【課題】 紡糸口金に穿設された吐出孔を通過する通過光を奥行き方向に沿って複数箇所で撮像して得た画像データ群から、正確かつ確実に孔内異物を判別する孔内異物の検出する。
【解決手段】 吐出孔の一方側から照射しされて該吐出孔を通過した光を吐出孔Ｈの奥行き方向に沿って被写界深度が異なる複数箇所において電荷結合素子カメラ（ＣＣＤカメラ）で光学的に画像を拡大してそれぞれ撮像し複数の画像データ群を取得し、取得した前記画像データ群に含まれる画素群の明暗の諧調を画像処理装置にそれぞれ記憶すると共に、予め設定した判別基準値を基にして各画像データに含まれる画素群を「明」と「暗」との何れかの値にそれぞれ振り分ける二値化処理を行い、二値化処理された各画像データから画像処理によって吐出孔の奥行き方向に沿って存在する孔内異物の存在を判別することを特徴とする孔内異物の検出方法とその検出プログラムである。 （もっと読む）

【課題】装置構成の低コスト化と省エネルギー化を図り、複数の撮像条件の撮像を１度の副走査で行えると共に、複数の被観察物に対して同時に表面検査が行えるようにする。
【解決手段】回転する感光体ドラム１２に対して光源１１から間欠的に光を照射し、その正反射光部である輝線１２ａからの反射光を第１の撮像素子１４が撮像して得られる情報を照射タイミング調整部１６に送り、光源１１の照射タイミングを調整する。その際、観察条件変更部１５は、感光体ドラム１２の回転振れや表面形状変換による反射方向の輝線１２ａの変動に対して、一定の検出感度を実現するために、定常的に副走査方向に光源１１や撮像素子を周期的に移動させる。 （もっと読む）

【課題】 被検査基板の欠陥を検出する基板検査装置において、被検査基板の検査効率を向上できるようにする。
【解決手段】 被検査基板Ｔを水平状態に支持するステージ部６と、ステージ部６に対して被検査基板Ｔをその表面Ｔａに沿う方向に搬送する搬送機構と、搬送方向に直交する略直線状の照射光を被検査基板Ｔの表面Ｔａの照射領域に照射するライン照明ユニットと、照射領域からの反射光を受光するカメラユニットと、被検査基板Ｔに対向し、ライン照明ユニットの照射光が入射するステージ部６の表面６ａに、照射領域の長手方向にわたって形成される略直線状の溝１３と、溝１３内部に複数に分割して配置され、照射領域を通過する表面３３ａに基準パターンを形成した基準基板３３と、基準基板３３がステージ部６の表面６ａから突出する位置と溝１３内部に没入する位置との間において、基準基板３３を移動させる出没機構３１とを備える基板検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】目視検査用拡大鏡の照明装置において、ワーク表面にあたる光の照度と方向を自由に変更できる目視検査用照明装置の提供する。
【解決手段】前記した課題を解決する手段として、複数のＬＥＤを複数列配置した長方形の照明光源と、屈曲自在に変形保持する所定長さのフレキシブルアームと、フレキシブルアームの他端が拡大鏡に固定されるように構成された目視検査用照明を構成する。また、照明光源からでている電源線がフレキシブルアームの中をとおり、電源線の他端にはコンセントプラグが付いており、家庭用電源で使用できるように構成する。さらに、照明光源には照度調整手段が付いており、フレキシブルアームにはクリップをつけて照度および上下調整可能に構成する。 （もっと読む）

【課題】 可動部を有する設備又は装置の動作中に、異常の有無を検知する監視制御装置、及び監視制御方法を提供する。
【解決手段】 可動部を有する設備又は装置を撮影する撮像部１１０と、可動部を有する設備又は装置の正常動作状態を表す指標を予め保存しておくデータ記憶部１３０と、撮像部１１０から取得した画像データに基づいて、可動部の位置情報を取得し、その位置情報が所定の条件を満たしているか否かを判定し、所定の条件を満たしている場合について、その所定の条件を満たしていると判定した場合の画像データと、上記の指標に基づいて異常の有無を判定する判定部１２０を有するように監視制御装置を構成する。 （もっと読む）

