【課題】振動ミラーにより光ビームを走査することで対象物上に光のパターンを投影する三次元形状計測装置において、投影する光のパターンの環境条件等による変化を補償する。
【解決手段】ＭＥＭＳミラー１４で走査されるスリット光が実効的な走査範囲のＡ端を通るタイミングを光ファイバ２０Ａ及び光検出器３６Ａにより検出する。時間間隔計測部３８は、往復走査されるスリット光がＡ端を通過するタイミング同士の時間間隔を計測する。走査角度判定部４０は、計測された時間間隔に対応する走査角度変化パターンを求め、そのパターンからレーザー駆動信号の位相に対応する走査角度を求める。変調パターン信号生成部４２は、求められた走査角度に対応するレーザー発光強度を投影パターンから求める。レーザー駆動回路３２は、求められたレーザー発光強度に従って、レーザー１０の発光を制御する。 （もっと読む）

【課題】 透光性管状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 シリンドリカルレンズ５９が、ガラス管Ｇに出射されるレーザ光をＹ軸線方向に集光させて、ガラス管ＧにＸ軸線方向に延びたライン状のレーザ光を照射する。Ｙ軸方向サーボ回路１１９は、４分割フォトディテクタ６２及びＹ軸方向エラー信号生成回路１１８によって検出されたＹ軸方向エラー信号を用いて、ガラス管Ｇに照射されるライン状のレーザ光がガラス管Ｇの中心軸に照射されるようにガルバノミラー５６を回転駆動するモータ５７をサーボ制御する。また、Ｙ軸周り角度サーボ回路１２２は、４分割フォトディテクタ６２及びＹ軸周り角度エラー信号生成回路１２１によって検出されたＹ軸周り角度エラー信号を用いて、ガラス管Ｇに照射されるライン状のレーザ光がガラス管Ｇの中心軸に垂直に照射されるようにガルバノミラー５４を回転駆動するモータ５５をサーボ制御する。 （もっと読む）

【課題】この発明は、複数回撮像しなくてもステレオカメラを校正することができ、手前の支柱により奥のマーカが隠れることがなく、個々のマーカを容易に区別することができるステレオカメラ校正器を実現することを目的とする。
【解決手段】この発明は、ステレオカメラの校正に使用されるステレオカメラ校正器において、向かい合わせた２枚の鏡の間に２つ以上の実マーカを配置し、１つの実マーカに対して２枚の鏡に複数の鏡像が映ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】第１表面に対向する第２表面による反射像の影響を受けずに被評価物体の表面形状を精度よく評価することができるようにする。
【解決手段】評価装置は、評価対象である板ガラスなどの被評価物体３の表面３ａに映し出されたストライプパターン１を、ＣＣＤカメラ２によって撮像するように構成されている。ストライプパターン１は、光源の発光面に設けられている。また、光源が発射する光の波長は、２００〜３８０ｎｍである。ＣＣＤカメラ２によって撮像された画像は、演算装置としてのコンピュータ４に取り込まれ、コンピュータ４によって画像解析が行われる。 （もっと読む）

【課題】断面円形材である高温の棒鋼、線材や鋼管の外径を測定しても測定精度が良く、かつ、スケールや粉塵が投光部及び受光部に付着し難い外径測定装置を提供する。
【解決手段】外径測定装置１は、棒鋼Ｗの外径を測定する外径測定器２と、棒鋼Ｗを挿通させる挿通部材３とを備えている。外径測定器２は、棒鋼Ｗに光Ｌを投光する投光部２１と、光Ｌを受光する受光部２２と、棒鋼Ｗの外径を演算する制御演算部２３とを有している。挿通部材３は、棒鋼Ｗを挿通させる挿通口３１を有しており、挿通口３１が投光部２１から受光部２２への光路に対向するように設けられている。挿通部材３は、挿通口３１を囲繞する環状の送風口３２を有しており、送風口３２は、棒鋼Ｗの径方向外方の周囲を棒鋼Ｗの軸方向にエアーＦを送風してエアーカーテンＡを形成する。送風口３２から送風されるエアーＦの送風方向には遮蔽物がない。 （もっと読む）

