【課題】ダイシングストリートにＧａＡｓが露出している場合、結果ダイシング時に素子のチッピング、電極や磁性体の剥離、溶解したＧａＡｓによる電極接合部の汚染が発生し、さらにＧａＡｓ基板裏面もエッチングされるためＧａＡｓの溶解による電極接合部の汚染の課題がある。
【解決手段】本発明は、ホール素子が設けられたＧａＡｓ基板と、ＧａＡｓ基板上に設けられた磁気増幅機能を有する磁性体とを備える磁気デバイスにおいて、上記ホール素子上に絶縁層と、上記絶縁層上にＴｉ系金属層と、上記Ｔｉ系金属層の上にＣｕ系金属層とを有し、ダイシングストリート上を少なくとも無機絶縁材料乃至有機絶縁材料もしくはその両方でカバーさせＧａＡｓを露出させず、またさらにＧａＡｓ基板裏面にも有機絶縁膜でカバーすることにより本課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】ホール素子への駆動電流への影響を低減しつつ、ホール素子を安定に駆動することを可能とするホール素子の駆動回路を提供する。
【解決手段】ホール素子から出力されるホール電圧の中点電位を出力する差動アンプ回路１６及び分圧回路１８と、分圧回路１８から出力された中点電位に応じてホール素子１０の入力電位を出力するオペアンプ１４と、を備えるホール素子１０の駆動回路１００とする。 （もっと読む）

【課題】３軸の磁気センサためのシステムと方法を提供する。
【解決手段】ある実施形態では、単一の基板上１２０に形成された３軸磁気センサであって、センサが、単一の基板上に形成された磁気抵抗センサ１１５または磁気誘導センサのうちの少なくとも１つからなる面内の２軸磁気センサと、単一の基板上に形成されたホール効果センサ１１６からなる面外の磁気センサとを有する。面内の２軸磁気センサが、基板の平面に対して平行な第１の面の磁界を測定し、面外の磁気センサが、第１の面に対して直交する軸に沿って磁界を測定する。 （もっと読む）

【課題】３軸センサ・チップパッケージためのシステムと方法を提供する。
【解決手段】センサパッケージは、ベース１０５と、第１のセンサダイ１１０が、第１のアクティブセンサ回路１１２および、第１のアクティブセンサ回路に電気的に結合された複数の金属パッド１１４とを備え、ベースに取り付けられた第２のセンサダイ１２０が、第１の表面１２８の上に配置された第２のアクティブセンサ回路１２２と、第２の表面の上に配置された第２のアクティブセンサ回路に電気的に結合された第２の複数の金属パッド１２２とを備え、第２のアクティブセンサ回路は、第１のアクティブセンサ回路に対して直交に方位付けされ、ベースに垂直であるように、第２のセンサダイが配置される。第２の表面は、第１の表面に隣接し、第１の表面の面に対して角度がつけられている。 （もっと読む）