【解決課題】 製品の品質のばらつきを抑えつつ、製品を構成するモジュールの歩留まりを向上させることができる検査装置、検査システム、検査方法及び検査プログラムを提供する。
【解決手段】 複写機１０を構成する複数種類のモジュールの検査対象としないモジュールの特性を示す特性情報を予め記憶部４６に記憶しておき、特性算出部４４によって、検査対象とする前記モジュールの特性を示す特性情報が計測され、確率算出部５０によって、記憶部４６に記憶されている特性情報と特性算出部４４により計測された特性情報とに基づいて複写機１０全体としての特性を示す特性情報が算出され、合否判定部５２によって、前記特性算出部４４による算出結果に基づいて前記検査対象とするモジュールの合否を判定している。 （もっと読む）

【課題】 シミ欠陥を高精度に検出できるシミ欠陥検出方法及び装置を提供する。
【課題手段】 シミ欠陥検出方法は、撮像した画像の各画素に対してシミ欠陥強調フィルタをかけてシミ欠陥を強調するシミ欠陥強調処理工程S5と、前記シミ欠陥強調処理工程で得られた各画素のシミ欠陥強調値に基づいてシミ欠陥を検出するシミ欠陥検出工程とを有する。シミ欠陥強調処理工程S5は、撮像画像において選択された対象画素から所定距離離れてかつ対象画素の周囲に配置された各輝度比較画素を、対象画素を挟んで対称位置に配置された２つの輝度比較画素毎のセットに分け、対象画素の輝度値と各セットの２つの輝度比較画素の平均輝度値との差の値を求め、各セットの差の値のうち、絶対値が最小となる値を対象画素のシミ欠陥強調値とする。そして、各画素のシミ欠陥強調値を所定の閾値と比較してシミ欠陥候補の画素を抽出してシミ欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】微小な表面欠陥であっても確実に検知する表面検査方法を得る。
【解決手段】投光器９からの照射光線束５を磁気シート体１の表面で反射させ、その反射光を受光センサ７で受光することで、受光センサ７の受光光量に基づいて磁気シート体１の表面を検査する。受光センサ７の受光光軸１３は、照射光線束５が磁気シート体１の表面に入射する入射領域の一部を通るとともに、照射光線束５の中心軸１２と磁気シート体１との交わる入射点Ｐ１と、受光センサ７の受光光軸１２と磁気シート体１との交わる検査点Ｐ２とが異なるようにしてある。照射光線束５の中心軸１２は、磁気シート体１の表面への入射角θ１を２０〜４０°の範囲内に設定してあり、照射光線束５の中心軸１２の入射角θ１と、受光センサ７の受光光軸１３の受光角θ２との角度差ｄθ（＝｜θ１−θ２｜）を４〜２０°の範囲内に設定してある。 （もっと読む）

【課題】 基板の欠陥を検出する基板検査装置において、精度の高い基準画像データを取得でき、基準基板の製造を容易に行うことができるようにする。
【解決手段】 基板Ｔを水平状態に支持するステージ部５，６と、前記基板Ｔを前記ステージ部５，６の表面５ａ，６ａに沿って一方向に搬送する搬送機構７と、前記搬送方向に直交する略直線状の照射光を前記基板Ｔの表面Ｔａの照射領域に照射するライン照明ユニット２３と、前記照射領域からの反射光を受光して撮像するカメラユニット２４と、前記照射領域に対してその長手方向に移動可能な基準ユニット２７と、該基準ユニット２７に設けられ、前記照射領域を通過する表面に基準パターンを形成したキャリブレーション用の基準基板とを備える基板検査装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】 複数のベルト端面に照射する光や反射する光が隣接するベルトに干渉されないようにすることで、それぞれのベルト端面を効率的かつ高精度に検査することのできるベルト端面の検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置１は、２つの並行な軸心まわりを回転可能な駆動ローラ２１および従動ローラ２２と、これらのローラに掛け渡されたフープｂの端面に光を照射する複数のＬＥＤランプ３ａ，３ｂ，３ｃと、フープｂの端面で反射する光を撮影するＣＣＤカメラ５とから少なくとも構成されている。ここで、駆動ローラ２１および従動ローラ２２の端面には径方向外側に湾曲するクラウニングが設けられており、フープｂの回転に伴ってローラ端面の中央付近に集められ易い構造となっている。従動ローラ２２と駆動ローラ２１の双方の回転軸心は、並行な状態から捻れの状態とすることもできる。 （もっと読む）