【課題】複数の光ファイバ（導光手段）を備えた光プローブに測定光を与えて断層画像を取得する光断層画像化装置において、有効に断層画像を取得できる測定光の光量の低減をできだけ抑止して断層画像の品質向上等を図る光断層画像化装置及び光断層画像取得方法を提供する。
【解決手段】複数チャンネルの光ファイバを備えたＯＣＴプローブに測定光を供給するＯＣＴプロセッサにおいて、ＯＣＴ光源１３から出射された光をＯＣＴプローブの光ファイバに選択的に与える光スイッチ１３が設けられる。そして、プレスキャンによって、ＯＣＴプローブ全周囲の断層画像を取得した後、その断層画像に基づいて有効な断層画像を取得することができるチャンネルの光ファイバを決定し、光スイッチ１３によってその光ファイバのにみ測定光を順次切り替えて供給する。 （もっと読む）

【課題】車両等にターゲットなどを設けることなく、低価でかつ簡易な処理プログラムによって非接触で車両等の寸法を高精度に測定できるようにする。
【解決手段】車両の左右側面及び上面を含む外周面全体に渡って複数のレーザ光を間断のない線状となるように照射することによって、この照射箇所を線状光として認識することができるようになる。この線状光を光切断線としてカメラ装置などで検出することによって車両の外形寸法を測定するようにした。また、測定された車両の外形寸法が車両限界内にあるのか否かの判定を行なう。さらに、車両限界の超過箇所を視認可能に表示する。 （もっと読む）

【課題】 照明光学系の球面収差の状態を考慮することにより照明領域中心部及びその近傍の照明光量を大きくすることができ、検出信号のＳ／Ｎ比を向上させ位置検出用のパターン像を高精度に検出することができる画像情報検出装置を得ること。
【解決手段】 光源手段から出射した光束で、搬送されてくる像担持体の面を照射する照明光学系と、該像担持体の面に形成されている画像を介した光を受光する受光光学系と、受光光学系で得られる信号より該像担持体に形成された画像の画像情報を求める演算手段とを有する画像情報検出装置において、該照明光学系の光学面は球面又は球面と平面より成り、像担持体の面と平行である理想結像面、像担持体の面と平行な面である近軸結像面の該像担持体の面に対して垂直方向の相対的距離をΔとするとき、該像担持体の面が該理想結像面の位置に対し±０．５Δの範囲内に位置するように配置されていること。 （もっと読む）

【課題】互いに離間した複数の平面または回転対称な線織面からなる被検面の傾斜角度を、被検面を傷付けることなく、高精度に測定することが可能な傾斜角度測定装置を得る。
【解決手段】アライメント用反射平面４１および測定光偏向用反射面４２Ａ，４２Ｂを有する反射素子４０を、被検面９１Ａ，９１Ｂから離間した位置に保持し、干渉計１０から反射素子４０に向けて測定光を照射する。アライメント用反射平面４１からの戻り光により形成される干渉縞画像に基づき、干渉計１０に対する反射素子４０のアライメントが調整される。測定光偏向用反射面４２Ａ，４２Ｂにおいて偏向されて被検面９１Ａ，９１Ｂに照射され、再帰反射されて測定光偏向用反射面４２Ａ，４２Ｂを経由し干渉計１０に戻る被検光により形成される干渉縞画像に基づき、被検面９１Ａ，９１Ｂの相対傾斜角度が解析される。 （もっと読む）

