【課題】簡素な構造で立体形状を高精度に計測可能な計測装置を提供する。
【解決手段】計測装置１００は、複数の波長成分を有する光を計測物５０に照射する光源１と、軸上色収差を有する回折レンズ２と、干渉画像生成部３と、分光画像生成部２１と、立体形状算出部２２とを備える。干渉画像生成部３は回折レンズ２からの光を、可変の光路長差を有する光束Ｌ１，Ｌ２に分割するとともに、その光束Ｌ１，Ｌ２を重ねることで干渉画像を生成する。分光画像生成部２１は、干渉画像が有する干渉光の強度の情報をフーリエ変換することによって、計測物５０からの光の分光スペクトルの情報を有する分光画像を生成する。波数ごとに分光画像は生成される。この分光画像に基づいて合焦点位置が算出されるとともに、その合焦点位置から計測物５０の立体形状が算出される。 （もっと読む）

【課題】被計測物に損害を与えずに、被計測物の形状を正確に計測する。
【解決手段】形状測定装置１１は、スペックルパターン２が投影された被計測物１を撮像する撮像装置１３、１４を備え、撮像装置１３で撮像された画像と、撮像装置１４で撮像された画像とから被計測物１の形状を計測するものである。被計測物１に対して、スペックルパターン２を白色光によって投影する投影装置１２を備えている。撮像装置１３と撮像装置１４は、撮像装置１３で撮像された被計測物１の画像と、撮像装置１４で撮像された被計測物１の画像とが互いに角度がずれて撮像される位置に、配置されている。 （もっと読む）

【課題】画像データを分析するためのパラメータを出力する。
【解決手段】分析パラメータ出力装置１は、画像データに含まれるオブジェクトの位置を対応付けて記憶したオブジェクト位置データ１２ａと、オブジェクト位置データ１２ａを読み出して、オブジェクトの密集度を算出する密集度算出部２３と、複数の前記画像データのオブジェクトの密集度の平均を算出するとともに、画像データごとに、画像データの密集度と平均との比率からパラメータを算出するパラメータ算出部２４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被加工物の上面位置を計測する高さ位置計測装置およびレーザー加工機を提供する。
【解決手段】発光源からの光を第１の経路に導き、反射光を第２の経路に導く光分岐手段と、第１の経路に導かれた光を平行光に形成するコリメーションレンズによって平行光に形成された光を被加工物に導く対物レンズと、コリメーションレンズと対物レンズとの間に配設され、対物レンズ側の端面に反射ミラーが形成され、光路長を伸ばす透明体からなる円筒状の基準光路長設定部材と、反射ミラーによって反射し第１の光分岐手段から第２の経路に導かれた反射光と、被加工物で反射し第１の光分岐手段から第２の経路に導かれた反射光との干渉を回折する回折格子と、回折した反射光の所定の波長域における光強度を検出するイメージセンサーからの検出信号に基づいてチャックテーブルの表面から被加工物の上面までの距離を求める制御手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】照度比にばらつきが生じている場合でも、肌領域を精度良く検出する。
【解決手段】LED２３−１は、第１の波長の光を検出対象物４１に照射し、LED２３−２は、第２の波長の光を被写体に照射する。そして、撮像部２４は、第１の波長の光が被写体に照射されているときに入射される被写体からの反射光に基づいて第１の画像を生成するとともに、第２の波長の光が被写体に照射されているときに入射される被写体からの反射光に基づいて第２の画像を生成する。画像処理部２７は、補正する際に用いる補正値を用いて、第１の画像の輝度値又は第２の画像の輝度値、若しくは第１の画像と第２の画像の輝度値の差分と比較される閾値の少なくとも一方を補正し、差分と閾値との比較結果に基づいて、肌領域を検出する。本発明は、例えば、人の手の動き等を検出する検出装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】高速で走行する透明フィルムに生じた欠陥をリアルタイムに高い検出率で検査できる欠陥検査装置及び該装置を用いる透明フィルムの欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】暗室環境下で、透明フィルムの欠陥を検査するための装置において、透明フィルムの下方に設置された平行光源から照射される光が格子状チャートユニットを介して透明フィルムに垂直に当たり、キャプチャーされた画像に写る欠陥箇所の異常屈折を検出する。キャプチャー時に発生するノイズは、画像処理ユニットにより除去を行い欠陥部分とノイズ部分を誤認識することを避け、レンズの歪みによる補正は、取り込む画像を制限することにより処理効率の向上を図りリアルタイム処理を実現している。 （もっと読む）

