【課題】検査精度の向上を図ることのできる基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置は、実装エリア内のクリームハンダ４及びレジスト膜５の表面の三次元計測を行うと共に、各クリームハンダ４の最高点の位置情報を基に算出した所定の平面を第１仮想基準面Ｋ１として設定し、さらに当該第１仮想基準面Ｋ１をベース基板２の表面２ａに直交する方向に沿って所定位置まで降下させ、第２仮想基準面Ｋ２として設定する。そして、当該第２仮想基準面Ｋ２からの各クリームハンダ４の突出量を算出し、これを基に当該クリームハンダ４の印刷状態の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】目視される物体の表面に関する３次元データの品質の指示を表示するための方法およびデバイスを提供する。
【解決手段】目視される物体２０２の表面２１０の画像５００を獲得して、表示するステップであって、画像５００の複数のピクセル２３１、２３２、２３３、２３４は、目視される物体２０２上の複数の表面ポイント２２１、２２２、２２３、２２４に対応する、ステップと、複数の表面ポイントに対応する複数のピクセルの各ピクセルに関して、ピクセルに対応する表面ポイントに関する３次元座標が利用可能性であるかどうかを判定するステップと、ピクセル２３１に対応する表面ポイント２２１に関する３次元座標が利用可能でない各ピクセル２３１に関する第１のオーバーレイ２５０を表示するステップとを備える方法。 （もっと読む）

【課題】大がかりな装置構成とすることなく、自宅等で簡単に顔のたるみや体型等をセルフチェックすることが可能な起伏観察装置を提供する。
【解決手段】起伏観察装置である起伏観察機能付きカメラ２００は、投影用パターンデータを記憶するパターンデータ記憶部９０と、投影用パターンデータを用いて観察対象物にパターン画像を投影する画像投影部２０と、観察対象物を撮像する撮像部３０と、投影用パターンデータと撮像部３０により撮像された撮像データとを重ね合わせることにより、観察対象物の起伏状態を強調した画像を生成する画像処理部５０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】コヒーレント光源を用いて線状パターンの投影を行いつつ、投影面でのスペックルの発生を抑制する
【解決手段】レーザビームＬ５０を、光ビーム走査装置６０によって反射させ、ホログラム記録媒体４５に照射する。ホログラム記録媒体４５には、走査基点Ｂに収束する参照光を用いて線状散乱体の像３５がホログラムとして記録されている。光ビーム走査装置６０は、レーザビームＬ５０を走査基点Ｂで屈曲させてホログラム記録媒体４５に照射する。このとき、レーザビームの屈曲態様を時間的に変化させ、屈曲されたレーザビームＬ６０のホログラム記録媒体４５に対する照射位置を時間的に変化させる。ホログラム記録媒体４５からの回折光Ｌ４５は、ステージ２１０の受光面Ｒ上に線状散乱体の再生像３５を生成する。受光面Ｒに物体を載置すると、ホログラム再生光により線状パターンが投影されるので、その投影像を撮影して物体の三次元形状測定を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、低い装置コストのシステムにより、反射面及び特に、透明対象物に対して信頼性の高い形状測定が可能となり、システムの較正及び形状測定が特に処理しやすくなる選択肢を提案することにある。
【解決手段】本発明は、反射面（１４）で反射されるパターン（１５）を有するパターンキャリア（２）と、反射面（１４）に反射されたパターン（１５）を画素ごとに視認するカメラ（１）とを有するシステムを較正する方法に関する。カメラ（１）とパターン（１５）との位置及び向き、並びにカメラ（１）の画素（８）ごとの視認方向を較正するため、面積の広い２枚の平坦なミラー面（５、６）が平行な構成で用いられ、ミラー面（５、６）が液体によって生成される。 （もっと読む）

