【課題】ＩＣチップにダメージを与えないで最小厚さまでモールドを高速かつ精緻に、簡素な装置構成で除去できるモールド除去方法およびモールド除去装置を提供する。
【解決手段】モールドの除去条件を設定する工程と、レーザ光の出射位置にＩＣチップを設置する工程と、モールド部材の高さ位置方向の位置合わせを行い、計測用レーザを出射して該モールド部材のＸおよびＹ方向座標位置の反射／散乱光量を測定し、測定値を記憶する測定工程と、前記モールドの除去条件を満たすか判断する工程と、前記モールドの除去条件を満たしている場合はモールドの除去条件に応じて設定した加工条件でレーザ仕上げ加工を行う仕上加工工程と、前記モールドの除去条件を満たしていない場合は前記記憶したＸおよびＹ方向座標位置の測定値に応じて設定した加工条件でレーザ一次加工を行い、前記レーザ一次加工の完了後に前記測定工程の前に戻る一次加工工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光切断方式による測定精度を向上する。
【解決手段】Ｚ方向に所定の間隔ｄｚ離れて行われる２回の測定処理で求められる基準球３１の中心位置のＹ座標の差分に基づいて、光切断プローブ２２のＸ方向の駆動軸周りの回転誤差を検出する。また、Ｘ方向に所定の間隔ｄｘ離れて行われる２回の測定処理で求められる基準球３１の中心位置のＹ座標の差分に基づいて、収束計算を行い、光切断プローブ２２のＺ方向の駆動軸周りの回転誤差を検出する。Ｚ方向に所定の間隔ｄｚ離れて行われる２回の測定処理で求められる基準球３１の中心位置のＸ座標の差分に基づいて、または、Ｚ軸に直交する既知の基準面３２を被検物として測定処理を行わせて、その測定処理で求められる平面の基準面に対する傾きに基づいて、光切断プローブ２２のＹ方向の駆動軸周りの回転誤差を検出する。本発明は、例えば、光切断方式による三次元測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】被検出物の位置を的確に判別することができる位置判別装置を提供する。
【解決手段】一対の撮像手段１１を、それらの光軸が互いに交差し、且つ、光軸の交点ｏに対して上下方向の下方側に位置し、且つ、光軸の交点ｏに対して車体前後方向の両側に位置する状態で分散配置して、判別手段を、光軸の交点ｏの上下方向の下方側及び上方側における光軸の交点ｏから設定距離未満である範囲を非検出範囲とし、光軸の交点ｏの上下方向の下方側における光軸の交点ｏから設定距離以上離れた範囲を検出範囲として、一対の撮像手段１１にて撮像された一対の画像における被検出物６の撮像位置の差に基づいて検出範囲における基準位置に対する被検出物６の上下方向での位置を判別するように構成する。 （もっと読む）

【課題】本来ならば正常と判断すべき塗布状態を異常と誤判断してしまうことを防止して、検査精度の向上を実現することの可能な塗布状態検査装置を提供する。
【解決手段】ワーク上における塗布物の塗布部を撮影する撮像装置と、前記撮像装置から得られた撮影画像から前記塗布物の塗布領域を抽出し、前記塗布領域に不要塗布部が含まれているかを判断し、大きさが所定値以下の前記不要塗布部を前記塗布領域から除外する画像処理装置とによって塗布状態検査装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】微粒子の接触体を用いて、矩形溝形状を有するマイクロマシン等の三次元形状を高精度で測定する。
【解決手段】接触体６は、可撓性の支持部材５と透明な固定部材４によってプローブ本体９に連結される。対物レンズ３にてレーザ光Ｇを集光させ、接触体６の底面に焦点を合わせて光放射圧によって接触体６を被測定物１３の表面に接触させる。レーザ光Ｇを音響光学偏向器２によって偏向させることで、接触体６を任意の方向に振動させることができる。被測定物１３が矩形溝形状を有する三次元構造体であっても、接触体６の振動方向を調整することで高精度な形状測定を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ダンパーの開口率を安価な設備で測定する空調装置。
【解決手段】吹き出しグリル１１の風上側にダンパー１２を備えた吹き出し口装置１と、吹き出しグリル１１の風上側に設けられた反射鏡１５と、ダンパー１２の風上側に配置された光学測定ユニット２と、光学測定ユニット２に設けられ、ダンパーの開口１２ｅ１の最大開口幅の１／２以上の幅を有する平行光線４を、反射鏡１５に垂直に投射する投光器２７と、光学測定ユニット２に設けられ、平行光線４が開口１２ｅ１を通過して反射鏡１５により反射された反射光４ａの強度を測定する光検知器２５と、平行光線４が吹き出し口装置１の開口１２１ｅ１を通過する位置に光学測定ユニット２を移動する移動手段５とを有し、反射光４ａの強度に基づきダンパー１２の開口率を算出する。 （もっと読む）

