【課題】ナノワイヤセンサ装置の製造方法の提供。
【解決手段】シリコンベース層と、該シリコンベース層内に形成された埋め込み酸化層と、該埋め込み酸化層上の上部シリコン層と、前記シリコンベース層内のドープされたウェルとを備えた基板の形成工程と、前記上部シリコン層からシリコンアイランド形成工程と、前記埋め込み酸化層をエッチングし、前記上部シリコンアイランドの裏面側をくり抜く工程と、前記シリコンアイランド、前記埋め込み酸化層、前記ドープされたウェルおよび前記シリコンベース層上に多結晶ＺｎＯシード層の堆積工程と、前記シリコンアイランドの表面から多結晶ＺｎＯの除去工程と、前記ＺｎＯシード層上のＺｎＯナノ構造体成長、形成工程と、ＺｎＯナノ構造体の所望の感度調整工程と、絶縁層の堆積工程と、前記絶縁層のパターニング、エッチング工程と、前記ナノワイヤ構造の硬化工程とを含むナノワイヤセンサ装置の製造方法。 （もっと読む）

本明細書に開示されているのは、化学センサーおよび化学センサーアレイを使用して、多成分ガス系の中のＮＯ_ｘ、アンモニア、炭化水素、一酸化炭素および酸素など各種のガスの存在および／または濃度に関する情報を、分析、検出および／または測定するための装置である。そのセンサーおよびセンサーアレイには、ガスの存在を分析および／または検知するための化学／電気活性材料を使用する。
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【課題】 多様な項目が測定可能であって、詳細でわかり易い測定結果を表示可能とすると共に、サイズの小型化と低コスト化ができる。
【解決手段】 携帯電話機２のシリアルポート２１に着脱自在な測定器１は、センサー部１２と、このセンサー部の制御部１３と、このセンサー部からの信号をデジタル信号に変換する信号変換部１４とを備える。携帯電話機２に、測定器１の作動や情報処理に必要なアプリケーションプログラムをインストールする。したがって携帯電話機２自体のハードウエア等をそのまま利用することによって、多種の測定器１からの測定データをサイズの大きい表示部２６に詳細表示することができる。
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【課題】センサ部を均一に昇温することができ、且つ、簡便に製造することができる酸素センサおよびそれを備えた駆動装置ならびに自動車両を提供する。
【解決手段】本発明によるガスセンサは、互いに対向する主面１１ａおよび裏面１１ｂを有する基材１１と、基材１１の先端部において主面１１ａ上に設けられ、所定のガスを検出するためのセンサ部１２と、基材１１の裏面１１ｂ側においてセンサ部１２に対応する位置に設けられ、センサ部１２を昇温させる第１加熱素子１５と、基材１１の裏面１１ｂ側に設けられ、第１加熱素子１５よりも基材１１の基端部側に配置された第２加熱素子１６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】高精度計測に加熱が必要なガスセンサを用いた検知システムの電力消費を抑止する。
【解決手段】検知システムはサーバと無線通信によって連絡された複数のガスセンサから構成され、各ガスセンサにはヒータと、ヒータ通電のオンオフを制御するコントローラ、検出したガス濃度と所定の閾値を比較する比較器を設ける。通常はすべてのガスセンサにおいてヒータには通電されておらず、ガスセンサは低精度でガス濃度を計測し、常時、閾値との比較を行っている。一つのガスセンサにおいてガス濃度が閾値を越えると、自身のヒータＯＮとし高精度計測に切り替わり、計測を終えたらヒータをＯＦＦする。同時にサーバに閾値超過検出を報告し、サーバは閾値超過検出を通報したガスセンサの周辺のガスセンサの閾値を下げ、監視レベルを厳しくする。 （もっと読む）

