【課題】 例えば、製造工程等において搬送されつつあるフィルムように、移動途中の測定対象物についても精度良く膜厚を測定し得るような膜厚測定方法を提供することを一の目的とする。
【解決手段】 薄膜表面に光を照射し、該薄膜からの反射光を分光して分光スペクトルを取得し、該分光スペクトルから前記薄膜の膜厚値を算出する膜厚測定方法であって、
１）取得した前記分光スペクトルから仮の膜厚値を求めるステップと、
２）前記仮の膜厚値の近傍から選択された複数の膜厚値毎に、前記薄膜に係る屈折率の波長分散式モデルを作成するステップと、
３）前記薄膜について別途得た所定波長に対する屈折率と、前記複数の膜厚値毎に作成された前記屈折率の波長分散式モデルから求められる該所定波長に対する各屈折率とをそれぞれ比較するステップと、
４）前記３）のステップで比較した屈折率の差を評価して最終的な膜厚値を求めるステップとを有することを特徴とする膜厚測定方法による。 （もっと読む）

【課題】搬送中の振動による誤差を補正する。
【解決手段】三次元形状計測システム１は第１基準物１１および第２基準物２２を備えている。三次元形状算出部１８ｂは、測定対象物１０とともに搬送される第１基準物１１および第２基準物２２の像の形状に基づいて、測定対象物表面による反射光の像の形状を式（３）を用いて補正する。このように、測定対象物１０とともに搬送されるものの形状に基づいて補正を行うことにより、本発明によれば、搬送の前後段で配置された例えば生産機械の振動による時間的なデータずれを補正することができる。 （もっと読む）

【課題】ロール成形時における製品のダイナミックな変形を高速度カメラにより瞬時に判断し、その矯正のためのパラメータを自動計算するインラインロールの形状計測システムを提供すること。
【解決手段】ロール成形機３によって連続的に成形された後に走行切断機５によって所定長さに切断される金属製品７の形状を画像処理によって計測する形状計測システム２１であって、移動する金属製品７の上方からレーザ光を照射するレーザ光照射手段２５と、前記金属製品７における前記レーザ光が照射されている位置を撮像する撮像手段２３と、前記撮像手段２３によって得られた画像情報を処理する計算手段２６とを備え、前記撮像手段２３は、前記走行切断機５の下流側において前記金属製品７を撮像し、前記計算手段２６は、前記画像情報の時間変化に基づいて、前記金属製品７の基準形状に対する変形量を計測する。 （もっと読む）

【課題】
トンネル内トロリ線の支持点を検測車の走行状態においてデータ処理装置の処理ロードを低減でき、さらにトンネル構造の違いで支持点に多少の上下動があっても検出することができるトロリ線の支持点検出装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、トンネル内においてトンネル壁面に達しない距離限定の距離センサにより斜め方向でトロリ線支持構造物を検出する。これによりトンネル構造に多少の相違があってもトロリ線支持構造物の位置変動に対して距離が稼げ、さらにトンネル壁面の距離変動に対しても検出する対象に対して距離限定がされているので、支持点の誤検出を防止できかつセンサ検出によりデータ処理装置の処理ロードを低減できる。 （もっと読む）

【課題】簡易な装置構成で振動を検出できるとともに、振動検出時におけるサイクルタイムへの影響を小さくできる振動検出方法を提供すること。
【解決手段】本発明の振動検出方法は、略一定ピッチでパターンが繰り返し形成されたパターン繰り返し形成部を有する被測定物の外観検査を行う際に被測定物に発生した振動を検出する振動検出方法であって、パターン繰り返し部を撮像して検査画像を得る撮像工程Ｓ１１と、検査画像中のパターンの繰り返し方向における輝度分布に基づいて、繰り返し方向の複数箇所でパターン間の距離を測定する距離測定工程Ｓ１２と、パターン間の距離の繰り返し方向での変動に基づいて、撮像中に発生した振動を検出する振動検出工程Ｓ１４と、を備え、振動が検出された場合に、撮像工程Ｓ２１、距離測定工程Ｓ２２、および振動検出工程Ｓ１４において、撮像および振動検出を再度行う。 （もっと読む）

