【課題】 偏心を含んだ回転体表面の凹凸データを偏心の影響のないデータに補正する方法を提供する。
【解決手段】 検査するタイヤ１０のタイヤクラウン部１０ｔと上記距離センサ１４とのタイヤ周方向の距離をΔθ毎にで測定した測定点ｘ_kにおける距離データＬ_kと上記タイヤ１０の回転中心から上記距離センサまでの距離Ｌ₀とから半径値ｒ_kをそれぞれ算出し、更に、測定開始点から当該測定点ｋまでの半径値ｒ_kを上記Δθで積分して表面長さＳ_kを算出して凹凸データを（ｘ_k，ｒ_k）の形に変換するとともに、上記、タイヤ１周分の表面長さＳ_Nを等間隔に分けた凹凸算出点Ｘ_kにおける半径値Ｒ_kを、上記凹凸算出点Ｘ_kに隣接する測定点ｘ_k，ｘ_k+1における半径値ｒ_k，ｒ_k+1に基づいて演算してこれをタイヤクラウン部１０ｔ表面の等間隔な位置における凹凸データ（Ｘ_k，Ｒ_k）とした。 （もっと読む）

【課題】高抵抗率のウェーハをプレートに張付けた状態で高精度に測定できるウェーハ厚さ測定装置を提供する。
【解決手段】本ウェーハ厚さ測定装置は、平板状のセンサー較正用マスターワーク及びウェーハ貼付け用プレートが載置されるインデックステーブルと、センサーヘッドを備えた厚み測定センサー及び基準ピンが設けられたセンサー部と、センサーヘッドの先端をマスターワークあるいはウェーハに当接させ、基準ピンの先端を前記マスターワークあるいはプレートに当接させるセンサー当接機構を有し、センサーヘッド及び基準ピンの先端をマスターワークに当てて厚み測定センサーの較正を行い、厚み測定センサーの先端をウェーハに当接させ、基準ピンの先端をプレートに当接させて、両先端の後退量により、ウェーハの厚さを測定する。 （もっと読む）

【解決課題】 軽装備な検出機構とすることにより、高精度に３次元的な形状を計測することができるようにする。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡１０は、ＸＹ試料ステージ１４と、一端が走査機構２２に片持ち支持され、開放された他端には探針２４が固設されているカンチレバー１６と、カンチレバー１６をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の各々へ移動させる圧電素子１８Ｘ、圧電素子１８Ｙ、圧電素子１８Ｚを備えた走査機構２２と、走査制御回路２０とを備えている。また、カンチレバー１６の片持ち支持されている側には、発振器２６からの高周波信号により駆動されてカンチレバー１６を加振する加振用圧電素子２８が固設され、また、カンチレバー１６には、自己検知型のセンサである歪み抵抗素子３０が埋め込まれている。 （もっと読む）

【課題】 組立品において許容される保持器の反り量を規定し、摩耗、焼付き、剥離、異音等の発生を防止することができるスラストころ軸受を提供する。
【解決手段】 軸方向に互いに対向する側面にそれぞれ軌道面が設けられた一対の軌道輪部材と、前記軌道面間に周方向に転動自在に配設された複数のころと、前記ころを収容するポケットが設けられた保持器と、を備えるスラストころ軸受であって、前記保持器が、軸方向に互いに離間して配置された２枚の環状板の内外周縁を接合されて構成され、当該保持器の軸方向の厚みをＷ、前記環状板の板厚をｔ、前記ポケットの周方向の幅をＰ、前記ころの直径をＤａ、当該保持器の反り量をＦ、とした場合に、反り量Ｆが下記の式（１）を満たすことを特徴とするスラストころ軸受。
【数１】
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【課題】 移動手段の走査動作隙間を検出して変位検出器の値を補正し、前記走査動作の機械的正確さを追求することに負荷を必要としない高精度の測定方法を提供する。
【解決手段】 円筒体を中心軸回りに回転させ、前記中心軸直角断面上に配置され、円筒体の表面変位を計測する変位検出器を移動手段により前記中心軸方向に移動させ、前記変位検出器から得られた所定の位置での複数の検出信号を演算して円筒形状を測定する方法において、前記変位検出器は、第１の変位検出器と、前記第１の変位検出器の移動方向と反対に配置された第２の変位検出器とを有し、前記第２の変位検出器によって前記第１の変位検出器と同一の点を測定し、それぞれの測定値の差から前記移動手段の走査動作隙間を検出して前記第１の変位検出器の値を補正する。 （もっと読む）