本明細書では、ホストデバイスの変化するソフトウェアモードおよびハードウェアモードに部分的に基づく非定常センサ誤差、特に非定常コンパス誤差の較正および補正のための方法および装置について説明する。各モードおよびモードの組合せによってセンサ中に誘導される非定常誤差は、1つまたは複数のホストデバイスの生産前試験中に判断され得る較正において判断される。較正結果はホストデバイスのソフトウェアおよび/またはハードウェアに組み込まれ得る。通常動作中に、アクティブモードまたはモードの組合せに部分的に基づいてセンサ測定値にセンサ補正が適用され得る。
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本発明は、電子コンパスの零点誤差（Ｈｘ０，Ｈｙ０）を求める方法に関する。この方法は、３軸磁気センサを用いて電子コンパスの第１座標系における第１磁界強度を測定するステップと、地表面に平行な第２座標系（ｘ，ｙ）における伏角補正された第２磁界強度（２００）を第１磁界強度から計算するステップと、伏角補正された第２磁界強度（２００）に当てはめ関数（２１０）を当てはめるステップと、当てはめた当てはめ関数（２１０）から零点誤差（Ｈｘ０，Ｈｙ０）を求めるステップとを有する。本発明は、電子コンパスを動作させる方法にも関する。この方法は、磁気センサを用いて測定された第１磁界強度から第２座標系（ｘ，ｙ）における伏角補正された磁界強度（Ｈｘ０，Ｈｙ０）を計算するステップと、伏角補正された第２磁界強度（Ｈｘ０，Ｈｙ０）から上述した方法で求めた零点誤差（Ｈｘ０，Ｈｙ０）を減算することによって零点補正される第３磁界強度（Ｂｘ，Ｂｙ）を計算するステップと、南北方向に対して第２座標系（ｘ，ｙ）の軸（ｘ）が偏差する方位角を計算するステップとを有する。
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本発明の３層磁気素子は、基板上に、水素化物−酸化物または窒化物−酸化物の第１の層Ｏを含み、その上に金属磁気層Ｍが設けられ、金属磁気層Ｍの上に水素化物−酸化物または窒化物−酸化物の第２の層Ｏ’、あるいは非強磁性体金属層Ｍ’が設けられる。層Ｍは連続しており、１〜５ｎｍの厚さを有し、その磁化は、層ＯおよびＯ’が無い状態で層面に平行である。室温以上のある温度範囲で、層Ｍの実際の消磁磁界を低減できる、あるいは層Ｍの磁化を層面に対しほぼ垂直に向けることができる、界面Ｏ／ＭおよびＭ／Ｏ’の層面に垂直な界面磁気等方性がある。
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【課題】少ない消費電力で自己の落下を検出可能な簡単な構成の携帯端末装置を提供する。
【解決手段】この携帯端末装置は、第１の筐体と第２の筐体と、第１の筐体と第２の筐体を回動自在に連結する連結部とからなる携帯端末装置において、第１の筐体に設けられている磁石１２と、第２の筐体に設けられ、第１の筐体及び第２の筐体が閉じられた場合に磁石１２の近傍に配置され、磁場の大きさを検出してアナログ方式で出力するホール素子１４と、ホール素子１４から出力された磁場の大きさを検出する検出部１８と、検出部１８は、第１の筐体と第２の筐体の開閉状態を検出し、さらに、第１の筐体と第２の筐体が閉じられている場合において、自己が落下したことを検出し、検出部１８で検出された落下情報を記憶する記憶部２２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ホール素子の素子オフセット電圧による影響を低減し、且つ、増幅器において生じる入力オフセット電圧による影響をも低減し得る磁気センサ回路の提供を目的とする。
【解決手段】本発明に係る磁気センサ回路は、ホール素子１０Ｘ、１０Ｙと、切替スイッチ回路２０Ｘ、２０Ｙと、増幅ユニット３０Ｘ、３０Ｙと、比較ユニット６０と、キャパシタ４１Ｘ、４２Ｘ、４１Ｙ、４２Ｙと、スイッチ回路５１、５２と、を有して成り、切替スイッチ２０Ｘ、２０Ｙを用いて、ホール素子１０Ｘ、１０Ｙで各々得られるホール電圧を第１状態、第２状態で切り替えて出力し、増幅ユニット３０Ｘ、３０Ｙをそれぞれ差動状態で動作させ、かつ、両者の出力差が設定されたヒステリシス幅よりも大きければ、検出信号Ｓｄｅｔの出力論理を変遷する構成とされている。 （もっと読む）

【課題】繰り返し応力が作用する評価部位に適用でき、正確かつ簡便にき裂の発生・進展挙動を評価することが可能な高感度磁束密度計による金属材料の損傷評価装置、その損傷評価方法、及びその損傷評価システムを提供する。
【解決手段】被測定物の磁束密度を測定可能な高感度磁束密度計と、それで測定した磁束密度情報及び前記評価部位に作用する応力の繰り返し数情報が共に入力可能とされた演算処理手段とを具備し、高感度磁束密度計のプローブを評価部位に非接触状態で対向配置した金属材料の損傷評価装置、その損傷評価方法、及びその損傷評価システム。 （もっと読む）