【課題】被記録媒体の移動方向と直行する被記録媒体の幅と幅方向に沿った厚さとが均一でない被記録媒体であっても、良好な転写性を得ることができる被記録媒体検出装置、画像形成装置、及び画像形成方法を提供する。
【解決手段】光源と、光源からの光を被記録媒体上に搬送方向と垂直な方向に偏向走査する走査光学段と、被記録媒体を透過した光を受光して電気信号に変換する変換手段と、変換手段からの電気信号に基づいて被記録媒体の厚さ及び幅を検出する検出手段と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】高い精度を有して良好に操作でき且つ安定な長さ測定装置を創作すること。
【解決手段】長さ測定装置は、支持体（１２）とその支持体に摩擦の乏しく固定された物差し（１１）とを包含する構成ユニット（１）を有する。支持体（１２）は位置測定するために、測定すべき物体（１３）に固定式に固定できる。さらに、保持体（３）が設けられていて、この保持体により物差し（１１）が固定点（Ｐ）に支持体（１２）を避けて測定すべき物体（１３）に固定できる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造であっても、レーザ変位計の温度変化による測定値の変動を精度良く校正することが可能な露光装置、該露光装置の校正方法及び校正用部材を提供する。
【解決手段】マスクパターンを形成してあるマスク４を保持するマスク保持部と、露光対象となる基板を保持する基板保持部とを有し、光源９から照射された光により、マスクパターンを基板表面に露光する。マスク４の下面と基板の上面との間の距離を測定する一又は複数のレーザ変位計を備えており、レーザ変位計の温度校正の基準となる基準板を含む校正用部材２０を備えた校正器具３０を、光源９の照射領域とは離隔して設置する。 （もっと読む）

【課題】撮像手段によって撮像された切削溝の状態を正確に判定することができる機能を備えた切削装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削手段と、光照射器によって切削溝に光を照射して切削溝を撮像する撮像手段と、撮像された切削溝の状態を判定する制御手段と、加工条件を入力する入力手段と、表示手段と、警報手段とを具備する切削装置であって、制御手段は、入力された加工条件および撮像された切削溝の状態に基づいて切削溝が適正か否かを判定する切削溝判定工程と、切削溝が適正でないと判定した場合には、光照射器の光量を所定範囲において調整しつつ適正であると判定したときに光量を修正光量として変更し、光照射器の光量を所定範囲において調整しても切削溝が適正でないと判定した場合には警報手段を作動するとともに表示手段にエラーメッセージを表示する光量学習工程を実行する （もっと読む）

【課題】電子部品の高いスループットの自動的検査を可能にする、高速オートフォーカスの方法を提供することである。
【解決手段】強い光、弱い光、及び蛍光の光の用途における、要素の光学検査中の検査速度を最適化する方法。自動収束メカニズムと、高速度ＣＣＤカメラと高開口数（ＮＡ）光学部品とを組み合わせたときに、優れた信号対ノイズ比、解像度、及び検査の速度性能を達成する、蛍光及び非蛍光用途に対して最適化された方法が記載される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、フォトマスクの特性を検出することができるフォトマスクの特性検出装置およびフォトマスクの特性検出方法を提供する。
【解決手段】被検出体に形成されたパターンの光学像に基づいて検出データを作成する検出データ作成部と、前記パターンに関する参照データを作成する参照データ作成部と、特性の検出対象となるパターンに対応する参照パターンと、前記参照パターンの位置情報と、を前記参照データから抽出する抽出部と、前記参照パターンに基づいて特性を検出する領域を設定するとともに、前記位置情報に基づいて前記検出データから前記特性の検出対象となるパターンを抽出する第１の領域設定部と、前記特性を検出する領域における前記特性の検出対象となるパターンの特性を受光面上に結像された光学像を光電変換することで検出する検出部と、前記検出された特性を集計する集計部と、を備えたことを特徴とするフォトマスクの特性検出装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】センサヘッドも計測システムも一つだけでよい溶接用レーザ・視覚複合センサおよび溶接制御方法を提供する。
【解決手段】開先上に投光したレーザ光（レーザスリット光２５）の開先断面像と、アーク直下の溶融池及び電極の画像を得るための溶接用レーザ・視覚複合センサであって、トーチホルダー２０上で、溶接トーチ２２を中心として、トーチ移動方向の前方及び後方の一方にレーザ投光器２４を、他方に撮影カメラ２６を配設し、レーザセンサとして使用するときは、前記レーザ投光器２４を開先の真上から投光できる姿勢として、開先断面像を前記撮影カメラ２６で撮像し、視覚センサとして使用するときは、前記溶接トーチ２２を被溶接物１０に対して溶接に必要な姿勢として、アーク直下の溶融池及び電極の画像を前記撮影カメラ２６で直接撮影する。 （もっと読む）

