【課題】可変コンデンサの調整処理を高速に行うことができるインピーダンス整合装置を提供すること。
【解決手段】 高周波電源Ａと負荷Ｂとの間に接続された第１及び第２可変コンデンサＣ１，Ｃ２と、負荷側Ｂの反射係数ρの実部Ｚの大きさに応じた第１検出値（Ｚ’値）と虚部φの大きさに応じた第２検出値（φ値）とを検出する検出部１２と、この検出部１２で検出した第１検出値に基づいて第１可変コンデンサＣ１の静電容量値を調整し、第２検出値に基づいて第２可変コンデンサＣ２の静電容量値を調整する制御部とを備えており、検出部１２は、負荷側Ｂの反射係数ρの実部Ｚの大きさに応じた値に反射係数ρの大きさに応じた値を加算した値を第１検出値（Ｚ’値）として検出する。 （もっと読む）

本発明は、同軸の遮蔽材（３）に囲まれた内部導体（２）を有する空気から隔離された同軸線（１）を使用して、貫通線の不整合ＲＦ試験を容易にする方法および構成に関する。遮蔽材（３）を貫通する少なくとも１つの開口（４）が設けられる。各開口（４）に半径方向に調節可能なピストン（５）が設けられ、このピストン（５）は遮蔽材（３）に電気的に接続され、かつ遮蔽材（３）の内側から内部導体（２）に向かうその突き出た部分を変動させることができる。これにより調節可能で容易に特徴付けられる不整合が提供され、これは使用後も分離させる必要はなくゼロに設定するだけでよい。 （もっと読む）

本発明による回路配置は電気的接続を測定する測定装置、および１つまたは複数の導体パターンを備える。導体パターンは、導体パターンによって生成されたインピーダンスを測定装置に適するように適合させるアダプタ・コンポーネントを使用して測定装置に接続されている。
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【課題】ＤＵＴの雑音指数の予測が、試験セットにおける機械的切換えなしで行われるようにする。
【解決手段】第１、第２の方向性結合器１４、１８の間にミスマッチ同調器１６が接続されたポート１反射率計２０と、第３、第５の方向性結合器２４、３４からなるポート２反射率計３２の間にＤＵＴ２６が配置され、第４の方向性結合器２８が低雑音受信器３０に接続されている。ミスマッチ同調器１６を用いて測定した低雑音受信器３０の負荷整合、ＤＵＴ２６の雑音電力出力及びＳパラメータを基にしてＤＵＴ２６の雑音指数を予測する。 （もっと読む）

【課題】ベクトルネットワークアナライザ（ＶＮＡ）において、キャリブレーション標準試料、例えばネットワークアナライザ付きキャリブレーションキットを追加すること無く、自己キャリブレーションすることを可能にする方法を提供する。
【解決手段】ＲＦ電源、２つのケーブル、マルチステートインピーダンスモジュール、テストポートコネクタを有し、アンノウンスルー法を用いてＳパラメータを取得してキャリブレーションを行う。 （もっと読む）

【課題】第１の課題は、構成簡単にして正確に出力インピーダンスの非５０Ωの負荷側、たとえば、発生プラズマを用いて加工するプラズマ装置側のインピーダンスを求めることにあり、第２の課題はこのようにして求めたインピーダンスに基づき、モニター等のインピーダンス整合にかかわる諸制御を行うことができる装置を提供することにある。
【解決手段】出力インピーダンス５０Ωの高周波電源とこの高周波電源と出力インピーダンスの非５０Ωの負荷との間にインピーダンス整合装置が設けられ、さらにこの高周波電源のとインピーダンス整合装置間にセンサーが設けられ、このセンサーにおいて、高周波電源の電圧Ｖ（進行波電圧と反射波電圧）と進行波電流Ｉ_ｆの比である擬インピーダンスをパラメータとしてセンサーから見た出力側のインピーダンスを求める。 （もっと読む）

