【課題】 車両の振動に起因する撮像画像の変位量を算出すること。
【解決手段】 制御装置１０３は、カメラ１０１で撮像された撮像画像内で車両の振動に伴って画像内で上下に移動する移動成分を特定し、特定した移動成分の移動履歴に基づいて移動成分の振動周波数の強度を算出し、振動周波数の強度が最も高い振動周波数範囲を抽出し、抽出した所定の周波数範囲内における振動の平衡点で撮像された平衡画像を抽出し、抽出した平衡画像に基づいて、車両の振動によって変位する画像内の変位の中心位置である消失点を検出し、検出した消失点を監視して、各撮像画像における車両の振動に起因する画像の変位量を算出する。 （もっと読む）

【課題】安定してカメラ運動と３次元情報を同時に、かつ、ロバストに復元する。
【解決手段】時系列画像を格納する時系列画像データベース部１、そのデータベース部１から画像系列を取り出し、全フレーム間の特徴点の画像座標値を観測し、カメラ運動と３次元情報を復元するための元になる漸近行列データを生成する漸近行列生成部２、漸近行列データから平面運動と３次元情報を復元する平面運動・３次元情報復元部３、光軸回転以外の回転運動と光軸並進運動を復元し、カメラ運動を平面運動へ漸近（安定化）させるために次の反復が必要かどうかの判定を行い、反復が必要な場合は漸近行列生成部２へ漸近行列データを生成するために必要な情報を渡す安定化処理部４から構成される。 （もっと読む）

【課題】 振動による計測誤差及びステージ制御誤差を少なくすることができる計測装置及び、それを搭載した露光装置を提供する。
【解決手段】 露光動作中のステージの移動に伴う振動が取り付け部を介して計測装置の筐体１３ａに伝達される場合であっても、計測装置の筐体１３ａに振動を抑制する弾性体５２と質量体５３を有するマスダンパ５０を設けることにより、振動のエネルギーがマスダンパ５０に消費されて計測装置に生ずる振動が抑制され、マーク計測時に計測誤差が小さくなり高精度の計測が可能になる。 （もっと読む）

【課題】厚さの薄い平板状の被検体、特にウェーハを対象として高精度に平坦度、厚さなどの形状を測定し得る光学式形状測定装置を提供する。
【解決手段】エッジ部を介して略鉛直に保持されたウェーハ１の主面１ａ側及び裏面１ｂ側に対向配置された２つの基準平面基板１５，２５を備える光学測定手段１０，２０と、前記基準平面基板１５，２５とウェーハ１との間に、ウェーハ１と平行間隙を形成し且つウェーハに近接して配置された透明な剛体平板１９，２９を備えてなる。 （もっと読む）