【課題】ホール素子と磁気収束板との距離を考慮して、感度変化が小さい感度のバラツキが抑制された磁気センサを提供すること。
【解決手段】半導体回路１１は、半導体基板１３と、この半導体基板１３の表面と同一の平面になるように互いに所定の距離を隔てて半導体基板１３中に埋め込まれた複数のホール素子１４ａ，１４ｂから構成されている。ポリイミド層１５は、半導体回路１１上に設けられている。磁気収束板１２は、ポリイミド層１５上に設けられた第１の金属膜１６ａを介して、さらにその上に設けられた第２の金属膜１６ｂ上で、かつホール素子１４ａ，１４ｂの上方に配置されるように設けられている。ホール素子の上面から磁気収束板の底面までの距離を９〜２０μｍとしたので、磁気収束板の垂直方向の距離変化や平面内方向の位置ずれに対して、感度変化が小さくなり、感度のバラツキが抑制される。 （もっと読む）

【課題】磁極面におけるスキュー角を短時間に、しかも簡易に計測することのできるスキュー角測定装置を提供する。
【解決手段】計測対象物の磁極面に対向配置されて該磁極面と平行な予め定められた基準方向（Ｚ方向）の磁界強度Ｂｚを検出する第１の磁気センサ、および前記磁極面と平行で、且つ上記基準方向に垂直な方向（Ｘ方向）の磁界強度Ｂｘを検出する第２の磁気センサと、これらの第１および第２の磁気センサにてそれぞれ検出された磁界強度Ｂｘ,Ｂｚからその合成磁界の向きを求め、この合成磁界の向きと前記基準方向とがなす角を前記磁極面における磁極のスキュー角γとして求める演算手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、実装容積が小さく、かつ、直交する２軸方向の磁界成分を検出可能な磁界センサの提供である。
【解決手段】本発明は、互いに直交する第１座標軸及び第２座標軸方向に関し、磁極のつくる磁界の第１および第２座標軸の交点である原点における強さおよび向きの成分の少なくともいずれかを検知し、その検知結果を検知出力として電気的に出力する磁界センサであって、第１、第２及び第３のホール素子と、第１の磁気抵抗素子とを含む信号変換部を備え、第１、第２及び第３のホール素子は、磁界の強さおよび向きの第１座標軸方向成分を検知可能であり、第１の磁気抵抗素子は、磁界の強さの第２座標軸方向成分を検知可能であり、第１、第２及び第３のホール素子は、それらの主面が同一の平面に含まれるよう配置された磁界センサである。 （もっと読む）

【課題】ホール素子と磁気増幅機能を有する磁性体とを組み合わせ、基板と磁性体との間に２層構造の金属膜を設けて磁気特性の極めて安定した磁気センサを提供すること。
【解決手段】半導体回路１１は、半導体基板１３と、この半導体基板１３の表面と同一の平面になるように互いに所定の距離を隔てて半導体基板１３中に埋め込まれた複数のホール素子１４ａ，１４ｂから構成されている。保護膜１５は、半導体回路１１上に設けられている。磁気収束板１２は、保護層１５上に設けられた第１の金属膜１６ａを介して、さらにその上に設けられた第２の金属膜１６ｂ上で、かつホール素子１４ａ，１４ｂの上方に配置されるように設けられている。金属膜を２層構造とし、この金属膜の熱膨張率を調整して磁気収束板との界面の熱膨張率を磁気収束板と一致させることにより、磁気特性の極めて安定した磁気センサを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ホール素子と磁気増幅機能を有する磁性体とを組み合わせ、基板と磁性体との間に２層構造の金属膜を設けて磁気特性の極めて安定した磁気センサを提供すること。
【解決手段】半導体回路１１は、半導体基板１３と、この半導体基板１３の表面と同一の平面になるように互いに所定の距離を隔てて半導体基板１３中に埋め込まれた複数のホール素子１４ａ，１４ｂから構成されている。保護膜１５は、半導体回路１１上に設けられている。磁気収束板１２は、保護層１５上に設けられた第１の金属膜１６ａを介して、さらにその上に設けられた第２の金属膜１６ｂ上で、かつホール素子１４ａ，１４ｂの上方に配置されるように設けられている。第２の金属膜の膜厚を０．１〜３μｍとすることで、第１の金属膜と磁性体合金膜との熱膨張差から生じる磁気歪を遮断することができ、極めて安定した磁気センサが実現できる。 （もっと読む）