【課題】窓フーリエ変換法を用いた解析において、解像度の更なる向上を図ることが可能となる位相情報の解析方法等を提供する。
【解決手段】光あるいはＸ線を含む波長の波の干渉によるモアレ像の周期的パターンを解析し、位相波面を含む位相情報を取得する位相情報の解析方法であって、
前記モアレ像の周期的なパターンの少なくとも一部を、窓関数によって窓フーリエ変換する工程と、
前記窓フーリエ変換されたモアレ像における、位相情報を担うスペクトルの情報と、前記位相情報を担うスペクトルの情報に重畳している位相情報を担っていないスペクトルの情報とを解析的に計算する工程と、
前記位相情報を担っていないスペクトルの情報を、前記位相情報を担うスペクトルの情報から分離し、前記位相波面を含む位相情報を取得する工程と、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】１種類の投影パターンを用いた簡便な方法で被検物の三次元形状を測定することができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置１は、被検物５の一部の領域に縞パターンを投影するパターン投影部１０と、被検物５に投影された縞パターンを撮像する撮像部２０と、縞パターンの画像において、画像表面を通る所定の直線上での画像のコントラスト分布を算出し、そのコントラスト分布に基づいて前記所定の直線上におけるパターン投影領域の中心位置を算出し、前記所定の直線を画像表面に沿って移動させつつ前記中心位置の算出を行って取得した各々の前記中心位置に基づいて被検物５の断面形状を算出するコンピュータ４０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】位相シフト法を用いて計測対象物の３次元形状を計測する際に、実際には存在しない凹凸が生じることを抑制する。
【解決手段】縞パターンを計測対象物に投影し、前記計測対象物を撮影する。前記縞パターンの位相を所定方向にずらしながら前記投影および前記撮影を順次繰り返す第１ステップと、前記第１ステップで得られた複数の撮影画像における同一画素での受光量変化に基づいて、各画素における前記縞パターンの位相を演算する第２ステップと、撮影画像の各画素の位相に基づいて前記計測対象物の３次元形状を特定する第３ステップとを備える。前記第２ステップにおいて、各画素の位相を演算する際に、少なくとも当該画素の前記所定方向の両隣に位置する２つの画素の受光量に基づいて、当該画素の受光量変化を補正する。 （もっと読む）

【課題】位相シフト法と空間コード法とを利用し、計測対象物の３次元形状を正確に測定することのできる新たな計測方法および計測装置を提供する。
【解決手段】空間コード法の利用に際して、明暗の境界が縞パターンの各周期の境界からそれぞれ＋π／２、−π／２ずれた第１、第２の空間コードパターンを用いる。位相シフト法で求めた画素の相対位相φが０＜φ＜＋πのときには前記第１の空間コードパターンを使用し、−π＜φ＜０のときには前記第２の空間コードパターンを使用することによって、位相接続を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、物体の三次元の表面形状の評価方法及び評価装置並びに車両用窓ガラスの製造方法に関し、物体の三次元の表面形状を評価するうえでその表面に形成される反射歪みの定量的な検出を可能にすることにある。
【解決手段】対象物体の三次元の表面形状のデータを取得させると共に、その取得された表面形状のデータの２次微分値を算出させる。また、対象物体に要求される三次元の仮想形状データを算出させると共に、その算出された仮想形状データの２次微分値を算出させる。そして、その算出された対象物体の三次元の表面形状の２次微分値と、仮想形状データの２次微分値との差を算出させ、その差に基づいて、対象物体の表面形状を評価させる。 （もっと読む）