【課題】この発明は、簡単な装置構成により仕様の異なる複数種類の光回折媒体を検査できる光検出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】光検出装置１０は、開閉可能なスクリーンＳを有する暗箱２内にレーザ光源４および光吸収部材６を有する。光源４からのレーザ光が透明な底面２ａを介してホログラムＦに照射されて回折される。このとき、回折されずに反射された反射光が光吸収部材６にて吸収され、オペレータの目に直接入射することが防止される。 （もっと読む）

【課題】 マクロ検査装置において、観察位置を被検体基板に沿って移動しても、マクロ操作に必要な操作を容易に行なうことができ、大型の被検体基板を効率的に検査することができるようにする。
【解決手段】 照明光を照射する照明ユニット２と、ガラス基板１３をマクロ検査に適した傾斜角度に回動する基板保持部５と、観察者１２がガラス基板１３をマクロ検査するために必要な操作を行なう可動操作部１０とを備える。可動操作部１０はマクロ検査装置の正面パネル上にガラス基板１３に沿うように移動可能に設ける。 （もっと読む）

【課題】 光透過性塗布膜上への光透過性物質の付着の有無を容易に判定することができる表面状態測定方法及び表面状態測定装置の提供。
【解決手段】 光透過性塗布膜表面における垂直分光表面反射率を求めて、該光透過性塗布膜上の光透過性物質の有無を測定する表面状態測定方法であって、所望波長領域のスペクトル光を放射する光源からの光を共焦点光学系における集束光学系を介して集光し、該集光光束を前記光透過性塗布膜に入射させ、集光光束の合焦点位置を光透過性塗布膜表面とした状態で、該光透過性塗布膜表面からの反射光を、前記集束光学系を介して共焦点光学系に戻して、検出光伝送用ファイバにより分光手段に導いて分光し、得られた分光スペクトル強度に基づき垂直分光表面反射率を算出して、物質固有の垂直分光表面反射率から光透過性物質の存在を測定する表面状態測定方法である。 （もっと読む）

【課題】 試料の寸法が大きい場合であっても、試料表面の輝度ムラを低減し、従来よりも精度良く検査をすることができる照明装置を提供する。
【解決手段】 直径が約３０〜５０ｃｍの底板１の周縁には、適長の高さ寸法を有する円筒状で、内面を白色艶消し塗装してあり、入射光を乱反射する拡散反射板３を立設してある。底板１の上面中心には、光源２を取付けてある。また、底板１の中央部には、光源２を中心にして、棒体４０、４０、…、棒体４１ａ、４１ａ、…、棒体４１ｂ、４１ｂ、…、及び支持体４２により構成される支持部材４を取付けてある。支持体４２には、金属製であって適厚、適径の円形板の試料ステージ５を載上してある。試料ステージ５の下面には、支持体４２の棒体４２ａ、４２ａ、…の位置に合わせて、棒体４２ａ、４２ａ、…の他端と係合する円形状の係合溝を設けてある。 （もっと読む）

【課題】青色光に感受性を有する透明被膜の膜厚ムラを、自動的に、かつ、精度良く検出する方法とその方法に適用する装置とを提供すること。
【解決手段】波長５００〜５７０ｎｍの緑色光と波長５８０〜６３０ｎｍの赤色光を含む光を照射し、これら光の反射光強度を、波長ごとに、かつ、照射範囲を多数の小領域に分割してその小領域ごとに測定し、小領域ごとに、緑色光の反射光強度と赤色光の反射光強度の差を算出し、多数の前記小領域の間で前記強度差同士を比較し、周囲の小領域に比べて前記強度差が大きいまたは小さい小領域を膜厚ムラのある領域として抽出する。 （もっと読む）

