【課題】被測定物の振動の影響を受けず，また，干渉光の乱れや揺らぎを生じさせることなく，被測定物の厚みを簡易に高精度で測定できること。
【解決手段】周波数がわずかに異なる第１ビーム光Ｐ１及び第２ビーム光Ｐ２のそれぞれを分岐させておもて面の測定部位１ａ及びうら面の測定部位１ｂへ導き，第１ビーム光Ｐ１を物体光とし，第２ビーム光Ｐ２を参照光とするおもて面側のヘテロダイン干渉計ａ２０と，第２ビーム光Ｐ２を物体光とし，第１ビーム光Ｐ１を参照光とする（おもて面とは物体光と参照光とが逆の関係である）うら面側のヘテロダイン干渉計ｂ２０と，両ヘテロダイン干渉計ａ２０，ｂ２０それぞれから出力される強度信号Ｓｉｇ１，Ｓｉｇ２の位相差φsを検出し，その検出信号を被測定物１の厚みに相当する測定値として出力する第１位相検波器４とを具備する。 （もっと読む）

【課題】省スペース化を図りつつ、耐久性を高めることができる移動距離測定装置を提供する。
【解決手段】第１レンズ群保持枠移動距離測定装置５は、第１エンコーダースケール５１と、第１光センサ５２と、第１インタラプター５３と、制御部とを備えている。そして、第１エンコーダースケール５１は、第１レンズ群保持枠１１のスライド移動に伴ってスライド移動するように構成されている。また、第２レンズ群保持枠移動距離測定装置６は、第２エンコーダースケール６１と、第２光センサ６２と、第２インタラプター６３と、制御部とを備えている。そして、第２エンコーダースケール６１は、第２レンズ群保持枠１２のスライド移動に伴ってスライド移動するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 光断層画像化装置において、光プローブの揺れによる干渉信号レベルの揺らぎを防止する。
【解決手段】 測定対象内に挿入される光ファイバ１２を収容した光プローブ１０を、光断層画像化装置本体１Ａに接続してなる光断層画像化装置１において、光プローブ１０の測定対象Ｈ外に延びる部分の少なくとも一部を、すくなくとも光断層画像取得時に固定する固定手段５Ａを備える。 （もっと読む）

【課題】計測データの変動を車両構成部材における異常によるものと計測条件の相違によるものに分けて、正確に車両構成部材の状況を監視することができるようにしたい。
【解決手段】レール１１上を走行する車両１０について地上に設置した計測装置１ａ，１ｂで車両構成部材１００の状況を監視する鉄道車両監視装置であり、計測装置の計測データを記録し、一定量の計測データが蓄積されたところで、それらの計測データについて度数分布を求め、所望の分布領域内の計測データについて平均値を求め、その平均値をもって車両構成部材の計測データとする処理手段４を設けた。 （もっと読む）

【課題】外部からの機械振動や音響振動が伝達されても、外部振動の影響を受けない形状測定装置及びレーザ顕微鏡を実現する。
【解決手段】本発明では、光源（１）から出射した光ビームを対物レンズ（８）を介して試料（９）に向けて投射し、試料表面を光ビームにより2次元走査する。一方、対物レンズをその光軸方向に移動させる対物レンズ駆動手段（１０）を有し、対物レンズを光軸方向に移動させながら試料表面を2次元走査する。この際、Ｚ軸方向の位置情報として、対物レンズ（８）と試料（９）の表面との間の間隔を測定し（１２）、測定された間隔をＺ軸方向の位置情報として用いる。信号処理回路（２０）において、試料表面からの反射光を受光する1次元イメージセンサからの輝度信号及び間隔測定手段（１２）からの位置情報を用いて試料の2次元画像情報及び試料表面の高さ情報を出力する。 （もっと読む）