【課題】磁性体の膜厚を制御可能にして薄膜を形成し、ホール素子に大きな応力が発生しないようにした磁気センサを提供すること。
【解決手段】半導体基板２１上には、互いに所定の距離を隔てて埋め込まれた複数のホール素子２２ａ，２２ｂが設けられ、ホール素子２２ａ，２２ｂ上及び半導体基板２１上には、磁気収束板を電解めっきするための下地金属層が設けられ、下地金属層上には、磁気増幅機能を有する磁気収束板２３が設けられている。磁気収束板２３の底面は、複数のホール素子２２ａ，２２ｂの領域を少なくとも部分的に覆うように配置され、磁気収束板の膜厚は、電解めっきにより５〜１４μｍまで薄くすることができる。これにより、ホール素子にかかる応力を少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】複数の同一端子を有するホール素子からのオフセット成分をキャンセルすること。
【解決手段】通常動作において、電源１３より共通端子１１ａ，１１ｃ間及び共通端子１２ａ，１２ｃ間に電圧Ｖｉｎを印加し、独立端子１１ｂ，１１ｄ間から出力電圧Ｋｈ１を、独立端子１２ｂ，１２ｄ間から出力電圧Ｋｈ２を得る。一方のホール素子１１のオフセット電圧をキャンセルする場合、電源より独立端子１１ｂ，１１ｄ間に電圧Ｖｉｎを印加し、共通端子１１ａ，１１ｃ間から出力電圧Ｋｈ１’を得る。出力電圧Ｋｈ１’を２倍した２Ｋｈ１‘と出力電圧Ｋｈ１とを加算器１６ａで加算することによりオフセット電圧Ｖｕ１を含まない出力電圧２Ｖｈ１を得る。同様にして出力電圧Ｋｈ２’を２倍した２Ｋｈ２‘と出力電圧Ｋｈ２とを加算器１６ｂで加算することによりオフセット電圧Ｖｕ２を含まない出力電圧２Ｖｈ２を得る。 （もっと読む）

【課題】回路構成が簡単で正確な磁界強度を測定できる磁気検出回路および磁気検出方法を提供する。
【解決手段】スイッチ５を閉じてホール素子１の２つの出力の一方を接地したときに差動増幅器４で得られるホール素子１の２つの出力の差分Ｖｏ１と、スイッチ６を閉じての他方の出力を接地したときに差動増幅器４で得られるホール素子１の２つの出力の差分Ｖｏ２とを加算し、スイッチ５，６を開いたときに差動増幅器４で得られるホール素子１の２つの出力の差分Ｖｏ０を減じた値Ｖｃｌをホール素子１の測定値とする。 （もっと読む）

【課題】オフセット電圧を低減することができる磁気センサ及び磁気検出方法を提供すること。
【解決手段】縦型のホール素子１０を用いた磁気センサ１００であって、半導体領域１２の表面には、２つの電極１５ａ，１５ｃからなる第１の電極群と、電極１５ａを間に挟む電極１５ｅ，１５ｆの対、電極１５ｃを間に挟む電極１５ｂ，１５ｄの対からなる第２の電極群が形成され、第２の電極群は、異なる電極対において、第１の電極１５ａ，１５ｃがなす直線を挟む関係にある電極１５ｆと電極１５ｂ、電極１５ｅと電極１５ｂが、基板上に設けられた配線１６ａ，１６ｂによってそれぞれ電気的に接続されている。そして、第１の電極群を構成する電極対と第２の電極群を構成する一方の電極対のうち、一方が駆動電流を供給するための駆動電流用電極対とされ、他方がホール電圧を検出するためのホール電圧用電極対とされる。 （もっと読む）

【課題】磁気センサ上への磁性微粒子の収集や磁気センサ上からの分散が可能な磁性微粒子移動装置を提供する。
【解決手段】本発明の磁性微粒子移動装置は、磁気センサにより磁性微粒子の磁気を測定する装置に用いられる。磁性微粒子移動装置は、磁気センサ１近傍に配置され磁界を発生させる磁性微粒子移動用配線２と、磁性微粒子移動用配線２に発生する磁界に変化を与えるように外部磁界を印加する外部磁界印加手段４とを具備する。磁性微粒子移動用配線２は、磁性体又は導電体から構成可能であり、導電体で構成する場合には磁性微粒子移動用配線２に電流を流す電流源３を設ける。 （もっと読む）