【課題】 本発明は隣接するスペクトルの重なりの影響を低減することができ、且つ、波数空間上のスペクトルをフィッティングして位相回復を行うよりも少ない計算量で位相回復を行うことができる計算方法、プログラムと、撮像装置を提供すること。
【解決手段】 撮像装置は、シアリング干渉計と、シアリング干渉計により得られる干渉パターンから被検体の情報を算出する算出手段を備える。
算出手段は、干渉パターンを窓フーリエ変換することにより得られる波数空間上の座標におけるフーリエ成分を表す式を３以上用い、それらのフーリエ成分を表す式を連立方程式として解くことで被検体の情報を算出する。 （もっと読む）

【課題】キャリア周波数の干渉により生じる深さ方向の像の不鮮明さや誤差を低減して、深さ方向の構造をより鮮明かつ高精度に観察・測定する。
【解決手段】周波数が異なる複数のレーザ光を発生する光源１１と、コム周波数間隔が可変で中心角周波数が異なる複数のコム光を順次生成するコム光生成装置１２からのコム光が順次入射され参照鏡からの戻り光と測定対象からの戻り光との干渉出力を、コム周波数間隔を掃引することにより複数回検出する光学干渉計１３と、複数のコム光の中心角周波数を設定し、コム周波数間隔を掃引し、所定の演算を行う演算制御部１４は、光学干渉計１３における参照鏡からの戻り光と測定対象からの戻り光との干渉出力を、コム周波数間隔を掃引することにより複数回検出し、各検出において得られた干渉成分の検出値から、測定対象の深さ方向の反射構率分布や散乱係数分布のみを取り出す演算を行うことで、測定対象の構造測定を行う。 （もっと読む）

【課題】 安定且つ高速に被検体の光学プロファイルを測定することができる周波数偏移干渉計及びその方法を提供する。
【解決手段】 連続同調型光源１６により被検体１２の光学プロファイルを測定する周波数偏移干渉計１０が提供される。被検体１２の一連の干渉画像が捕捉されると共に、干渉画像が形成された時のビーム周波数が取得される。捕捉された被検体の干渉画像から、監視ビーム周波数が所定のビーム周波数間隔パターンに略一致する限定された数の干渉画像が選択される。選択された干渉画像に基づいて更に処理が継続される。 （もっと読む）

【課題】目標とする非球面波をより正確に発生する非球面波発生光学系。
【解決手段】非球面波を発生するための非球面波発生光学系は、第１非球面を有する第１アルバレツレンズと、第２非球面を有する第２アルバレツレンズと、前記第１アルバレツレンズと前記第２アルバレツレンズとの間に配置されたリレー光学系とを備え、前記第１非球面および前記第２非球面が前記リレー光学系に関して互いに共役な位置に配置され、前記非球面波発生光学系の光軸をｚ軸とするｘｙｚ座標系において、前記第１非球面の形状をｚ＝ｆ１（ｘ、ｙ）、前記第２非球面の形状をｚ＝ｆ２（ｘ、ｙ）とし、前記リレー光学系の倍率をβ、定数をＣとしたときに、前記第１非球面および前記第２非球面が、ｆ２（ｘ，ｙ）＝ｆ１（βｘ，βｙ）＋Ｃを満たすことができる形状を有する。 （もっと読む）

【課題】フーリエ変換法の解析誤差を確実に抑える波形解析装置、波形測定装置、波形解析プログラム、及び波形解析方法を提供する。
【解決手段】波形解析方法は、キャリアが重畳された入力波形へフーリエ変換法による波形解析処理を施すことにより前記入力波形の位相情報を抽出する波形解析方法であって、前記入力波形のフーリエスペクトルから＋１次スペクトルと−１次スペクトルとの少なくとも一方を狭帯化してからそれらのスペクトルを分離し、分離されたそれらのスペクトルの一方に基づき前記入力波形の位相情報を算出する解析手順と、前記入力波形のモデルに対して前記解析手段と同じ波形解析を試験的に施すことにより、前記入力波形を波形解析する際に前記解析手順で発生する解析誤差を見積もる見積もり手順と、前記見積もり手順で見積もった解析誤差により前記解析手段が算出した位相情報を補正する補正手順とを含む。 （もっと読む）

