【課題】アブソリュートパターンの位置ずれに対する許容度を大きくし、微細化を可能とした絶対位置測長型エンコーダを提供する。
【解決手段】スケール１２は、明暗の等間隔の配列ピッチＰｉで形成されたインクリメンタルパターン３１と、擬似ランダムパターンにより絶対位置を表現したアブソリュートパターン３２とに加え、アブソリュートパターン３２に対し所定の位相関係を有し且つ明暗の等間隔の配列ピッチＰｒ（＞Ｐｉ）で形成された位置基準パターン３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】より正確に移動体の移動量を検出可能とする。
【解決手段】移動体６２の移動量の検出するエンコーダ装置であって、移動体６２に固定されるスケール１２０と、該スケール１２０の所定の一面側に固定して設置されるとともに、上記所定の一面の少なくとも一部の領域の画像を時系列的に連続して取得する画像取得装置１１２と、該画像取得装置１１２にて取得された上記画像に基づいて上記スケール１２０の移動量を算出する画像処理装置１３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】光学エンコーダ。
【解決手段】反射型光学エンコーダは、反射コーディング要素と、複数のエミッタと、検出器とを含む。反射コーディング要素は、反射部分と非反射部分とが交互に配置されて成るトラックを含む。複数のエミッタのそれぞれは、コーディング要素のトラックに対して入射する対応する光信号を生成するように構成されている。検出器は、トラックの反射部分から反射された対応する光信号を検出するように構成されている。１つの実施形態において、検出器は、別個のフォトセンサグループ内に位置される複数のフォトセンサを含み、各フォトセンサグループは複数のエミッタのうちの１つに対応している。光学エンコーダの実施形態は、形状因子が小さいエンコーダに適しており、エンコーダ組み立ての容易性を高める。 （もっと読む）

【課題】ノイズ成分を低減してリモートセンシングの性能を向上させ、長距離であっても信号解析が可能なリモートセンシング装置を提供する。
【解決手段】レーザ送信光を測定対象に向けて送出し、測定対象からのレーザ反射光を光受信器によって受信する光学系装置を有するリモートセンシング装置であって、光受信器は、レーザ反射光を集光するレンズ２０と、帯域の異なる複数のフィルタを有し、複数のフィルタのいずれか一つによりレンズ２０を通して集光されたレーザ反射光をフィルタリングするフィルタホルダ３０と、複数のフィルタのいずれか一つによりフィルタリングされたレーザ反射光を検知するとともに検知した光に応じて信号を出力する光検知器２４と、信号に基づきレーザ反射光のＳ／Ｎ比又は信号強度を測定するＳ／Ｎ比検出回路４０と、Ｓ／Ｎ比検出回路４０により測定された結果に基づきフィルタホルダ３０を制御してレーザ反射光のＳ／Ｎ比又は信号強度が最も大きくなる複数のフィルタのいずれか一つを選択する制御回路４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 スケールに対する被検出光の照射位置が基準からずれた場合でも、絶対角度を精度良く検出することができるエンコーダを提供する。
【解決手段】 エンコーダ１では、半円状の開口部１７が形成された歯車付き回転板８に被検出光を通すことにより、スケール板１１のうち、配列ラインＬ１，Ｌ２の半周分を含む領域に被検出光が照射される明部１９が形成され、明部１９を除く領域に被検出光が照射されない暗部２０が形成される。これにより、エンコーダ１では、スケール板１１に対する被検出光の照射位置が基準からずれている場合であっても、角度検出時における光強度波形Ｐの半値幅Ｗに対応する角度範囲と基準角度範囲との差α°に基づく補正量を加減し、測定対象物の絶対角度を精度良く検出することができる。 （もっと読む）

【課題】複雑な加工を必要とせずに角度検出範囲を広範化できるエンコーダ、及びこのようなエンコーダに用いるエンコーダ用受光装置を提供する。
【解決手段】エンコーダ１では、互いに連動して回転する歯車付きスリット板１３Ａ，１３Ｂの回転比が６：１０となっており、スケール板１７Ａ，１７Ｂの各ＰＤ１６は、位相角３６°ごとにＡからＪまで属性付けされている。これにより、エンコーダ１では、スケール板１７Ａ，１７Ｂの各一次元プロファイルから算出した真の角度に対応するＰＤ１６の属性の組み合わせに基づいて歯車付きスリット板１３Ａの周期数を３周期にわたって特定できるので、角度検出範囲を広範化することが可能となる。また、このエンコーダ１では、従来のように回折パターンの異なる格子窓をスケールに複数設ける必要はなく、複雑な加工も必要としない。 （もっと読む）

