【課題】簡単な構成で高分解能なエンコーダーを実現する。
【解決手段】エンコーダー３００であって、回転円盤３１０と、前記回転円盤上において等間隔に設けられた光透過部又は反射板で構成される光学要素３１２と、前記光学要素に光を照射する発光部３２０と、前記光学要素を透過する、または反射する光を受光して、その受光の大きさに応じた大きさのアナログ受光信号を出力する受光部３７０と、前記アナログ受光信号をあらかじめ定められた閾値を用いてからデジタル変換して一定間隔のパスル信号を発生するパルス発生部３８０と、を備え、前記光学要素は、前記光学要素の回転方向に沿って光透過率または光反射率が徐々に増減するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】結像光学系を用いて、スケール上の光学格子の解像が必要な方向（測定軸方向）の精度、特性を維持したまま、当該解像の必要のない方向（測定軸方向に直交する方向）における光源と開口の幅を広げることで、受光素子で受光する光量を増大させる。
【解決手段】光源１０２から出射された光を、スケール１０６に設けられた光学格子１１０で変調させて、変調された光を受光素子１２２で検出する光電式エンコーダ１００において、光学格子１１０で変調された光を結像する両側テレセントリック光学系１１４を備え、両側テレセントリック光学系１１４は、光学格子１１０で変調された光の一部を透過させると共に、方向Ｘの開口１１８Ａの幅ａよりも方向Ｙで広い幅ｂの開口１１８Ａを備え、方向Ｙの光源１０２の幅ｄｙによる光源側開口数ＮＡ_{ｌｉｇｈｔｙ}が、方向Ｘの開口１１８Ａの幅ａによる検出側開口数ＮＡ_ｏｐｔｘよりも大きい。 （もっと読む）

【課題】凹面状反射格子を用いた反射型光電式エンコーダの分解能を向上して、光の利用効率を向上させつつ、検出分解能を向上させる。
【解決手段】反射スケール１０からの反射光を検出光学系３０を介して受光素子４０で検出し、検出光学系及び受光素子を含む検出器２０と反射スケールの測定軸方向の相対変位を検出するようにした反射型光電式エンコーダにおいて、前記反射スケールの反射格子１２を、測定軸方向に軸が延びる、検出範囲の高さ範囲が検出光学系の焦点深度以下とされた凹面状に形成すると共に、前記検出光学系として、前記反射スケールからの反射光を、測定軸方向に結像するように配置された、測定軸と直交する方向に軸を有するシリンドリカルレンズ３４、５２と、その焦点位置に配設された、測定軸と直交する方向に延びるスリット３８を含むテレセントリック光学系３２、５０を用いて、前記反射光を受光素子に結像する。 （もっと読む）

【課題】所定の機器にエンコーダを設ける場合に、機器の小型化を図ることができるようにする。
【解決手段】リニアエンコーダ２５の主尺３１には、ステージの減速位置および終端位置への到達を検知するための減速領域センサ３４−１およびストロークエンドセンサ３３−１と、ステージを制御する制御装置２２とを接続するパターン９１−１およびパターン９１−２が設けられている。また、主尺３１には、減速領域センサ３４−１およびストロークエンドセンサ３３−１と、電源２４とを電気的に接続するためのパターン９１−３およびパターン９１−４も設けられている。これにより、減速領域センサ３４−１およびストロークエンドセンサ３３−１と、制御装置２２および電源２４とを接続するための電線をより短くすることができ、リニアエンコーダ２５が設けられる機器の小型化を図ることができる。本発明は、リニアエンコーダに適用することができる。 （もっと読む）

【課題】結像光学系を用いながら小型の検出器ユニットを可能とすると共に、検出器ユニットの受光面に到達する光量を増大させて高精度な位置測定を可能とする。
【解決手段】光学格子１１４が設けられたスケール１１０と、スケール１１０に対峙して測定軸方向Ｘに相対移動可能に配置される検出器ユニット１２０と、を有する光電式エンコーダ１００において、スケール１１０に対峙して光学格子１１４に光を照射する面発光光源である有機ＥＬ素子１２４と、光学格子１１４で変調された光を検出器ユニット１２０の受光面に結像させる両側テレセントリック光学系１３０と、を検出器ユニット１２０に備える。 （もっと読む）

