【課題】超音波接合における不良品の発生を防止することができるワーク評価方法およびワーク評価装置を提供する。
【解決手段】本発明のワーク評価方法は、スキューネスを算出する段階およびワークの良否を判定する段階を有する。スキューネスを算出する段階は、超音波接合されるワークの表面粗さ測定結果から、ワークの表面粗さデータの高さ方向における偏り度合いを示すスキューネスを算出する。ワークの良否を判定する段階は、算出されるスキューネスに基づいて、超音波接合されるワークの良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、構成の簡略化を図ることのできる形状測定装置を提供することにある。
【解決手段】上下方向に振動しながら被測定面２４上を走査する探針１２と、該探針１２を上下方向に振動させる微小振動発生手段１６と、該被測定面２４と探針１２間の距離ないし接触力が一定となるように該探針１２を上下動する上下動制御手段１７と、該探針１２を該被測定面２４上で走査する走査手段１８と、該探針１２の上下方向変位を測定し探針変位信号を出力する変位センサ２０と、該信号２６中の高周波成分より該被測定面２４と探針１２間の距離情報ないし接触力情報を取得し、該距離ないし接触力を一定に保つように該被測定面２４を走査した際の該信号２６中の低周波成分より該被測定面２４の凹凸情報を取得する信号処理機構２２と、を備えたことを特徴とする形状測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】打ち抜き破面に加工が加わる成形品の歩留まりを向上させる。
【解決手段】上流側から順に、金属材料の打ち抜き加工手段９と、打ち抜き後の打ち抜き破面のだれ率、せん断面率、破断面率のいずれか１つ以上を測定する測定手段（１０に付属）と、打ち抜き後の金属材料を成形する成形手段１１を有することを特徴とする金属材料の成形加工装置列と、測定された打ち抜き破面の情報から、打ち抜き金型の調整と製品の不良判定を行うことを特徴とする金属材料の成形加工方法。 （もっと読む）

【課題】半導体製造プロセスにおける熱処理装置で使用されるウェーハを載置するための熱処理治具を製造するにあたり、ウェーハに発生する損傷や結晶欠陥を低減できる形状であることを測定できる熱処理用治具の形状測定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】形状測定時における熱処理用治具５の支持部９、１８、２７の位置を、縦型熱処理装置における保持部の位置と同一にした。これにより、熱処理用治具５の自重による撓みが計測器上で便宜的に再現できる。よって、半導体製造プロセスにおける縦型熱処理装置で使用されるウェーハ３を載置するための熱処理治具５を製造するにあたり、ウェーハ３に発生する損傷や結晶欠陥を低減できる形状であることを、簡易でかつ正確に測定できる。 （もっと読む）

【課題】判定対象の背面形状に対して所定の分類中最も的確な分類を客観的に判定することができる背面形状判定分類方法及びそれを用いて自動的に判定を行う背面形状分類判定装置を提供することにある。
【解決手段】背面形状分類判定装置１は、人体背面の凹凸を関数化した背面形状データを複数のクラスタに分けて記憶した背面形状データベースを構成する記憶部１１と、判定対象の背面形状を測定して当該判定対象の背面の凹凸を関数化した背面形状データを取得する背面形状取得手段と、前記判定対象の背面形状データと前記複数のクラスタに含まれる背面形状データとの間の距離に基づいて前記判定対象の背面形状が属するクラスタを決定する判定手段としての機能を備えた演算処理部１１と、分離判定に基づいてレポートを表示する表示部１２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】円筒体形状の寸法測定、特には円周形状の測定において測定にかかる負荷が少なく、個々の測定値が正確、かつ測定ポイント数を効率的に低減する測定方法の提供。
【解決手段】本発明は、円筒体の軸に対して直交する断面の円の形状の測定方法において、該断面円内に設定した、被測定円筒の回転軸と断面円が交わる点である基準点に対する該断面円の円周上の３つの所定の点までの距離の該円筒の回転による変化に基づいて、該基準点と該円周との間の距離を算出して該断面円の形状を特定する工程を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】水車におけるステーベン５の欠陥を高い精度で効率的に求める。
【解決手段】 先端部１９の三次元位置と向きとを読取る三次元デジタイザ７の先端部１９に距離計８を取付けて、先端部をステーベン５に対する倣い操作を行なうことによって、ステーベンの三次元形状を測定する。次に、三次元デジタイザの先端部に超音波探触子９を取付けて、ステーベンの表面の各位置へ超音波探触子を順次当接していくことによって、ステーベンに対して超音波パルスを送信してエコーを受信する。そして、超音波探触子のステーベンにおける各当接位置、エコー受信情報、及び測定した三次元形状に基づいてステーベンにおける欠陥の３次元位置と欠陥規模とを算出する。算出した三次元欠陥を三次元グラフィック表示する。 （もっと読む）