本発明は、三角法を用いて光学記録装置（１）によって物体を測定する方法に関する。第１のシャッター手段（３．１）によって第１のパターン（１１．１）が生成され、記録対象物体（８）に第１の投影ビーム（７．１）として投影される。少なくとも１つの別のシャッター手段（３．１〜３．４）によって別のパターン（１１．２〜１１．４）が生成され、記録対象物体（８）に別の投影ビーム（７．２〜７．４）として投影される。第１のパターン（１１．１）と別のパターン（１１．２〜１１．４）は物体（８）から観察ビーム（１３．１〜１３．４）として反射され、物体の３Ｄデータセット（２１）を得るために少なくとも１つの記録手段（６、６．１、６．２）によって記録される。投影された第１のパｔｓ−ン（１１．１）と別のパターン（１１．２〜１１．４）は少なくとも１回の三角法記録（２０、５３、５４）で少なくとも１つの記録手段（６、６．１、６．２）を用いて同時に記録される。

（もっと読む）

本発明は、３Ｄデータセットを得るために被走査物体（７）上にパターン（９、９’）を投影し、投影パターン（９、９’）を画像（４０、４１）に記録する、三角測量法によって物体の三次元形状を光学的に測定する方法に関する。少なくとも１枚の第１の画像（４０）を作成する第１の工程において、第１のパターン（９）を投影し、少なくとも１枚の別の画像（４１）を作成する第２の工程において、位置または形状に関して第１のパターン（９）からずれている別のパターン（９’）を被走査物体（７）上に投影して画像（４１）を作成する。第１の画像（４０）と別の画像（４１）は、少なくとも１つの共通点（４４）を含む。前記画像（４０、４１）から得られた３Ｄデータが３Ｄデータセットにおける共通点（４４）の３Ｄデータを基準にして少なくとも一致するように、少なくとも１つの共通点（４４）の３Ｄデータに基づいて、画像（４０、４１）から得られた３Ｄデータを次の工程で合成する。

（もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置に関する振動モードと、それらのそれぞれの大きさの尺度とを決定するためのシステム及び方法を提供すること。
【解決手段】投影平面内の画像位置でエアリアル画像を投影し、
エアリアル画像の強度を画像マップにマッピングし、画像マップはサンプル抽出箇所の座標の値とそれぞれのサンプル抽出箇所でサンプル抽出された強度の値とを含み、
スロット・パターンを通して受け取ったエアリアル画像の強度を測定することによって、振動関連情報を決定するための方法。
さらに、この方法は、
画像マップから画像マップの傾斜部分の検出位置を決定するステップ、
この傾斜部分の検出位置で、エアリアル画像の時間的強度を測定しかつスロット・パターンと画像位置との相対位置を測定するステップ、
エアリアル画像の時間的強度から前記エアリアル画像に関する振動関連情報を決定するステップを含む。 （もっと読む）

【課題】レーザ光によりスキッド成分を検出できる変位計測方法及びその変位計測装置を提供するものである。
【解決手段】レーザ光Ｌによる発散光を、１／４波長板２５、及び被照射面１００の手前で焦点ｆを結ぶ対物レンズ２６を通して被照射面１００に照射し、被照射面１００で反射し、対物レンズ２６及び１／４波長板２５を通過した戻り光Ｌ′を用いて、スキッド成分を検出する。 （もっと読む）

【課題】微小機械-電気構造から構成された振動型発電装置の開発や保守管理に用いるのに適した振動変位計測装置を提供する。
【解決手段】先端にレンズなどの集光機能が付加され、振動緩衝のため粘弾性材料が使用されている、最大群遅延差が1ナノ秒／メートル以下のマルチモードファイバーを用いた光ファイバーケーブルによるプローブ部１と、連続発振するレーザー光源２−１による光源部２と、フォトダイオードによる光電変換部３と、光干渉ビート信号を配送する光サーキュレータ１０と、発電電圧又は発電電流値、及び振動変位情報を含む干渉ビート信号をディジタル信号に変換する信号収集部４と、電子計算機による解析部５と、記憶部６とを構成要素として有し、振動の瞬時変位量検出に光ホモダイン干渉計の原理を用いている。 （もっと読む）