【課題】接続対象とケーブルを接続する接点部の劣化も含めたケーブルに係る故障およびその可能性を検出する。
【解決手段】ケーブル接続診断装置１は、通知部１０と、制御部１１と、記憶部１２と、ケーブルの信号線間のインピーダンス値を測定するインピーダンス測定部１３と、測定インピーダンス値を記憶部１２に記憶させるセットＳＷ１４と、電源１５を備える。接続対象とケーブルの接続時および未接続時における各インピーダンス値を求め、この各インピーダンス値からしきい値を算出する。その後、接続したケーブルの測定インピーダンス値としきい値とを比較した結果に基づき、ケーブルおよび接続対象とケーブルの接続状況を診断して、ケーブル接続の故障や劣化を管理する。 （もっと読む）

【課題】より正確で迅速なインピーダンスマッチングを行うことを可能とする負荷のインピーダンス整合システム並びに整合方法、及びそれを適用したネットワーク分析器を提案する。
【解決手段】インピーダンス整合システムは、負荷を介して出力される電流と、負荷を介して入力される電流の少なくとも一部を抽出してそれぞれ出力信号と入力信号を生成する信号抽出部と、出力信号と入力信号の位相と振幅をそれぞれ比較する比較部と、比較部から提供された比較結果を用いて反射係数を求める係数算出部と、反射係数が予め設定された値を有するように、出力信号と入力信号の振幅及び位相を整合させる整合回路を制御する信号を発生する回路制御部とを含む。 （もっと読む）

【課題】ベクトルネットワークアナライザ（ＶＮＡ）のＴＲＬ較正において、較正標準との接続数を少なくする。
【解決手段】測定経路を較正するための方法及び装置は、少なくとも２つの基準受信器(111、112)及び全部で2N個(Nは整数)の測定ポート(103)を有するベクトルネットワークアナライザ(VNA)(100)を提供する。各ポートに関する反射特性は、高反射較正の存在下で測定される(2202)。測定ポートの各直接対に関する前方向及び逆方向の反射特性及び伝送特性は、線路較正標準(401)の存在下で測定され(2302,2303)、測定ポートの各直接対に関する前方向及び逆方向の反射特性及び伝送特性は、スルー較正標準(601)の存在下で測定される。この方法及び装置は、測定ポートの各々について、方向性、信号源整合、負荷整合及び反射トラッキング誤差係数を計算する(2601,2602)。 （もっと読む）

【課題】インピーダンス整合器とプラズマ処理室との間に前記測定器やモニタを設けると、インピーダンス整合器とプラズマ処理室との整合状態が変化し種々の条件が変化するため、プラズマ処理室の条件設定がしにくくなる。
【解決手段】インピーダンス整合器２やプラズマ処理室のＳパラメータを高周波ネットワークアナライザ１４で測定し、測定されたＳパラメータから前記インピーダンス整合器の電力伝送効率を求める、これによってプラズマ処理の制御を行う。 （もっと読む）

【課題】精度よくインピーダンス整合を行うことのできるインピーダンス整合装置を提供する。
【解決手段】本発明のインピーダンス整合装置３は、高周波電源１と負荷５との間に設けられ、可変キャパシタＶＣ１，ＶＣ２のインピーダンスを変化させることにより、高周波電源１と負荷５とのインピーダンスを整合させるためのものであって、入力端３ａにおける進行波の電圧Ｖｆｉ及び反射波の電圧Ｖｒｉと、予め測定することによって取得された、可変キャパシタＶＣ１，ＶＣ２の可変値に関する情報と、この情報に対応するインピーダンス整合装置３のＴパラメータとに基づいて、出力端３ｂにおける進行波の電圧Ｖｆｏ及び反射波の電圧Ｖｒｏ並びに入力端３ａにおける入力反射係数Гｉを算出する。そして、可変キャパシタＶＣ１，ＶＣ２の可変値に対する入力反射係数の絶対値｜Гｉ｜のうち、最小の値を選定し、これに基づいて、インピーダンスを調整する。 （もっと読む）