【課題】ノズルに傷がつくことを防止しつつ、高精度かつ高効率にノズルギャップの測定を行うことができるノズルギャップ測定装置を提供すること。
【解決手段】センサ装置１３０から光ビームＸ１を照射し、ノズル２２と被照射面１１０ａとで反射した反射光Ｘ２を受光して、ノズル２２と被照射面１１０ａとの間のギャップを測定することで、ノズルギャップを測定することができる。このように、光ビームＸ１を用いて非接触状態でノズルギャップを測定することができるので、ノズル２２に傷がつくことを防止することができる。また、当接面１２０ａをホルダ２３の底面２３ａに当接させることで、ノズルギャップを測定可能な状態とすることができるので、センサ装置１３０の設置や測定に要する時間を短縮して、高効率に測定することができると共に、測定者の個人差による測定精度のばらつきを回避して、高精度に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＯＳイメージセンサを用いて高速に高精細な３次元形状情報を得ることができる３次元形状センサ。
【解決手段】焦点距離が可変されるレンズ１と、レンズを通して測定対象を撮影するＣＭＯＳイメージセンサ２と、ＣＭＯＳイメージセンサで撮影された画像を１フレーム毎に読み出して所定の処理を行う信号処理部３と、１フレーム毎にレンズの焦点距離をステップ状に変化させるとともに１フレーム期間中では焦点距離を一定の値に保持するレンズ制御部６と、信号処理部で処理された画像とレンズの焦点距離情報とに基づいて撮影地点から測定対象までの距離を求める距離算出部４とを備える。 （もっと読む）

様々な計測システムおよび計測方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】ケーブル長さを正確かつ容易に計測できるようにする。
【解決手段】ケーブル計測管理装置１００は、ケーブルドラム９から引き出されたケーブル２を支持するケーブル支えユニット１５−１、１５−２と、ケーブル支えユニット１５−１、１５−２により支持されたケーブルの表面に光を照射し、その反射光を撮像面に結像させることにより該ケーブル表面の画像を撮像し、連続位置で撮像された画像間の相関をもとにケーブル２の長さを計測するケーブル計測ユニット１３とを具備する。 （もっと読む）

【課題】対象物の撮影画像に基づいて指定した目的像を対象物に投影する投影システムにおいて、撮影手段と投影手段との光軸差から生じる投影像と目的像とのずれを補正する処理を迅速に行う。
【解決手段】プロジェクタ１０の原像面上にて、目的像を構成する注目点Ｘに対応する原像対応点Ｗを探索する際の探索範囲を、注目点Ｘそれぞれに対応してビデオカメラ８及びプロジェクタ１０に関するエピポーラ幾何により定まる原像面におけるエピポーラ線Ｌpのうち一部区間に限定する。 （もっと読む）

【課題】画像特徴ベクトルを使用した画像パターン認識用のシステム及び方法を提供する。
【解決手段】画像特徴部に見つけられるベクトルに対応する、それぞれのベクトルインデックスを格納するため、ベクトルセットが生成される(ステップ２１０）。画像特徴部に対する各ベクトルの相関関係が計算される(ステップ２１５）。画像特徴部に対する各ベクトルの相関関係が対応のベクトルインデックスとともにベクトルセットに格納される(ステップ２２０）。次に特定される画像のために、上記トレーニング段階が繰り返される(ステップ２２５）。新しい画像の候補領域が特定される(ステップ２３０）。候補領域におけるベクトルに対応する特別のベクトルセットへの相関関係の平均が計算される(ステップ２３５）。候補領域が一若しくは複数のベクトルセットにより表される特徴部を示す可能性を判断するために、上記平均が評価される(ステップ２４０）。 （もっと読む）

【課題】軟包装材フィルムのパッケージの表面状態を高感度で検査することができ、シールの部特定とシール幅不良のある箇所の検出が精度良くかつ高速でできるような包装体のシール幅測定装置の提供を課題とする。
【解決手段】被検査物である包装袋を保持して搬送する搬送手段と、被検査物に線状光を照射する光源と、被検査物上の前記光源からの線状光が照射された領域を撮像する撮像手段と、前記撮像手段が撮像した画像を記憶する記憶手段と、前記記憶手段により記憶された画像に対して画像処理を行い被検査物の表面状態を判定する判定手段と、を備えることを特徴とする包装袋のシール幅測定装置。 （もっと読む）