【課題】 本発明の目的は固定側と回転側間の信号伝達を非接触で行うことのできる検出器回転型の表面性状測定装置を提供することにある。
【解決手段】 固定側（１２）に対して非接触で回転運動する回転側（１４，１６）に設置され、被測定物の表面の凹凸による変位情報を検知する変位検知手段（１８）と、
固定側（１２）に設置され、光源（２２）からの光を測定光と参照光とに分割し、測定光を変位検知手段へと送り、光路長変化として変位情報を取得した変位測定光と参照光とを干渉させて光路長情報を取得する光波干渉手段（２０）と、
回転側（１４，１６）に設置され、変位検知手段と光波干渉手段とを結ぶ光の通路となる導光路と、を備え、
光波干渉手段からの測定光は導光路を通り変位検知手段へと至り、変位検知手段にて前記変位情報を取得した変位測定光とされ、変位測定光は再び導光路を通り光波干渉手段へと戻り、そこで検知した干渉縞情報から変位情報を得ることを特徴とする表面性状測定装置（１０）。 （もっと読む）

【課題】 表面性状測定機の校正作業を単純化するとともに校正作業にかかる時間の短縮を可能とする校正標本を提供する。
【解決手段】表面性状測定機が単一の軌跡として測定できる一のラインに沿って、各種のパラメータを校正するための異なる幾何学的形状が連続して配設されている。幾何学的形状としては、略平坦な平面部１、所定の周期および振幅を有する正弦波形状に形成された正弦波部２、所定の深さを有する溝部３、既知の形状であってランダムな凹凸を有する擬似ランダム波部４、所定の傾斜角を有する斜面である傾斜面部５、高精度な平面に仕上げられた高精度平面部６、スタイラスの当接圧によって弾性的にしなる弾性片部７、既知の高さを有するとともにその先端が先鋭である先鋭部８、がある。 （もっと読む）

【課題】 ダイヤルゲージ（２）等で水平方向の平滑度を計測する際、又はハイトゲージ等で水平方向のけがきをする際の摩擦および振動で計測精度の低下、作業性の非効率をまねく。そこで、計測動作から生じる定盤との摩擦と振動を抑えることにより、計測過程における精度と、位置決め、搬送の能率につき向上を図る。また、支持したい計測器が重いとき、定盤等との摩擦を抑えることにより、取り扱いなどの作業能率向上と、維持管理の簡便を図る。
【解決手段】静圧気体軸受機構を有する計測器支持台（１０）により計測器等を静圧により浮上支持する既存の発明を改良し、計測動作等から生じる摩擦を抑制し、振動を抑え、計測機構への負荷を低減し、作業者への重量面での負担を軽くした。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、迅速に被測定物の表面形状を測定できる３次元形状測定方法等を提供すること。
【解決手段】 被測定物１０２の表面１０２ａの形状を測定する第１面形状測定ステップと、治具１０３の回転軸１０５ｃに対する位置関係を少なくとも一対の位置検出器Ａ１、Ｂ１により検出する第１の位置検出ステップと、被測定物１０２を反転する被測定物反転ステップと、反転された治具１０３の回転軸１０５ｃに対する位置関係を少なくとも一対の位置検出器Ａ１、Ｂ１により検出する第２の位置検出ステップと、第１面形状測定ステップの測定結果を第１の位置検出ステップの検出結果に基づいて座標変換し、第２面形状測定ステップの測定結果を第２の位置検出ステップの検出結果に基づいて座標変換する座標変換ステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】 測定機の測定領域よりも広い範囲において基準点の座標を決定する基準座標算出方法を提供する。
【解決手段】 測定機の測定領域よりも広い領域に配置された複数の基準点の位置を単一の基準座標系上の座標点として求める。まず、測定機の測定領域に応じて複数の基準点をグループ分けする。この際、各グループが少なくとも一つの他のグループとの間で所定個数以上の共通した基準点を含むようにグルーピングする（グルーピング工程）。グループごとに基準点を測定する（測定工程）。異なるグループ間で共通した基準点を異なるグループで測定して得られたそれぞれの値を同一あるいは極めて近似する座標点に座標変換する座標変換関数を前記グループごとに算出する（基準点座標変換関数算出工程）。グループごとに測定した各基準点の位置をグループごとに算出された座標変換関数により座標変換する（座標変換処理工程）。 （もっと読む）

【課題】 基準平面を要することなく、測定対象面の形状を簡便かつ高精度に解析する形状測定装置を提供する。
【解決手段】測定部２００は、直定規を被測定面に対してギャップをもって配置し、直定規と被測定面との距離を所定ピッチで測長する。そして、直定規を移動させて被測定面の略全面にわたって被測定面と直定規との距離を測定する。直定規形状記憶部３２０は、参照直線から直定規までの残差を直定規の形状示数として記憶している。平面形状仮設定部３３０は、参照平面から被測定面までの残差を被測定面の形状示数として被測定面の形状を仮設定する。連立式導出部３４０は、測定部２００で得られた測定値は、直定規の参照直線と被測定面の参照平面との距離に直定規の形状示数と被測定面の形状示数とを加えた値に等しいとして、連立式を導出する。連立式演算部は、導出された連立式を解く。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、シリンダの上下両面ともに開口されていないシリンダボアの測定が可能なシリンダボア測定装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 シリンダ軸５２に平行な貫通穴４３をシリンダヘッド部１４に有するエンジン１０のシリンダ１１を測定対象とし、シリンダ１１の内径５３を測定するシリンダボア測定装置４０であって、このシリンダボア測定装置４０は、貫通穴４３にシリンダ１１内部からエンジン外へ移動可能に挿入した操作子４４と、この操作子４４の一端４４ａに取付けることで、シリンダ１１内部に配置する測定ヘッド４２と、この測定ヘッド４２に取付け、シリンダの内面 までの距離を測る測定子４１・・・とからなり、予めシリンダ１１内に測定ヘッド４２及び測定子４１・・・を納め、外から操作子４４を操作しながら測定を実施することで、両端が閉じた状態のシリンダ１１の内径を測定する。 （もっと読む）