【課題】測定レンジを狭めることなく高精度の量子化を行う物理量変化測定装置を提供する。
【解決手段】物理量の変化に応じた一方の電圧信号１１ａを第１のデジタル信号に変換する第１のデジタル変換処理部３０と、これを第１のアナログ信号に変換するアナログ変換処理部３１と、他方の電圧信号１１ｂから第１のアナログ信号３１ａを減算した減算信号４０ａを出力する減算処理部４０と、減算信号４０ａを拡大して信号４１ａを出力する第２の増幅部４１と、前記信号４１ａを第２のデジタル信号７０ａに変換する第２のデジタル変換処理部７０と、この第２のデジタル信号７０ａと拡大した第１のデジタル信号３２ａを加算した出力信号８０ａを出力する加算処理部８０と、を備える。 （もっと読む）

座標測定機など測定機用の伸長可能な脚部アセンブリ（８；３０）を記載する。伸長可能な脚部アセンブリ（８；３０）は、第１の端部および第２の端部を備え、第１の端部と第２の端部の間の間隔を測定するための計測装置を備える。計測装置は、低い熱膨張係数を有する１つまたは複数の細長計測部材（４４、４６；７６、７８）を備える。伸長可能な脚部アセンブリ（８；３０）は、枢動接合部によって、１つまたは複数のプラットホーム（４、６；３６、３８）に取り付けることができる。好ましい一実施形態において、荷重支持構造（５０、５６）は、脚部アセンブリ（８；３０）の計測構造（７６、７８、８０）から機械的に隔離される。
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【課題】アレイ形状金型の個々のアレイ要素のピッチ誤差や形状誤差を最小にし、高精度で加工する。
【解決手段】アレイ形状金型２１０となるワーク２００に対する複数のアレイ要素２１１の加工において、最初に配列中央の一つのアレイ要素２１１を加工して、アレイ形状金型２１０の全体に対する偏心誤差および理想形状からの形状誤差を計測し、当該偏心誤差および形状誤差が許容値以下になるように加工データを修正し、その後、修正された加工データによって他の全てのアレイ要素２１１を加工する。これにより個々のアレイ要素２１１の形状誤差は許容値内に収まり、配列ピッチの誤差は、加工機の位置決め精度の水準で維持され、高精度のアレイ要素２１１を有するアレイ形状金型２１０を製作することができる。 （もっと読む）

【課題】円筒体形状の寸法測定、特には円周形状の測定において測定にかかる負荷が少なく、個々の測定値が正確、かつ測定ポイント数を効率的に低減する測定方法の提供。
【解決手段】本発明は、円筒体の軸に対して直交する断面の円の形状の測定方法において、該断面円内に設定した、被測定円筒の回転軸と断面円が交わる点である基準点に対する該断面円の円周上の３つの所定の点までの距離の該円筒の回転による変化に基づいて、該基準点と該円周との間の距離を算出して該断面円の形状を特定する工程を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 プレス機の定盤面における悪化した平面度を良好な平面度であるときと同等の状態に補正する定盤面精度補正方法と、その補正のための立体補正シートを提供する。
【解決手段】 定盤面の基準平面からの変位測定データに基づいて補正シートの厚さを単位とし凹凸を反転した等高線データを得て、その各等高線が外形となるように補正シートを切断し各等高線切断補正シートを得て、各等高線の位置と各等高線切断補正シートの対応する外形の位置が一致するように積層接着し立体補正シートを得て、定盤面と立体面とが対向しかつ定盤面と立体補正シートの対応する測定点が一致するように位置合せして設置するようにした定盤面精度補正方法とその補正のための立体補正シート。 （もっと読む）

本発明は、可動な座標測定装置（２２）の速度の確実な監視に関する。速度の第１値が、座標測定システム（２２，２４，２５，２６，２８）の測定値から計算される。この場合、これらの測定値は、前記座標測定装置（２２）の位置に関する情報を有する。この場合、さらにこれらの測定値は、測定対象物の座標を測定するために使用される。速度の第２値が、少なくとも１つの追加の運動センサ（ＴＧ）の測定信号から算出される。この場合、さらにこれらの測定信号は、前記座標測定装置（２２）の駆動装置（Ｍ）を制御する時に使用され得る。予め規定した基準にしたがう第１値及び／又は第２値が、互いに目標値及び／又は限界値から外れる時に、エラー信号が生成され得る。
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【課題】使用者が使い易く、安価で小型化された変位計などの検出装置を提供する。
【解決手段】７セグメントＬＥＤ４２は、対象物の測定値等を表示する。バー表示部４３は、測定値が許容範囲のどの位置に入っているかという入り度合いを表示する発光ダイオード（ＬＥＤ）等からなる複数のバー（セグメント）４３ａ、上限値表示部４３ｂ、および下限値表示部４３ｃを含む。使用者により設定された許容範囲の上限値および下限値から、使用者が暗に望むある程度の分解能を予測することができる。そこで、本発明では、各バー４３ａの分解能を、（上限値−下限値）／個数により定義する。なお、上記個数とは、上限値表示部４３ｂと下限値表示部４３ｃとの間にあるバー４３ａの個数を示す。 （もっと読む）