【課題】 可動部に傾きが生じても、細かい干渉縞の発生を防止することが可能な変位計測装置を提案する。
【解決手段】 変位計測装置１は、第一のベース２と、第一のベース２に対して可動に設置された第二のベース３と、を有している。第一のベース２には、光源４と、光源４から照射される光を測定光と基準光とに分岐するビームスプリッタ５と、ビームスプリッタ５からの基準光を第一の反射板６の方に向けて反射する第三の反射板８と、第一の反射板６で反射された基準光と第二の反射板７で反射された測定光との干渉光を検出する光検出器９およびλ／４波長板１０が設けられている。第二のベース３には、反射面が第二の反射板７の反射面と平行に設置されている第一の反射板６およびビームスプリッタ５からの測定光を反射する第二の反射板７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】表面高さ情報および／またはその複雑な表面構造についての情報を、抽出すること。
【解決手段】試験対象物の第１の表面箇所に対する走査干渉分光信号から導出可能な情報と試験対象物の複数のモデルに対応する情報とを比較することを含む方法であって、複数のモデルは、試験対象物に対する一連の特性によってパラメータ化される方法。比較される導出可能な情報は、試験対象物の第１の箇所における走査干渉分光信号の形状に関する。 （もっと読む）

【課題】干渉計による２次元位相デ−タのアンラップ方法および装置において、データの欠落があっても有効領域内の２次元位相データ全体をアンラップすることができるようにする。
【解決手段】同一のオフセット値を有すると見なすことができる２次元位相データの集まりである共通オフセット位相データ群を生成する共通オフセット位相データ群生成工程Ｓ１０と、共通オフセット位相データ群の各オフセット値ｚ_０ｉに対応するパラメータＺ_１＿ｉをフィッティング関数を仮定して推定するオフセット推定工程Ｓ１１と、推定された各パラメータＺ_１＿ｉのうちいずれか、またはＺ_１＿ｉによる加重平均位相を基準位相値Ｏとして、ｚ_０ｉ＝２π・ｒｏｕｎｄ｛（Ｚ_１＿ｉ−Ｏ）／２π｝を算出し、このオフセット値ｚ_０ｉを共通オフセット位相データ群からそれぞれ減算して２次元位相データを生成するアンラップ工程Ｓ１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】安価な構成で、被検物等の検査を容易に行うことができる干渉計を提供する。
【解決手段】本発明の干渉計は、ワークＷの表面形状によって形成される干渉縞を撮像するＣＣＤ３１を有する干渉計本体と、ＣＣＤ３１により撮像された干渉縞の画像を表示する表示部７０と、表示部７０に表示された干渉縞の評価基準となる基準線を含むチャートを表示させるパソコン６０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表面を透明膜で覆われた測定対象物の透明膜の表面高さ、透明膜の裏面高さ、透明膜の膜厚、及び測定対象物の表面形状を求める。
【解決手段】参照面を光の進行方向に対して任意角度の斜め傾斜姿勢で配備して測定対象面と参照面から同一光路を戻る反射光により干渉縞を発生させる。干渉縞の各画素の強度値をＣＣＤカメラで１回撮像し、ＣＰＵは算出対象画素毎とその近傍画素の強度値において、当該画素とその近傍画素の干渉縞波形の直流成分、正弦成分の振幅、及び余弦成分が一定であると仮定することで、干渉縞波形の直流成分、正弦成分の振幅、及び余弦成分の振幅を求めて測定対象物のパラメータおよび装置のパラメータに基づいて当該画素の光の強度値を参照面からの参照光の強度値と測定対象物からの物体光の強度値に分離する。両強度値から未知パラメータである透明膜の表面高さ、裏面高さ、膜厚、及び測定対象物の表面形状を求める。 （もっと読む）

