【課題】結像レンズを持たないＰＤＩを用いて、高精度に面形状を測定できる形状測定装置及び形状測定方法を提供する。
【解決手段】光源と、該光源から放射される光束をピンホールを有するミラーに集光する集光光学系と、該ピンホールから回折される波面の一部からなる参照光束と該波面の他の一部が被検面で反射され、さらに該ミラーで反射された測定光束との干渉縞を検出する検知器と、検出された干渉縞の強度分布より該被検面の面形状を算出する演算部と、を有する被検面の面形状測定装置であって、
該検知器の有効面の開口数をNAccd、該被検面の照射領域の開口数をNAillu、該被検面の測定領域の開口数をNAtestとするとき、NAccd＞NAillu≧ NAtest または、NAccd≧NAillu＞ NAtestとなされている面形状測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】多くの空間を必要とせず、測定点の選択が容易でより正確な測定方法を提供する。
【解決手段】リングモールド（４）上でガラスパネル（６）を曲げる工程でガラスパネル（６）の撓みを測定する方法であり、ガラスパネルの測定点で撓みを測定し、測定データが曲げ工程の進行状況、特にガラスパネル（６）の加熱又は曲げ工程の不完全さを制御するために適用される方法であり、リングモールド（４）に対して不動の参照面（５ａ、５ｂ）が設定され、距離ゲージ（７、７０）が、参照面（５ａ、５ｂ）と該距離ゲージ間の距離を測定するために使用され、距離ゲージ（７、７０）が、ガラスパネル（６）の測定点と該距離ゲージ間の距離を測定するために利用され、及びガラスパネル（６）の撓みが、参照面（５ａ、５ｂ）と距離ゲージ（７、７０）間の距離を、該ガラスパネル（６）の測定点と該距離ゲージ（７、７０）間の距離と比較することにより測定される。 （もっと読む）

【課題】 非接触形状測定装置において、製造現場等の任意の場所へ持ち運んで精密な測定をすることができ、従来の測定装置よりもずっと低価格にできること。
【解決手段】 非接触形状測定装置１においては、移動式測定器３を底部１２に取付けられた３個のマグネットで鋼鉄製の定盤２に固定し、２個の画像センサ１１Ａ，１１Ｂで定盤２の表面に付された微小な不均一な模様を撮像して、２つの撮像画面をパソコンのメモリーに記憶された不均一な模様の全てのデータと瞬時のうちに比較照合して、登録データの中の一致するパターンをサーチして撮像中心点Ａ，点Ｂの座標を極めて高精度で算出できるので、計測部（変位センサ）７から細いビームに集光した可視レーザ光を製品Ｗに照射して計測される製品形状のデータも高精度で得られ、製造現場等の任意の場所へ持ち運んで精密な測定をすることができ、従来の測定装置よりもずっと低価格にできる。 （もっと読む）

【課題】 検査対象物の外観を確実に検査することができる外観検査用装置を提供する。
【解決手段】 第１の基台１１は、鏡面状に加工された第１の円錐台面１７を有しており、この第１の基台１１には、第１の円錐台面１７の中心軸線に沿って、円筒状の孔１８が形成されている。この孔１８には、第１の円錐台面１７と同心軸状に、第２の基台１２が配置される。第２の基台１２の先端部は、円錐台形状となっており、鏡面状に加工された第２の円錐台面２１を有している。そして、検査対象物７における外内周の端縁の全周が、第１の円錐台面１７及び第２の円錐台面２１に当接されて配置されている。また、照明器１６には、複数の光源１９が円周上に配列され、検査対象物７の上面７ａ、外周面７ｂ或いは内周面７ｃに対して、直接光を照射する。この状態で検査対象物７をカメラ６によって撮像する。 （もっと読む）

本発明による装置は、少なくとも２つの異なる測定モードで動作することができる対物レンズを備える。第１の干渉モードにおいて、測定対象物は、干渉光学測定法によって測定される。第２の画像化測定モードにおいて、光学画像が、たとえばカメラのような検出器アレイで生成され、画像処理ルーチンを施されてもよい。２つの測定モード間の切換えは、対物レンズの照明の種類と、干渉計の参照ビーム経路に配置されることが好ましく、用いられる光のスペクトル組成に応じて参照ビーム経路を動作状態または非動作状態にする素子と、によって行われる。このようにして、２つの測定モード間の簡単かつ迅速な切換えは、対物レンズの交換を必要とすることなく、または対物レンズの移動も必要とすることなく行われる。切換えの迅速さに加えて、干渉分光法によって生じた測定データと画像処理によって生じた測定データとの間の良好な相関が達成される。干渉分光法および画像処理によって生じた測定データは、全く同一の基準座標系で得られる。
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表面上にレーザテンプレートを投影するレーザイメージングシステムと方法とは、外部計測装置を使用して表面の位置と方向とを独立して決定する工程と、計測装置を使用してレーザ投影装置の位置と方向とを独立して決定する工程と、レーザテンプレートを投影するために、計測装置からコンピュータへの信号を生成し、表面に対してレーザ投影装置の方向を定める工程とを含む。装置は、固定された場所にある複数の計測発信装置と、表面に対して固定された位置にある複数の計測受信装置と、レーザ投影装置の視界の範囲内にあり、且つ、レーザ投影装置かレーザターゲットのどちらか一方に対して固定された位置にある複数の計測受信装置とを含む。レーザ投影装置とフレームとからなるアセンブリもまた開示されており、計測受信装置はフレーム上に配置され、フレームはレーザドリフトを修正するためのレーザターゲットを含む。計測受信装置のための可動支柱は独立したレーザ追尾装置と同様に開示されている。
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