【課題】小型の検出器ユニットを可能とすると共に、光源による検出器ユニットの熱ひずみを回避して、ロバストで高精度な測定を可能とする。
【解決手段】第１の光学格子１３２が設けられたスケール１１０と、該スケール１１０に対峙して配置される検出器ユニット１４０と、を有する光電式エンコーダ１００において、前記スケール１１０に、前記第１の光学格子１３２で変調されて前記検出器ユニット１４０で受光される光を発光する面状光源１２０を一体的に備える。 （もっと読む）

ポジションエンコーダ装置は、一連の位置フィーチャー（ｆｅａｔｕｒｅｓ）を備えるスケールと、スナップ写真取込みプロセスを介して一連の位置フィーチャーを読み取るように構成されたリードヘッドとを備える。スナップ写真取込みプロセスは、スケールとリードヘッド間の相対速度を補償するように適応できる。
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【課題】小型化及び構成の単純化を実現するとともに、屈曲角度の検出精度が高い屈曲操作システムを提供することにある。
【解決手段】マニピュレータ１の光学式エンコーダでは、反射率の異なる２種類の反射部４１Ａ、４１Ｂが長手方向に所定のパターンで配置されるスリット部４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｚに光を入射し、スリット部４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｚで反射した反射光を受光素子で受光する。第１の反射部４１Ａと第２の反射部４１Ｂとでは光ファイバ２２へ導光される光量が異なるため、エンコーダスリット部３２がワイヤ５と一体に長手方向へ移動すると、受光素子でエンコーダスリット部３２の変位と光量を示した波形の電気信号が検出される。そして、パルス信号に変換され、パルス数及び既知のエンコーダスリット部３２の寸法から、エンコーダスリット部３２及びワイヤ５の変位が算出される。ワイヤ５の変位から動作部３の屈曲角度が検出される。 （もっと読む）

本発明は、第一線膨張係数（α１．３）を有する第一材料で作られている目盛板（１．３）および第二線膨張係数（α１．４）を有する第二材料で作られているキャリア要素（１．４，１．４’）を含む角度測定装置用構成ユニットに関するものである。第二線膨張係数（α１．４）と第一線膨張係数（α１．３）間の差異が、少なくとも３×１０^−６Ｋ^−１である。キャリア要素（１．４，１．４’）には、目盛板（１．３）が接着接続を使って固定されており、その接着接続が、アキシャル方向接着剤層（１．１，１．１’）およびラジアル方向接着剤層（１．２）を有している。アキシャル方向接着剤層（１．１，１．１’）およびラジアル方向接着剤層（１．２）が、キャリア要素（１．４，１．４’）と目盛板（１．３）の間で、アキシャル方向間隙（Ｓａ，Ｓａ’）ないしラジアル方向間隙（Ｓｒ）にそれぞれ配設されている。両方の接着剤層（１．１，１．２）には異なった接着剤を含んでいる。更に本発明は、この構成ユニットを備えた角度測定装置に関するものでもある。 （もっと読む）

【課題】コンパクト化を図れ、組み立てやその取り扱い、設置作業を簡単に行う上で有利なエンコーダ用検出部およびエンコーダを提供する。
【解決手段】エンコーダ１０は検出部１２と電装部１４を備える。検出部１２は、第１ケース３０と、第１のケース３０と切り離された第２ケース３２とを備える。第１ケース３０には検出部側光分波器３８および検出部側光合波器４０とが収容され、第２ケース３２には目盛板４２が収容されている。光照射用第１光ファイバ３４および受光用第１光ファイバ３６は、第１ケース３０と電装部１４にわたって設けられている。光照射用第２光ファイバ４４および受光用第２光ファイバ４６は第１、第２ケース３０、３２にわたって設けられている。 （もっと読む）

