【課題】カラーフィルタ１０における着色層１１，１２，１３のムラを確実且つ容易に検出して、表示品位の向上を図る。
【解決手段】カラーフィルタの検査方法は、カラーフィルタ１０を光源３０に対向配置させる第１の工程と、カラーフィルタ１０における着色層１１，１２，１３の複数の色の何れか１つと同じ色の単色光を、光源３０から出射して複数の着色層１１，１２，１３に入射させる第２の工程と、着色層１１，１２，１３を透過した光により、着色層１１，１２，１３におけるムラの有無を検査する第３の工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 歩留まりと効率を改善する材料の暗視野検査照明装置を提供する。
【解決手段】 単一光源から光が幾つかの照明アーム間で分割され、各々がマルチモードファイババンドルにより光源からウェハ位置まで光を導く。共通の照明領域の周囲にアームが配置されているので、幾つかの方向からアームが照明される。各アームに関して、ファイババンドルから出射する光は回転プリズムに入射し、プリズムの底辺で反射し、プリズムの出射面上の発散円筒状面により１方向に発散される。アナモルフィックミラーで光が反射して、ウェハの照明領域に伝播する。ビームは非対称フットプリントを有しているので、法入射角を見たとき、ほぼ円形のウェハ領域を照明する。縦方向の前側焦点面にファイババンドルがある。両方向の後側焦点面に照明領域がある。 （もっと読む）

被検査体の表面に形成されたパターンに発生する複数種類のムラ欠陥
を高精度に検出できること。
単位パターン５３が規則的に配列されてなる繰り返しパターン５１を表面に備えたフォトマスク５０に光を照射する光源１２と、上記フォトマスクからの散乱光を受光して受光データに変換する受光部１３とを有し、この受光データを観察して上記繰り返しパターンに発生したムラ欠陥を検出するムラ欠陥検査装置１０において、複数の波長帯の光から所望の波長帯の光を一または複数選択して抽出する波長フィルタ１４を有し、この選択して抽出された波長帯の光を用いて上記繰り返しパターンのムラ欠陥を検出することを特徴とするものである。 （もっと読む）

異なるパラメータを使用して試験片の検査を行うための方法とシステムを提供する。コンピュータによって実施される方法は、選択された欠陥に基づいて検査のための最適パラメータを決定することを含む。またこの方法は、検査に先行して、検査システムのパラメータを最適パラメータに設定することを含む。試験片を検査するための別の方法は、約３５０ｎｍより下の波長を有する光と、約３５０ｎｍより上の波長を有する光を用いて試験片を照明することを含む。またこの方法は、試験片から収集された光を表す信号を処理し、試験片上の欠陥または工程の変動を検出ことも含む。試験片を検査するように構成された１つのシステムは、広帯域光源に結合された第１の光学サブシステムと、レーザに結合された第２の光学サブシステムを含む。またこのシステムは第１と第２の光学サブシステムから、光を試験片上に集束させる対物鏡に光を結合するように構成された第３の光学サブシステムも含む。 （もっと読む）