【課題】形状測定装置自体の振動や蛇行の影響を受けずに測定対象の形状を正確に測定すること。
【解決手段】高さ方向に関する測定対象の形状を左右同時に測定する測定ステップ（ＳＴＰ１）と、測定対象の右側及び左側の面全体を走査する走査ステップ（ＳＴＰ２）と、測定対象の右側測定データと左側測定データとから、それぞれ独立に短周期成分を除去する振動除去ステップ（ＳＴＰ３）と、短周期成分を除去した右側測定データと左側測定データとの両方を用いて長周期成分を除去する蛇行除去ステップ（ＳＴＰ４）とを含む。 （もっと読む）

【課題】 錠剤の振動やポケット内の姿勢に影響を受けることなく正確な検査が行えるようにすること
【解決手段】 ３Ｄカメラ装置は、容器フィルムのポケット部内に供給された錠剤を撮像し、三次元計測法により錠剤の表面の各位置の高さ位置を濃淡画像で表したプロファイル画像を求め、処理装置２２に送る。処理装置は、プロファイル画像に基づき錠剤の外観検査を行うもので、プロファイル画像中の錠剤を示す画像データを抽出する錠剤検出部３１と、抽出した画像データをその錠剤の表面が平坦になるように補正処理をして平坦化画像を生成する平坦化処理部３２と、その平坦化画像に基づいて外観異常の判定を行う欠陥解析部３４を備える。平坦化処理部３２により錠剤の表面の高さ位置が平坦（水平）に正規化されるので、簡単な閾値処理で異常の有無を判定できる。 （もっと読む）

【課題】画像情報のみを用いて、画像の振れを修正し、画像を安定化でき、水中検査装置の操作性が向上する画像処理方法，画像処理装置およびそれを搭載した水中検査装置を提供する。
【解決手段】移動体に搭載した撮影手段により被写体を連続的に撮影して撮影画像を取得し、連続して得られた２つの画像に共通に撮影されている被写体の要素を特徴量に定め、連続して得られた２つの画像に対して画像相関処理を行って特徴量の一致度を判断し、所定以上の一致度が得られない場合には新たな被写体の要素を特徴量に定め、連続して得られた撮影画像における特徴量の位置を、二次元の撮影画像の一方方向の所定位置に固定し、二次元の撮影画像の他方向の変化量を前記撮影手段の移動量とする。 （もっと読む）

【課題】干渉計の撮像素子から出力される被検面のシェア像を利用し、被検面の形状に関わりなく其の実面形状を直接的に把握すること。
【解決手段】波面分布面Ｗを区画して得た各微小セルＷ_１〜Ｗ_Ｃ１毎の波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１の各々が干渉計１による測定時に被検体１３の球心Ｏに収束する光路を辿って被検面１３ａに入射した照明光（入射光）の何れかの反射光の光路と一致することに基いて、波面分布面Ｗの微小セルＷ_１〜Ｗ_Ｃ１における波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１すなわち被検面１３ａからの反射光に相当する波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１毎に、これに対応する照明光波面側法線l_１〜l_Ｃ１つまり入射光の光路を突き止め、これら２つの光路すなわち波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１と照明光波面側法線l_１〜l_Ｃ１の交点位置Ｒ（１）〜Ｒ（Ｃ１）を求めて被検面１３ａの実面形状のデータとする。 （もっと読む）

【課題】段差候補となる期間を検出してから、ベルトコンベア等の搬送装置の振動等による変位量の変動、時間方向の変位量の変動の影響を低減し、より確実に段差を検出することができる光学式変位センサ及び該光学式変位センサにおける段差検出方法を提供する。
【解決手段】受光器の出力に基づいて検出対象物の変位量を算出し、所定のタイミングでサンプリングする。前回サンプリングした変位量と今回サンプリングした変位量との差分値を算出し、算出した差分値に基づいて段差期間と非段差期間とを判別する。段差期間と判別された期間における差分値の積算値を算出し、段差期間と判別された期間ごとに算出した積算値の最大値と第一の閾値とを比較して段差であるか否かを判別する。 （もっと読む）

【課題】確実なマーキングが達成され、インクカートリッジへのダメージが防止されるように、媒体カールを測定する。
【解決手段】１つ以上のカールした媒体シート１３２〜１３８が、先端縁及び後端縁のどちらか又は両方からカーラーをもつローラ／ニップのセットを経て、角度付アレイセンサ１３０へ向かって、プロセス方向に前進させられる。クロスプロセス方向に回転ベクトルをもつ角度付アレイセンサ１３０は、シートカールの関数を計算するために、カーラーから出る媒体シートに対し角度を付けて、媒体前進装置の上流又は下流に配置される。シートカールの関数は、前進する媒体シートが角度付アレイセンサ１３０にあるアレイと接触するポイントを測定することによって得られる。このようなカール測定アプローチは、環境的に引き起こされるエラーに対する正確性とロバスト性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】 高価な位置検出器を取り付けることなく、シート材端部の観察画像が常に最適状態にある観察装置及び方法、並びに、観察画像を用いた評価結果にばらつきが生じることを防ぐことができる観察評価装置及び方法を提供する。
【解決手段】 連続搬送されるシート材端部を第１及び第２の観察手段を用いて観察評価する装置及び方法において、
第１の観察手段は、シート材の幅方向端部を視野に含み、厚み方向にシート材端部との距離が変更可能な第１の観察手段位置変更機構に取り付けられ、
第２の観察手段は、シート材の厚み方向端部を視野に含み、幅方向にシート材端部との距離が変更可能な第２の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
第１及び第２の観察手段での観察情報に基づき、シート材の幅及び厚み方向端部の位置を検出し、第１及び第２の観察手段位置変更機構を制御することを特徴とするシート材端部の観察評価装置及び方法である。 （もっと読む）