【課題】 接触部の脱落事故がなく信頼性が向上するプローブを提供すること。
【解決手段】 軸部２と、軸部２の先端部分に設けられた接触部３と、を備える。軸部２は、その先端部分が接触部３に埋設されている。かつ、先端部分には軸部２の軸方向に対して交差する方向へ張り出したフランジ部２２を備える。フランジ部２２は、先端方向に行くに従って拡径する形状である。 （もっと読む）

【課題】 複数軸をもつ機械の軸間角度補正が高精度に且つ容易に行える方法の提供。
【解決手段】 機械16のテーブル12に置かれた一の基準球36上の指定移動軸方向位置での測定軸方向形状情報をテーブル12の直線移動により同一基準球36上の複数の異なる指定移動軸方向位置について取得する基準球測定工程(S10)と、該形状情報に基づき該基準球36の測定軸方向形状のピーク点での該センサー14よりの測定軸方向位置情報を各指定移動軸方向位置について求めるピーク検出工程(S12)と、該各ピーク点の位置情報に基づきテーブル12の実際の移動方向を表わす実直線情報を求める誤差情報取得工程(S14)と、該実直線情報に基づき補正用情報を求める補正用情報取得工程(S16)と、該補正用情報に基づき該センサー14よりの測定軸方向位置情報を補正する補正工程(S20)と、を備えたことを特徴とする軸間角度補正方法。 （もっと読む）

【課題】 押し込みすぎのない位置制御を実現し、しかも制御回路の制御パラメータを追従性のよい条件に設定でき、高精度測定可能な形状測定用プローブを提供する。
【解決手段】 出力ホールド回路（４９）と加算器（４５）を備え、フォーカスをかける時に、フォーカス制御回路（３９）の出力にＺ位置制御回路（３８）の出力をローパスフィルタ（４８）を通して出力ホールド回路（４９）でホールドしたものを加算したものを電流指令としてＺ駆動回路（３５）出力する。 （もっと読む）

【課題】被測定物に傷をつけたり、障害物との衝突による測定プローブの破損を防止すること。
【解決手段】測定プローブによる押し込み量の設定が不適切な場合には、位置制御からフォーカス制御に切り換わらない構成とし、また、光検出器１１ａ、１１ｂの検出信号とフォーカス誤差信号のいずれかが設定範囲を超えるとＸ軸方向あるいはＹ軸方向の駆動を停止し、それまでの移動方向と逆方向に設定量駆動するので、被測定物２１に傷をつけたり、測定プローブと障害物等との衝突による測定プローブの破損を防止することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】加工後のワークの形状をより容易に測定することが可能なＮＣ加工装置を提供する。
【解決手段】先端部ＴＳＳが所定方向に付勢されており、当該所定方向にスライド可能であるとともに、前記先端部ＴＳＳが前記所定方向に平行に移動した距離に関する信号を出力するタッチセンサＴＳと制御手段とを備える。制御手段３０は、ワークＷの表面に対して前記所定方向からタッチセンサＴＳの先端部ＴＳＳを押し付け、タッチセンサＴＳを移動させた方向及び速度と、ワークＷの表面の形状に応じて出力されるタッチセンサＴＳからの信号とに基づいて、ワークＷの表面の形状を連続的に測定した測定形状データを作成する。 （もっと読む）