【課題】不要な迷光が内蔵された光検出器に入射するのを防止する種々の手段を有する高速、高性能、低雑音の光学エンコーダを提供する。
【解決手段】単一ドーム・レンズ５０を有する小型の単一トラック式光学エンコーダ、及び三重ドーム・レンズ付二重トラック式光学エンコーダ内の迷光を阻止するために採用された構造体には、エンコーダの基板４０の第１の側部５６及び第２の側部５８間に配置され、迷光が単一トラック式光検出器４６／４８に入射するのを防止又は阻止するように構成された光学的に不透明な光バリア、エアギャップ・トレンチ、及びコーティングが含まれる。 （もっと読む）

【課題】 回折格子が形成する面内の方向（Ｙ方向）の変位及びその面に垂直な方向（Ｚ方向）の変位を、光源から出射される光から回折格子を用いて複数の回折光を発生させることにより計測できる変位計測装置を提供する。
【解決手段】 第１乃至第３の回折光ｌ_１、ｌ_２、ｌ_３を発生させる第１回折格子ＧＢＳ０と、被計測物と共に移動可能な第２回折格子ＧＴ０と、第２回折格子で回折した第１及び第２の回折光による干渉光を受光する第１受光部ＰＤｘと、第２回折格子で回折した第１の回折光と、第１回折格子を透過した第３の回折光とをそれぞれ反射する反射部ＦＭと、反射部で反射され第２回折格子で回折した第１の回折光と、反射部で反射された第３の回折光と、による干渉光を受光する第２受光部ＰＤｚと、第１受光部で受光した光に基づいてＹ方向の変位を算出し、かつ第２受光部で受光した光に基づいてＺ方向の変位を算出する演算部ＣＵと、を有する。 （もっと読む）

【課題】光学系の組み立て調整が容易で、かつ、スケール部に異物等が付着した際の光量低下を抑えることが可能な光学式変位測定装置を提供する。
【解決手段】光学式変位測定装置１Ａは、スケール部１１Ａの回折格子１１Ｔで回折された２つの１回回折光Ｌｂ１，Ｌｂ２を再度回折格子１１Ｔに照射する反射光学系１６を備える。反射光学系１６は、直角を３つ合成した頂点を持つ三角錐のプリズムで構成されるマイクロコーナーキューブプリズムが、縦横に並べて配列されるマイクロコーナーキューブプリズム集合ミラー１７ａ，１７ｂを備える。 （もっと読む）

レーザ空洞を持つレーザと、入射レーザ光の向きを該レーザ空洞に戻るように変える、レーザビームの光路に沿って配置された面を有する、レーザ自己混合測定装置が提供される。該面は、レーザ光を部分ビームへと回折させる周期構造を有する。
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【課題】絶対位置検出型光電式エンコーダの組立を容易にして低コスト化を実現する。
【解決手段】メインスケール上に配置された擬似ランダムパターン２００を、複数の結像光学系１１０Ａ〜１１０Ｅで検出するようにした絶対位置検出型光電式エンコーダにおいて、前記結像光学系１１０の結像面に配置された、各結像光学系１１０Ａ〜１１０Ｅの受光範囲よりも測長方向に大きい受光アレイ部１３８、１３８Ａ〜Ｅを搭載した単一の受光アレイ素子１３６と、各結像光学系の受光範囲を示す窓信号を記憶する窓信号記憶部３２０と、前記受光アレイ素子の走査信号と窓信号を比較して、個々の結像範囲に対応する信号を得るための窓信号比較部３４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】ヘッド内部の迷光等の影響を受けにくい、小型化・薄型化に向いたエンコーダを提供する。
【解決手段】変位検出される一方の部材に取り付けられたスケールと、一方の部材に対して相対移動する他方の部材に取り付けられ、かつ、スケールに対向して配置された検出ヘッドと、を備え、スケールには、相対移動する方向に対して所定の光学パタンが設けられており、検出ヘッドは、スケールに所定の光を照射する発光部と、発光部からスケールに照射されて光学パタンを経た光を受光する受光面を備え、その受光面上に形成される光分布を検出する光検出部と、発光部とスケールとの間の光路上に配置される第１光透過部材と、スケールと光検出部との間の光路上に配置される第２光透過部材と、を備えており、第１光透過部材の表面と第２光透過部材の表面との間に介在する、信号検出に寄与しない迷光を低減する迷光低減機能要素を備える。 （もっと読む）

