【課題】ウェハ検査の精度を向上させること。
【解決手段】ウェハを載置して当該ウェハを搬送する第１搬送ユニットと、前記第１搬送ユニットに隣接し、前記第１搬送ユニットにより搬送されたウェハを受け取り、当該ウェハを載置して当該ウェハを搬送する第２搬送ユニットと、前記第２搬送ユニットの上のウェハを検査する検査ユニットと、前記検査ユニットに連結されて、前記検査ユニットを前記第２搬送ユニットの上で移動させる駆動装置と、を備え、前記第２搬送ユニットがウェハの搬送を一時的に停止したとき、前記駆動装置が前記検査ユニットを移動させつつ前記検査ユニットが前記第２搬送ユニットの上のウェハを検査する。 （もっと読む）

【課題】測定精度が可動物体の動作によって実質的にほとんど影響されない、可動物体の位置依存信号を測定するように構成された好ましくはエンコーダ型高精度測定システムを提供する。
【解決手段】エンコーダ型測定システムは可動物体の位置依存信号を測定するように構成され、可動物体の上に取付け可能な少なくとも１つのセンサと、実質的に静止したフレームの上に取付け可能なセンサターゲットと、実質的に静止したフレームの上にセンサターゲットを取付けるように構成された取付けデバイスとを含む。実質的に静止したフレームに対するセンサターゲット物体の移動および／または変形を補償するように構成された補償デバイスをさらに含む。補償デバイスは受動型または能動型制振デバイスおよび／またはフィードバック位置制御システムを含むことができる。代替の実施形態において、補償デバイスは、センサターゲット物体の位置を固定する把持デバイスを含む。 （もっと読む）

【課題】振動環境下にある場合でも、振動に影響を受けることなく、物体の三次元形状を正確に計測できる三次元形状計測方法を提供する。
【解決手段】物体Ｗに複数本のレーザスリット光２１ａ、２２ａを同時に照射して物体Ｗの表面に形成された光切断線２１ｂ、２２ｂを撮像した第１の光切断線画像Ｓ１１を取得する。そして、物体Ｗに複数本のレーザスリット光２１ａ、２２ａのうちの一部のレーザスリット光２１ａを照射して物体Ｗの表面に形成された光切断線２１ｂを撮像した第２の光切断線画像Ｓ１２を取得する。そして、第１の光切断線画像Ｓ１１と第２の光切断線画像Ｓ１２に基づいて、第１の光切断線画像Ｓ１１に撮像されている光切断線２１ｂ、２２ｂと複数のレーザスリット光２１ａ、２２ａとの対応関係を求める。 （もっと読む）

【課題】縦振動を引き起こしている状況下でも、凹凸形状を精度高く読取ることができるようにする。
【解決手段】凹凸形状が施され且つ該凹凸形状の凹凸方向に沿った振動を起こしている刻印面から、凹凸形状を抽出するための画像処理方法であって、刻印面に対して一方向に走査することで、凹凸形状の高さデータを有する２次元形状データを取得する走査ステップと、高さデータの変化度合いを求めるために、２次元形状データを微分する微分ステップと、微分ステップの結果を基に、２次元形状データから高さデータの変化度合いが急峻なものを除去するスパイク除去ステップと、スパイク除去ステップの結果を積分して振動波形を推定する積分ステップと、２次元形状データから、積分ステップで推定した振動波形を減じることで凹凸形状に相当する刻印波形を算出する凹凸検出ステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】ビジョン検査システム及びこれを用いた座標変換方法を提供する。
【解決手段】本発明は、被検査体を支持するテーブルと、テーブルをＹ方向に直線往復移動させるステージと、被検査体またはテーブルのイメージを取得するためにＸ方向に沿って離隔して配置される複数のカメラを含むビジョン検査システムにおいて、Ｘ方向に沿ってテーブルの一端部に離隔して配置される複数の第１マークと、最も左側及び右側の第１マークから各々テーブルの一側部にＹ方向に沿って離隔して配置される複数の第２マークとを含み、第１マークのイメージを取得してイメージの座標値をステージの座標値に変換し、第２マークのイメージを取得してイメージの座標値とステージの座標値を被検査体を基準とした絶対座標値に変換し、被検査体を基準とした絶対座標値はステージの精度が補正された座標値であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】外乱振動や空気の揺らぎがある場合であっても、高い測定精度で被測定物の形状測定を可能にする形状測定方法及び装置等を提供する。
【解決手段】光源１から出射した可干渉光束１１を分岐して被測定物７と参照鏡８とに照射する分岐装置６と、被測定物７と参照鏡８との間に相対運動を生じさせる駆動装置２０と、被測定物７で反射した物体光１２と参照鏡８で反射した参照光１３とを重ね合わせて干渉縞を形成する重畳装置６と、前記干渉縞を連続的に撮像して連続撮像データを得る撮像装置１０と、前記連続撮像データから被測定物７の３次元形状を計算する計算装置２１とを有する。計算装置２１は、相対運動によって物体光１２と参照光１３の周波数がドップラー効果により変調することにより両光の周波数差のスペクトルから位相シフトスペクトルを得て、位相シフトスペクトルと連続撮像データとから被測定物７の３次元形状を計算する。 （もっと読む）