【課題】第ｍの加工位置と第ｎの加工位置とのずれを精度よく計測することのできる加工位置の計測方法の提供を目的とする。
【解決手段】加工位置の計測方法は、第ｍの加工を施すとともに、第ｍのマーク２６、及び、基準寸法を示す基準マーク２９を形成し（Ｓ２）、第ｎの加工を施すとともに、第ｎのマーク２７を形成し（Ｓ７）と、第ｍのマーク２６及び第ｎのマーク２７の相対的位置を測定するとともに、測定した基準寸法Ｌ１と基準寸法Ｌ０との比にもとづいて、第ｍのマーク２６と第ｎのマーク２７との相対的位置を補正し、第ｍの加工位置と第ｎの加工位置との加工位置のずれを計測する（Ｓ９）方法としてある。 （もっと読む）

【課題】発熱の抑制、低消費電力化、及び光源の長寿命化を達成する。
【解決手段】ワークに直線状の光を照射する光源と、ワークを撮像する撮像装置と、撮像装置の受光量によって光源の発光量を調整する制御部とを有し、撮像装置は、受光素子が配列形成されてワークの画像を行方向または列方向に逐次的に受光し、制御部は、各受光素子の受光時に、受光量が最大値を超えた受光素子が存在する場合には次の受光時における光源の光量を低下させ、受光量が最大値を超えた受光素子が存在しない場合には次の受光時における光源の光量を増加させ、更に、受光素子の受光時に、光源の光量が最大光量に達し、且つ受光量が最小値を下回っている場合には、次の受光時における光源の光量を最小光量にする。 （もっと読む）

【課題】
光干渉を用いた変位計測装置において、プローブ光路と参照光路とが空間的に分離して
いるため、空気の揺らぎ等による温度分布や屈折率分布、あるいは機械振動が生じた場合
、両光路間で光路差が変動し、測定誤差となってしまう。
【解決手段】
プローブ光の光軸と参照光の光軸を外乱の影響を受けない距離まで近接させて、プロー
ブ光を対象物に、参照光を参照面に各々照射し、その反射光同士を干渉させ、生じた干渉
光から対象物の変位量を求める （もっと読む）

【課題】ウェハを搬送する際に生じる振動に起因して測定データに現れるオフセット成分のバラツキを除去する。
【解決手段】Ｙ方向に光切断線を照射して平行断面形状データＺｆ＿Ｘ０を求める。Ｘ方向に光切断線を照射して直交断面形状データＺｇ＿Ｙ０，Ｚｇ＿Ｙ１，・・・，Ｚｇ＿Ｙｎを求める。平行断面形状データＺｆ＿Ｘ０と直交断面形状データとの交差位置の高さデータが等しくなるようにオフセット値ｏ（Ｙ０），ｏ（Ｙ１），・・・，ｏ（Ｙｎ）を求める。直交断面形状データＺｇ＿Ｙ０，Ｚｇ＿Ｙ１，・・・，Ｚｇ＿Ｙｎにオフセット値ｏ（Ｙ０），ｏ（Ｙ１），・・・，ｏ（Ｙｎ）を加算し、補正直交断面形状データＺｇ＿Ｙ０´，Ｚｇ＿Ｙ１´，・・・，Ｚｇ＿Ｙｎ´を求める。 （もっと読む）

【課題】 安定且つ高速に被検体の光学プロファイルを測定することができる周波数偏移干渉計及びその方法を提供する。
【解決手段】 連続同調型光源１６により被検体１２の光学プロファイルを測定する周波数偏移干渉計１０が提供される。被検体１２の一連の干渉画像が捕捉されると共に、干渉画像が形成された時のビーム周波数が取得される。捕捉された被検体の干渉画像から、監視ビーム周波数が所定のビーム周波数間隔パターンに略一致する限定された数の干渉画像が選択される。選択された干渉画像に基づいて更に処理が継続される。 （もっと読む）