【課題】 ダイヤルゲージ（２）等で水平方向の平滑度を計測する際、又はハイトゲージ等で水平方向のけがきをする際の摩擦および振動で計測精度の低下、作業性の非効率をまねく。そこで、計測動作から生じる定盤との摩擦と振動を抑えることにより、計測過程における精度と能率のにつき向上を図る。
また、支持したい計測器が重いとき、定盤等との摩擦を抑えることにより、取り扱いなどの作業能率向上と、維持管理の簡便を図る。
【解決手段】 静圧気体軸受機構を有する計測器支持台（１０）により計測器等を静圧により浮上支持し、計測動作から生じる摩擦を抑制し、振動を抑え、計測機構への負荷を低減し、作業者への重量面での負担を軽くした。 （もっと読む）

【課題】高速道路等の橋桁の３軸方向のズレの変位を監視し、変位が許容値を超えたかどうかの判定を容易に行う。
【解決手段】本発明における第１、第２の変位センサ本体Ｓ１、Ｓ２は、それぞれＺ軸変位センサ用プローブ４を監視対象物である第１、第２の橋桁１ａ、１ｂの下面に向けて配設されている。
第１、第２の橋桁１ａ、１ｂの対向する端縁部近傍の下面には、それぞれ平板状の第１、第２段差部材１７ａ、１７ｂが取り付けられており、第１の段差部材１７ａの下面には第１の変位センサ本体Ｓ１のＺ軸変位センサ用プローブ４の先端部が、第２の段差部材１７ｂの下面には第２の変位センサ本体Ｓ２のＺ軸変位センサ用プローブ４の先端部がそれぞれ所定の弾力を維持して当接されている。 （もっと読む）

【課題】 形状測定装置におけるスタイラスの測定圧を任意の値に容易かつ正確に設定でき、さらに測定速度や傾斜角によるフォーカスサーボの追従遅れを小さくし、測定圧の変化の小さい測定を実現する。
【解決手段】 測定圧目標値設定手段４５と、フォーカス誤差目標値生成手段４６とを備え、フォーカス制御ＯＦＦ時のフォーカス誤差信号と測定圧の目標値からフォーカス誤差信号の目標値を設定した後、フォーカス制御をＯＮすることにより、フォーカス制御ＯＦＦ時の対物レンズと基準ミラー面の距離を変えずに測定圧を変更できるようにした。 （もっと読む）

【課題】 光学部品や金型等の被測定物の位置情報を超高精度に得る三次元形状測定装置において、基準板へ溝や窪みを形成することなく、平面精度を向上でき、また基準板装着後の平行度調整が容易にできる基準支持構造を提供する。
【解決手段】 基準板１と金属球３の間に、球側では逆円錐形状の切欠部で接し、基準板側では平面で接する中間支持部材２を介在させることで、基準板１への溝や窪みの形成を無くし、平面精度を向上できるようにした。また、円錐形状の切欠部５を有する上下調整ボルト８を保持台４に着脱可能な基準板支持部材６内に取付けることで、金属球３と中間支持部材２を同時に上下調整し、基準板装着後の平行度調整を容易に行えるようにした。 （もっと読む）

【課題】プローブを被測定面に接触させトレースする際に、ワークの表面状態や装置の振動など影響により、プローブが跳ね上げられしまいプローブがバウンドしてしまう。
【解決手段】プローブの一端を物体に接触させ、前記プローブと前記物体との圧力が一定状態を保ちながらトレースする装置において、前記プローブの位置検出信号を２階微分し、前記プローブの加速度を求め、前期加速度が前記プローブと前記物体に加わるの荷重方向に対し、逆方向の加速度で且つ所定加速度を超えた際に前記プローブが前記物体から離れたとする。 （もっと読む）

【課題】 測定用プローブの個体差を低減し、メンテナンス性を向上させる分離型のプローブ構成を提供する。
【解決手段】 先端に被測定面２ａに接触するスタイラス１２と他端部にレーザ光を反射する反射面１３を形成した可動部材１１と、可動部材を軸の中心部に保持する空気軸受１７と、空気軸受を保持する第１ハウジング部４０と、反射面１３にレーザ光を集光するレンズ２２と、このレンズを保持する第２ハウジング部５０とを備え、第１ハウジング部４０と第２ハウジング部５０をそれぞれ両者を前記レンズ及び前記反射面が前記レーザ光の光軸と一致するように着脱自在に装着可能としているので、レーザ光を集光するレンズ２２を生産時に装着した後は、点検時などにレンズ２２の取り外しを行う必要がない。 （もっと読む）

【課題】 表面粗さ形状測定の測定条件が容易に設定できる測定条件設定装置を安価に提供する。
【解決手段】 作業者が、測定種別と算出規格を指定する入力手段２１と、該当する各種パラメータが表示される表示部と、その中から必要なパラメータを指定するとそのパラメータが設定されるパラメータ設定部２３と、その後ワークを測定（仮測定）すると、指定されたパラメータと測定データから算出されたパラメータ値とによってカットオフ値を自動設定するカットオフ値設定部２６とを設けた。 （もっと読む）