（ｉ）第１の偏光および第１の周波数を有する第１のビーム成分と、第１の偏光と異なる第２の偏光および第２の周波数を有する第２のビーム成分を含むビームを、光接続を使用して干渉計ヘッドに向ける工程と、（ｉｉ）第１のビーム成分の偏光を第２の偏光まで回転させる工程と、（ｉｉｉ）第２のビーム成分の偏光を第１の偏光まで回転させる工程と、（ｉｖ）光接続を使用して、回転された偏光を有するビームを干渉計ヘッドから戻す工程と、を含む方法。例えば、この向ける工程は、第１のビーム成分を光接続の第１のファイバに向ける工程と、第２のビーム成分を光接続の第２のファイバに向ける工程とを含んでもよい。第１のビーム成分は、第２のファイバを使用して戻してもよく、第２のビーム成分は、第１のファイバを使用して戻してもよい。
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本発明は、ビーム供給部分と、該ビーム供給部分に接続されており、それぞれの測定ビーム（ＭＳ１，ＭＳ２）を配属されている表面個所に送出しかつ表面から戻し反射されたビームを受け取るための複数のプローブ出口（１，…，６）を有しているプローブ装置（ＳＡ）と、表面から戻し反射されたビームに基づいてジオメトリーデータを特定するための後置接続されている評価装置（ＡＥ）とを用いて少なくとも１つの物体（ＢＴ）の表面のジオメトリーデータを捕捉検出するための光学的な測定システムに関する。サーフェスジオメトリー、例えば孔の直径および丸さの非常に正確でかつ機械的にロバストな特定は、プローブ出口（１，…，６）を有しているプローブ装置（ＳＡ）が、表面のジオメトリーデータの他に同時に、相互に固定の位置関係において位置決めされているプローブ出口（１，…，６）を有するプローブ装置（ＳＡ）の、単数または物体に対する相対位置も少なくとも、複数の重要な自由度に関して突き止めることができるように実現されていることによって可能になる。
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【課題】撮像のゆがみが表面実装基板等の半田付けなどの検査に際して無視できるとともに、焦点深度を深くし、且つ、検査装置を高速移動しても装置振れや振動の影響が撮像に現れないようにし、同時に、検査装置自体をコンパクトで安価なものにする。
【解決手段】第１ミラー４を、長焦点レンズを備えたビデオカメラ３の下方に当該ビデオカメラ３の光軸に対し４５゜の傾斜角をなして配置し、第２ミラー５を、第１ミラー４から所定間隔を空けて当該第１ミラー４に対向する態様で配置し、第３ミラー６を、第２ミラー５から上方に所定間隔を空けて当該第２ミラー５に対向する態様で配置し、第４ミラー７を、第３ミラー６に対向するとともに、被検査対象Ｗに対向する態様で、且つ、第１ミラー６と第２ミラー７との間隔の略１／２に相当する距離を隔てて配置する。これにより、本外観検査装置１と被検査対象Ｗとの外見上の対物距離は短縮される。 （もっと読む）

【課題】振動の影響を受けずに、被測定物の高さを精度良く測定する。
【解決手段】受光系の焦点位置を移動しながら、被測定物の表面又は基準面からの反射光をピンホール１４を通して受光する。受光系の焦点位置が測定物の表面又は基準面に合っていないとき、反射光はピンホール１４で遮断されてほとんど受光されない。受光系の焦点位置が測定物の表面又は基準面に合ったとき、反射光はピンホール１４を通過して強く受光される。受光した反射光の輝度信号の変化から、被測定物の表面に合った光学系の焦点位置と、基準面に合った光学系の焦点位置とを検出し、両者の差異から被測定物の高さを求める。 （もっと読む）

【課題】構成簡易でコンパクトな光学系を備え、かつ光学系の調整を容易に行なうことが可能な波面測定用干渉計装置、および光ビームの波面測定と光ビームスポットの特性測定とを行なうことが可能な光ビーム測定装置および方法を得る。
【解決手段】光ビーム測定装置１０Ａは、光源部１１から射出された光ビームを２つの光束に分離するビームスプリッタ１３と、分離された一方の光束の一部を被検光束として入射方向と逆向きに反射する半透過反射面１５ａと、半透過反射面１５ａを透過した光束の一部を波面整形された基準光束に変換して射出する反射型の基準光生成手段２３とを備えており、光ビームの波面測定と光ビームスポットの特性測定とを行なうことができる。 （もっと読む）

本発明の全反射鏡を利用したビジョン検査装置は、部品が実装された印刷回路基板を適正検査位置に固定させる基板位置制御モジュールと、前記基板位置制御モジュールの直上部に設置され、前記印刷回路基板を照明する１次照明灯が具備される独立照明部と、前記独立照明部の直上部に設置され、Ｘ−Ｙ軸回転モーターの軸に全反射鏡を付着して前記印刷回路基板上の希望する位置座標に反射角を変更する撮影位置制御モジュールと、前記撮影位置制御モジュールから反射された前記印刷回路基板の映像を獲得するカメラと、前記撮影位置制御モジュール及び基板位置制御モジュールを制御するモーションコントローラと、前記独立照明部の作動を制御する照明コントローラと、前記カメラの作動を制御してカメラに入射される映像をデジタルデータに変換する映像プロセッサからなる制御部と、前記カメラを通じて獲得した映像を判読して不良可否を判定するビジョン処理部とを含む。
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