【課題】エア使用量を削減することができるエアマイクロシステムを提供する。
【解決手段】エアマイクロメータ１３と測定具１４の間に電磁弁４１を設ける。空気源１１に第二レギュレータ５３を介して接続されたエアセンサ５５は、通流するエアの変化を検出して電磁弁４１へ伝達する。例えばエアセンサ５５の通流量が所定値を超えた際に、その旨を電磁弁４１へ出力すると、電磁弁４１は閉弁して測定具１４へのエアの供給を遮断する。測定具１４の支持板上面にジェットノズル１０１を設け、エアセンサ５５からのエアをジェットノズル１０１の吹出口１０２からワークの下端面へ吹き付ける。測定具１４からワークが取り外されて吹出口１０２が開放されると、エアセンサ５５のエア流量が増大するので、電磁弁４１が測定ヘッドの噴出口８４へのエアの供給を遮断する。 （もっと読む）

【課題】披検出物までの距離が10μm以下の短い距離になってしまうと、背圧が上昇完了するまでに多くの時間が必要になり距離の判別に時間がかかる。
【解決手段】検出圧力を設定するレギュレータ１を内部または外部に設け、供給空気を遮断するための２ポート電磁弁２を設け、この二次側に圧力変換器（圧力センサ・圧力スイッチ・圧力トランデューサなど）３を設け、２ポート電磁弁２と圧力変換器３を制御する制御回路を設ける。検出物の検出面に用意した検出オリフィスまでの間の配管を行い、検出オリフィス５より被検出物に対し空気を流出させる。尚、２ポート電磁弁２はノーマルオープン又はノーマルクローズのどちらを使用しても良いが、この場合制御回路上で検出を行なう時に空気を遮断するよう制御すれば良い。尚、配管の内部に空気温度センサ、外部に温度センサを設けて圧力変換器３の温度による誤差に対し補正をかけても良い。 （もっと読む）

【課題】 ブローを停止してからワークの着座状況を検出するまでに要する時間を短くし、しかも誤信号を出力しない位置確認装置を提供する。
【解決手段】 圧縮検出エアを導く検出流路２２と、圧縮ブローエアを導くブロー流路２３と、テーブルに形成した噴出口に接続する共通流路２８と、検出流路２２およびブロー流路２３のいずれか一方を共通流路２８に連通させ、いずれか他方を共通流路２８から遮断する切換弁２９と、検出流路２２の圧力を検出する圧力検出部Ｓと、検出流路２２、ブロー流路２３および共通流路２８のいずれか１または複数を大気に連通するとともに、当該流路内に滞留する圧縮ブローエアを大気に排出する排気手段３０とを備えた位置確認装置において、上記切換弁２９を、制御機器からの信号に応じて切り換え動作する電磁切換弁で構成する。 （もっと読む）

【課題】寸法安定性も呈するガスゲージ近接覚センサによって、精確なナノメートル規模の測定を提供することである。
【解決手段】対象物への距離を感知するガスゲージは、ガス供給システムと、ガス供給システムからノズルと対象物の間の空間にガスを供給するノズルとを含む。例えば、ガス供給システムは、層流と乱流の間の遷移領域の流れに対応する流量でガスを供給する。表面の摩擦係数を増加させるように、ノズルの表面を粗くすることができ、これはガスの圧力低下を増加させ、ノズルの利得も増加させる。増加した流量によって発生したノイズは、１つ又は複数の戦略的に配置されたヘルムホルツ減衰器及び／又は緩衝器を使用して減衰することができる。 （もっと読む）

【課題】 実測作業を簡略化することで、製造期間の短縮化を図るとともに、メンテナンス作業や取り付け作業を簡略化することができる位置確認装置を提供する。
【解決手段】 検出圧通路１３に設ける検出オリフィス１６と、この検出オリフィス前後の差圧を検出するとともに、この差圧に基づいて変化する出力値ΔＰを出力する差圧検出手段１７と、この差圧検出手段が出力する出力値ΔＰを基にして、テーブル１０と被検出体Ｗとの間の隙間量ｈを演算する演算処理部１８とを備え、この演算処理部は、隙間量０のとき差圧０となる０点を基点にした実測値に基づく実測値特性線に対して近似するとともに、上記０点以外の２点の実測値を特定することによって、実測値特性線に近似する近似特性線を得られる近似式を特定し、かつ、この近似式に基づいて上記差圧検出手段が出力する出力値ΔＰから隙間量ｈを特定する。 （もっと読む）