【課題】１トラックから複数種類の情報を取得可能とした高精度な光電式エンコーダを提供する。
【解決手段】光電式エンコーダは、スケール１２と、スケール１２に測定光を照射する光源１１と、スケール１２で反射又は透過した前記測定光を受光する受光器１４と、受光器１４の受光信号を処理してスケール１２の絶対位置を検出する信号処理回路２０とを備える。スケール１２は、複数の第１変調スケールパターン３Ａ（ｋ）を配列してなる第１変調インクリメンタルパターン３１を有する変調インクリメンタルトラック３０１を備える。第１変調インクリメンタルパターン３１は、測長方向に所定周期Ｐｒ内で第１変調スケールパターン３Ａ（ｋ）の形状が周期的に変化するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】２つの物体の相対位置を測定する光学エンコーダで１つの基準パルス信号が少なくとも１つの特定の基準位置で生成可能である光学エンコーダの提供。
【解決手段】スケールに対して測定方向に沿って移動する走査ユニット及び個々の検出器要素から成る基準パルス検出器配置、スケールは、両物体に結合され、基準位置に基準マークを有し、基準マークは測定方向に沿って非周期に配置、異なる光学特性を有する多数の部分領域。複数の追加構造体がそれぞれ基準マークに隣接して測定方向に沿って配置、追加構造体は測定方向に延在、発生する基準パルス信号中の二次最大値を最小限にし走査ユニットは他方の物体に結合され、検出器要素の幾何配置は１つの基準パルス信号を生成するために基準マークに合わせられている。追加構造体は第１光学特性の少なくとも２つのトラックを有し測定方向に沿って延在し第２光学特性の１つの部分領域がトラック間に配置されている。 （もっと読む）

【課題】角度演算時間の短縮化を図り、もって、精密な絶対角度位置を測定可能な絶対角度演算装置を提供する。
【解決手段】この発明の絶対角度演算装置は、光電変換信号列に含まれている空間変調成分に基づいて絶対角度位置を演算する演算回路１１を有する。演算回路１１は、絶対角度位置を補間するために演算に要する絶対角度演算時間よりも短い設定時間の間に得られた前回の光電変換信号列と今回の光電変換信号列とを保存する光電変換信号列保存部１４と、光電変換信号列保存部１４に保存されている前回の光電変換信号列と今回の光電変換信号列との相関を検出してそのずれ量を検出する相関検出回路１５と今回得られたずれ量に基づいて前記パターン間の絶対角度位置相当値を内挿する内挿演算回路とを有する。この演算回路１１は、ずれ量と絶対角度位置相当値とに基づき内挿角度を算出して、前回得られた絶対角度位置に今回得られた内挿角度を加算して、現在の絶対角度位置を求める。 （もっと読む）

【課題】
光源（４１）と、第一の格子（２３）と、第二の格子（２１）と、光検出器（４５．１，４５．２，４５．３）とを備えた位置測定装置であって、光源の光が、第一と第二の格子によって相異なる方向の部分光線（Ｂ１〜Ｂ６）に分割されるとともに、偏向部品（２７，２７．１，２７．２，２７．３）によって検出器の方向に偏向される位置測定装置を記載している。
【解決手段】
本発明では、偏向部品は、相異なる方向から入射する部分光線に対して、相異なる領域を備えており、そのため偏向部品から検出器の方向に偏向される全ての部分光線がほぼ平行となる。 （もっと読む）