【課題】被測定体によって形成される光束の波面を高精度（例えば、高空間周波数のうねり成分まで）、且つ、短時間で測定することができる測定方法を提供する。
【解決手段】参照面を有する光学系と、検出面を有する検出部とを備え、前記光学系によって前記検出面に形成される被測定体又は基準面からの被検光束と前記参照面からの参照光束との干渉パターンを前記検出部で検出する測定装置を用いて、前記被測定体によって形成される光束の波面を測定する測定方法であって、前記測定装置における位相伝達関数及びパワースペクトル密度を用いて、前記測定装置による測定結果から前記光学系に起因する波面誤差を分離する測定方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】自己結合型のレーザ計測器を利用して、簡単かつ安価な構成で精度の良い反射型光電スイッチを実現する。
【解決手段】反射型光電スイッチは、半導体レーザ１と、半導体レーザ１から放射されたレーザ光と物体１０からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手段（フォトダイオード２、電流−電圧変換増幅部５）と、物体１０が基準距離の位置にあるときの干渉波形の周期を基準周期としたときに、干渉波形の周期の度数を基準周期に基づく値で分別する周期分別部７と、周期分別部７の測定結果から物体１０が基準距離よりも近距離にあるか遠距離にあるかを判定する判定部８とを有する。 （もっと読む）

【課題】干渉計の部品、構成の変更や大掛かりな補正をすることなく、被測定物の複数の被測定個所の寸法を正確に測定できる寸法測定方法を提供する。
【解決手段】光波干渉を用いて、予備値が既知の被測定物の相対向する端面間の寸法を、複数の被測定個所において測定する寸法測定方法であって、平行光線を直進光と参照光とに２分割し、直進光の光路中に、直進光の波面に設定した測定位置と複数の被測定個所のうちの１つとが重なるように被測定物を挿入する設置過程と、直進光が被測定物に反射した反射光を参照光と干渉させ、得られた干渉縞を基に被測定個所の寸法を求める測定過程と、を複数の被測定個所の全てについて実施する。 （もっと読む）

【課題】0.9〜1.2μｍの中心波長の光を発光する、高出力化可能な光半導体素子を得る。
【解決手段】 光半導体素子１を、InP基板10と、InP基板10の上に積層された第一導電型クラッド層１１と、第一導電型クラッド層１１の上に積層された量子井戸活性層１３であって、InGaAsPあるいはAlGaInAsからなる量子井戸層１３ａと、量子井戸層１３ａを挟むように積層されているInPあるいはGaInPからなる障壁層１３ｂとを備えた量子井戸活性層１３と、量子井戸活性層１３の上に積層された第二導電型クラッド層１５とを備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】干渉計におけるコヒーレントアーティファクトの影響を低減するための干渉計装置および方法を提供すること。
【解決手段】干渉計におけるフリンジコントラストは、干渉図形内のフリンジコントラストが維持される一方で、干渉計において発生された望ましくない放射光のコヒーレントな重なりが抑制されるために、干渉計においてコヒーレントアーティファクトが存在する。干渉計における照明の異なるオフアクシス場所の視界からテスト表面の選択された特性の個々の干渉図形を生成する照明および干渉結像アーキテクチャの使用がなされ、次いで、それらのアーキテクチャを結合して、フリンジコントラストを維持すると同時に、異なる視界領域において存在するようにアーティファクトを配列することにより、結合された干渉図形における寄与が弱められる。 （もっと読む）

