【課題】 本発明は高精度に可動されるステージの位置及び傾きを正確に検出することを課題とする。
【解決手段】 透過型検出装置２２は、第１ステージ１４の移動方向に延在形成された透明体角度格子３０と、透明体角度格子３０を垂直状態に保持する透明基板３２と、透明体角度格子３０に向けて複数の平行光を発光する発光部３４と、透明体角度格子３０を透過した複数の平行光を受光する受光部３６とを有する。受光部３６には９個のフォトダイオードが配置され、透明体角度格子３０を透過した複数の平行光の受光強度分布を検出する。そして、受光部３６で検出された強度分布の変化から固定側の透明体角度格子３０に対する発光部３４の位置及び傾き角度を検出することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 印刷半田の平行移動ずれと角度ずれを共に検出できる印刷半田検査装置を提供し、更に、印刷半田の平行移動ずれと角度ずれの推移を把握容易な形態で表示できる印刷半田検査装置を提供する。
【解決手段】 プリント基板１の部品実装面１ａに光照射して反射光量に応じた検出信号を出力する検出ヘッド１１と、基板設計値情報および検出信号に基づいて部品実装面１ａにおける半田印刷領域の基準位置を検出する基準位置検出手段３１と、基板設計値情報および検出信号に基づいて複数の印刷半田の平行移動ずれを検出する平行移動ずれ検出手段３３と、基準位置検出手段３１の検出情報に基づいて半田印刷領域における回転中心座標を設定する中心座標設定手段３２と、プリント基板１の設計値情報、平行移動ずれ検出手段３３の検出情報および中心座標設定手段３２の設定情報に基づいて複数の印刷半田の角度ずれを検出する回転ずれ検出手段３４とを備える。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の干渉信号に基づいて微小変位を測定する場合でも、検出信号系の調整を容易且つ高精度に実現する。
【解決手段】入射されるレーザ光線を分割し、一方を光路長が変化しない参照光Ｌ2とし、他方を被測定体５の表面で反射させることにより該表面までの距離に応じて光路長が変化する測定光Ｌ1とすると共に、該測定光Ｌ1と前記参照光Ｌ2との干渉光から取得される正弦波信号に基づいて、前記被測定体表面の変位を測定するレーザ干渉式変位測定装置において、前記測定光Ｌ1の光路長を強制的に変化させる光路長変更手段として、該測定光を基準位置で被測定体方向に反射させる反射鏡４６を、同方向に進退動させるＰＺＴ（圧電素子）４９を設置した。 （もっと読む）

【課題】標本の三次元像中の任意の三次元領域を指定することにより、光刺激やフォトブリーチを、標本中の対応する領域に正確に行うことができ、立体構造を有する標本の光刺激後の挙動解析を正確に行うことができるようにする。
【解決手段】立体標本９の光学的断面画像を取得する走査光学系Ａ及び検出光学系Ｂと、これにより取得された光学的断面画像から三次元像を構築する処理や、構築された三次元像中の所望の三次元領域を指定する処理や、指定された三次元領域に基づき励起光又は刺激光を照射するための断面領域を取得する処理や、取得された断面領域に対応する立体標本９の領域に励起光又は刺激光を照射する処理等を行うコントロールユニット１４等を有するよう、共焦点観察システムである共焦点レーザ顕微鏡装置を構成する。 （もっと読む）

光ファイバブラッグ格子ＦＢＧセンサが各固定体に回転可能に設けられた回転軸により支持される回転体に設けられる。ＦＢＧセンサは回転軸に沿って延長され、一端は回転軸の一端の中心に配置される。光ファイバが固定体に設けられ、一端がＦＢＧセンサから離れてＦＢＧセンサの端部と対向するように配置される。多波長の光源から放射された光は光ファイバを通じて光ファイバとＦＢＧセンサ間の間隙を横切ってＦＢＧセンサに伝達される。ＦＢＧセンサは回転体の変形に対応する周波数の光を反射する。データ処理ユニットが反射された光を受けて、それに基づいて回転体の変形を算出する。
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物体（１００）の質量密度を自動的に測定するシステムは、
前記物体（１００）の有意寸法（ｘ）を測定する装置（２）と、
前記物体（１００）の通過により減衰した光子線の強度（Ｉ）を測定する装置（３０）と、
捕捉、処理および分析装置（２００）と、
物体（１００）を移送する手段（７０、７２、８０、８２、８４、８６、８８）と、
物体（１００）の位置を調整する第１の手段（７４、７６、７８）と、
物体（１００）の位置を調整する第２の手段（９０、９２、９４、９６、９８）とを含む。
前述のシステムを利用する方法は、装置２および３０の構成部を較正するステップと、物体の有意寸法を実際に測定するステップ（１００）とを含む。前記ステップは、物体の集合の中の各物体（１００）に実行される。
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本発明は、２つのジョイント（１３、１４）の周りを往復するアーム（８）に取り付けられる発光器（５）及び受光器（６）を備えた、レーザオンブロスコーピー（ｌａｓｅｒ ｏｍｂｒｏｓｃｏｐｙ）を用いる制御デバイスに関する。前記ジョイントの回転軸（ｙ、ｚ）が、互いに、及び発光器と受光器との間の主光路（ｘ）に対して垂直であることにより、制御された輪郭の画像を高い精度で復元することができる。本発明の装置は特に、溶接法、中でも窪んだ丸溝に適用することができる。