【課題】基準レンズを必要とせずコンパクトであって振動等の外乱の影響を受けにくく非球面レンズ（自由形状レンズ）の測定を低コストで実現できる干渉縞生成方法および干渉計を提供する。
【解決手段】光源２から出た光Ｓ０を複屈折光学素子７で出射角度が微小に異なる２つの光束Ｓ１，Ｓ２に分割して第一，第二の検査光として被検体１３の被検面１３ａに垂直に照射し、その反射光を照射時の経路に沿って逆行する向きで複屈折光学素子７に透過させることで再び重ね合わせ、重ね合わせた光を受光面１２に投影することで干渉縞を生成する。第一，第二の検査光と其の反射光の往復経路が光源２から受光面１２に至る区間で完全に共通となり振動等に対しては相対運動が行われるので測定精度が向上し、温度差や空気の揺らぎ等による光路の微妙な変化、あるいは、干渉計の設置環境下で生じる振動や光学部品の経年変化等の影響を受けにくくなり、干渉縞の生成と維持が容易となって特殊な防振対策も不要となり簡単なもので済むようになる。 （もっと読む）

【課題】被測定物の振動の影響を受けず，また，干渉光の乱れや揺らぎを生じさせることなく，被測定物の厚みを簡易に高精度で測定できること。
【解決手段】電流変調電源１０により，半導体レーザ２に対する注入電流を一定周期で所定の電流値範囲において線形変化（ノコギリ状に変化）させ，その半導体レーザ２から出射される測定光を分岐させた測定光Ｐ１，Ｐ２を被測定物１の表裏相対する測定部位１ａ，１ｂへ導き，表裏の干渉計ａ２０，ｂ２０各々によって各測定光Ｐ１，Ｐ２を測定部位１ａ，１ｂに照射する物体光及び参照板に照射する参照光に分岐して干渉させ，各干渉計ａ２０，ｂ２０のビート信号の位相差を検出し，その検出信号を被測定物１の厚みに相当する測定値として出力する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、移動ステージの位置決めに用いるミラーの変形を防止し、振動を抑制して精密な位置決めを可能にすることを目的とする。
【解決手段】本発明は、ステージ２０２に搭載したミラー３０２を、ミラー容器３０６に貯めた液体にその一部を浸し、浮力によってミラー３０２の変形を防止すると同時に、周りの液体によりミラー３０２の振動振幅を小さくする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ワークを走査するＣＣＤカメラにおいて正確な走査結果を得ることができる部品検査装置を提供する。
【解決手段】 本発明の部品検査装置１は機台２と、この機台２の上面の一部に弾性部材３を介して載置されるベース板４と、このベース板４に載置され、ワークＳを搬送する回転搬送ユニット４０と、この回転搬送ユニット４０にワークＳを供給する供給ユニット１０と、前記ベース板４に載置され、回転搬送ユニット４０上のワークＳを走査するＣＣＤカメラ６０とから構成されることを特徴とする部品検査装置である。 （もっと読む）

【課題】テープ体の縁部についての形状の特性を示す特性データを正確に測定する。
【解決手段】移動機構２と、移動機構２によって移動させられている磁気テープ２００に向けて検査光Ｌを照射する発光部３１および磁気テープ２００を挟んで発光部３１に対向するように配置された受光部３２をそれぞれ有して受光した検査光Ｌに基づいて磁気テープ２００の縁部の幅方向に沿った変位量をそれぞれ検出する二組のセンサ３ａ，３ｂと、測定部とを備え、各発光部３１は、磁気テープ２００における各検査光Ｌの各照射位置が長さ方向において互いに異なり、かつ各検査光Ｌの光路が互いに交差するように配置され、測定部は、各センサ３ａ，３ｂによってそれぞれ検出された両変位量の差分量を求め、差分量に基づいて磁気テープ２００の縁部についての形状の特性を示す特性データを測定する。 （もっと読む）

