【課題】二重管構造物全体の狭隘部の広さを検査前に外管の外面から精度よく計測可能な隙間測定装置，隙間測定方法及び非破壊検査方法を提供することにある。
【解決手段】
制御演算装置１０は、超音波センサＳから超音波が送信するとともに、超音波センサにより受信した反射波を取り込む。制御演算装置１０は、二重管構造物の外管の外面に設置した超音波センサにより二重管の中心方向へ超音波を送信し、外管の内面で反射した第１反射波と、外管の内面を透過し、内管の外面で反射した第１反射波とから、多重反射波が表示される受信時間に基づいて、狭隘部の隙間の広さを算出する。移動手段１２は、超音波センサＳを外管の周方向に移動する。制御演算装置１０は、周方向の異なる２点以上で計測された狭隘部の隙間の広さに基づいて、二重管構造物の偏心量を求める。 （もっと読む）

【課題】機械内の可動及び固定部材間のクリアランスを測定するための方法及び装置を提供する。
【解決手段】機械２は、固定部材と可動部材２３と含む。可動部材２３は、中心ハブ及び可動部品を含む。可動部品は、中心ハブに固定連結された第１の端部部分、第２の端部部分、及び中間部分を含む。可動部品の第２の端部部分は、ギャップを形成するように固定部材から間隔を置いて配置される。送信エレメントが、固定部材及び可動部材２３の一方に取付けられる。送信エレメントは、ギャップを横切って所定の周波数を有する音波を放出する。受信エレメント７０が、固定部材及び可動部材２３の他方に取付けられる。受信エレメント７０は、送信エレメントからの音波を受信する。機械２はさらに、ギャップを横切ってきた音波に基づいて可動部材２３及び固定部材間に延びるクリアランス距離を求める制御装置を含む。 （もっと読む）

【課題】プレス部品の板隙を簡易にかつ精度高く行うことができる板隙測定装置を提供する。
【解決手段】第１、第２超音波センサ２１，２２が第１、第２板材１１，１２を所定押付け力で押付けた状態で、第１、第２板材１１，１２に対する超音波の伝播時間の計測、並びに第１、第２延長部２８ｂ，３０ｂ間に介在された歪ゲージ２３にかかる押圧力に対応するホイートストンブリッジ回路３５の電圧計３９の出力電圧を計測する。超音波の伝播時間及び伝播速度に基づいて板厚ｔ１、ｔ２を算出し、出力電圧に基づいて両部材全幅Ｌを求め板隙ＩＳ〔＝Ｌ−（ｔ１＋ｔ２）〕を算出する。センサ２１，２２が板材１１，１２を所定押付け力で押付けた状態で得られるデータに基づいて板隙ＩＳを算出するので、測定対象の表面の凹凸度合に影響されずに板隙ＩＳを精度高く得ることができる。両部材全幅が異なる種々の測定対象に対して用いることができ、汎用性を向上できる。 （もっと読む）

【課題】溶接の工程を段階的に監視することにより、溶接品質を向上させることが可能なレーザ溶接方法を提供する。
【解決手段】このレーザ溶接方法は、溶接前工程、溶接中工程、及び溶接後工程の各工程において、段階的に異常の有無を判断することにより、溶接品質の向上を図っている。溶接前工程では、ワーク４１，４２の隙間量Ｓの可否を判断することにより、溶接の歩留まりの低下を抑制する。溶接中工程では、溶接状態を示す物理量に基づいて、溶接システムに異常があるか否かを判断し、溶接品質を低下させる要因を把握する。さらに、溶接後工程では、溶接部のアンダーカット及びアンダーフィルの可否、及び溶接部の対向部位の凹凸量及び折れ量の可否をそれぞれ判断することにより、簡易な手順で溶接品質の信頼性を高めている。 （もっと読む）

【課題】煉瓦間の空隙の厚さを非破壊にて検査可能な耐火物煉瓦間の空隙検査方法を提供する。
【解決手段】検量線スペクトル群取得工程にて、空隙厚さが異なる複数種のモデル構造物の各空隙に対応する検量線スペクトルＦＢ_１（ｆ）〜ＦＢ_６（ｆ）を重ね合わせて、検量線スペクトル群ＦＢを取得する。対象スペクトル取得工程にて、検査対象となる空隙に対応する対象スペクトルＦＢ_ｊ（ｆ）を取得する。比較工程にて、検量線スペクトル群ＦＢと対象スペクトルＦＢ_ｊ（ｆ）とを比較することにより、検査対象となる空隙Ａの厚さΔｗを計測することができる。非破壊にて耐火物煉瓦間の空隙の厚さを検査できる。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ投影装置で基板の高さを測定するために使うレベルセンサで、単段浸漬法リソグラフィ装置にも使え、プロセス依存性がなく、反応速度の速い、従来とは異なる種類のレベルセンサを提供すること。
【解決手段】このレベルセンサは、送信器１０および受信器１１を含み、この送信器は、基板Ｗと投影システムＰＳとの間に基板表面の所定の位置へ向けて圧力波１００を放出し、この圧力波の少なくとも一部を基板Ｗが反射するように構成してあり、受信器は、この反射波の少なくとも一部を受信するように構成してある。このレベルセンサは、この放出し且つ受信した圧力波に基づいて、基板Ｗの表面の高さを決めるように構成してある。このレベルセンサは、圧力波を使うので、浸漬法にも使え、迅速で、プロセス依存性が少ない。 （もっと読む）

【課題】長尺状の隙間から流体を吐出するノズルの当該隙間を短時間に安定して測定することができる隙間検査装置を提供する。
【解決手段】スリットノズル２を固定保持するとともに、超音波プローブ４０，５０をスリットノズル２の外側に所定間隔にて対向配置する。超音波プローブ４０から出射された超音波が平板２ａの内壁面によって反射された反射波ＲＳ２が超音波プローブ４０に到達するまでの時間から超音波プローブ４０と平板２ａの内壁面との間の距離が求められる。同様に、超音波プローブ５０から出射された超音波が平板２ｂの内壁面によって反射された反射波ＲＳ４が超音波プローブ５０に到達するまでの時間から超音波プローブ５０と平板２ｂの内壁面との間の距離が求められる。超音波プローブ４０と超音波プローブ５０との配置間隔からそれらを減算して隙間３の間隔を測定する。 （もっと読む）

【課題】 二重管の内管と外管との間の微小な隙間の大きさを計測する。
【解決手段】 超音波探傷装置を用いて、超音波を内管の内部から、内管の内壁に垂直な方向に発射する。超音波は、内管の外壁に反射してエコーを返す。さらに超音波は、外管の外壁に反射してエコーを返す。隙間が大きいと超音波が隙間を通過しづらいので、外管の外壁からのエコーは小さくなる。そのため、外管の外壁からのエコーの強度の、内管の外壁からのエコーの強度に対する比（エコー強度比）は、隙間の大きさが小さくなるにつれて大きくなる関数関係にある。予めその関数関係を実験などによりデータベース化しておくことにより、エコー強度比が分かれば隙間の大きさが分かる。 （もっと読む）