【課題】横方向の補正を可能とした光学式測定装置、光学式測定方法、及び光学式測定処理プログラムを提供する。
【解決手段】光学式測定装置１は、測定対象物Ｗが配置される測定領域Ｒにて焦点を結ぶビームＬＢ２を成形すると共に測定領域ＲにてビームＬＢ２を走査する送光部３と、測定領域Ｒを通過したビームをＬＢ２受光してその受光したビームＬＢ２に基づく受光信号Ｓｇを出力する受光部５と、受光信号Ｓｇに基づき測定対象物Ｗの寸法を示す測定値Ｄを算出する制御部７を備える。制御部７は、ビームＬＢ２を走査する単位時間に対する受光信号Ｓｇの強度の変化量に基づき、測定値Ｄを補正する。 （もっと読む）

【課題】車両が進入可能であれば狭い細道であっても、かつ路面に凹凸があっても、地点間の距離などを精度よく測定することができる測定装置および測定システムを提供する。
【解決手段】測定装置５は、タイヤＴを支持するホイールＷとホイールハブＷＨとの間に、回転中心を合わせて配置された回転体５１と、本体フレームＦに固定された光学的検出器５２とを備えている。回転体５１は、ホイールＷとホイールハブＷＨの取付面との間に装着される円盤部５１１と、円盤部５１１から本体フレームＦに向かって延びてホイールハブＷＨの外周面を包囲する円筒部５１２とから形成されている。円筒部５１１の周囲面には、光を透過する光透過部である長孔５１３が設けられている。光学的検出器５２としては、本体フレームＦに取付金具５２３により固定された発光部として機能する発光素子５２１と受光部として機能する受光素子５２２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】
等径ひずみ円に加工されている場合や、丸棒が回転、振動、移動等した場合であっても真円度の演算が可能であり、研削加工において正確な真円度の判定が可能な真円度保証器を提供することにある。
【解決手段】
回転する丸棒の同一円周上の異なる位置を計測する３つのセンサと、３つのセンサのデータから真円度を算出する真円度演算手段と、真円度演算手段により得られた真円度が、所定の値の範囲内か否かを判定する真円度判定手段とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検出された干渉信号にノイズが含まれる場合であっても、精度良く物体の高さを測定することができる高さ測定方法および高さ測定装置を提供すること。
【解決手段】高さ測定対象である一の物体の上面および所定の参照面に白色光を照射して第一の白色干渉信号を得る段階と、前記一の物体が形成される底面および所定の参照面に白色光を照射して第二の白色干渉信号を得る段階と、前記第一の白色干渉信号に含まれる複数の強度ピークのそれぞれと、前記第二の白色干渉信号に含まれる複数の強度ピークのそれぞれとの間の距離を算出する段階と、前記算出された距離のうち、前記一の物体の高さの測定の直前に行われた所定の個数の物体の高さの計測結果の平均値に最も近い値の距離を選択する段階と、を有し、前記選択された距離を前記一の物体の高さとする。 （もっと読む）