【課題】粉塵や飛沫のある場所でも撮像や検出が可能な光学検出装置を提供する。
【解決手段】気体供給孔１９８,１９９は、圧縮空気源から内部空間１９２へ与圧気体を供給する。気体供給孔１９８,１９９を通して内部空間１９２に供給された気体は、開口１９３からハウジング１９１の外部に噴き出される。開口１９３から気体を噴き出すことで、切削液や削り屑又はその混合物による検出部１９５のレンズあるいは照明部１９７の汚染を防止できる。また、開口１９３がオリフィスの役割をし、気体の流速を増加させ、ワーク上の切削液等を吹き飛ばすことができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で素材、板厚、端面の状態等を含めたガラス基板等の状態の検査を行うことが可能なガラス基板検査装置及びガラス基板の製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】画像データを解析する解析手段を有し、前記解析手段は、前記画像データの所定領域内における色に基づき前記ガラス基板の素材を判別する判別手段と、前記ガラス基板の板厚を算出する板厚算出手段と、前記ガラス基板の端面に対する加工が行われているか否かを検出する端面状態検出手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 大変形を高精度かつ動的に計測可能な計測装置及び計測方法を提案する。
【解決手段】 スペックル干渉を用いた変形計測において、２光束のうち一方の光束が非コリメート光となる光路と平行平面状の透明物体を利用し、キャリア縞を形成することが可能となる。具体的には、非コリメート光となる光路上に上記透明物体を設置、または光路上からの除去、もしくは光路上に設置した透明物体の屈折率、厚み、光軸に対する傾斜角を変更する。上記処理とスペックル干渉パターンの取得を繰り返し行うことにより、変形に応じた縞画像からの位相解析を行うことができ、大変形を高精度かつ動的に計測できる。 （もっと読む）

【課題】露光装置及びその制御方法において、基板上の複数のショット領域のそれぞれに対して、原版のパターンを位置合わせする際の位置合わせ精度を落とすことなく、スループットを向上させる。
【解決手段】ショット補正パラメータの自動計測を行うかどうかを判断し（Ｓ６０２）、計測を行う場合にのみ、ショット補正パラメータの自動計測を行うことで処理を減らす（Ｓ６０３）。その後、ウエハ補正パラメータの自動計測を行い（Ｓ６０４）、ショット補正パラメータの自動計測を行ったかどうかに応じて、ショット補正パラメータとウエハ補正パラメータとの相対パラメータδを算出するか（Ｓ６０６）、記憶してある相対パラメータδ及びウエハ補正パラメータからショット補正パラメータを算出するか（Ｓ６０７）を判断することで、位置合わせの精度を保つ（Ｓ６０５）。得られたショット補正パラメータとウエハ補正パラメータとに応じて、装置ユニットを駆動し（Ｓ６０８）、露光する（Ｓ６０９）。 （もっと読む）

【課題】被検物の温度管理を行って高精度の形状測定が行える計測装置を提供すること。
【解決手段】被検物の形状を測定する計測装置であって、
前記被検物の形状情報を採取する検出手段と、
少なくとも前記検出手段の汚染を防止する気体流を形成する汚染防止気体流形成手段と、
前記被検物の温度を計測する温度計測手段と、
前記被検物の温度を調整する気体流を形成する気体流形成手段と、
前記温度計測手段からの情報に基づいて、前記気体流形成手段を制御して、前記被検物の温度を所定温度範囲に保持する温度制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】異なる視点からの撮影画像である左画像と右画像を適用した被写体距離の算出を確実に行うための変換パラメータを算出する装置および方法を実現する。
【解決手段】異なる視点から撮影された左画像と右画像の射影変換を実行する射影変換処理を実行して、射影変換のなされた射影変換左画像と射影変換右画像を適用したステレオマッチングによるエラー評価値を取得する。射影変換左画像と射影変換右画像の画像回転角度情報とエラー評価値の対応情報に基づいてエラー評価値が最小となる画像回転角度を求め、その画像回転角度に対応する射影変換パラメータを算出する。この処理により、ステレオマッチングにおいてエラーの発生可能性が低減された最適な射影変換パラメータを算出することができる。 （もっと読む）