【課題】 パイプインパイプ工法を実施するための既設管路の管内を詳細に調査できるようにする。
【解決手段】 管路１の内部を走行可能であるとともに管路１を構成する管に対してそれぞれ心出しされることが可能な第１の測定ユニット１３と第２の測定ユニット１４とを備える。第１の測定ユニット１３と第２の測定ユニット１４とのいずれかに、その測定ユニット１３、１４が管に心出しされてその管と同軸とされたときに周方向に沿った複数の位置でその管の内径を測定可能な内径測定装置４１を備える。管路１の管継手を構成する一方の管３に第１の測定ユニット１３が心出しされてその管３と同軸とされるとともに他方の管２に第２の測定ユニット１４が心出しされてその管２と同軸とされたときに、これら第１の測定ユニット１３と第２の測定ユニット１４との屈曲角を測定することで管継手の屈曲角を測定可能な屈曲角測定装置５３を備える。 （もっと読む）

【課題】 動作確認が必要な衝撃が加えられたことが容易に分かる寸法測定装置の実現。
【解決手段】 寸法測定値を生成する寸法測定部31を備える寸法測定装置であって、当該寸法測定装置に設けられ、所定以上の衝撃が加えられたことを検出する加速度センサ47と、加速度センサ47が、所定以上の衝撃が加えられたことを検出した時にオペレータに警告を出力する警告手段32,34とを備える （もっと読む）

【課題】多関節アームとフレキシブルチューブアームとを並列的関係に組み合わせた併用構造の空中位置決めスタンドを提供する。
【解決手段】多関節アームの取付用部材およびフレキシブルチューブアームの根元側端部が共通の根元固定プレートと結合され、多関節アームの先側端部における取付用部材およびフレキシブルチューブアームの先側端部も共通な先側連結プレートと結合されている。多関節アームは、２本のアームを連結すると共にハンドルにて２本のアームを締め緩め可能に構成された中央部関節と、２本のアームの端部に設けられた球継手型関節とで構成され、２本のアームの連結部を締め緩めすると出入りするロッドがアームに挿入されており、各ロッドの先端部が球継手型関節の球体を押して固定し又は押圧力が解除される構成とされている。根元側固定プレートは作業台等への定着具と結合されており、先側連結プレートに使用目的物が取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】動力源が不要であり、人手により簡単に操作できる、シンプルな構成のストローク測定装置を提供する。
【解決手段】駆動力により変位するとともに荷重により厚さが変わる可動部が配設されるケースに、着脱可能に保持される保持部と、該可動部の変位方向と向き合って該可動部に当接し、該保持部に対して相対変位可能に保持される当接部と、該当接部を押圧する押圧部と、該保持部に対する該当接部の相対変位量を測定する測定部と、を備えることを特徴とするストローク測定装置。前記駆動力を受けずかつ前記押圧部で押圧されたときの前記当接部の位置を基準として、該駆動力を受けかつ該押圧から解放されたときの該当接部の変位量を測定することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 携帯型測定部を無線通信不能な場所でも使用可能にした寸法測定システムの実現。
【解決手段】 端末無線装置42、寸法測定値を生成する寸法測定部21、及び寸法測定値を表示する表示器24を有する携帯型寸法測定装置16-1,16-2,16-3,16-4と、ベース無線装置35を有するベース装置10とを備え、携帯型寸法測定装置は、生成した寸法測定値をベース装置10に送信する寸法測定システムであって、携帯型寸法測定装置は、端末無線装置がベース無線装置に対して通信可能であるかを検出する無線通信状態検出回路を備え、通信不能状態の時には、寸法測定値をベース装置に送信する動作を自動的に停止すると共に寸法測定値を表示器に表示するようにし、通信可能状態になった時に、生成した寸法測定値をベース装置に送信する動作を自動的に再開する。 （もっと読む）

