【課題】測定力や加速度の二軸以上の方向成分を直接、かつ、個別に検出可能であり、さらに、従来のものより簡素化、かつ、小型化を達成できるセンサを提供すること。
【解決手段】辺構成要素３１…によって四角形に形成された構造体２Ａの一方の角部を移動部材６に固定し、他方の角部にスタイラス５を装着する。一対の辺構成要素３１，３２に、そのスタイラス側端を反スタイラス側端に対してＺ軸方向へ平行変位可能とする平行リンク機構３１Ｚ，３２Ｚを形成する。他対の辺構成要素４１，４２に、そのスタイラス側端を反スタイラス側端に対して、それぞれＸ軸方向、Ｙ軸方向に平行変位可能とする平行リンク機構４１Ｘ，４２Ｘ、および、４１Ｙ，４２Ｙを形成する。各平行リンク機構は辺構成要素に薄肉状に形成された少なくとも２箇所の弾性ヒンジ部３５Ｚと、２つの弾性ヒンジ部３５Ｚの間に形成された２本のリンク片３６Ｚとを含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】座標測定装置ならびに座標測定装置を用いて測定する方法
【解決手段】本発明は座標測定装置（１０）を用いて加工物の幾何形状を測定する方法およびこの装置自体に関する。本発明によれば、測定作業は異なる種類の装置を必要とすることなく最適に実行され、これにより関連作業に対して最適利用である１つまたは複数のセンサを使用できる。 （もっと読む）

【課題】 触針の軌跡が、固定および固定解除の動作の際においてでさえも、完全に制御される測定ヘッドとを提供する。
【解決手段】支持要素（３０）と、該支持要素（３０）に接続され、支持要素（３０）に対して第一軸（Ｂ）を中心に回転可能な第一可動要素（４０）と、固定状態および固定解除状態にするためのアクチュエータとを有し、該アクチュエータが、固定解除状態にあるときに、第一可動要素（４０）を支持要素（３０）から離隔させ、第一軸（Ｂ）を中心に回転可能にするために第一可動要素（４０）に固定解除力をかけるように構成され、固定状態にあるときに、支持要素（３０）に対して第一可動要素（４０）を再び締め付け、第一軸（Ｂ）の周囲の回転を防止するように第一可動要素（４０）に固定力をかけるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】種々のワークに対して検出器の検出方向をワンモーションで切換え、円筒外周面、内周面及び平面の測定を容易に行うことのできる検出器支持装置を提供すること。
【解決手段】検出器支持装置１０を、ワークＷに対して相対的に直線移動可能な保持台２１に一端が固定され、他端に回転軸心ＲＣを有する第１のアーム１１と、回転軸心ＲＣを中心に第１のアーム１１に対して回転自在に設けられ、先端に検出器３１を取り付ける第２のアーム１２とで構成し、回転軸心ＲＣを、移動軸ＨＣに対して４５°傾斜した平面上に設けるとともに、移動軸ＨＣに対して４５°傾斜した平面に対して４５°傾斜した平面でかつ移動軸ＨＣを含む平面への投影図において、移動軸ＨＣに対して４５°傾斜して設け、第２のアーム１２に取り付けられた検出器３１の軸心ＫＣが回転軸心ＲＣと交差するように構成した。 （もっと読む）

【課題】 計測対象物の表面状態を精度よく計測できる表面状態計測方法、表面状態計測装置を実現する。
【解決手段】 計測対象物１と対向する複数のプローブ２を計測対象物１との相対位置と各プローブ２間の相対位置とをそれぞれ移動させる。計測対象物１および各プローブ２の間の物理現象から生じる検出信号を検出する。上記検出信号から計測対象物１の表面状態を計測する。 （もっと読む）

【課題】 測定装置自体が変形することで測定値に変動が生じてしまう場合でも、変動量を補正可能な高精度の三次元測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】 測定中における測定機構のドリフトに起因する測定データにおけるＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸の各方向における変動量を求めることから、長時間の測定を必要とする形状測定において、温度等の環境に起因するドリフトを除去し、高精度の測定を行うことが可能となり、測定環境や装置に費用をかけ、温度変動を小さくにする必要がなくなる。 （もっと読む）

【課題】 カンチレバーを自動的に干渉の危険がある周辺機器から退避させることができ、手作業によってカンチレバーを容易且つ迅速に交換することができるとともに、構成の簡単化とコストの低減とを図ることができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 カンチレバー６１によって試料の表面情報を測定する走査型プローブ顕微鏡１において、駆動手段によりＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能なＸＹステージ２０と、駆動手段によりＺ軸方向に移動可能なＺ駆動部３０，８０と、駆動手段によりＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の合成した３次元方向に回転可能な電動レボルバ５０とを備え、レバー交換制御部からの信号に基づいて、これらＸＹステージ２０、Ｚ駆動部３０，８０及び電動レボルバ５０を駆動させ、ＸＹステージ２０をカンチレバー６１から退避させ、又はカンチレバー６１をＸＹステージ２０から退避させる構成としてある。 （もっと読む）

