パターン化された構造の少なくとも１つのパラメータの測定で使用するための方法およびシステムが提供される。方法は：構造の異なる位置上の測定に対応する複数の測定された信号を含む測定されたデータと、理論的信号と測定された信号との間の関係は、構造の少なくとも１つのパラメータを示す理論的信号を示すデータとを含む入力データを提供する過程と；構造の少なくとも１つの性質を特徴付ける少なくとも１つの選択されたグローバルパラメータに基づきペナルティ関数を提供する過程と；フィッティングプロシージャの前記実行は、理論的信号と測定された信号との間の最適化された関係を決定するために前記ペナルティ関数を使用することと、構造の前記少なくとも１つのパラメータを決定するために最適化された関係を使用することとを含む、理論的信号と測定された信号との間のフィッティングプロシージャを実行する過程と；からなる。
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【課題】半導体ウェーハの形状計測装置の系統的誤差を判定する。
【解決手段】ウェーハを計測器に対して角度を変えながらその表裏面を計測してセンサデータを収集し、表裏データセットを作る。ウェーハ角度に対して裏側データを表側データから差し引いて二分する事によって、各角度のウェーハ形状の平均を求める。また表裏データを加えて二分することにより各角度における計測シグネイチャを求める。対称的修正値は各角度における計器シグネチャ全てを平均する事によって計算され、該対称的修正値を計測の時と同じ角度毎に引き算し、校正されたウェーハデータセットを生ずる。ウェーハ平均値を、これらの校正ウェーハ形状計測値を平均する事によって計算し、該ウェーハ平均値を修正された形状計測値から差し引いて、それぞれの角度における形状残余マップを作る。残余を平均して非対称性誤差を算出し、対称性誤差と加算して系統的誤差を求める。 （もっと読む）

【課題】一台でキメ深さやＩＲＩを測定できる多機能の路面性状測定装置であって安価かつ高精度なものを車載可能とすべく、移動距離計の測定値からタイヤ変形等の悪影響が取り除かれるようにする
【解決手段】車両に移動距離計１５と高さ計１６と高さ計５１と演算部２０とを搭載する。高さ計１６，５１には、排水用凹部の開口幅より短い第一基準長Ｎに対応した狭い範囲を測定するものを、採用する。演算部２０は、移動距離測定値ΔＳと高さ測定値Ｋ，Ｊとに基づき踏面算出を行って第二基準長Ｍ対応のＩＲＩを算出し、移動距離測定値ΔＳと高さ測定値Ｋとに基づき踏面算出を行わないで第一基準長Ｎ対応のキメ深さ等を算出し、更に基準長Ｍだけ離れた高さ計１６，５１での路面形状について相関を算出して選択的に移動距離測定値ΔＳを校正する。 （もっと読む）

【課題】
熱成形のための方法を提供する。
【解決手段】
本発明の熱成形のための方法は、加工物（１０４）の少なくとも表面を計測する段階と、前記加工物（１０４）の少なくとも表面の前記計測する段階に少なくとも部分的に基づいて歪場を決定する段階と、前記加工物（１０４）の所望の形状及び／又は微細構造を得るために、前記歪場を決定する段階に少なくとも部分的に基づいて前記加工物（１０４）に対する１つ又はそれ以上の熱成形処理を予測する段階と、を含む。 （もっと読む）

【課題】工程検査において不良兆候を検出するための検査基準を適切に設定するための技術を提供する。
【解決手段】情報処理装置が、工程検査の各検査項目について抽出された特徴量、及び、最終検査の判定結果を記憶手段に蓄積し、記憶手段に蓄積された複数の製品のデータから、検査項目毎若しくは検査項目の組み合わせ毎に、最終検査で良品と判定された製品群の特徴量の分布と、最終検査で不良品と判定された製品群の特徴量の分布との分離度を算出し、検査項目若しくは検査項目の組み合わせの中から、その分離度の大きさに基づいて、検査基準を再設定すべき検査項目を選択し、選択された検査項目に対して新たな検査基準を設定する。 （もっと読む）

【課題】動きに関する複数の情報を、もとの波形を崩すことなく、全体的にバランスよく位置あわせすることが困難であるという課題があった。
【解決手段】物体の動きに関する経時的な情報である動作情報を複数受け付ける動作情報受付部１０１と、複数の動作情報間の、時間軸方向の位置関係を変更する動作情報変更部１０２と、複数の動作情報について、各動作情報間の相関に関する情報である相関情報を取得する相関情報取得部１０３と、相関情報取得部１０３が取得した相関情報に基づいて、各動作情報間の相関が最適となる時間軸方向の位置関係を有する複数の動作情報を取得する動作情報取得部１０４と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 比較的簡単な構成で、長時間に渡って蒸着膜厚を正確に計測できるようにすることを目的とする。
【解決手段】 蒸着材料を蒸着基板２に真空蒸着するようにした真空蒸着装置において、真空槽１内に透明フィルム７が巻回されたリール６Ｓ、６Ｔと蒸着窓９と検出窓１０とを有するカセット４と、このカセット４のリール６Ｓ、６Ｔを回転駆動する駆動装置１３と、このカセット４内の透明フィルム７に蒸着された膜厚を計測する膜厚計測装置１２とを具備し、この透明フィルム７に蒸着された膜厚を計測し、この透明フィルム７の蒸着位置とこの蒸着基板２の蒸着位置とからこの蒸着基板２の膜厚を算出して、この蒸着基板２の膜厚を計測するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】 回転体の機械的誤差による影響を低減可能な回転角度検出装置及び内燃機関の運転制御装置を提供する。
【解決手段】 本発明の回転角度検出装置２０は、内燃機関１のクランクシャフト８に取り付けられ、かつ複数の歯部２１ａが回転方向Ｄに沿って設けられた回転体２１と、各歯部２１ａの前側エッジＥｆ及び後側エッジＥｂのそれぞれを検出可能な電磁ピックアップ２２及び波形整形器２３と、を備え、検出された前側エッジＥｆ又は後側エッジＥｂのいずれか一方を基準にしてクランクシャフト８の回転角度を検出する。そして、隣接する歯部２１ａ間の角度で、前側エッジＥｆを基準とした角度θｆと、後側エッジＥｂを基準とした角度θｂとを算出し、これらの誤差Δθｆ，Δθｂを比較して、前側エッジＥｆ又は後側エッジＥｂのいずれか一方を回転角度の検出の基準として設定する。 （もっと読む）

【課題】外乱の影響を受けることなく、アクチュエータの操作点とシートの幅方向の計測点との位置対応を高精度に検出することが可能なアクチュエータと計測点対応付け装置、アクチュエータと計測点対応付け方法、およびコンピュータが実行するためのプログラムを提供することを目的とする。
【解決手段】制御装置１９のアクチュエータと計測点対応付け手段は、アクチュエータの操作量を時系列の所定パターンで変化させた場合のシートの厚み変化を計算モデルを使用して予め予測値として算出しておき、所定パターンで複数のアクチュエータを操作した場合に、計測手段で計測される実計測値を取得し、予測値と実計測値との時系列データの相関を算出し、当該相関値に基づいて、各アクチュエータと計測点の対応位置を検出する。 （もっと読む）