【課題】疵の検査対象である薄鋼板等の帯状体のエッジの位置を精度良く特定して帯状体表面の疵を適切に検出する疵検査装置及び疵検査方法を提供すること。
【解決手段】移動する帯状体１を幅方向に横切る照射領域４００に帯状光を照射し帯状体１の表面の疵を検査する疵検査装置が提供される。この疵検査装置１００は、帯状体の移動方向Ｖに対して帯状体の幅方向の一側に所定の第１角度θ１だけ傾いた第１方向３１１に出射される第１帯状光と、帯状体の移動方向に対して帯状体の幅方向の他側に所定の第２角度θ２だけ傾いた第２方向３２１に出射される第２帯状光とを、照射領域に照射する照明手段１１０と、照射領域における第１及び第２帯状光の反射光を撮像して照射領域の画像を出力する撮像手段１２０と、撮像手段により撮像した反射光の強度に基づいて、照射領域の画像における帯状体１の幅方向の両エッジの位置を特定する画像処理手段１３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象物と結像光学系の距離にばらつきが生じても、正確に異物の存在を検知できる光学的測定装置を提供する。
【解決手段】搬送される測定対象物の表面の被測定領域にレーザ光を照射する光照射部と、該測定対象物の表面での散乱光を集光する集光光学系と、該集光光学系を介して前記散乱光を受光する受光部と、を有する光学的測定装置において、測定対象物を湾曲させ、レーザ光を測定対象物の接線方向から照射するようにした光学的測定装置とする。 （もっと読む）

【課題】 軌道確認車などの床下に配置され走行中にレール締結ボルトの緩み具合を検査する装置であって、締結ボルトの位置変動や車両の揺れがあっても検査が可能な鉄道レール締結ボルト緩み検査装置を提供する。
【解決手段】 ラインセンサ１がレール踏面４１とレールを挟んだ１対の締結ボルトの頂面４２が視野に入るように配置され、複数のスポットレーザ投光器２とラインセンサ１の検出軸とがひとつの平面内に来るように、かつスポットレーザのひとつがレール踏面で反射し、他のスポットレーザは測定時に１対の締結ボルトのそれぞれの頂面で少なくともひとつは反射するような位置に配置される。スポットレーザ投光器２を順次切り換えて励起し、点灯切り換えごとにラインセンサ１から得られるレーザ光反射位置に基づき、締結ボルトの頂面４２の高さから締結ボルトの緩みを検出する。 （もっと読む）

【課題】計測値の変動を小さくできるとともに、振動の影響が少ない干渉計を用いた位置計測技術を提供する。
【解決手段】基板ステージＰＳＴから反射される計測ビームＬＰＸ１と参照ビームＬＰＸ２とをビームスプリッタ２３Ｘで干渉させて、基板ステージＰＳＴの位置を計測する位置計測装置において、計測ビームＬＰＸ１の光路の一部に温度制御された空気を供給する温度安定化部２９Ｘと、その空気をその光路に沿って導く可動ダクト３０Ｘとを設け、可動ダクト３０Ｘをビームスプリッタ２３Ｘ及び基板ステージＰＳＴとは振動的に隔離された状態で支持する。 （もっと読む）

【課題】冷延鋼板のストリップの耳伸び・腹伸びに関する形状不良を安価にかつ精度良く検出することができるストリップ形状検出方法および装置を提供することを目的とする。
【解決手段】搬送中のストリップの一方の幅方向端部側から他方の幅方向端部側に向けて、少なくとも３つのレーザー平面光を前記ストリップの幅方向内の所定位置で互いに交差し、かつ交差角度を異にするように照射し、照射されたレーザー平面光を前記他方の幅方向端部側で受光し、該受光信号に基づいて前記ストリップの形状不良の判定およびその形状を検出する。 （もっと読む）