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本発明は、別個の光路内に設けられた２つの音響光学変調器、アナログ信号を形成する受光器、及び、該受光器の後ろ側に接続された、アナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器を有しており、一方の変調周波数ｆ_１の一方の音響光学変調器と、他方の変調周波数ｆ_２の他方の音響光学変調器が制御され、一方の変調周波数ｆ_１及び他方の変調周波数ｆ_２の差は、ヘテロダイン周波数ｆ_Ｈｅｔを形成し、Ａ／Ｄ変換器で、アナログ信号からデジタル信号にサンプリング周波数ｆ_ａで変換されるヘテロダインインターフェロメータの制御方法に関する。
そのようなヘテロダインインターフェロメータで、変調周波数ｆ_１，ｆ_２及びサンプリング周波数ｆ_ａからなる各周波数の少なくとも２つを、共通の発振器の基本周波数ｆ_{Ｑｕａｒｚ}から形成することによって、各変調周波数の固定比が保持され、この各変調周波数の固定比が、経年変化及びドリフトによって相互にシフトしないようにすることができる。
更に、こうすることによって、サンプリング周波数ｆ_ａが、ヘテロダイン周波数ｆ_Ｈｅｔの各変調周波数ｆ_１，ｆ_２の差周波数に対して固定の位相比となるようにされる。サンプリングは、一定位相でドリフト及び経年変化とは無関係に行われるので、測定精度が高められる。
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【課題】 ユーザフレンドリな入力インタフェースを提供する。
【解決手段】 長寸の物体の姿勢と、不変特徴部がある平面に物体の先端が接触する間に先端の絶対位置とを決定する装置及び方法を提供する。この方法は、プローブ放射線により平面及び不変特徴部を照明する過程と、平面及び不変特徴部から長寸の物体の軸線に対して角度τで長寸の物体に戻るプローブ放射線の散乱部分を検出する過程を提供する。姿勢は、散乱部分の反応から表面及び不変特徴部または特徴部へ導き出される。表面上の先端の絶対位置は、姿勢と、不変特徴部に関する情報から求められる。 （もっと読む）

光起電性素子などの対象物（６）のテクスチャー表面（４）上の角錐（３）のサイズを測定する装置であって、該装置（１）は、対象物ホルダー（１０）と、テクスチャー表面領域（２１）から反射光を得るために通常動作中に該領域（２１）上に平面波ビームを照射する光源（１２）と、通常動作中に該反射光の強度を測定する検出器（１３）と、検出器（１３）の測定値をさらに処理するための手段（１４）とを備える。