【課題】計測対象物の特定方向の物理量を計測する際に、特定方向の物理量を検出するセンサの感度方向を常に一致させることができるセンサの取付構造提供する。
【解決手段】計測対象物１０に取り付けられ、計測対象物１０に加わる特定方向の物理量を検出するセンサ１６の取付構造において、センサ１６をセンサ架台１５を介して計測対象物１０に取り付けると共にそのセンサ架台１５で、センサ１６を常時鉛直に保つように支持したものである。 （もっと読む）

【課題】紡糸口金に穿設された複数個の吐出孔を同時に検査して孔内に残留する異物の有無を一孔ごとに検出するのではなく、多数の吐出孔に対して一度に孔内異物が検出でき、そのような検査が可能な高精度な検査装置であっても、工場内の振動などによって検査精度に影響を及ぼさないようにする必要があり、これによって、多大な時間を要することなく短時間かつ確実に孔内異物を検査できる装置を提供する。
【解決手段】スキャンカメラを用いて、紡糸口金を走査することにより、高解像度の複数の画像データ群を取得し、これら画像データ群を合成して作成した合成画像データから紡糸口金に穿設された多数の吐出孔群のそれぞれに対して孔内異物の存在の有無を画像処理を用いて一度に検出し、さらに振動により吐出孔画像に異常が起こらないようにする為、振動計を用いた振動検知と、撮影した画像に異常があった場合に面積値判別によって振動の有無を検知する、振動検知機能付き紡糸口金の孔内異物の検査装置とする。 （もっと読む）

【課題】カメラがロボットアームに取り付けられたまま振動するので、カメラによって撮像された画像がぶれてしまい、輪郭が鮮明でない製品や部品の画像が生成されてしまう。従って、この画像を用いて製品や部品の位置を算出できないという課題がある。
【解決手段】製品または部品の画像を撮像するカメラ２０と、加速度を検出する加速度検出部２１と、カメラ２０と加速度検出部２１を取り付けたロボットアームと、画像を用いて製品または部品の位置を算出する位置算出部４５と、カメラ２０が撮像するタイミングを、加速度によって制御するタイミング制御部４４と、を備えるロボットアーム装置１００を提供する。 （もっと読む）

【課題】検査部のテープ部分に所定の張力を付与することができ、またかかるテープ部分への振動の伝達を確実に阻止し、撮像性能を向上させる。
【解決手段】透過光式検査部Ｄにテープ１の厚さ方向に湾曲させる第１の張力付与装置４３と、テープの長手方向に張力を付与する第２の張力付与装置４４を配設する。第１の張力付与装置４３は、テープ１の下面を支持する一対の支持ローラ４６、４７と、テープ１を支持ローラ４６、４７に押し付ける一対の押圧ローラ４８、４９とで構成されている。第２の張力付与装置４４は、テープ１の側縁部をそれぞれ保持する一対のクランプ装置６０、６１と、クランプ装置６０、６１をテープ１の長手方向に移動させてテープ１に張力を付与するシリンダ６４を備えている。さらに、一対の吸着手段６６によってテープ１の下面を吸着保持する。 （もっと読む）

【課題】実時間（１フレーム）で、干渉範囲内の頂点位置等の検査と高さ計測を可能とするとともに、外部振動に対して、その影響の除去を電気信号処理で行なえるようにする。
【解決手段】時間相関イメージセンサ（カメラ１０）を使用した白色干渉計を含む三次元形状検査装置において、被測定物８が外部環境によって振動する振動変位を取得する手段（変位センサ４２）と、該振動変位を、前記時間相関イメージセンサに与える参照信号に合成して、外部振動の影響をキャンセルする手段（参照信号発生手段５０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 光学部材の変動の影響を抑制して所定の面の面位置を高精度に検出する。
【解決手段】 本発明の態様にかかる面位置検出装置は、第１および第２パターンからの第１測定光および第２測定光を異なる入射角で被検面（Ｗａ）に入射させ、被検面に第１パターンの中間像および第２パターンの中間像を投射する送光光学系（４〜１１）と、被検面によって反射された第１および第２測定光を第１観測面（２３Ａａ）および第２観測面（２３Ｂａ）へ導いて、第１および第２観測面に第１パターンの観測像および第２パターンの観測像を形成する受光光学系（３１〜２４）と、第１パターンの観測像および第２パターンの観測像の各位置情報を検出し、各位置情報に基づいて被検面の面位置を算出する検出部（２３〜２１，ＰＲ）とを備えている。送光光学系は、送光側共通光学部材（５〜８）を経た第２測定光を偶数回反射して第１測定光よりも小さい入射角で被検面に入射させる送光側反射部（１１）を有する。 （もっと読む）