【課題】被測定物の測定面と測定機の測定方向との平行出しを、効率よく行うことのできる平行出し装置、および、平行出し方法を提供すること。
【解決手段】被測定物に並列した移動案内体と、移動案内体に沿って移動するスライダとを備える。スライダの移動位置におけるスライダ移動位置、および、測定物の測定面位置を、スライダに備えられた光電式リニアスケール５、および、センサ６によって検出し、これらを基に、ＣＰＵ７１は、スライダの移動方向を基準とする測定面の傾き直線を演算し、傾き直線から揺動支点の調整基準値を設定し、調整基準値をメモリ７２に記憶させ、記憶させた調整基準値、および、センサ６によって検出される測定面位置の差を調整量として算出する。調整量はモニタ８に表示され、作業者は、表示された調整量に従って移動案内体の姿勢を調整する。 （もっと読む）

【課題】 安価な構成で且つ直前の測定方向に左右されず、ヒステリシスの影響を一定にして高精度な測定を可能にする。
【解決手段】 被測定物にプローブが接触したときのプローブの三次元位置の情報から測定要素のパラメータを算出する三次元測定システムにおいて、プローブを被測定物の測定点に同じ方向から２回連続して接触させ、このうちプローブが後で接触したときの三次元位置の情報のみを取り込んで測定要素のパラメータを算出する。 （もっと読む）

【課題】リップ・ロール間の隙間を高精度に測定し、高精度な塗工フィルムの作製のために、リップ・ロール間の隙間を高精度に設定すること。
【解決手段】
塗工用スロットダイ２０の両側端部にスロットダイ先端のリップ前面２１Ａと同一面をなす平坦なブロック前面２８Ａ、２９Ａを有する測定器取付ブロック２８、２９を取り付け、この測定器取付ブロック２８、２９に変位測定器２８、２９を取り付け、ブロック前面２８Ａ、２９Ａにブロックゲージ５０の表面５０Ａを押し当て、ブロックゲージ表面５０Ａを変位測定器２８、２、によって測定してキャリブレーションを行い、キャリブレーション完了後にブロックゲージ５０を取り除き、塗工へッドを塗工ロール側に前進移動させ、変位測定器２８、２９の計測値によってスロットダイ２０のリップ２１と塗工ロール外周面１１Ａとの隙間を測定する。 （もっと読む）

【課題】被検面の形状誤差に関わらず、常に高精度に偏心量を測定できる偏心測定方法等を提供できる。
【解決手段】レンズ枠１００ｃが備える３つの球１００ｄ等の位置を測定する第１の基準物位置測定工程と、レンズ１００の所定面の形状を測定する光学素子形状測定工程と、レンズ枠１００ｃに関する測定座標系の位置を計算する測定座標系計算工程と、光学素子形状測定工程の測定結果を測定座標系に座標変換する座標変換計算工程と、固定枠１４０（取り付け部１６０）によりレンズ枠１００ｃを支持する支持工程と、支持されているレンズ枠１００ｃの球１００ｄの位置を測定する第２の基準物位置測定工程と、レンズ枠１００ｃの基準軸１６０ａに対する偏心量を算出する第１枠体偏心量計算工程と、基準軸１６０ａに対するレンズ１００の偏心量を計算する光学素子偏心量計算工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな磁気回路によって、被測定物に接触するプローブの自重をキャンセルする力とプローブの変位によって変化するばね要素としての力を発生させる。
【解決手段】箱形状のヨーク７の方形の開口部に、プローブシャフト４と一体である鉄心９および永久磁石８を配設して、一定の曲率を有するヨーク７の内面に永久磁石８を対向させ、両者のすきまを流れる磁束により、形状測定装置の計測軸１５に対するプローブ移動方向であるＺ方向に変化するばね成分を含む力を発生させる。ヨーク７が箱形状であるためにヨーク７内に磁気回路がシールドされ、近傍に鉄系材料の部材が配設されても磁束が乱されることはない。 （もっと読む）

【課題】被測定面の形状測定を行う前の演算による測定シミュレーションによって、プローブと測定治具等との干渉の有無を確認することで、実際の形状測定におけるプローブ干渉によるトラブルを防ぐ。
【解決手段】ステップＳ２において、被測定物を保持する測定治具に設けられた基準球によって形状測定装置に対する被測定物の取付状態を検出し、座標変換を行ったうえで、被測定物の設計形状データＤ２、測定治具形状データＤ３等を用いた演算による測定シミュレーションを行い、測定治具や、被測定物の被測定面以外の面に対するプローブ干渉の有無を確認したうえで、走査中のプローブ傾斜角度を算出し、ステップＳ１２の形状測定工程におけるプローブ走査速度を自動設定する。 （もっと読む）