【課題】高精度に移動物体の三次元形状を測定する。
【解決手段】位相パターンが投影された移動物体およびバックスクリーンからの反射パターンを位相シフトして撮像された位相画像データを取得する映像入力Ｉ／Ｆ部と、位相画像データからエッジを検出し、そのエッジの強さに応じた画像特徴量データを抽出する画像特徴量抽出部２０１と、画像特徴量抽出部２０１が抽出した位相１周期分の画像特徴量データ列に基づいて格子幅を調整した位相パターンデータを生成する位相パターン生成部２０３と、位相１周期分の位相画像データ列に基づいて位相分布画像データを生成する位相分布画像生成部２１２と、位相分布画像データの位相接続を行って連続位相分布画像データを生成する位相接続部２１３と、連続位相分布画像データに基づいて移動物体の三次元形状データを生成する三次元形状生成部２１４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】所望する場所で手軽に被測定物の３次元形状測定を行なうことができる携帯電話機を用いた３次元形状測定システムおよび同携帯電話機を提供する。
【解決手段】３次元形状測定システムは、携帯電話機１００と３次元形状測定装置２００とを備えている。携帯電話機１００は、被測定物ＷＫに明部と暗部とからなる縞状パターンを投影するための投影部１２０と、同縞状パターンが投影された被測定物ＷＫを撮像して複数の撮像画像データを生成する撮像部１４０と、同撮像画像データを記憶するための記憶部１１４と、被測定物ＷＫの３次元形状を表示するための液晶表示部１３１とをそれぞれ内蔵して構成されている。３次元形状測定装置２００は、携帯電話機１００との通信を制御する通信制御部２０１と、撮像画像データに基づいて被測定物ＷＫの３次元形状を表す形状測定データを位相シフト法や空間コード法を用いて計算する３次元形状計算部２０２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】同一の対象物についてパターン光の投影方向を変えて計測した３次元形状の計測結果を合成する処理の処理負荷を軽減する。
【解決手段】対象物１を撮像する撮像装置３の左右にパターン光を投影する投影装置２をそれぞれ配置する。各投影装置２はそれぞれ縞状のパターン光を対象物１に投影し、対象物１に投影されたパターンを撮像装置３で撮像することにより、位相シフト法で対象物１の３次元形状を計測する。基本演算部１３ａはパターン光を投影した投影装置２ごとに対象物１の３次元形状を計算する。回転補正部１３ｂは各計測結果の３次元点群データからそれぞれ基準平面を規定し、基準平面の法線ベクトルを用いて回転補正を行う。平行移動部１３ｃは回転補正後の基準平面を平行移動させて重ね合わせる。合成処理部１３ｄは、重ね合わせ後の３次元点群データを用いて３次元形状の計測結果を合成する。 （もっと読む）

【課題】対象物の大きさの指標となる目盛をリアルタイムに撮像画像に重ねて表示することができる安価で簡潔な構成の撮像装置、画像表示方法、及び画像表示のためのプログラムを記録した記録媒体を提供すること。
【解決手段】対象物を撮像し、その撮像画像を表示する撮像装置であって、撮像画像中の対象物の大きさの指標となる目盛を生成する目盛生成部と、目盛に歪曲収差による歪みと同等の歪みを与える形状補正を行うために使用する補正用データを記憶しているデータ記憶部と、補正用データに基づいて目盛に形状補正を行った歪曲目盛を生成する目盛形状補正部と、歪曲目盛を撮像画像に合成する画像合成部を有し、リアルタイムで撮像画像を歪曲目盛と合成して表示する。 （もっと読む）

【課題】簡単に合成できると共に測定できない箇所が生じない３次元形状測定方法を得る。
【解決手段】定盤１０の平坦な定盤面１２に多数のマーク１４を形成すると共に、多数のマーク１４から大きさと間隔との違いにより少なくとも３つのマーク１４を特定可能に形成する。また、各マーク１４の大きさと間隔とを記憶する。そして、定盤面１２に定盤面１２より小さな被測定物１を載置して、被測定物１の部分領域を形状測定器２により少なくとも３つのマーク１４と共に光学的に３次元測定して測定値を得る。その後、形状測定器２を移動して、少なくとも３つのマーク１４と共に被測定物１の他の測定箇所の部分領域を光学的に３次元測定して測定値を得て、記憶したマーク１４の大きさ及び間隔と測定したマーク１４の大きさ及び間隔とに基づいて、両測定値を同一座標系に変換して合成する（ステップ１００〜２００）。 （もっと読む）