【解決手段】被検査体Ｔ１〜Ｔ３の接合部分ｔ１、ｔ２のピンホールを検出するためのピンホール検出装置Ｐを、被検査体の内部或いは外部に配置される光センサー部材Ｐ１と、該光センサー部材Ｐ１に対向して配置される光源部材Ｐ２とにより構成したものである。
【効果】被検査体の接合部分のピンホールを検出するためのピンホール検出装置を、被検査体の内部或いは外部に配置される光センサー部材と、該光センサー部材に対向して配置される光源部材とにより構成したので、被検査体を、水や特殊なガスに晒すことにより、ピンホールを検出するようにした従来のピンホール検出装置のように、被検査体が腐食されたり、変質するようなことを、防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 円板製品の外観上の品質を順次検査する検査工程において当該円板製品を迅速に搬送することができる搬送装置を提供し、さらに、その搬送装置を適用して当該円板製品の検査を精度よくかつ迅速に行うことができる検査装置を提供する。
【解決手段】 検査装置１においては、切り出し装置５０が、２列に分岐されたシュート４１，４２から供給された円板製品を２枚同時に受け入れて保持し、インデックス装置５の間欠駆動のタイミングで、これら２枚の円板製品を当該インデックス装置５に同時に挿入する。このため、そのインデックス装置５の回転速度を調整することで、シュート１列の場合の２倍の円板製品を搬送することができる。 （もっと読む）

【課題】長物野菜の搬出数量が多い引出コンベヤと同様に、長物野菜の搬出数量が少ない引出コンベヤでも長物野菜の箱詰め作業を効率よくできる長物野菜の選別制御装置を提供するものである。
【解決手段】選別コンベヤのバケット上に長物野菜を載置して移送し、この移送途中で前記選別コンベヤに沿った複数箇所の仕分け部にて、所定の等級の長物野菜ごとに引出コンベヤに落下排出させるように構成してなる長物野菜の選別制御装置において、前記引出コンベヤを作動及び停止させる制御手段を備え、前記制御手段は、前記各仕分け部において、所定の等級の長物野菜を落下排出する時間間隔が短かいときには、前記引出コンベヤを連続して作動させる一方、前記時間間隔が長いときには、次の長物野菜が落下排出される直前まで前記引出コンベヤを停止させるように制御するものである。 （もっと読む）

【課題】リペア工程前に行われる画像欠陥検査及び電気的動作確認検査から算出される欠陥位置を示す座標データを用いてリペアすべき欠陥を求め、最終工程の点灯検査においてリペア結果の確認が容易にできるようにする。
【解決手段】まず、各製造工程においてＴＦＴ基板の欠陥検査を行い、欠陥画像及び欠陥画素の座標データを保存する。そして、欠陥画素を修復する前のリペア前欠陥画像に欠陥が発生した製造工程を記すための紐付けを行い、この紐付け結果に基づいて、製造工程の最終工程で行われる点灯検査結果において、リペア後の欠陥画像のリペアが正常に行われたかどうかを確認する。 （もっと読む）

【課題】 液晶パネルを視野角方向から鮮明に撮像できる液晶パネルの撮像装置を提供する。
【解決手段】ＣＣＤカメラ５１０はラインセンサを有する。ＣＣＤカメラ５１０をラインセンサが液晶パネル９００に平行になるように支持する。ＣＣＤカメラ５１０が液晶パネル９００を見込む角を視野角θに調整する。そして、ＣＣＤカメラ５１０の焦点を液晶パネル９００の表示面９６０に合わせる。ＣＣＤカメラ５１０と液晶パネル９００の表示面９６０に平行に移動させてラインセンサの撮像領域Ｌを液晶パネル９００の表示面９６０に沿って走査させる。撮像されるラインごとの撮像データを合成して合成画像を生成する （もっと読む）