【課題】容易に姿勢調整が可能であり、迅速に測定できる非球面偏心測定装置等を提供すること。
【解決手段】非球面レンズ１０１を保持するレンズホルダ１１０と、保持する吸着力を制御する吸着力可変機構１１４と、レンズホルダ１００を回転軸１２０の周りに回転させるモータ１１２等と、その回転角を検出するエンコーダ１１３と、非球面１０２、１０３からの反射光によるスポットの軌跡を検出するスポット軌跡検出部１１５と、非球面１０２、１０３の形状を測定する形状測定部１１７、１１８と、スポット軌跡検出部１１５と形状測定部１１７等とエンコーダ１１３との各検出結果に基づいて、非球面偏心を演算する演算部１１９とを有し、吸着力可変機構１１４は、レンズホルダ１１０上で非球面レンズ１０１の姿勢調整が可能な第１の吸着力と、第１の吸着力よりも大きな第２の吸着力とに制御する。 （もっと読む）

【課題】 高価な表示装置を共通に使用しても操作性が低下しない寸法測定装置の実現。
【解決手段】 複数の寸法測定値を生成する複数の寸法測定部15-1,15-4;16-1,16-4と、複数の寸法測定部の生成する寸法測定値を表示する表示部11とを備える寸法測定装置であって、表示部が同時に表示できる寸法測定値の個数は、複数の寸法測定部の生成する寸法測定値の個数より少なく、表示部に表示する寸法測定値を、複数の寸法測定部の生成する寸法測定値に応じて自動的に選択する表示制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】作業性が良好でかつ省スペース化を図るために、手動でバンドブレーキなどの被押圧部品の移動量を計測することができる計測装置を提供する。
【解決手段】計測装置は、ケース１ａに固定的に配置される本体部３０と、本体部３０に所定方向に移動可能に支持され、バンドブレーキの係合部などの被押圧部品を押圧する押圧部４０と、本体部３０および押圧部４０に連結され、本体部３０に対して押圧部４０を所定方向に移動させる操作部５０と、本体部３０に対する押圧部４０の所定方向の移動量を計測する計測部６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】段取り作業の効率化を図ると共に、測定精度を向上させることにある。
【解決手段】モータ１により水平回転駆動される回転テーブル２上にその中心軸に直交する回転平面上で互いに直交するＸ方向及びＹ方向に移動可能な移動調整テーブル４を載せ、その上に被測定物１０を支持する複数個のジャッキ３が搭載テーブルを載せて構成された回転部と、複数のアームを鉛直方向に移動可能に、且つ水平方向に移動可能にそれぞれ支持し、これら各アームの先端部に被測定物の面や円弧面を計測する測定器８を取付けて構成された測定器移動部と、回転テーブル２の回転軸線上で互いに交差するスリット状の複数のレーザ光を照射するレーザ発生器９と、被測定物の予定角度位置での面の高さや円弧面における半径方向の長さの測定値がそれぞれ取込まれ、被測定物の傾き量や回転テーブルの中心に対する被測定物の中心の偏心量を求める演算処理部２０と備える。 （もっと読む）

【課題】スピンドルの操作性および耐久性を向上させることのできるスピンドルの制動装置および測定器を提供すること。
【解決手段】制動装置６００は、スピンドル３００が移動するシリンダ６１０と、このシリンダ６１０内を２つに区画するピストン６２０と、スピンドル３００とピストン６２０とを、軸方向および軸直交方向に対し一定のクリアランス６３３を介して連結する連動手段６６０と備え、連動手段６６０は、ピストン６２０に形成された中空室６２３と、スピンドル３００の他端に設けられ、他端側が中空室６２３内に係合収納される係合部６３０とを含み構成され、スピンドル３００が一端側へ移動する際には、係合部６３０が中空室６２３の一端側内壁に当接し、かつ、他端側へ移動する際には、係合部６３０が中空室６２３の他端側内壁に当接するように形成されている。 （もっと読む）