【課題】レーザー距離計を簡単な構造の取り付け器具によりアクセサリーシューを有する撮影機材（デジタルカメラ）に一体的に取り付ける。
【解決手段】被写体Ｈを撮影レンズ１２により撮影した被写体像を結像して被写体像のデジタル画像データを出力する撮像素子１３を内蔵した撮影機材（デジタルカメラ）１０と、デジタルカメラ１０から被写体Ｈまでの距離を測定するレーザー距離計２０と、デジタルカメラ１０のアクセサリーシュー１６に着脱されるシュー着脱部材３２が基板３１の一面（下面）３１ａに突出して設けられ且つレーザー距離計２０を載置する載置部３０ｂ１が一面（下面）３１ａとは反対側の他面（上面）３１ｂに形成された取り付け器具３０と、を備えたレーザー距離計付き撮影装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】使い勝手の良い長寸法測定装置を提供すること。
【解決手段】長寸法測定装置１は、試料２が載置し、配置位置が固定されている試料台１０と、試料２に形成されたパターンに照明光を照射する照明ユニット２０と、照明光から得られたパターンの像を撮像する撮像ユニット３０と、試料台１０の平面度を調整し試料台１０を支持する平面度調整機構１２と、エアを試料台１０に送気し、試料台１０からエアを吸引する送気吸引部１６と、試料台１０にて浮上している試料２に吸着する吸着機構４０と、撮像ユニット３０をＺ方向に移動させるＺステージ５１と、撮像ユニット３０をＸ方向に移動させるＸステージ５２と、吸着機構４０を介して試料２をＹ方向に移動させるＹステージ５３と、試料２に形成されたパターン上の２点間の距離を測定する干渉測定ユニット６０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】振動の影響による３次元形状の測定誤差を低減した形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、被測定物をライン光で照明して撮像するプローブと、プローブと被測定物とを相対移動させるリニアモータ１７と、照明の状態と撮像の状態から被測定物の形状を測定する形状演算部３４と、プローブの振れを検出する振れ検出部２８とを備え、振れ検出部２８に検出された振れに基づいて測定の補正を行うようになっている。 （もっと読む）

【課題】振動の影響による３次元形状の測定誤差を低減した形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、被測定物を照明して撮像するプローブと、プローブと被測定物とを相対移動させるリニアモータ１７と、照明の状態と撮像の状態から被測定物の形状を測定する形状演算部３４と、プローブの振れを検出する振れ検出部２８と、振れ検出部２８に検出された振れに基づいて測定の制御を行う制御部３０とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】非接触式のＩＤ計測方式において、高精度な内径測定が可能となる基板の内径測
定装置及び内径測定方法を提供することを目的の一とする。
【解決手段】ガラス基板搬送装置とレーザ変位計とを組み合わせた非接触式のＩＤ計測方
式において、測定時にガラス基板を固定する基板ホルダを保持して、ラインレーザ光源を
昇降させてガラス基板の主表面にラインレーザを照射して測定することにより、測定時に
測定対象であるガラス基板が揺動することにより測定精度が低下することを抑制する。 （もっと読む）

【課題】 被検体と非接触で被検体の立体形状を測定することができるコモンパス型の測定システムを提供することを目的とする。
【解決手段】 測定システム（１００Ａ）は測定ビーム（Ｌ１）と測定ビームに対して基準となる基準ビーム（Ｌ２）とを出射する光源部１１と、被検物体に隣接して配置され、基準ビームを反射させ測定ビームを被検物体へ透過させる平板状の参照素子（１３）と、被検物体で反射された測定ビームと参照素子で反射された基準ビームとが干渉した干渉ビームを各波長に分光する分光素子（２０）と、分光素子で分光された各波長を検出する検出部（２４）と、光源部から被検物体および分光素子を介して検出部に至る測定ビームの光路長と、光源部から参照素子および分光素子を介して検出部に至る基準ビームの光路長とを揃える迂回路を有する測定光学系（１２）を備える。 （もっと読む）

【課題】測定部の振動の影響を好適に除去し、高精度の形状計測を行うことのできる形状計測方法及び形状計測装置を提供する。
【解決手段】測定部表面７に当てられた光スポットの散乱光を結像レンズにて集光するとともに、その集光位置の変化から測定部表面７の形状を計測する方法であって、散乱光を結像して得られた光スポットを光位置センサー９で直接受光してその集光位置の変化を計測するとともに、上記散乱光を結像して得られた光スポットをスリット１１を介して光位置センサーで受光してその集光位置の変化を計測し、それら計測した集光位置の変化量の差分から測定部表面７の形状を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】高速な振動現象の下でボデー自体が振動しても、エンジンルーム内においてエンジンマウントのマウント軸として配設されるボルトの３軸並進量、及び、該ボルトの３軸回転量を６軸変位量として高精度に算出することができる、エンジンマウントの変位量計測方法を提供する。
【解決手段】エンジンマウントの変位量計測方法は、カメラ座標系におけるマウント軸であるボルト１５ａの位置座標及び姿勢角の変位量を６軸変位量Ｐ１として算出する第一計測工程と、カメラ座標系におけるボデー１１の位置座標及び姿勢角の変位量を６軸変位量Ｐ２として算出する第二計測工程と、６軸変位量Ｐ１と６軸変位量Ｐ２との差を演算することにより、ボデー座標系におけるボルト１５ａの位置座標及び姿勢角の変位量をボデー座標系における６軸変位量Ｑ３として算出する変位量算出工程と、を備える。 （もっと読む）