【課題】角度２点法プローブのゼロ点校正を角度２点法の環境に対するロバスト性を維持しながら、迅速に、精度よく、かつ簡便に実現できる校正装置及び真直形状測定装置を提供する。
【解決手段】校正対象となる２つの角度センサＳＳ１〜ＳＳ２を円板ＣＰ１〜ＣＰ２に対して相対的に固定し、回転角θ＝０度において２つの多面鏡ＣＰ１〜ＣＰ２の傾斜角を、各角度センサセンサＳＳ１〜ＳＳ２を用いて測定して第１の測定値を求め、且つ回転角θ＝１８０度において２つの多面鏡ＣＰ１〜ＣＰ２の傾斜角を、角度センサセンサＳＳ１〜ＳＳ２を用いて測定して第２の測定値を求め、第１の測定値と第２の測定値とに基づいて、前記角度センサのゼロ点誤差を校正できる （もっと読む）

【課題】ターゲットミラーの傾きにより生じるレーザ光のオーバーラップの影響を緩和して干渉計光軸調整範囲を広げることにより汎用的な製品を提供する。
【解決手段】レーザ光を分光し、分光したレーザ光の一方をターゲットミラーで反射させて前記分光した他方のレーザ光と干渉させ、干渉により生じた干渉縞を光検出器により電気信号に変換してターゲットミラーの変位を測定するレーザ干渉変位測定装置において、前記レーザ光としてパワー分布がほぼフラットなトップハットレーザを用いた。 （もっと読む）

【課題】画像測定装置のための入射角高速可変照射装置を提供する。
【解決手段】画像測定装置のための入射角高速可変照射装置は、ビームを第１光路部に沿うように方向付ける光源と、ビームを受けるとともにビームを第２光路部に沿うように指向させるビーム指向構成と、それぞれの入射角度をなして構成された複数の表面部を含み、ビームを受けるとともにビームを第３光路部に沿うように視野に偏向させるビーム偏向構成とを含む。ビーム指向構成は、ビーム偏向構成へ向かうビームに狭いまたは広い発散のいずれかを提供する異なるビーム指向表面部を含む。照射装置は、照射の入射角度の高速調整だけでなく、角度前後の角度の範囲（狭いまたは広い）の高速調整をも可能にする。照射装置は、高輝度遠隔光源により提供される光とともに用いるために特に好適である。 （もっと読む）

【課題】被覆膜の厚さと独立して、基板よりも反射率の低い被覆膜付きの基板上に存在するパターンの三次元形状を非破壊で測定することができる三次元形状測定装置を提供することである。
【解決手段】可視光に対して透明な被覆膜付きの基板上に設けられた不透明なパターンの物理的三次元形状を測定する三次元形状測定装置であって、第１波長の照明光と、前記第１波長と異なる第２波長の照明光とを切り替えて照射する光源部と、前記第１波長の照明光を照射したときの前記パターンと前記被覆膜との第１仮想段差と、前記第２波長の照明光を照射したときの前記パターンと前記被覆膜との第２仮想段差とを測定する光検出器と、前記第１仮想段差と前記第２仮想段差とに基づいて、前記パターンの物理的三次元形状を決定する処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】印刷されたはんだの形状を効率良く測定、検査する。
【解決手段】変位センサ２により、プリント板毎にパッド周辺におけるパッド面からのレジスト高さを測定する。予備測定モードで、レジスト高さ記憶部６が、測定された該プリント板のパッド面からのレジスト高さの値を順次受けて、プリント板の識別符号とともに記憶する。測定モードで、はんだが印刷されたプリント板を順次受けて、プリント板のレジストからのはんだの高さを測定するとともに、識別符号を検出する。次に、測定されたレジストからのはんだの高さと、レジスト高さ記憶手段に記憶されている検出された識別符号に該当するパッド面からのレジストの高さとから、パッド面からのはんだの高さを求める。判定部はパッド面からのはんだも高さに基づくはんだ形状と、予め記憶しておいた基準データとを比較して良否判定する。 （もっと読む）

【課題】計測結果の欠損領域を低減しつつ正確な計測結果を得ることが可能な光学式変位計を提供する。
【解決手段】ＦＢ制御部７は、最初の走査の最初の計測点の処理を開始する（ステップＳ１）。次に、ＦＢ制御部７は、現在の計測点の制御モードが計測モードに設定されているか否かを判定する（ステップＳ２）。次の計測点の制御モードが計測モードに設定されている場合、ＦＢ制御部７は、その計測点において検出処理を行う（ステップＳ３）。次の計測点の制御モードが計測モードに設定されていない場合、すなわち探査モードに設定されている場合、ＦＢ制御部７は、その計測点において探査処理を行う（ステップＳ４）。 （もっと読む）

