスクで消し、１つの波面だけを該マスクで選択する。該回折格子を走査し、４つ以上の波面の内少なくとも２つの位相を変化させ、分割後の参照光同士、分割後の被検光同士を合成し干渉縞を得る。 （もっと読む）

【課題】光路上の空気の揺らぎや不要光による悪影響を受け難く安定した測定結果を得ることができるとともに、アライメント調整等の作業性に優れ、かつ製造後における補正加工を行うことも可能な非球面測定用素子と、このような非球面測定用素子を用いた光波干渉測定装置と方法、非球面の補正加工方法、およびシステム誤差補正方法を得る。
【解決手段】単体のレンズ部材からなる非球面測定用素子６Ａを、測定光学系と被測定体７Ａの被測定非球面７１Ａとの間に配置する。その参照基準球面６１Ａは、該球面に対し略垂直に入射された測定光の一部を透過せしめるとともに、測定光のその余を反射せしめて参照光となすものであり、反対側の非球面６２Ａは、参照基準球面６１Ａから被測定非球面７１Ａに至る測定光の各光線が被測定非球面７１Ａに略垂直に入射し、かつ該各光線の光路長が互いに略一定となるように形状設定がなされている。 （もっと読む）

合成波長を生成するための方法、特に、１次周波数と前記１次周波数の少なくとも第１の側波帯周波数とを規定する１次レーザー光源を用いる干渉式距離測定装置のための方法において、前記第１の側波帯周波数および対応する第１の波長を有するレーザー放射が供給され、前記第１の側波帯周波数が、特に１次レーザー光源を変調することにより、連続的にシフトされる。第１の波長と、１次レーザー光源により規定される第２の波長とを組み合わせること、特に、重ね合わせることにより、合成波長が生成される。
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【課題】被検体の面形状を高い精度で測定する。
【解決手段】光源から発する光束を分割する手段を備え、分割された一方の光束を被検体面６に入射させ、他方の光束を参照面７に入射させて、被検体面６からの反射光と参照面７からの反射光とを干渉させて得られる干渉縞に基づいて被検体の面形状を測定する。斜め入射させる手段は、光束を被検体面６と参照面７とに所定の角度で斜め入射させる。検出する手段は、被検体面６からの反射光と参照面７からの反射光とを干渉させて得られる干渉縞を検出する。形状情報を算出する手段は、検出手段により検出された干渉縞に関する情報と斜め入射させる角度とに基づいて被検体の形状情報を算出する。 （もっと読む）

【課題】所望する光路差増倍数に切り替え可能な光路差増倍装置を実現する。
【解決手段】レーザ干渉器本体４から出力されたレーザ光が、光路差増倍装置５０の移動反射体１と固定反射体２の間で交互に入反射を繰り返して往復するマルチパスが行われる際に、第１のキューブコーナプリズム１６または第２のキューブコーナプリズム２６の配置を切り替え、それらキューブコーナプリズムがレーザ光を反射する位置を切り替えることによって、レーザ光が移動反射体１と固定反射体２の間の往復する回数を切り替えることができるので、その往復回数（マルチパス数）を増すことに応じてレーザ干渉測長機１００の測長分解能を向上させることを可能にした。 （もっと読む）

【課題】
様々な試料の形状を簡便に測定することができる干渉計及び測定方法を提供すること。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる干渉計は、レーザ光源１１と、Ｘスキャナ１６と、回転可能に設けられた１／２波長板２０と、Ｙスキャナ２３と、２本の光ビームに分岐するＰＢＳ２６と、一方の光ビームを集光する試料用対物レンズ２７と、他方の光ビームを集光する参照用対物レンズ３０と、参照用対物レンズ３０で集光された光ビームを反射する参照用ミラー３１と、測定光と参照光との合成光を、照明光から分岐する第１の無偏光ビームスプリッタ２２と、合成光の光路中に設けられた１／４波長板４２と、１／４波長板４２からの合成光を第１偏光板５１を介して受光する第１ラインセンサ５２を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、フルフィールドＯＣＴを内視鏡の測定プローブに組み込み、広範囲領域を操作性よく観察するための光イメージング装置を開発することを課題としている。
【解決手段】本発明は、光源１０と該光源１０から出射される光を導くための光ファイバ１１と、光ファイバ１１から出射される光を、被測定部Ｓで反射される反射光および該反射光と異なる方向に進む参照光に分離するスプリッタ１８と、
前記反射光と前記参照光が合波した干渉光を受光する受光素子２３と、を備え、
光ファイバ１１の先端部に、光ファイバ１１から出射される光のビーム径を光ファイバ１１のコア径よりも拡大する屈折率分布型レンズ１４が設けられている。 （もっと読む）