【課題】 ガイドシャフトでガイドされた可動部を有する可動装置に設けられ、可動部が基準位置に存在するのか否かを検出する位置検出装置を提供する。
【解決方法】 エアセンサ３０（位置検出装置）は、コマ１８とブッシュ４０とエア流路２８と圧力計２６を備えている。コマ１８は、ガイドシャフト１２に略同軸に設けられ、ガイドシャフト１２よりも大径である大径部１８ａを有し、ガイドシャフト１２に対して揺動可能に支持されている。ブッシュ４０は、貫通孔４２が形成され、可動部１０が基準位置に達したときにコマ１８の大径部１８ａが貫通孔４２に入る位置に固定されている。エア流路２８は、外部から供給されるエア（流体）を貫通孔４２内に供給している。圧力計２６は、エアの圧力を監視している。リフタ装置２では、エアセンサ３０を用いて可動部１０の位置を精度よく検出することができる。 （もっと読む）

【課題】寸法安定性も呈するガスゲージ近接覚センサによって、精確なナノメートル規模の測定を提供することである。
【解決手段】対象物への距離を感知するガスゲージは、ガス供給システムと、ガス供給システムからノズルと対象物の間の空間にガスを供給するノズルとを含む。例えば、ガス供給システムは、層流と乱流の間の遷移領域の流れに対応する流量でガスを供給する。表面の摩擦係数を増加させるように、ノズルの表面を粗くすることができ、これはガスの圧力低下を増加させ、ノズルの利得も増加させる。増加した流量によって発生したノイズは、１つ又は複数の戦略的に配置されたヘルムホルツ減衰器及び／又は緩衝器を使用して減衰することができる。 （もっと読む）

【課題】例えばＦＰＤ用ガラス基板などにおいて、非接触、非破壊で、高精度に高速で表面形状を測定し、ソリなどの不具合を検出することが可能な表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】被測定部材１を載置するためのステージ２と、被測定部材１の表面変位を非接触で測定するための複数のエアースキャナ３と、複数のエアースキャナ３を、所定の測定位置に移動させるための駆動制御部５と、各複数のエアースキャナ３に対応して、測定位置での測定データをそれぞれ演算処理するための第1のデータ処理部７と、各第1のデータ処理部で演算処理された測定データを合成処理するための第２のデータ処理部８を備える。 （もっと読む）

【課題】電気的なセンサとは異なる構造によってアクチュエータの動作を検出できる動作検出センサを提供する。
【解決手段】変形動作するバルーンアクチュエータ１２に検出用流路２が設けられている。検出用流路２は、動作するバルーンアクチュエータ１２の動作に応じて変形することで、通過させる流体の流路抵抗が変化する。そして、流路抵抗の変化による前記検出用流路２を通る流体の流量の変化を測定手段３が測定する。 （もっと読む）

【課題】内径加工機の前工程において、ワークの未加工を判別し、内径加工機の後工程において、ワークの加工ずみの判別を、省スペース、低価格、高精度に行うことができる内径加工ワーク判別装置を提供。
【解決手段】内径加工機の前と後に、ワーク内８に小径部６を有する未加工測定ピン４を嵌合させ複数個のノズル３がワーク内８に開口する位置まで押し下げて流体の圧力を測定し、測定した流体の圧力が予め定めた第１の圧力を越えたとき、未加工ワークと判別する未加工ワーク判別装置10と、ワーク内28に小径部26を有する加工済み測定ピン24を嵌合させて複数個のノズル23がワーク内28に開口する位置までリング35が上昇させられて流体の圧力を測定し、測定した流体の圧力が予め定めた第２の圧力以下であるとき、加工済みワークと判別する加工済みワーク判別装置20と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 鋳型の衝合面に生じた隙間を、鋳型を傷つけることなく確実かつ迅速に検査することができる。
【解決手段】
互いに気密的に衝合されて、上型６１と下型６２を衝合して構成された鋳型６を収納し鋳型衝合面６ａを含む外周に外気から遮断された第１空間Ｓ１を形成する一対の容器形成部材１，２を備える。容器形成部材２には、下型６２の外側面のに開口する湯口６２２を囲んで外側面の少なくとも一方に気密的に当接して、湯口６２２に臨みかつ外気および第１空間Ｓ１から遮断された第２空間Ｓ２を形成するシール部材３２を設け、かつ容器形成部材１に、第１空間Ｓ１と第２空間Ｓ２の間に空気を流通させる排気装置５６を、容器形成部材２に、空気の流量に応じて変化する流速を検出する風速計５１を設ける。 （もっと読む）