【課題】正確な計測結果を得ることが可能な光学式変位計を提供する。
【解決手段】投光素子２１は、ビーム状の光を発生する。その光は、投光レンズ２２および走査部２３を介してワークＷに照射される。走査部２３は、ワークＷの表面で１次元的に光を走査する。ワークＷからの反射光は、受光レンズ３２を介して受光素子３１に入射する。受光素子２により受光量分布を示す受光信号が得られる。投光制御部３は、投光素子２１の発光レベルを制御する。受光制御部４は、受光素子３１の露光時間を制御する。波形生成部６は、受光信号を波形データに変換する。ＦＢ制御部７は、波形生成部６により得られる波形データに基づいて、投光制御部３、受光制御部４および波形生成部６をフィードバック制御する。 （もっと読む）

【課題】ハーフミラー等の光学系を使用せずに、高精度な軸倒れ測定を行うことができる、ポリゴンミラー用モータのシャフトの軸倒れを測定する測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】光源５と、光源５から射出される測定光６を被測定シャフト１で反射させた反射光の一部を直接受光して第１の受光位置を検出する第１の光検出素子３と、反射光の他の一部を直接受光して第２の受光位置を検出する第２の光検出素子４と、第１の光検出素子３と第２の光検出素子４から出力される信号により、被測定シャフト１の軸倒れ角度を測定する。 （もっと読む）

【課題】光の走査速度を低くすることなく分解能を高めることが可能な光学式変位計を提供することである。
【解決手段】高分解能計測モードでは、往路Ｆ１においてＸ方向における位置Ｐ１１〜Ｐ１５で計測が行われ、復路Ｂ１においてＸ方向における位置Ｐ１１ａ〜Ｐ１５ａで計測が行われ、往路Ｆ２においてＸ方向における位置Ｐ１１ｂ〜Ｐ１５ｂで計測が行われ、復路Ｂ２においてＸ方向における位置Ｐ１１ｃ〜Ｐ１５ｃで計測が行われる。このように、高分解能計測モードでは、光の走査方向の切り替わりに応じて、Ｘ方向における各計測点の位置がずれるように設定される。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面の３次元形状を短時間で測定できるようにした３次元形状測定装置及び３次元形状測定方法を提供する。
【解決手段】測定対象物ＯＢの表面にライン状のレーザ光を照射するレーザ照射装置と、測定対象物ＯＢの表面に照射されたライン状のレーザ光における散乱光の一部である反射光を受光する複数の受光素子からなるエリアセンサとを有する測定カメラ２０を備え、測定対象物ＯＢの表面をライン状のレーザ光によって走査する。エリアセンサの各受光素子によって受光された反射光の受光強度をそれぞれ表す受光データは、ライン状のレーザ光の照射位置ごとに記憶され、エリアセンサにおけるライン状のレーザ光の反射光による直線状の受光ラインを設定して、受光ラインの両側においてエリアセンサの幅よりも狭い所定幅内に属する受光素子による受光データのみを抽出し、３次元形状データを測定する。 （もっと読む）

【課題】 一の材料層に透明或いは半透明の材料層が形成されてなる被検物に対し、一回の走査・撮像工程で、その最表層の高さのみならず、それ以外の層の上面（或いは下面）高さをも測定できるようにする。
【解決手段】 記憶装置３２から走査画像の読み出しを開始した後、最初に検出した光量ピークに対応して求められる焦点面ＦＳの高さ位置から被検部位の高さを算出する構成の高さ測定装置において、走査画像の読み出し開始後順次検出する光量ピークのうち所定番目以降に検出される光量ピークに対応する焦点面の高さ位置から前記被検部位の高さを算出する。 （もっと読む）