【課題】
ファイバの長さと波長可変光源の掃引周期（掃引速度）とに起因して発生するＦＢＧの反射波長の測定時の波長ずれを補正することによって、高速波長掃引の可能な波長可変光源を用いて測定の高速化を行った場合でもＦＢＧの反射波長を正確に測定できるＦＢＧセンサシステムを提供する。
【解決手段】
受光器１４から出力される電気信号ｂと波長可変光源１０の発振波長の情報を持った電気信号ｃとからＦＢＧ１３ａ〜１３ｃの反射波長を仮の反射波長λ_Ｔとして測定し、測定したこの仮の反射波長λ_Ｔに基づいて、予めメモリ１６ｃに記憶されている、ファイバ１２ａ〜１２ｃの長さと波長可変光源１０の掃引速度とに起因して発生するＦＢＧ１３ａ〜１３ｃの反射波長の測定時の波長ずれを補正するための波長補正値λ_Ｃを読み出し、読み出したこの波長補正値λ_Ｃで上記仮の反射波長λ_Ｔを補正してＦＢＧ１３ａ〜１３ｃの反射波長λ_Ｆを求める。 （もっと読む）

【課題】二次元のリニアスケールに適用可能な二次元のＡＢＳパターンを持った高信頼性、高精度、高分解能の二次元エンコーダを提供する。
【解決手段】スケール上のビットパターンの画像を検出器で取得して、スケールと検出器の相対変位を検出するようにされたエンコーダにおいて、共通の部分を持つように変調されたビットパターンを、第１の方向に配置すると共に、同じビットパターンを、１ビット分ずつずらして、第１の方向と直交する第２の方向にも配置する。 （もっと読む）

【課題】冗長なコードを追加することなく、最小のコードで擬似ランダムコード検出の誤りを検出すると共に、訂正も可能として、ＡＢＳ位置信号生成の信頼性を向上させる。
【解決手段】位置情報を含む位置コードが備えられたスケールと、このスケールに対して相対移動可能に配設されると共に、前記スケールに備えられた前記位置コードの少なくとも一部を検出する検出部と、この検出部で検出された位置コードの一部を処理して、位置情報を出力する処理部と、を備えた変位検出エンコーダにおいて、前記検出された位置コードについて、位置コードを生成する位置コード生成手段で評価して、誤り情報の有無を検出する。 （もっと読む）

光学要素は、２つ以上の結果として生じるビームを生み出すように入射光と相互作用する特徴を有する部材を有する。光学要素の構成は、２つ以上の結果として生じるビームを生み出すように第１の側から前記部材を通過するとき、前記特徴と相互作用する光が、前記部材の別の側に戻らされるとき、前記特徴と相互作用しない、および／または逆もまた同様であるというようなものである。光学要素は、スケールおよび読み取りヘッド装置の読み取りヘッドに用いられるとよい。
（もっと読む）

【課題】部品点数が少なく安価で高分解能な光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】発光側リードフレーム４の上面にマウントされた発光体１と発光側レンズ８と全反射部９とを、発光側透光性樹脂６で一体成型(トランスファーモールド)している。こうして、部品点数を減らし、開発コストを削減することができる。また、発光側透光性樹脂６における発光側レンズ８の周囲に全反射部９を設けている。こうして、発光側レンズ８を透過した平行光１０のみを受光体に向かって出射させることができ、光学式エンコーダとして有用な平行光１０のみを抽出することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】エンコーダの小型化を図る。
【解決手段】−１次回折光、０次光、＋１次回折光の入射位置の間隔は、トラック３１のビットパターンのピッチの３倍（３ｐ）となるように設定されている。駆動装置１６による振動ミラー１４の回転振動により、０次光、±１次回折光の入射位置は、互いの間隔を維持したまま、Ｘ軸方向に振動するようになる。この振動の振幅（半振幅）は、ビットパターンのピッチｐと同じとなるように設定されている。０次光、±１次回折光の入射位置は、等間隔のまま、それぞれ３ビット相当の領域を移動する。これにより、３つの回折光の入射位置は、全体で９ビット相当の幅で移動するようになる。これにより、３つの回折光を用いて９ビットの絶対位置情報を読み出すことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構造で、ＸＹＺ軸方向の移動量および移動方向の高精度化と高分解能化が実現できる変位測定装置を提供する。
【解決手段】計測基準面である２次元回折格子１と、回折光を検出するセンサ・ユニット２を有する。センサ・ユニット２は、２次元回折格子１に対して垂直に配置された２次元回折格子２１と、レーザー光源２２と、レーザー光を２次元回折格子１および２次元回折格子２１に垂直に入射させるとともに、２次元回折格子１および２次元回折格子２１からの回折光を対物レンズ２６によって干渉させる光学系と、干渉光を検出するフォトダイオード４１ないし４４等からなるセンサを有する。 （もっと読む）