【課題】基準面スタンドオフと測定面スタンドオフの間の差を感知するためのチョークドフローオリフィスを有するガスゲージ近接センサを提供する。
【解決手段】現在の近接センサとは異なり、本発明のガスゲージ近接センサは、マスフローコントローラの代わりにチョークドフローオリフィスを使用している。チョークドフローオリフィスを使用することにより、装置コストが低減し、システムの信頼性が改善される。ガス供給源は、ガスを近接センサ内に強制的に供給する。その時点で、質量流量の流速が圧力の変動の影響をほとんど受けなくなる音速状態を達成するために、ガスがチョークドフローオリフィスを通して強制的に供給される。ガスの流れは、チョークドフローオリフィスからセンサ流路システム内に進む。センサ流路システム内の質量流量センサは、制御動作をスタートするために使用することができる測定スタンドオフを検出するために流速を監視する。 （もっと読む）

【課題】 多孔体の細孔の細孔径の正確な分布を測定することができる測定方法及びその方法を用いた装置を提供する。
【解決手段】
既知の細孔径のそれぞれの寸法の細孔のみを有する標本多孔体に対して第１の液体の吸着ポテンシャルを求める吸着ポテンシャル作成工程（Ｓ１）と、標本多孔体のそれぞれの細孔径と標本平衡濃度比率との関係を求める標本平衡濃度比率関係作成工程（Ｓ２）と、既知の濃度ごとの平衡濃度比率を算出する平衡濃度比率算出工程（Ｓ３）と、平衡状態における既知の濃度ごとの多孔体の細孔内に残留する第１の液体の残留量を算出する残留量算出工程（Ｓ４）と、多孔体の細孔の細孔径及びその分布を評価する細孔評価工程（Ｓ５）とを具備する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、近接センサヘッドのドリフトが該近接センサの精度に及ぼす影響を低減するための自己補償メカニズムを含む格納式の近接センサを提供することである。
【解決手段】前記課題は、基準面スタンドオフと測定面スタンドオフとの間の差を検出する格納式の近接センサを、近接センサハウジングが支持する構成によって解決される。 （もっと読む）

比較的長くかつ薄いオリフィスを備えた細長いノズルを有する測定プローブの間の極めて小さな距離を正確に検出するためのシステム及び方法。近接センサは、一定ガス流を使用し、極めて小さな距離を検出するためにニューマチックブリッジ内の質量流量を検出する。システム及び方法は、多孔質材料から形成された流れ制限器及び／又はスナッバ、及び／又は質量流量制御装置を使用し、これらは、様々な組み合わせにおいてナノメートルからサブナノメートルの範囲での極めて小さな距離の検出を可能にする。
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【課題】本発明の課題は、加工品の表面上のレジストの種類または露光波長に関係なくどのような環境でも使用でき、かつ外部ノイズに対して実質的に影響を受けない流体ゲージ近接センサを提供することである。
【解決手段】前記課題は、変調された単方向の流体の流れまたは交番的な流体の流れのソース、およびノズルと流量センサまたは圧力センサとを有する少なくとも１つの経路が設けられており、該流体はノズルとターゲットとの間のギャップに存在し、該流量センサまたは圧力センサは、該ギャップの大きさにしたがって変化する振幅変調された信号を出力することを特徴とする流体フロー近接ゲージによって解決される。 （もっと読む）

【課題】就寝者の体位を有効に変換させて、就寝者のいびきを効果的に防止する。
【解決手段】就寝者の頭部を受ける左体位変換用空気袋９Ｌおよび右体位変換用空気袋９Ｒの前方下部に、それぞれ、左位置検知用空気袋１０Ｌおよび右位置検知用空気袋１０Ｒを対応付けて配置する。左位置検知用空気袋１０Ｌ内および右位置検知用空気袋１０Ｒ内の空気を、それぞれ配管１２Ｌ，１２Ｒを介して適宜圧力センサに導いて、その位置検知用空気袋１０Ｌ，１０Ｒ内の空気の圧力を検知する。
【効果】位置検知用空気袋１０Ｌ，１０Ｒ内の空気の圧力に基づいて就寝者の位置を検知し、その検知結果に基づいて、１対の体位変換用空気袋９Ｌ，９Ｒに対する給気または排気を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 加えられる回転変位（角度変位）の大きさに係わらず、回転検出対象の回転状態を確実に検出することができるようにする。
【解決手段】 回転センサは、円環状の環状容器１１を有する。この環状容器１１は、円環状の液体流路１１１を形成する。この液体流路１１１には、液体が封入されている。また、この液体流路１１１には、梁１２が設けられている。この梁１２は、環状容器１１の回転に伴って生じる液体の流動によって変位させられる。この梁１２には、歪みゲージ１３が設けられている。この歪みゲージ１３は、梁１２の変位を検出する。この歪みゲージ１２には、角加速度検出部２０が接続されている。この角速度検出部２０は、歪みゲージ１２の検出出力に基づいて、回転検出対象の角加速度を検出する。 （もっと読む）