ケーブルアセンブリの伝搬遅延時間を測定する測定装置であって、この測定装置の変換アダプタに一端が開放されたコネクタと一端が短絡されたコネクタとを順次接続して得られた２つの反射係数振幅値の時間変化特性を重ね合わせ表示し、その分岐点位置の時間と、遠端側において一端が開放されたコネクタが接続されたケーブルアセンブリと遠端側において一端が短絡されたコネクタが接続されたケーブルアセンブリとを順次接続して得られた２つの反射係数振幅値の時間変化特性を重ね合わせ表示し、その分岐点位置の時間とを求め、さらに、これら求めた時間の時間差の２分の１を伝搬遅延時間として求めるようにし、分岐点位置の読み取り容易性による測定者の測定誤差を小さくしている。
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【課題】テストフィクスチャに対する様々なポート接続によって生じる遅延の算出精度を向上させる
【解決手段】テストフィクスチャを使用して被測定物（ＤＵＴ）を計測するネットワークアナライザを自動的に校正する方法であって、テストフィクスチャに接続された個々のポート上において、刺激信号を生成する段階（１０３）と、前記個々のポート上において前記刺激信号の反射を計測し、計測データを生成する段階であって前記計測データが前記テストフィクスチャの位相応答を反映している段階（１０４）と、前記計測データを処理して前記ネットワークアナライザと前記テストフィクスチャに関連する結合におけるインピーダンスの不整合によって生成されるリップルを補償する段階と、前記処理段階に基づいて、前記ネットワークアナライザのポート延長の設定内容を調節する段階とを有する。 （もっと読む）

【課題】 受信用ＬＳＩなどの測定対象回路が正しい能動条件の下におかれた状態で、かつＴＤＲオシロスコープを破損あるいは性能劣化させることなく、受信用ＬＳＩの終端器のインピーダンスを、ＴＤＲ法により、正確に測定するための装置及び治具を提供する。
【解決手段】 本発明のインピーダンス測定装置は、デジタル信号を受信するＬＳＩ５０を測定対象とし、ＴＤＲオシロスコープ１０、測定対象回路である被測定ＬＳＩを接続する接続治具２０、直流電圧阻止用のキャパシタンス素子Ｃ１、及び電源装置３０を備える。被測定ＬＳＩ５０に電源電圧を印加し動作状態にして、終端器５６のインピーダンスを正確に測定する。この時、ＴＤＲオシロスコープ１は、キャパシタンス素子Ｃ１によって、直流電圧による破損あるいは性能劣化から保護される。 （もっと読む）

【課題】伝送信号の周波数が高く、伝送線路幅が極端に細く、また線路長が長い場合であっても、伝送線路の出来具合いを容易に評価することを可能とした配線回路基板の伝送線路の特性インピーダンスの算出方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ＩＣパッケージやプリント配線板等の抵抗成分・漏れ成分を含んだ伝送線路の評価において、伝送線路の両端からＴＤＲ波形の測定を行い、前記ＴＤＲ波形を合成・演算することによって、伝送線路の特性インピーダンスを算出するようにする。 （もっと読む）

【課題】インピーダンス整合器の回路定数の値を用いて高周波負荷の有効消費電力を正確に測定しようとする。
【解決手段】特性インピーダンスが既知の高周波信号送信ラインと、高周波負荷３との間に挿入される装置である。装置は、第１可変リアクタンス１と、第２可変リアクタンス２とを有し、それらのリアクタンスを位相検出及び振幅検出部６の検出値に応じて制御することにより、負荷インピーダンスを整合させる。整合器回路定数から、見かけ上の負荷インピーダンスZと、電圧、電流検出値から


を算出し、さらに、
【数１】


より、高周波負荷インピーダンスと高周波負荷が消費した有効電力を解析、演算する。 （もっと読む）