【課題】受光光量を減らすことなく、所望の高次高調波を削減し、低歪の検出を行って、高精度の測定を可能とする。
【解決手段】スケール１０上の格子パターン１２又はスケール１０上に生成されたモアレ縞をレンズ光学系２０により受光素子へ導くようにされた光電式インクリメンタル型エンコーダにおいて、位相格子４０による＋１次回折光と−１次回折光の到達点の差ｄｘが、除去したい高次高調波の波長λの半分となるように、位相格子ピッチＰ_Gと配設位置Ｌが決定された位相格子４０を設ける。 （もっと読む）

【課題】小型化を実現することができ、かつ、変位検出装置の継続的な使用によっても信頼性の高い変位検出装置、これに搭載される偏光ビームスプリッタ及び回折格子を提供すること。
【解決手段】回折格子１２として反射型の回折格子が用いられているので、回折格子１２で生成される各回折光を折り返らせることができ、変位検出装置１の小型化が実現される。しかも、各１／４波長板２３、４３、１２３及び１４３、ミラー２４、４４、１２４及び１４４等がメインＰＢＳ２２に一体的に設けられる構成とすることで、組み立て精度を高く維持することができ、変位検出装置１の信頼性を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】被測定物の３軸回りの微小角度変化を計測可能でかつ小型化可能な３軸角度センサを提供する。
【解決手段】検出対象面１に設けられた1軸矩形格子１ａに光源から平行入射光６が投光される。1軸矩形格子１ａからの回折光反射成分７_Ｏ、７_１、７_２の光路中に4分割ＰＤ３ａ、３ｂ、３ｃを備えた。4分割ＰＤ３ａ、３ｂ、３ｃによりビームスポットの挙動を観測することで、３軸回りの微小角度変化が検出される。 （もっと読む）

【課題】簡単で小さな光学系及び受光系を用いて、広い検出範囲の測定を可能とする。
【解決手段】所定のパターン（インクリメンタルパターン１００や擬似ランダムパターン２００）が形成されたスケールに対して相対変位可能な検出器を有する光電式エンコーダ（インクリメンタルエンコーダやアブソリュートエンコーダ）において、前記パターン（１００、２００）の同時に検出すべき検出範囲を少なくとも検出方向に分割して、それぞれの検出領域１２０毎に検出するための、複数の受光系（１３０、１３２）を備える。 （もっと読む）

【課題】高分解能なエンコーダを提供する。
【解決手段】縮小投影光学系１８では、レンズ５の焦点距離ｆ₁がレンズ７の焦点距離ｆ₁よりも長くなっているので、光源３における点光源の光源像は、縮小された２次光源像になる。これにより、グレーティング１上に形成される光源像における点光源像の間隔は、実際の光源の間隔よりも投影倍率だけ短くなる。このようにすれば、スケール２０のグレーティング１のピッチを短くして、エンコーダの分解能を向上させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】小型で高分解能な位置エンコーダを提供すること。
【解決手段】フォトダイオードアレイ及び該フォトダイオードアレイを利用したエンコーダを開示する。エンコーダは、フォトダイオードアレイ、コードホイール、光源、及び光学系を含む。フォトダイオードアレイはリング状に配置された複数のフォトダイオードを含み、各フォトダイオードはそのリングの環状セクタを占め、各フォトダイオードはそのフォトダイオードに入射する放射光によって決まる信号を生成する。このフォトダイオードアレイの特性は、アレイ中心によって決まる。コードホイールはコードホイール軸を中心にして配置交互に配置されたコードストリップの環状アレイを含み、コードホイールはコードホイール軸を中心にしてフォトダイオードアレイに対して相対的に移動する。光源はコードホイールを照明し、光学系は明るい帯と暗い帯を交互に有するコードホイールの画像をフォトダイオードアレイ上に形成する。 （もっと読む）

【課題】各種移動体表面に形成されたマークとそれを検出するセンサとの距離変動や角度変動が生じたりあるいは速度変動が生じてもて高精度にマークを検出して各種移動体の移動量を安定して検出する。
【解決手段】２組の投光部２３ａ，２３ｂでスケール１７の移動方向でスケール１７のマーク周期の１／２周期だけずれた位置にビーム３０ａ，３０ｂを照射し、スケール１７のスリット１９を透過した光を２組の受光部２４ａ，２４ｂで受光したりあるいはスケール１７の反射マーク１８で反射した光を２組の受光部２４ａ，２４ｂで受光して１８０度位相がずれたマーク検出信号３３ａ，３３ｂを出力して２値化してオフセット変動を除去する。 （もっと読む）