【課題】 ワークやプローブを傷付けることなく、簡易な構成により迅速にワークを測定することができる形状測定機を提供すること。
【解決手段】 プローブ１４をワークに接触させた状態で、前記プローブ１４と前記ワークとを相対的に走査させることによって前記ワークの表面形状を測定する形状測定機であって、前記ワークの表面に対する前記プローブ１４の接触荷重を調整する荷重調整機構２６を有し、前記プローブの先端に曲率半径Ｒが０．０１μｍ以上１μｍ以下に設定された探針３０が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】両面非球面レンズの偏心測定に要する時間を短縮する。
【解決手段】形状測定装置１０には、Ｙテーブル１３，Ｘテーブル１４，Ｚテーブル１５が設けられている。Ｚテーブル１５には、第１プローブ１６と第２プローブ１７が正対して設けられている。第１プローブ１６と第２プローブ１７の間にはレンズ保持枠１８が設けられ、偏心測定の対象となる両面非球面レンズが保持される。第１プローブ１６と第２プローブ１７は互いの位置関係が保たれながら移動するから、各プローブに対するレンズ位置のズレが生じない。第１プローブ１６によりレンズ前面の形状を測定し、第２プローブ１７によってレンズ後面の形状を測定すると、各非球面の光軸の位置が算出され、両面間の偏心量が求められる。 （もっと読む）

【課題】 ワークやプローブの表面に塵埃が付着していても、容易にそれら塵埃を取り除くことができ、ワークやプローブを破損することなく、高精度な測定ができる形状測定機を提供すること。
【解決手段】 プローブ２４をワークＷに接触させた状態で、移動機構１２により前記プローブ２４と前記ワークＷとを相対的に走査させることによって前記ワークＷの表面形状を測定する形状測定機１であって、前記ワークＷを支持するワーク支持手段５と、前記ワークＷに対して前記プローブ２４を進退可能に支持するとともに、前記走査において前記ワーク支持手段５に対して相対的に移動するプローブ支持手段２１，２２と、前記ワーク支持手段５に支持された状態のワークＷまたは前記プローブ支持手段２１，２２に支持された状態のプローブ２４の少なくともいずれか一方を洗浄する洗浄手段３７と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 制御回路の制御パラメータを適宜補正することにより、測定制御系の周波数特性を最大に保持することができる、測定制御系における制御回路の制御パラメータ補正方法を提供すること。
【解決手段】 スタイラス１３１を被測定物Ｗに押し込んで接触測定を行う。このとき、スタイラス１３１の押し込み量を表す変位信号と、スタイラス１３１の受ける測定負荷に応じてセンサ１３から出力されるセンサ信号とを測定し、この２つの信号を基にセンサ１３のゲインＧｓ´を算出する。Ｇｓ´の値は、スタイラス１３１および被測定物Ｗの性状によって異なるが、以上のように算出されたＧｓ´に応じて制御回路のゲインを補正することによって、スタイラス１３１および被測定物Ｗの少なくともいずれかを性状の異なるものに交換した場合においても、測定制御系の周波数特性を最大に保持することができる。 （もっと読む）

【課題】 空気軸受から流れ出る空気による影響を少なくして、安定した測定のできる測定用プローブを提供する。
【解決手段】 空気軸受３１の中央部に軸に吹き付けた空気の溜り部４７と、この空気の溜り部から空気を排出する排出口４８と、この空気の溜り部の両側に軸への空気の吹出口４５および吹出口４６を形成しているので、可動部材１１と空気軸受の隙間から被測定物２やレーザ光Ｆｚを反射する反射面１３のある空間に流れ出る空気の量が少なくなり、計測に与える影響を少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】 クランクシャフトのジャーナル部やピン部の外表面の微細な傷の有無を自動的に検査する。
【解決手段】 クランクシャフト１６をX軸方向の回転軸１６C回りに回転させつつ、Y軸方向に進退自在な測定子５６を、ジャーナル部又はピン部などの検査箇所１６Aに当接させて、1回転の回転角度ごとの検査箇所１６Aの表面位置を測定し、回転角に対する表面位置の波形データを得る。測定子５６は、首振り機能をもち、Z軸方向に十分長いため、回転中は検査箇所１６Aに常に当接する。上記波形データから、所定の周波数以下の低周波波形成分を除去して、高周波波形成分だけを抽出し、その高周波波形成分の勾配や振幅などから、検査箇所の傷の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】 測定子の移動精度を容易に確保でき、高精度な３次元形状の測定を可能としながら、コストの低減が可能な円すい面形状測定装置を提供する。
【解決手段】 円すい面形状を有する被測定物Ｗを、その円すい面の中心軸が回転中心に一致するように支持するターンテーブル１と、被測定物Ｗの表面に接触または近接して被測定物表面の変位を測定可能な測定子２を設ける。ターンテーブル１に支持された被測定物Ｗの円すい面の母線と平行に上記測定子２を移動させる測定子移動機構３を設ける。測定子移動機構３は、ターンテーブル１に対する径方向移動体９と、この径方向移動体に傾斜角度変更自在に支持された傾動体１０とを備え、この傾動体１０にエアースライド装置５を介して測定子２を支持する。ターンテーブル１は、静圧空気軸受３１で支持する。 （もっと読む）