【課題】セリウムイオンおよびジルコニウムイオンを含む酸化物半導体層を備えた抵抗型ガスセンサの耐久性および応答特性を改善する。
【解決手段】本発明によるガスセンサは、酸化物半導体層３を含むガス検出部１を備えた抵抗型のガスセンサである。酸化物半導体層３は、セリウムイオンおよびジルコニウムイオンを含む。酸化物半導体層３に含まれるセリウムイオンおよびジルコニウムイオンの物質量の和に対するジルコニウムイオンの物質量の割合は、４５％以上６０％以下であり、酸化物半導体層３は、８０ｖｏｌ％以上の立方晶を含む結晶相を有する。 （もっと読む）

【課題】ヒータの電気抵抗値の誤差を正確且つ簡便に補償し得るガスセンサを提供する。
【解決手段】本発明によるガスセンサは、ガス検出部１と、温度に応じて電気抵抗値が変化するヒータ２と、ヒータ２の動作を制御し、ヒータ２への加熱のための通電を行う制御部３とを備える。制御部３は、ヒータ２への加熱のための通電が停止されている期間にヒータ２へ電流を供給する電流供給部６と、電流供給部６からヒータ２に電流が供給されているときのヒータ２の両端電圧を検知する電圧検知部７と、ヒータ２の冷間時に、周囲の温度および電圧検知部７によって検知されるヒータ２の両端電圧に基づいて、電流供給部６から供給される電流の大きさを調整する電流調整部８と、を有する。 （もっと読む）

【課題】センサ出力の温度依存性を簡便に低減し得る抵抗型酸素センサを提供する。
【解決手段】本発明による抵抗型酸素センサは、雰囲気ガス中の酸素分圧に応じて抵抗率が変化する酸素濃度検出部１を備えた抵抗型酸素センサであって、それぞれが酸素濃度検出部１に電気的に直列に接続され得る複数の固定抵抗素子２Ａ〜２Ｃと、酸素濃度検出部１の温度に応じて、酸素濃度検出部１と複数の固定抵抗素子２Ａ〜２Ｃとの電気的な接続関係を制御する制御部３とを備える。 （もっと読む）

【課題】接続信頼性が高く、排気ガス中の成分や熱による機械的振動の影響を受けにくい耐久性の高い検出器を提供する。
【解決手段】ガス検出部１１と電極パッド部１２とが設けられた半導体素子１０を内部空間２３に収納し、電極パッド部１２と配線層３１〜３４との間に介在導電性接続材４０を備え、半導体素子１０の半導体材料と、外囲器２０の構成材料と、導電性接続材４０の主材料の線膨脹係数が近似するように設定した。 （もっと読む）

【課題】室温において電気伝導特性変化により吸着酸素ガス分子を検知できる装置を提供する。
【解決手段】Ｃｕコアと、このＣｕコアを被覆するようにして形成された炭素被覆層とを含むナノワイヤを具え、このナノワイヤが室温において酸素ガスに対して脱吸着作用を呈し、前記酸素ガスの前記脱吸着作用を通じて前記酸素ガスを検出するようにして、酸素ガス検出素子を構成する。 （もっと読む）

【課題】ガスセンサの部品点数を削減し、組み立てに要する工程数・コストを低減する。
【解決手段】本発明によるガスセンサは、所定のガスを検出するための検出部１１を有するセンサ素子１０と、センサ素子１０の検出部１１を覆う第１のカバー７１と、第１のカバー７１を覆う第２のカバー７２とを備えている。第１のカバー７１と第２のカバー７２とは一体に形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、金属並の電気抵抗率を有し、かつ、熱伝導率が低い酸化カルシウム‐酸化ルテニウム系酸化物を提供し、さらにはこの酸化物を利用して、感度の良い抵抗型酸素センサを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る酸化カルシウム‐酸化ルテニウム系酸化物は、斜方晶系構造のＸ線回折パターンを有するＣａＲｕＯ_３相を含み、数１で示されるＲｕとＣａとの原子数比Ｒが０．５以上１．４以下である。この酸化カルシウム‐酸化ルテニウム系酸化物を酸素濃度検出部とすれば抵抗型酸素センサを作製することができる。
（数１）Ｒ＝Ｒｕ／Ｃａ （もっと読む）