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【課題】対話型ディスプレイシステムは、画素ベースの表示面と、ライトペンとを含む。
【解決手段】表示面にパターンシーケンスが投影される。このパターンシーケンスは表示面の各位置に対して一意の光強度シーケンスを有する。パターンシーケンスを投影している間に、ライトペンによって任意の位置における光強度が検知される。この光強度は復号化されて、その任意の位置の座標が求められる。
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材料の中の歪みの測定のための装置。この装置は、受動的な光ファイバのリングと、予め決められて形状をもち、前記のリングと一列に配置され、基板に組み合わされる、少なくとも１つのセンサと、(i)放射源により放出された放射の一部を前記の受動的な光ファイバのリングの中に導入し、そして、(ii)受動的な光ファイバのリングにおいて共鳴する放射の一部を受け取る、結合手段と、結合手段により受け取られた放射のレベルを検出し、それに対応した信号を生成する検出器と、検出器に結合され、受動的な光ファイバのリングにおける放射の減衰の割合に基づいて、基板に誘起された歪みのレベルを決定するプロセッサとからなる。
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チェッキング方向（Ｘ）に沿って機械部品（２）、たとえば旋盤の工具の位置をチェックする方法およびシステムは、レーザビーム（７）、およびビームの中断を検出するセンサ（８）を有するオプトエレクトロニクス・デバイス（１）を使用する。チェッキング領域（１３）におけるチェックされる部品とオプトエレクトロニクス・デバイスとの間の相互変位は、チェッキング方向に垂直な方向（Ｚ）に沿った線形検査運動（３０）および検査位置（Ｐｉ；Ｐ１〜Ｐ４）を含むシーケンスに従って制御される。検査位置は、サーチされる位置（ＰＮ）へ収束するシーケンスに従って、累進的に縮小する相互間の距離（Ｄ）だけチェッキング方向に沿って離される。
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表面上にレーザテンプレートを投影するレーザイメージングシステムと方法とは、外部計測装置を使用して表面の位置と方向とを独立して決定する工程と、計測装置を使用してレーザ投影装置の位置と方向とを独立して決定する工程と、レーザテンプレートを投影するために、計測装置からコンピュータへの信号を生成し、表面に対してレーザ投影装置の方向を定める工程とを含む。装置は、固定された場所にある複数の計測発信装置と、表面に対して固定された位置にある複数の計測受信装置と、レーザ投影装置の視界の範囲内にあり、且つ、レーザ投影装置かレーザターゲットのどちらか一方に対して固定された位置にある複数の計測受信装置とを含む。レーザ投影装置とフレームとからなるアセンブリもまた開示されており、計測受信装置はフレーム上に配置され、フレームはレーザドリフトを修正するためのレーザターゲットを含む。計測受信装置のための可動支柱は独立したレーザ追尾装置と同様に開示されている。
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【課題】機械部品の存在を検出するための装置、より具体的には、長尺工具の完全性を検査するための装置を提供する。
【解決手段】工具の完全性を検査するための装置は、レーザ光線（２１）を用いる光電子検査機構（７）と、工具と光電子検査機構との間の相対的な移動を可能とする長手方向（Ｘ）に沿って移動可能な載置台（６）と、例えば送受波器（９、１０）を含む前記相対的な位置を検査するための装置と、を備えている。光電子検査機構のセンサ（２２）は、光線の遮光を検出する。この遮光時の送受波器の信号に基づき、これを既知の値と比較することによって、工具の完全性が検査される。載置台に連結された光電子検査機構の連結機構（２４）は、横方向基準面に沿って光電子検査機構を振動させることができ、この振動により感知可能な画定領域（３３）が画成される。振動はモータ（２６）により制御され、光線の遮光はセンサにより検出されて、該センサにより工具の端部が感知可能な画定領域に干渉する瞬間が示される。
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【課題】 液晶分子が存在する液晶層のみのリタデーション（ｄＬＣ・△ｎ）を求めることができ、セル厚を求めることができる液晶表示装置、そのセル厚測定装置及び測定法並びに位相差板を提供する。
【解決手段】 液晶領域中の液晶分子が電圧無印加時に略垂直に配向する液晶層と、液晶層を挾持する１対の基板と、を備える液晶表示装置の液晶セル５の厚さを測定するセル厚測定装置において、面内にリタデーションを有する１対の１軸性位相差板をその遅相軸方向をそろえて両外側表面に取付けた液晶セルを搭載するステージ１と、偏光子２３を有し、かつ、位相差板の遅相軸方向に対して方位角方向４４°〜４６°の偏光光を出射する光源２と、偏光光に対して偏光子とクロスニコルに配設された検光子３１を有し、かつ、偏光光の透過光量を検出する光検出器３と、位相差板に垂直な方向から偏光光の極角方向入射角を変化させる回転装置４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】透明膜の段差の測定方法に関し、非接触、非破壊で且つ簡単な操作で高速、高精度に位相シフターの段差を測定すること。
【解決手段】第１の透明膜１の一部に形成された複数の第１の溝Ｓａ₁ ，…，Ｓａ_n の段差量ｔ₁ ，…．ｔ_n と該第１の溝Ｓａ₁ ，…，Ｓａ_n からの反射光の偏光状態を示すパラメータの値との相関関係ｆ₁ を求めてデータベース化した後に、第２の透明膜４２の一部に形成された第２の溝４５の反射光の偏光状態を示すパラメータの第１の値を計測して、該第１の値と前記データベースの前記相関関係に基づいて該第２の溝４５の第１の段差量を求める工程を含む。 （もっと読む）

【目的】 被測定物の種類、あるいは塗料の種類によらず、常に一定のレーザー光を用いて、被測定物上に塗布された塗膜厚さを、その乾燥・硬化前の状態で、非接触でしかも極めて高精度に、測定しうる簡易な手段を提供する。
【解決手段】 塗装膜厚の測定方法を、塗装前の状態において基準面から被塗装体までの距離をレーザー変位計により測定する被塗装体表面位置測定段階と、塗装後の状態において他の基準面から塗面までの距離をレーザー変位計により測定する塗膜面位置測定段階と、前記被塗装体表面位置測定段階により測定された距離と前記塗膜面位置測定段階により測定された距離との差に基づき塗膜の厚さを算出する塗膜厚算出段階とを有するものとする。 （もっと読む）