【課題】検出すべきガス以外の影響を低減し、優れた応答特性を備えたガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のガスセンサは、所定のガスを検出するための検出部１６と、触媒金属を含んでおり、前記検出部の表面上に設けられた複数の孤立した触媒層１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 長期間の間にわたる監視動作中においても、適時の短期データを詳細に取得することができ、従って、検知対象ガスの濃度変化の状況を詳細に把握することができるガス検知器を提供すること。
【解決手段】 上記課題は、少なくとも環境雰囲気における検知対象ガスの濃度を所定の測定間隔時間毎に間欠的に測定する間欠測定モードによる監視動作が実施可能とされたガス検知器において、監視動作を開始するに際して設定された初期間欠測定モードによって測定されたガス濃度値が所定の濃度範囲内にあることが検知されたときに、当該初期間欠測定モードよりも測定間隔時間が短い測定モードに自動的に変更される構成とすることにより、達成される。このガス検知器においては、初期間欠測定モードよりも測定間隔時間が短い間欠測定モード、あるいは、ガス濃度を連続的に測定する連続測定モードに自動的に変更される構成とすることができる。 （もっと読む）

ガス混合物中に存在する個別のガスの検出または定量測定に適用可能であるという点で有用であり、小型であり低消費電力であるという点で好都合であるガス検知装置が、本明細書において開示される。これは、４つ以上のセンサー素子と、２つ以上の電極とを含んでなる。
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【課題】ガスセンサで、その金具本体にカシメによって固定される素子保護キャップの固定力の低下を防止する。
【解決手段】 金具本体２は、先端寄り部位の内側に、環状をなす先端向き端面１０ａを備えており、その外周に、薄肉のカシメ用筒部１１を備えている。素子保護キャップ１２は開口端外周に、突出部１２ｄを備えている。この突出部１２ｄを、外周方向に沿って外向きに凹凸のあるものとする。この突出部１２ｄを、先端向き端面１０ａに当接、配置し、金属製リングパッキング１４を突出部１２ｄの先端向き面１２ｈに配置し、カシメ用筒部１１を、同パッキング１４を覆うように内側に折り曲げかつ先端向き端面１０ａに向けて圧縮変形させ、同パッキング１４を突出部１２ｄの凹凸に食い込み変形させる。これによるキャップ１２の金具本体２への固定では、食い込み変形があるため固定力が高まる。 （もっと読む）

【課題】 防爆性の向上を図るとともに、燃料電池システム等のように被測定ガス中に水分が多量に含まれる場合においてもガス濃度を正確に検出する。
【解決手段】 ヒータ内蔵型のガス濃度センサ素子４を覆うように第１防爆体１０（センサ保護管７および金網９）を設け、本管５０内を流れる被測定ガスをガス濃度センサ素子４側に導く通路に第２防爆体（細管）１１を設けた。 （もっと読む）

試験材料のガス透過率を測定するためのセンサであって、水及び／又は酸素感知材料を含む電気伝導性の感知素子であって、感知素子を水及び／又は酸素と接触させたときの前記材料と水又は酸素との反応により、感知素子の電気伝導度の変化が生じる感知素子と、前記感知素子に電気的に接続されている２つの電極とを備えるセンサ。 （もっと読む）

本明細書に開示するのは、金属酸化物センサの配列の抵抗を、デジタル信号に変換するデバイスおよび方法であって、ここで、センサは、センサ配列を取り囲んでいるガスの濃度に応答する。このデバイスは、励起電圧をセンサに提供する電子励起デバイス、センサの抵抗をデジタル信号に変換するアナログ−ツー−デジタル信号変換デバイス、および、デジタル信号からガス濃度を算出する手段を含む。
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【課題】 酸化物半導体の抵抗値変化のオーバーシュートを抑制して、良好な応答性を呈するガスセンサを提供すること。
【解決手段】 ガスセンサ１は、セラミック基板３の上面に一対の対向電極５を形成し、更にその上面に、雰囲気中のガス濃度に応じて抵抗値が変化する酸化物半導体７を積層した構造となっている。また、酸化物半導体７の表面を含むセラミック基板３の全周には、雰囲気から酸化物半導体７に至るガスの拡散を制御する拡散制御層９が設けられている。拡散制御層９が上記ガスの拡散を適切な速度に制御するため、ＳｎＯ₂ のように感度が優れた物質を酸化物半導体７として使用しても、抵抗値変化のオーバーシュートを良好に抑制することができる。 （もっと読む）