【課題】気密部内の容積を小さくすることで、センサーを小型化できるとともに速やかにガス置換して応答速度を低下させず、小流量でガス測定を行うことを可能とする。
【解決手段】複数の電極端子３を有するステム２と、複数のリード線１４を有し、複数のリード線１４の各端部がステム２の上面２ａに突出した複数の電極端子３にそれぞれ接続されステム２から浮いた状態に支持されるガス検知素子１３と、ステム２に取り付けられ、このステム２の上面２ａを底面とする気密部１７を形成してガス検知素子１３の周囲を気密に保持する気密キャップ１５と、気密部１７外から気密部１７内に通じる流入路６を流れるガスを気密部１７内に流入させるガス流入口５と、気密部１７内から気密部１７外に通じる流出路１２へガスを気密部１７内から流出させるガス流出口１２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】セリウムを含む酸化物を用いた抵抗型酸素センサの検出精度を向上させる。
【解決手段】本発明による酸素センサは、酸化物半導体層１１と、酸化物半導体層１１の抵抗率を検出する検出電極１２とを備えた抵抗型の酸素センサである。酸化物半導体層１１は、セリウムを含む酸化物から形成された酸化物半導体粒子１１ａを含む。酸化物半導体粒子１１ａは、粒径が１μｍ未満の範囲にある第１のピークと、粒径が１μｍを超える範囲にある第２のピークとを有する粒径分布を有している。 （もっと読む）

【課題】セリウムを含む酸化物から形成された酸化物半導体層を備えた抵抗型ガスセンサの検出精度を向上させる。
【解決手段】本発明によるガスセンサ１０は、セリウムを含む酸化物から形成された酸化物半導体層１１と、酸化物半導体層１１の抵抗率を検出する検出電極１２とを備えた抵抗型のガスセンサである。酸化物半導体層１１は、アルミナを含むアルミナ含有層１１ａを含んでおり、検出電極１２は、アルミナ含有層１１ａに接触するように設けられている。 （もっと読む）

【課題】出力の温度依存性の無い抵抗型酸素センサ素子を提供する。
【解決手段】温度補償材及びガス検出材を用いた抵抗型酸素センサ素子において、（１）温度補償材とその電極との界面での抵抗を温度補償材の抵抗と比べて小さくしたこと、（２）それにより、酸素センサの出力の温度に依存しない範囲が、６００℃までの低温側に広がっていること、を特徴とする抵抗型酸素センサ素子、及びＣｅ_０．５Ｙ_０．５Ｏ_２の組成である温度補償材及びＣｅ_０．９Ｚｒ_０．１Ｏ_２の組成であるガス検出材を用いた抵抗型酸素センサ素子において、温度補償材が多孔質であり、温度補償材の電極が緻密電極であり、温度補償材とその電極の位置関係が基板・電極・温度補償材の関係を有し、温度補償材とガス検出材のそれぞれの抵抗が、ほぼ等しい抵抗型酸素センサ素子である、前記抵抗型酸素センサ素子。 （もっと読む）

【課題】フラーレンは有機デバイス材料として期待される新規材料であるが、これまで報告された電気伝導度は絶縁体から半導体まで広い範囲に及び、高い精度で電気伝導度を制御する方法が知られていなかった。
【解決手段】フラーレンを、特定の温度条件、ガス流量条件にて不活性ガス中で加熱処理することにより、フラーレンに吸着された不純物濃度、特に、酸素と水の濃度を制御することにより電気伝導度を高い再現性で向上することが可能になった。これまで報告されたことのない高い電気伝導度のフラーレンを製造することも可能になり、有機デバイスの性能向上に大きな効果が得られる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、汎用の半導体センサを用いて再現性が高い各種ガスの濃度の検出を可能にした油中ガス分析装置を提供することにある。
【解決手段】本発明の油中ガス分析装置は、内蔵されている油を機器から取り出すガス抽出器と、ガス抽出器に取り出した油に含まれる複数の成分ガスの濃度を検出する複数の半導体センサを有するガス検知部と、ガス抽出器に取り出した油から複数の成分ガスを採取し測定対象の試料ガスとしてガス検出部に供給する試料ガス供給系統と、半導体センサの検出値の基準となる基準ガスをガス検出部に供給する基準ガス供給系統と、この試料ガス供給系統と基準ガス供給系統とを切替てガス検知部に供給する切替え供給手段と、試料ガス及び基準ガスをガス検出部の複数の半導体センサによって夫々測定した各検出値をもとに油に溶存する複数の成分ガスの濃度を算出する演算装置を有する油中ガス分析装置を備えるように構成した。 （もっと読む）

【課題】選択的に感度を向上させた金属酸化物センサを提供すること。
【解決手段】本発明は、選択的に感度を向上させた金属酸化物センサの製造するために、該センサ内部にＺｎＯセンサ電極を備えるＺｎＯセンサを形成する工程、および該ＺｎＯセンサ電極をプラズマ流に曝露する工程を包含する。 （もっと読む）