【課題】一度の計測で、色相の異なる複数の色相データを取得して、高い空間分解機能をもち、迅速な三次元計測装置を提供する。
【解決手段】三次元形状計測装置は、計測対象物４０に対して、色相が連続的に変化するパターン光を投影する照射装置２０と、計測対象物４０からの反射光を撮像する一対のカラー撮像手段３０と、一対のカラー撮像手段３０から得られた一対の撮像画像の色相データを、動的計画法を用いたマッチングを行い、ステレオ対応付けを行い、三角測量法を用いて三次元形状の情報を算出する演算手段を有する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の形状測定の精度と測定の作業効率を向上させることができる、ガラス基板の形状測定装置を提供すること。
【解決手段】ガラス基板Ｗを載置可能な載置部１１と、ガラス基板Ｗの被測定部位Ｗａの測定基準となる基準形状１２ａが形成された基部１２と、被測定部位Ｗａと基準形状１２ａを被写体とするカメラ１４と、カメラ１４による被写体の撮像画像に基づいて、基準形状１２ａに対する被測定部位Ｗａの相対位置を検出する相対位置検出部３１と、基準形状１２ａの絶対位置と相対位置検出部３１によって検出された相対位置とに基づいて、被測定部位Ｗａの絶対位置を検出する絶対位置検出部３２とを備える、ガラス基板の形状測定装置。 （もっと読む）

【課題】位相シフト法で立体形状を測定して行う被検査物の検査が低ノイズで効率良く行えるようにする。
【解決手段】通常状態で撮影を行う（ステップＳ１１）と共に、位相シフト法で立体形状を測定するために、格子縞を投光させた状態で撮影を行う（ステップＳ１２）。撮影して得た二次元画像から、被測定物の検査領域を特定する（ステップＳ１４）。そして、格子縞が投光された二次元画像から、特定した検査領域について立体形状を測定して、立体形状検査を行う（ステップＳ１５）。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスの回路パターンの測長輪郭線の位置を高精度に求める。
【解決手段】パターン計測装置は、転写された回路パターンの画像輪郭線を取得する（ステップＳ３０１）。そして、パターン計測装置は、デザインデータを基本形状に分解し（ステップＳ３０２）、基本形状ごとに法線ベクトルを算出する（ステップＳ３０３）。次に、画像輪郭線に基本形状をマッピングし（ステップＳ３０４）、画像輪郭線にマッピングされた基本形状に対応する法線ベクトルを用いて測長輪郭線の位置を求める（ステップＳ３０５）。なお、デザインデータは、ＯＰＣ（光近接効果補正）の処理が行われていてもいなくても、いずれの場合にも適用できる。 （もっと読む）

【課題】カメラにより撮影された画像からケーブルを効率的に検出すること。
【解決手段】可視カメラ及び赤外線カメラによりそれぞれ撮影されたケーブルの可視画像及び赤外線画像を入力し、可視画像と赤外線画像との各画素の輝度の相違量に基づいて、ケーブルの位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】周囲の状況に関わらず自己の位置の推定精度を向上させる。
【解決手段】予め周囲地図記憶部１１に記憶された移動体の周囲の特徴情報２２と当該特徴情報２２の位置情報２１とを取得し、地図内面構造設定部１２が複数の特徴情報２２を含む領域の面構造を設定し、地図内特徴点可視性判断部１３が、面構造によって、移動体の位置から特徴情報２２が撮像不能である場合に、当該特徴情報を可視性がないと判定し、自己位置推定部１５が、移動体の周囲の特徴情報２２のうち可視性がないと判定された特徴情報２２を除いて、取得された特徴情報２２及び位置情報２１と自己の位置から撮像した撮像画像内の実特徴とに基づいて、移動体の位置を推定する。 （もっと読む）

【課題】大気中の物質に対する耐食性に優れ、かつ高精度なナノメーター標準原器を提供する。
【解決手段】ナノメーター標準原器としての標準試料は、比較の基準となる標準長さを有している。また、この標準試料は、ステップ／テラス構造が形成されたＳｉＣ層を有している。そして、ステップの高さが、ＳｉＣ分子の積層方向の１周期分であるフルユニットの高さ、又はＳｉＣ分子の積層方向の半周期分であるハーフユニットの高さと同一である。また、このステップの高さが前記標準長さとして用いられる。 （もっと読む）

【課題】径サイズの異なるタイヤの検査に容易に適用可能なタイヤ検査装置及びタイヤ検査方法を提供する。
【解決手段】タイヤ検査装置１は、タイヤＴの検査面Ｔａを撮像する第１撮像部１０と、検査面Ｔａを撮像する第２撮像部２０と、画像データ補正部１０３とを備える。第１撮像部１０は、タイヤの回転軸方向視において、第１撮像部１０の光軸Ａｘ１０が法線Ｎ１に一致するとともに検査面Ｔａを撮像するように配置されており、第２撮像部２０は、第２撮像部２０の光軸Ａｘ２０が法線Ｎ１に平行に検査面Ｔａを撮像するように配置されている。画像データ補正部１０３は、第２撮像部２０によって取得された画像と第１撮像部１０によって取得された画像とを一致させるように第２撮像部２０によって取得された画像を補正する。 （もっと読む）