【課題】パーツフィーダ等における搬送中の振動によって、鏡面状の表面を有するワークが搬送路面に対して傾く場合にも、画像の明度変動が少なく安定した判別が行えるワーク姿勢判別装置を提供する。
【解決手段】光源５をハロゲンランプ１０と光拡散板１１により面状の発光部とする。そして、面状発光部（光拡散板１１）の中心部からの光束と、撮像装置４の受光光束の方向が、静止状態のワーク２の表面に対して正反射の関係となるように配置する。そして、搬送中の振動によりワーク２の搬送路面に対する傾きが所定の最大値（角度θ）に達した場合でも、光源５の面状発光部（光拡散板１１）の周辺部からの光束と、撮像装置４の受光光束の方向がワーク２の表面に対して正反射の関係に保てるように、面状発光部（光拡散板１１）の大さを設定する。 （もっと読む）

【課題】高精度な位置ずれを検出することができる画像処理装置及び画像処理方法を提供する。
【解決手段】複数の撮影画像に対してそれらの撮影時に合焦した焦点検出領域を特定し、前記撮影画像毎に、少なくとも、前記焦点検出領域から予め定められた範囲内にある第１の領域と、被写体までの距離が最も遠い第２の領域とに区分けする領域判定手段と、前記領域判定手段による区分けの結果に応じて前記複数の撮影画像間の位置ずれを検出する位置ずれ検出手段と、を有する。前記位置ずれ検出手段は、前記第１の領域における位置ずれを示す情報及び前記第２の領域における位置ずれを示す情報に対して互いに異なる重み付けを設定した上で前記位置ずれを検出する。 （もっと読む）

【課題】
大型液晶用マスク基板、大型機械加工面、大型定盤基準面などの長尺での真直度測定では、超精密駆動基準軸や超精密水準器、レーザー反射式コリメータなどが使用されている。
特に、大型マスク基板での１ｍを越す長尺測定では超精密駆動基準軸は高価格であり、水準器やコリメータでは被測定物との接触が問題となる。そこで、低価格で非接触式の高精度測定システムが求められている。
【解決手段】
本発明は、従来の遂次3点測定法の欠点である多数点測定での累積誤差の増大、測定ピッチの制限を改良した。遂次３点測定での累積誤差は測定点数の２乗に比例している。本発明では長尺の全長を数ブロックに分割し、ブロック間を３個のセンサー21,22,23による従来の３点法で計測し、ブロック内は４個目のセンサー24で同時信号処理にて測定し、累積誤差の大幅な軽減化と測定ピッチの任意化が可能となった。
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【課題】成膜中の膜厚またはエッチング中のエッチング深さを測定する。
【解決手段】半導体ウエハ１の第１表面およびリファレンスミラー１３からのそれぞれの反射波１７ｃ、１７ｄによって第１干渉波を検出する。次いで、半導体ウエハ１の第１表面をエッチングすることによって、第１表面から第２表面へ変形する。次いで、半導体ウエハ１の第２表面およびリファレンスミラー１３からのそれぞれの反射波１７ｃ、１７ｄによって第２干渉波を検出する。次いで、第１干渉波と第２干渉波との位相差を電圧値に変換して、リファレンスミラー１３が固定された圧電素子１５にその電圧値を印加して、圧電素子１５を変位させると共にリファレンスミラー１３を移動する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、レーザー光による計測手段の採用により、水面の影響を受けることなく船体の喫水や傾斜角などを適切に計測できるようにし、ひいてはメタセンター高さについても正確に求めることができるようにした船体の喫水等計測装置を提供することを課題とする。
【解決手段】船体Ｓの中央部の横断面に沿い上甲板２上に設けられたベース部材１の外端部から、水中へ支持部材３が垂下されて、その下端部には、直下の水底までの距離を計測するレーザー式測距装置９と、船体Ｓの横傾斜状態での船体横断面にける船体中心線と平行にレーザー光を水底へ向け照射するレーザー光照射装置７とが設けられ、水底にはレーザー受光器10が設けられる。 （もっと読む）