【課題】 表面形状の計測を高精度化することができ、触針を簡易に支持することによって小型の形状測定装置を提供すること。
【解決手段】 ＸＹステージ装置８２に設けたＸ駆動装置５０がエアスライドによって可動部５２を非接触で支持しリニアモータ５１ａ，５１ｂによって可動部５２を駆動するので、載置台８２ａのＸＹ軸方向に関する運動が滑らかで高精度になる。よって、光学素子ＯＥをＸＹ面内で移動させる際にＺ軸方向の微小変位が生じにくくなり、触針１１の変位量計測を正確にすることができ、光学素子ＯＥの表面形状の計測精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】測定装置の複雑化を招くことなく、形状測定の信頼性を確保することができる円筒体の形状測定方法を提供する。
【解決手段】円筒体９０の両側端部近傍の内周面９２に一対の基準部２０，２０を当接させたまま円筒体９０を回転させ、円筒体９０の外側から基準部２０，２０に対峙する位置３１，３１において、円筒体９０の回転に伴う前記円筒体９０の外周面９１の半径方向の変位量を変位検出器によって検出する。一方、形状測定されるべき円筒体９０が存在しないときに、この円筒体９０の変位量測定を行う変位検出器を用いて基準部２０，２０の回転に伴う変位量検出を行い、この一対の基準部２０，２０の変位量に応じて、円筒体９０の変位量検出を補正する。 （もっと読む）

【課題】測定装置の複雑化を招くことなく、形状測定の信頼性を確保することができる円筒体の形状測定方法を提供する。
【解決手段】円筒体９０の両側端部近傍の内周面９２に一対の基準部２０，２０を当接させたまま円筒体９０を回転させ、円筒体９０の外側から基準部２０，２０に対峙する位置３１，３１において、円筒体９０の回転に伴う前記円筒体９０の外周面９１の半径方向の変位量を変位検出器によって検出する。一方、形状測定されるべき円筒体９０が存在しないときに、この円筒体９０の変位量測定を行う変位検出器を用いて基準部の位置検出を行い、形状測定の基準とする基準部２０，２０の位置ずれを未然に検出する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、表面粗さ測定が適正に行える形状測定機を提供することにある。
【解決手段】ワーク２２の評価対象面の断面形状情報を含む測定データを出力する粗さセンサー１４と、該ワーク２２上の該粗さセンサー１４位置を該評価対象面に沿って相対移動させ、その相対移動量を移動分解能Δθピッチでインデックス移動量情報として出力する相対移動機構１２と、該粗さセンサー１４からの測定データを、該相対移動機構１２が移動分解能Δθ移動するのに要する時間よりも短い一定時間間隔ｔ_ｓでサンプリングするタイマーサンプリング手段１６と、該相対移動機構１２からのインデックス移動量情報に基づき該タイマーサンプリング手段１６からの一定時間間隔ｔ_ｓの測定データを間隔定ピッチの測定データとし、該間隔定ピッチの測定データに基づきワーク２２の表面粗さを評価するデータ処理機構１８と、を備えたことを特徴とする形状測定機１０。 （もっと読む）

【課題】従来からの伝統的な一定圧によるポケット深さをプローブ部分において小型かつ高精度、安全に自動的に実現する。そしてこれを基本にポケット内の種々な計測と、さらには歯肉（歯周組織のポケット外）までも計測する事を目的としうる歯周計測などの検査を行うことができる装置を提供する。
【解決手段】先端外面に反射手段をコーティングしたゲルに近い弾性体を配設し、ファイバーを用いて光を供給し、その反射光をフォトダイオードを用いて検出することにより変位を計測する。これにより従来より小さい圧での計測が可能となり、安全性が向上する。 （もっと読む）

【課題】プローブと被測定物との接触圧を従来よりもさらに微小に調整できる微小表面形状測定プローブを提供する。
【解決手段】被測定物１と接触する接触子１を先端に有するプローブシャフト４と、プローブシャフト４を移動可能に非接触で支持する支持手段が設けられたプローブ本体２１と、前記プローブシャフト４を被測定物１に向けて付勢移動させる付勢装置と、該付勢装置がプローブシャフトに与える付勢力に対する反力が作用するように前記プローブ本体２１に組み込まれた圧電センサ８ａと、該圧電センサに作用する荷重を測定する荷重検出部８ｂと、該荷重検出部により検出された荷重に基づいて、付勢装置による付勢力を調整する制御部９と、該制御部９により調整された付勢力で被測定物１に接触している接触子２の位置を測定する変位量計測装置と備える。 （もっと読む）