【課題】
できるだけ長期間にわたって測定精度および信頼性が保証されている、高い測定精度を有するカプセル封入されたコンパクトな距離測定装置を提供する。
【解決手段】
測定方向Ｘに沿って延びる管（２４）であって、該管が、前記縦ガイド（１２）によって測定方向Ｘに平行に案内されるように前記第２の測定素子（２０）に接続されており、前記ハウジング（１１）の開口部（２５）を通して封止するように引き出されており、前記連結ロッド（２２、２２．１、２２．２、２２．３）が前記管（２４）の内部に延び、前記管（２４）が、前記管（２４）の内部における、前記測定方向Ｘに直交して進行する前記連結ロッド（２２、２２．１、２２．２、２２．３）の補正移動を可能にする管（２４）を備えていることにより解決される。 （もっと読む）

【課題】ＡＦＭを用いることで表面が金薄膜１０４で覆われた尖鋭部１０３と被測定試料
２０１との間の距離をトンネル電流が流れる距離にまで近接させることが出来るようにな
り、印加電圧−トンネル電流の関係の面内分布が測れるようになった。しかし、尖鋭部１
０３からの電界により被測定試料２０１中のバンド構造が歪められ、精密に測定を行うこ
とが困難であった。そこで、被測定試料２０１中のバンド構造をより精密に測定するため
の探針を提供する。
【解決手段】尖鋭部１０３を覆うように形成された金薄膜１０４を、さらに酸化シリコン
等からなるトンネル絶縁膜１０５で覆う。ＡＦＭの接触モードで尖鋭部１０３と被測定試
料２０１との距離が極めて近くなった場合でも、尖鋭部１０３を覆う金薄膜１０４と被測
定試料２０１との間にはトンネル絶縁膜１０５分の絶縁物が介在するため、被測定試料２
０１のバンド構造を乱さずに測定することができる。 （もっと読む）

【課題】 接触部の脱落事故がなく信頼性が向上するプローブを提供すること。
【解決手段】 軸部２と、軸部２の先端部分に設けられた接触部３と、を備える。軸部２は、その先端部分が接触部３に埋設されている。かつ、先端部分には軸部２の軸方向に対して交差する方向へ張り出したフランジ部２２を備える。フランジ部２２は、先端方向に行くに従って拡径する形状である。 （もっと読む）

【課題】
回転ローラの半径方向の変形、消耗を抑制しつつ、摩擦係数を高めることができるようにして、直動部材の直動位置の計測精度を向上させる。
【解決手段】
回転ローラ１１０のうち、少なくともロッド２に接触する部分の一部１１０ｄを、回転ローラ１１０の回転中心軸１１０ｃとロッド２０２の表面との距離を一定値ｄに保持することができる程度に硬い材料（たとえばＳ４５Ｃ）で構成し、回転ローラ１１０のうち、少なくともロッド２に接触する部分の他の一部１１４を、回転ローラ１１０とロッド２０２との間で滑りが生じない程度に摩擦係数が高い材料（ＮＢＲ等の弾性部材）で構成する。
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【課題】 ピッチの付着を軽減するとともにセンサの磨耗延命をはかった厚み計を提供する。
【解決手段】 制御手段からの指令によりシートの片面もしくは両面をターゲットで挟んで厚さを測定する厚み計において、
前記制御手段にスキャン監視機能を設け、このスキャン監視機能の出力に基づいて前記ターゲットを間欠的にシートに接触させて測定する。 （もっと読む）

【課題】 高精度・高速で且つ安定な倣い測定を実現可能とする。
【解決手段】 三次元測定装置の倣い測定に用いられ、先端にスタイラス１８を装着してなるプローブにおいて、スタイラス１８の先端球３２の表面にＤＬＣ膜３５が形成され、その摩擦係数が０．１以下に設定されている。 （もっと読む）

【課題】 タンク底板鋼板の板厚の測定をより効率的に行うこと。
【解決手段】 タンク底板の板厚を測定する板厚測定装置Ａであって、板厚測定装置Ａの筐体１には、装置Ａを車輪を用いて走行させる走行機構10と、超音波探触子22及び渦流型センサ23を搭載してタンク底板の情報を取得するための測定台車20と、測定台車20から得た情報を演算処理する演算手段30と、演算手段30により得た情報を表示する表示手段50と、超音波探触子22に対して接触媒質を供給する接触媒質供給手段60と、上記各手段に電源を供給する電源供給手段70と、を一体的に有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
レンズ形状の測定中にスタイラスがレンズから外れて落下することを防止する。
【解決手段】
基台１１の基板１１ａ上には、レンズ保持ユニット１２およびトレーサ機構部１３が設けられている。レンズ保持ユニット１２全体は、基板１１ａ上に固定されており、このレンズ保持ユニット１２には、加工済みのレンズ１４が保持されている。スタイラス台２０上のスタイラスユニット３０には、スタイラス３１が取り付けられている。スタイラス３１は、水平方向、すなわちＺ軸方向を向いている。スタイラスユニット３０は、Ｚ軸方向およびＹ軸方向に移動し、これによりスタイラス３１がレンズ１４の周縁に接触し、トレースが実行される。 （もっと読む）

【課題】 光学部品や金型等の被測定物の位置情報を超高精度に得る三次元形状測定装置において、基準板へ溝や窪みを形成することなく、平面精度を向上でき、また基準板装着後の平行度調整が容易にできる基準支持構造を提供する。
【解決手段】 基準板１と金属球３の間に、球側では逆円錐形状の切欠部で接し、基準板側では平面で接する中間支持部材２を介在させることで、基準板１への溝や窪みの形成を無くし、平面精度を向上できるようにした。また、円錐形状の切欠部５を有する上下調整ボルト８を保持台４に着脱可能な基準板支持部材６内に取付けることで、金属球３と中間支持部材２を同時に上下調整し、基準板装着後の平行度調整を容易に行えるようにした。 （もっと読む）