【解決手段】鉄道軌道（３）の軌きょう（２）に設備され、鉄道車両が通過する際に複数のビーム走査光学装置（２６）で車両の輪軸（３１）と車輪（３４）の状態を検出する計測設備（１）は、鉄道車両の輪軸（３１）が横から誘導されて転動しながら進入する第１区間（８）、輪軸（３１）の両車輪（３４）の外端を支持する補助レールを備えた計測区間（１０）および輪軸（３１）が転動しながら軌道（３）に退出して行く第３区間（１１）の３区間で構成されている。前記計測設備（１）では、第１区間（８）と第３区間（１１）も軌きょう（２）を構成し、計測区間（１０）下にビーム走査光学装置（２６）が配置され、そのうち少なくとも１基のビーム走査光学装置（２６）は非接触で計測設備（１）のその他の部分と向かい合わせに、さらに振動を受けないように軌道（３）の路床（７）上に設備された計測設備（１）の計測区間（１０）の指定位置に取り付けつつ、計測設備（１）の第１区間（８）と第３区間（１１）を、弾力を持たせて軌道（３）上部構造のバラスト床（６）に敷設している。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、測定センサーを複数方向から支持可能で、かつ被測定面と光軸との傾き調整（平行度調整）が可能な技術を提供することである。
【解決手段】三次元形状測定装置において、測定センサー４０を構成する光路形成部５を収容するケース１０５は、測定光路５ａを挟み、かつ測定光路に平行に相対する２面のそれぞれにＸ軸ピン孔１０１ａが設けられ、ケースの相対する２面及び２面の間の他の面を囲む形状（コの字状）を有し、かつ該他の面の囲む方向の中央部に相当する位置にＹ軸ピン孔１０２ａを有し、Ｘ軸ピン孔のそれぞれに挿入されるＸ軸平行ピン１０１を支え、ケースを傾き可能に保持する第１の保持機構１０３と、Ｘ軸平行ピンの軸方向と直交する方向からＹ軸ピン孔に挿入されるＹ軸平行ピン１０２を支え、第１の保持機構を傾き可能に保持する保持部材１０４ａを有する第２の保持機構１０４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】土砂運搬船の積載土量計測方法に関し、簡易な設備で工期短縮して積載物の検収ができるようにする。
【解決手段】土砂運搬船１の船倉に積載された積載物の表面を計測処理上での複数の箇所に分割し、その分割した区画毎に前記積載物の積載表面形状を小型携帯用計測器によって前記土砂運搬船の船倉枠を基準として積載物分割三次元データを計測し、その積載物分割三次元データをコンピュータ４に取り込ませ、前記複数箇所の積載物分割三次元データを、前記船倉枠の１点を座標原点に設定して統一した座標軸上の三次元データに各々変換し、且つ、それらを前記分割した区画に対応して連続するように結合し、その結果得られた前記積載物の表面形状の座標データと船倉枠の形状の座標データとを三次元的に重ね合わせて、前記積載物の表面形状と前記船倉枠の下側形状とに囲まれた部分の体積を容積算出プログラムにより求める。 （もっと読む）

【課題】 従来ＯＣＴ眼科用の場合、参照光側で高速光遅延装置として複数のプリズムを等間隔に配した円板を高速回転させ深さ方向の走査を行っており、またサンプル側に配設された光スキャナによりデータ取得を高速化する方式があるが、回転方式の円板は小型化が困難かつ高速回転にはバランス調整を要し光学系も複雑でかつ、円板回転で複数のプリズムが切替わる瞬間は参照光データが取得できず、またサンプル側のプローブ内に光スキャナがあるものは、プローブが振動や衝撃に弱い問題があった。
【解決手段】 本体の参照側に配置された深さ方向の高速光遅延装置が、光ファイバからの光源光を導入するコリメートレンズとその光を受ける二次元方向高速光スキャナと、その光を受けて反射する回折格子と、同反射された回帰光を受ける前記高速光スキャナ及び前記コリメートレンズを配設してなる。 （もっと読む）

【課題】外部共振器型の波長可変レーザ装置において、小型化とともに、高速かつ安定した波長掃引を可能にする。
【解決手段】レーザ装置１０は、半導体レーザ媒質１１と、半導体レーザ媒質１１から射出した光を波長分散する分散素子である回折光学素子１３と、波長分散された光が入射される空間変調素子１５とを備える。空間変調素子１５は、制御信号に応じて光を変調する複数の画素１５ａを有し、波長分散された光の一部を選択的に反射して帰還させて戻り光とする。半導体レーザ媒質１１と空間変調素子１５が外部共振器の両端部を構成し、半導体レーザ媒質１１の射出端面１１ａから、戻り光の波長のレーザ光Ｌ０が射出される。 （もっと読む）