【課題】 パターン投影法により測定対象物の表面形状を測定する測定システムにおいて、表面形状の測定時に、あわせて測定対象物の散乱特性を抽出することを目的とする。
【解決手段】 測定システムであって、ドットパターン光を所定の入射角で測定対象物１００に照射する照明部１１０と、反射光を、前記入射角と略等しい反射角で受光する反射光測定部１２０と、前記受光された反射光の受光位置と、所定の基準位置との間のずれ量に基づいて、測定対象物１００の表面の傾きを表面形状に関する情報として抽出するとともに、前記反射光の輝度値と、前記ドットパターン光のドットの径とを、散乱特性に関する情報として抽出する反射光抽出部１３０と、前記抽出された表面形状に関する情報と散乱特性に関する情報を、出力する出力部１４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】少ない投影パターン数で、形状変化が急激な計測対象や不連続な計測対象の高精度な形状計測を可能とする。
【解決手段】三次元形状計測装置は、三次元形状計測を行う計測対象に周期性パターンを投影するパターン投影手段と、前記パターンを投影された計測対象の撮影画像を撮影する撮影手段と、前記計測対象の撮影画像からパターンの位相情報を算出する位相情報算出手段と、前記計測対象の撮影画像からパターンのデフォーカス量を算出するデフォーカス量算出手段とからなり、前記パターンの位相情報とパターンのデフォーカス量に基づき、計測対象の三次元形状を計測する。 （もっと読む）

【課題】フィルムを搬送しながら連続して、微小な膜厚ムラを正確に検出できるフィルム表面の欠陥検査装置、該検査方法及び光学フィルムの製造方法を提供すること。
【解決手段】明暗パターンをフィルムの表面に反射させ、撮像手段で撮像した反射画像と明暗パターンとを比較することでフィルム表面の欠陥を検査する装置において、フィルムの反射面の中心位置と撮像手段との反射面に平行な距離をＬ、撮像手段の水平視野距離を撮像手段の水平画素数で割った画素分解能をδとしたとき、４５０ｍｍ≦Ｌ≦１０００ｍｍ、０．１ｍｍ≦δ≦０．５ｍｍであること。 （もっと読む）

【課題】比較的大型の測定対象物を一括して測定することのできる３次元形状測定システムおよび方法を提供すること。
【解決手段】３次元形状測定システム１０は、ワークＷの表面に格子パターンを照射し、得られる変形格子パターンをＣＣＤカメラ３０で撮影することによりワークの表面形状を測定する３次元形状測定システムであって、前記格子パターンのピッチを分割する複数の位置に格子パターンが照射されるように当該格子パターンの位置を制御する格子パターン位置制御部５２と、ワークを照明するため異なる位置に配置された複数の照明装置４０と、前記複数の照明装置を選択的に点灯させる照明選択制御部５３と、前記格子パターンの前記位置毎に、かつ、前記照明装置が選択的に点灯される毎に前記カメラで撮影された変形格子パターンの画像を合成する画像処理装置６０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】パターン投影型の三次形状測定の原理に起因する測定誤差を抑えること。
【解決手段】本発明の三次元形状測定装置を例示する一態様は、測定対象物上に縞パターンを投影する投影手段（１３）と、測定対象物上に投影される縞パターンの位相を変化させながら、その測定対象物の撮像を繰り返すことにより、測定対象物上の各位置から輝度変化データを取得する撮像手段（１４）と、測定対象物に対する縞パターンのフォーカス位置を変化させながら、輝度変化データの取得を繰り返し実行させることにより、測定対象物上の各位置から輝度変化データを複数ずつ取得する制御手段（１０１）と、制御手段が取得した複数の輝度変化データの中から信頼性の高いものを選出する選出処理を、測定対象物上の各位置について行う選出手段（１００）と、測定対象物上の各位置について選出された輝度変化データによって表される各位置の座標を、測定対象物の面形状として求める形状算出手段（１００）とを備える。 （もっと読む）