【課題】高い耐熱衝撃性と低い熱伝導率を有する基板を備え、低コストで製造できるガスセンサおよびそれを備えた自動車両を提供することにある。
【解決手段】本発明によるガスセンサは、ガスセンサ部１２と、ガスセンサ部１２を支持する基板１１とを備えている。基板１１は、コージェライトを主成分とするセラミックス基板であり、このセラミックス基板１１は、ムライト相を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】熱圧着工程により金属酸化物の微細構造が速い応答速度と高感度センシングのためのガス拡散性及び比表面積が大幅に増加したナノロッド及び／又はナノグレイン構造を有し、多孔性の金属酸化物繊維とセンサ基板との接着性を増大し得る超高感度の金属酸化物ガスセンサ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】センサ電極と、該センサ電極上に形成され、単結晶のナノロッドを含むナノ繊維のネットワーク構造を有する多孔性金属酸化物薄層とを金属酸化物ガスセンサが備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】センサ部を均一に昇温させることができ、且つ、簡便に製造することができるガスセンサおよびそれを備えた空燃比制御装置ならびに自動車両を提供する。
【解決手段】本発明によるガスセンサは、互いに対向する主面１１ａおよび裏面１１ｂを有する基板１１と、基板１１の主面１１ａ上に設けられ、所定のガスを検出するためのセンサ部１２と、基板１１の裏面１１ｂ側に設けられ、センサ部１２を昇温させるヒータ１３とを備えている。ヒータ１３は、ヒータ１３の基端部から先端部に向かってセンサ部１２の両側辺１２ａ、１２ｂに沿うように設けられた第１および第２のヒータ部１３ａおよび１３ｂを有している。第１および第２のヒータ部１３ａおよび１３ｂは、ヒータ１３の先端部において屈曲し、内側に向かって延びている。 （もっと読む）

【課題】主に自動車排ガスの酸素ガス分圧を測定するために使用される抵抗型酸素センサであって、酸素分圧変化に対する出力の応答時間が短く、かつ、酸化物半導体の抵抗率が小さく、更に、抵抗率の温度依存性が小さい、抵抗型酸素センサを提供する。
【解決手段】酸素ガス検出部分が酸化物半導体からなる抵抗型酸素センサにおいて、酸化物半導体が、セリウムイオンとハフニウムイオンを含む酸化物であり、陽イオンの物質量に対するセリウムイオンの物質量の割合が６０ｍｏｌ％以上であること、陽イオンの物質量に対するハフニウムイオンの物質量の割合が３〜３０ｍｏｌ％であること、かつ、母相にハフニウムイオンが固溶した酸化物であることを特徴とする抵抗型酸素センサ。 （もっと読む）

【課題】ヒータの温度を適切に制御することにより高い精度でガスを検出することができるガス検出装置の温度制御装置を提供する。
【解決手段】本発明のガス検出装置の温度制御装置は、ガスセンサ部１２、温度に応じて抵抗値が変化するヒータ１５と、ガスセンサ部１２とヒータ１５との間に配置された絶縁層と、ガスセンサ部１２およびヒータ１５の動作を制御するエンジン制御装置３０を備えている。エンジン制御装置３０は、ヒータ１５への加熱のための通電を停止している期間におけるヒータ１５の抵抗値に応じてヒータ１５の温度を制御する。 （もっと読む）

【課題】ナノワイヤセンサ装置の製造方法の提供。
【解決手段】シリコンベース層と、該シリコンベース層内に形成された埋め込み酸化層と、該埋め込み酸化層上の上部シリコン層と、前記シリコンベース層内のドープされたウェルとを備えた基板の形成工程と、前記上部シリコン層からシリコンアイランド形成工程と、前記埋め込み酸化層をエッチングし、前記上部シリコンアイランドの裏面側をくり抜く工程と、前記シリコンアイランド、前記埋め込み酸化層、前記ドープされたウェルおよび前記シリコンベース層上に多結晶ＺｎＯシード層の堆積工程と、前記シリコンアイランドの表面から多結晶ＺｎＯの除去工程と、前記ＺｎＯシード層上のＺｎＯナノ構造体成長、形成工程と、ＺｎＯナノ構造体の所望の感度調整工程と、絶縁層の堆積工程と、前記絶縁層のパターニング、エッチング工程と、前記ナノワイヤ構造の硬化工程とを含むナノワイヤセンサ装置の製造方法。 （もっと読む）