【課題】平坦でない道路でもより高精度な白線位置の取得を行うことを目的とする。
【解決手段】計測台車１０２に搭載したジャイロ２１０、ＧＰＳ２２０により計測台車１０２の位置姿勢を測定する。カメラ２３０は撮影した画像データを出力し、レーザレーダ２４０はカメラ２３０から路面方向への方位・距離データを算出する。路面形状モデル生成部１５０はレーザレーダ２４０の位置姿勢と方位・距離データとに基づいて路面形状モデルを生成する。また、カメラＬＯＳ演算部１４０はカメラ２３０の位置姿勢と画像上で認識した白線の認識結果とに基づいてカメラ２３０から見た白線に対する見込み角を算出する。路面モデル対応点探索部１７０は白線見込み角と路面形状モデルとに基づいて白線位置を計測する。路面モデル対応点探索部１７０は路面形状を考慮して白線位置を計測することで計測結果を高精度にすることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、フルフィールドＯＣＴを内視鏡の測定プローブに組み込み、広範囲領域を操作性よく観察するための光イメージング装置を開発することを課題としている。
【解決手段】本発明は、光源１０と該光源１０から出射される光を導くための光ファイバ１１と、光ファイバ１１から出射される光を、被測定部Ｓで反射される反射光および該反射光と異なる方向に進む参照光に分離するスプリッタ１８と、
前記反射光と前記参照光が合波した干渉光を受光する受光素子２３と、を備え、
光ファイバ１１の先端部に、光ファイバ１１から出射される光のビーム径を光ファイバ１１のコア径よりも拡大する屈折率分布型レンズ１４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】誤報を低減して、高い信頼性が得られるフェンス振動センサ装置を提供することにある。
【解決手段】フェンス振動センサ装置（Ｉ）は、フェンス１に巡らせたループ状の光ファイバ２内を反対方向に伝播する光信号の干渉波から得られる干渉強度信号に基づいて加振点から受光点までの距離を求める距離算出器３と、干渉強度信号のレベル変化をモニタしながら干渉強度信号のレベルが所定の閾値を越えると、その時点において、距離算出器３が算出した距離を加振点から受光点までの距離として確定する判定器４とを備えている。警報・表示器５は判定器４で確定した距離データを受け取ってその距離、つまり加振点の位置を表示するとともに警報を発する。 （もっと読む）

【課題】従来の静圧スライダでは、可動体の駆動中心と可動体を連結している支持体を含めた可動部の重心位置とが異なるため、位置決めの際に大きな振動を発生させやすく、高精度に位置決めすることができないという課題があった。また、可動体の傾きにより、固定体とのかじりが発生する課題があった。
【解決手段】略平行に配置された一対の固定体１と、各固定体１に囲繞して配置され、固定体１に沿って移動する一対の第１可動体２と、該一対の第１可動体２を連結する支持体３と、を備え、前記支持体３の少なくとも一端に、固定体１に対する第１可動体２の傾斜角度を検出する検出手段１２と、該検出手段１２により検出された傾斜角度に対応して第１可動体２の傾斜角度を調整する調整手段１１を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】手振れによる影響を低減する手持ち可能な３次元計測装置を提供する。
【解決手段】この３次元計測装置１は、測定すべき対象物体２に所定角度ずつ位相をずらした１組の縞パターンを投影する投影部４と、物体２上の１組の縞パターンの画像を撮影して各々の画素について１組の輝度値を得る撮影部５と、各々の画素について１組の輝度値から復元位相値を算出する位相復元手段６１、及び復元位相値から絶対位相値を求める位相接続手段６２、を有する画像処理部６と、を備えることによって物体２の表面形状を計測するものにおいて、投影部４は、１個の画像の撮影のために撮影部５が必要とする露光時間を複数回分割して得られるスライス時間ごとに１組の縞パターンの各々を順次切り換えて繰り返し投影し、撮影部５は、スライス時間ごとに１組の縞パターンの各々の画像を１組の受光素子５１、５２、５３に順次取り込んでそれを繰り返す。 （もっと読む）