【課題】車両の車体に対するホイールの位置および方向を、車両の挙動に対する影響を実質的に少しも受けることなく、きわめて正確な方法で測定すること。
【解決手段】本発明によれば、少なくとも１つのカメラ・ユニット１を有する光学測定システムを用いて、車両の第１の要素３の、この第１の要素３が移動可能に取り付けられた車両の第２の要素２に対する位置および／または方向を測定する方法であって、一直線上にない少なくとも３つの基準点４、５、６をこれらの要素の一方３に設け、これらの基準点４、５、６をカメラ・ユニット１で感知する装置および方法が提供される。前記カメラ・ユニット１がもう一方の要素４に対して固定して取り付けられ、前記基準点４、５、６の位置が、前記光学測定システムを用いて、これらの基準点４、５、６を設けた要素３の連続する位置および／または方向のために測定される。 （もっと読む）

【課題】被測定物の振動やその他のノイズ要因の影響を排除して被測定物の厚みを簡易に高精度で測定できること。
【解決手段】周波数がわずかに異なる第１ビーム光Ｐ１及び第２ビーム光Ｐ２のそれぞれを分岐させておもて面の測定部位１ａ及びうら面の測定部位１ｂへ導き，第１ビーム光Ｐ１を物体光とし，第２ビーム光Ｐ２を参照光とするおもて面側のヘテロダイン干渉計ａ２０と，第２ビーム光Ｐ２を物体光とし，第１ビーム光Ｐ１を参照光とする（おもて面とは物体光と参照光とが逆の関係である）うら面側のヘテロダイン干渉計ｂ２０と，両ヘテロダイン干渉計ａ２０，ｂ２０それぞれから出力される強度信号Ｓｉｇ１，Ｓｉｇ２の位相差Φsを位相検波器４で検出し，その位相差Φsを，位相検波器４の入力信号の振幅の測定値（指標値）に応じて補正した位相差Φs’を，被測定物１の厚みに相当する測定値として出力する。 （もっと読む）

【課題】被検物の表面形状を短時間で測定可能な形状測定装置を提供する。
【解決手段】光源から発する光を被検物に照射される物体光と基準となる参照光とに分離し、被検物の表面で反射された物体光と参照光との光路差によって得られる干渉縞を解析して被検物の表面形状を測定する形状測定装置１は、干渉縞を含む被検物の一部の表面画像を複数取得するＣＣＤ素子８と、表面画像を用いて干渉縞の位相解析を行い、被検物の一部の表面形状を示す部分表面形状データを取得する演算部１１と、各々の部分表面形状データをつなぎ合わせて、被検物の表面形状の一部である輪帯状領域又は被検物全体の表面形状データに統合するデータ統合部１２とを備え、ＣＣＤ素子８は、参照面を参照光の光軸上の異なる複数の位置に移動させ、被検物を一定速度で回転させながら表面画像を所定間隔で断続的に取得する。 （もっと読む）

【課題】従来のレベリング装置においては、車体の仰伏方向への傾きを、車体とサスペンションの伸縮との相互位置関係で検出していたので、路面状態、走行条件などの影響を受けやすく、レベリング動作が不安定なものとなっていた。
【解決手段】本発明により、１つの被写体を、既知の間隔に設定した２つの受光部に入射させ、この受光部における被写体が投射された位置の差（視差）から被写体までの距離を計測するステレオ法により、例えば、車体の路面からの前後の高さの差を演算するこのとしたことで、可動になどによる機械的誤差の影響を受けないものとして精度の向上を図ると共に、小形化も可能として、課題を解決する。 （もっと読む）