【課題】構成簡易でアライメント調整を容易に行うことができ、かつ平行平面ガラス等の被検体を測定するのに適した光波干渉測定装置を得る。
【解決手段】照明用光束を出力する照射部１と被検体７との間に、第１のハーフミラー２と第２のハーフミラー３を互いに略平行に配置し、被検体７の表面７１からの被検光と、照射部１から出力され第１のハーフミラー２を透過した照明用光束のうち、第２の光束分離基準平面３１、第１の光束分離基準平面２１、および第２の光束分離基準平面３１で順次反射され、さらに第１のハーフミラー２を透過して照射部１に戻る参照光との光路長合わせを、第１および第２のハーフミラー２、３間の距離を調整することにより行う。 （もっと読む）

【課題】フリンジスキャン干渉縞計測方法および干渉計において、簡素な構成を用いて、容易かつ高精度な形状測定を行うことができるようにする。
【解決手段】同一の光束を測定光と参照光とに分割して干渉縞画像を取得し、さらにこの状態から、位相増分Δφずつシフトして、合計ｎ個（ｎは３以上の整数）の干渉縞画像を取得し、これらｎ個の干渉縞画像から被測定面の形状を算出するフリンジスキャン干渉縞計測方法であって、位相増分Δφを細分する位相量で０からΔφ・（ｎ―１）までシフトさせてｎ個の干渉縞画像の候補画像を取得する候補画像取得工程（ステップＳ１）と、各候補画像の同一位置における位相変化を算出する位相変化算出工程（ステップＳ２）と、この位相変化に基づいて、候補画像のうちからｎ個の干渉縞画像を選択する画像選択工程（ステップＳ４）とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定光と参照光の干渉光の周波数解析を行うことにより断層画像を取得する光コヒーレンストモグラフィー計測において、所望のタイミングで、自動的に測定光と参照光の光路長差を調整する。
【解決手段】光プローブ230において、測定光Ｌ１を照射する位置を微少に移動する毎に、断層情報取得部250は、光路長調整用の断層情報を取得する。リアルタイム光路長調整部253は、光路長調整用の断層情報に基づいて、基準点である光プローブ230の窓入射点16aにおいて、測定光Ｌ１+反射光Ｌ３の光路長と参照光Ｌ２の光路長とが一致するように、光路長変更手段220の反射ミラー22を移動し、参照光Ｌの光路長を調整する。 （もっと読む）

【課題】 操作性を向上することができる干渉縞解析方法、干渉縞解析プログラム、および記録媒体を提供する。
【解決手段】 干渉縞の縞本数が、所定の許容範囲である目標縞本数範囲内となるようにアライメントを行うため、干渉縞の縞本数を検出する処理を含むアライメント処理が行われる（ステップＳ２０１）。続いて、検出した縞本数が許容範囲（目標縞本数範囲Ａ）内であるか否かが判定される（ステップＳ２０２）。縞本数が目標縞本数範囲Ａ内であった場合には、自動的にアライメント処理から縞解析処理に移行し、干渉縞を解析して被検体の収差が数値化される（ステップＳ２０３）。 （もっと読む）

【課題】多波長干渉計の空間的位相シフト法において高速、かつ、低コストで空間キャリアの変調に対応できる干渉縞解析方法及び収差測定方法を提供する。
【解決手段】ｔｉｌｔ干渉縞周波数設定ステップと、空間キャリアを重畳したｔｉｌｔ干渉縞形成ステップと、ｔｉｌｔ干渉縞周波数設定ステップで設定された周波数とｔｉｌｔ干渉縞形成ステップにおいて形成されたｔｉｌｔ干渉縞の周波数とが等しくなるようにアライメントするｔｉｌｔ干渉縞アライメントステップと、干渉計の光源波長を変更した場合に干渉縞解析用パラメータのｔｉｌｔ干渉縞の周波数を変更された光源波長に応じて、算出するｔｉｌｔ干渉縞周波数算出ステップと、干渉計の光源波長を変更した場合に、ｔｉｌｔ干渉縞形成ステップで形成されたｔｉｌｔ干渉縞を、ｔｉｌｔ干渉縞周波数算出ステップにおいて算出したｔｉｌｔ干渉縞周波数を用いて干渉縞解析する干渉縞解析ステップと、を備える。 （もっと読む）