【課題】 検出圧やブロー用エアを停止した際に、ノズル詰まりや錆が発生することがなく、また、耐圧性が高く、さらにはサイクルタイムの短い位置確認装置を提供する。
【解決手段】 圧力源２５に接続する上流ポート２４およびテーブル２０に設けた検出孔２１に接続する下流ポート２２を連通する検出圧通路２３と、この検出圧通路２３に設ける検出オリフィス２６と、この検出オリフィス２６の前後の差圧を検出する差圧検出手段２７とを備え、この差圧検出手段２７は、上記テーブル２０に設けた検出孔２１とそのテーブル２０に載せた被検出体Ｗとの隙間に応じて変化する検出オリフィス２６前後の差圧を検出する。 （もっと読む）

【課題】基準面スタンドオフと測定面スタンドオフの間の差を感知するためのチョークドフローオリフィスを有するガスゲージ近接センサを提供する。
【解決手段】現在の近接センサとは異なり、本発明のガスゲージ近接センサは、マスフローコントローラの代わりにチョークドフローオリフィスを使用している。チョークドフローオリフィスを使用することにより、装置コストが低減し、システムの信頼性が改善される。ガス供給源は、ガスを近接センサ内に強制的に供給する。その時点で、質量流量の流速が圧力の変動の影響をほとんど受けなくなる音速状態を達成するために、ガスがチョークドフローオリフィスを通して強制的に供給される。ガスの流れは、チョークドフローオリフィスからセンサ流路システム内に進む。センサ流路システム内の質量流量センサは、制御動作をスタートするために使用することができる測定スタンドオフを検出するために流速を監視する。 （もっと読む）

【課題】 高精度、且つ短時間で検査ができるので製造ラインに組み込むことができる面粗さ測定方法およびその装置を目的とするものである。
【解決手段】 一定圧力の流体が供給される中空ヘッド１の開口２により被検査面の所要領域を圧接封鎖し、流体が被検査面に圧接された中空ヘッド１の開口端縁と被検査面の面粗度により生じる隙間から流出する際、面粗度に基づく隙間の総面積によって変動する流出流体の流量または流体圧力に基づいて面粗さを検査する方法及び被検査面の所要領域を圧接封鎖する開口を設けた中空ヘッド１に、該中空ヘッド１内を一定圧力とする流体供給機構３を接続し前記中空ヘッド１に供給された流体が被検査面に圧接された中空ヘッド１の開口端縁と被検査面の面粗度により生じる隙間から流出する際、面粗度に基づく隙間の総面積によって変動する流出流体の流量または流体圧力の変化を検出する流量または圧力検出機構５を設けた装置である。 （もっと読む）

比較的長くかつ薄いオリフィスを備えた細長いノズルを有する測定プローブの間の極めて小さな距離を正確に検出するためのシステム及び方法。近接センサは、一定ガス流を使用し、極めて小さな距離を検出するためにニューマチックブリッジ内の質量流量を検出する。システム及び方法は、多孔質材料から形成された流れ制限器及び／又はスナッバ、及び／又は質量流量制御装置を使用し、これらは、様々な組み合わせにおいてナノメートルからサブナノメートルの範囲での極めて小さな距離の検出を可能にする。
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【課題】被測定物の位置を検出することができるとともに、被測定物の表面形状を測定して報知することができ、加工穴の穴径及び穴の中心間距離を容易に測定することができる工作機械における被測定物の表面形状判定装置を提供する。
【解決手段】加工されたワークＷに対して、エア噴射ノズル２３の先端面を所定間隔ｈだけ離隔した状態で、エア噴射ノズル２３をＸ軸方向に一定の速度で移動すると共に、ノズル本体２７の噴射孔２７ａからエアを噴射し、ワークＷの加工された穴Ｗｂ，Ｗｃの中心Ｏ１，Ｏ２を通るように移動する。圧力測定器３０によって、圧力変動が測定される。この測定されたＸ軸座標に対する圧力の曲線Ｌｘの傾斜部Ｌｄ，Ｌｕの中心点Ｔ１，Ｔ２の座標に基づいて、穴Ｗｂ，Ｗｃの中心Ｏ１，Ｏ２のＸ座標、穴径Ｅ及び穴の中心間距離Ｄ１を演算する。 （もっと読む）