【課題】外観検査用照明装置及び外観検査装置において、高精度な外観検査を実現すると共に、装置の小型化を図る。
【解決手段】被検査基板（２１）に対し照明光を照射する外観検査用照明装置１０において、線状の発光面を有する光源（１１）と、上記発光面の長手方向に屈折する線状の傾斜面（１２ｂ）を平行に並べたフレネル面１２ａを有するシリンドリカルフレネルレンズ１２と、を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】筒状成形体に生じた傷、歪みその他の異常を、高い精度で、かつ、効率よく検査することのできる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】樹脂の成形により成形した筒状成形体に対して検査光を照射する光源と、筒状成形体の内部に配置した第１偏光手段と、筒状成形体の外部であって、検査光の進行方向上に配置した第２偏光手段と、検査光が第１偏光手段及び第２偏光手段を通ることによって生ずる干渉模様を撮像する撮像手段と、干渉模様に基づいて筒状成形体の、歪み、形状及び外観のうち少なくとも一つを解析する解析手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】セルギャップ調整層上のフォトスペーサーなどの立体構造物を具えた高機能、高精細なカラーフィルター基板の外観欠点の検出を容易にする検査方法を提供する。
【解決手段】カラーフィルター基板に検査用光線を照射し、該カラーフィルター基板からの反射光を光電変換素子で受光して電気信号に変換し、得られた電気信号を画像処理してカラーフィルター基板の欠陥検出を行うカラーフィルター基板の検査方法において、該検査用光線が該カラーフィルター基板上に形成された検査対象物の略補色となる波長を含むことを特徴とするカラーフィルター基板の検査方法。
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【課題】色ムラを感度よく、簡便に検出することができるカラーフィルタ検査装置及びカラーフィルタ検査方法の提供。
【解決手段】カラーフィルタ基板の目視又は撮像素子による外観検査において、カラーフィルタ基板の各色層に対応する単色ＬＥＤを検査用ＬＥＤ光源１０として用い、各色のＬＥＤを使用したライトボックス３の前にカラーフィルタ基板をかざし、各色のＬＥＤを順次切り替えながら点灯させてマクロ的な外観検査を行う。これにより、色ムラを短時間に、簡単に特定できる。また、ＬＥＤの単色光源を使用することにより、視認される透過光又は反射光の混色が少なく、各色のムラ部のコントラストが上がる為、従来では見落としてしまう様な微妙なムラも検出する事が出来る。そして、このようなムラの少ないカラーフィルタ基板を使用する事で、より表示品位の高い液晶表示装置を実現する事が出来る。 （もっと読む）

本発明は、広帯域光源と選別デバイスとを備えるシステムに関し、より詳細にはレーザ式選別デバイスに関する。本発明の目的は、選別プロセスに対して全ての波長を提供する光源を有する選別デバイスを備えるシステムを提供することにある。このことは、全ファイバ・スーパコンティニューム光源を使用することにより解決される。
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【課題】めっきの製造条件の微少な変動によらず、配線パターン及びめっきの検査を同時に行なうことが可能な金属基板表面の検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】基板を所定速度で移動する搬送段階と、基板の法線方向から０°〜１０°傾いた方向から、搬送と同期を取るかまたは所定時間間隔で、基板表面を撮影する撮像段階と、基板の非めっき部の金属材料とめっき材料との反射強度の差が最大となる波長域の光を間接光で照射する照明段階と、照射光のうち、基板の非めっき部の金属材料とめっき部のめっき材料の反射強度の差が小さい、特定照射角度の光の一部を選択的に照射させないようにする半照明阻止段階と、撮像段階にて得られた画像データを用いて、基板表面に存在する欠陥部を抽出、自動判定する画像処理段階と、を備えた金属基板表面の検査方法および検査装置。 （もっと読む）

【課題】複数色のフィルターを有するカラーフィルターについて回折像解析を使った検査を行う場合に、全ての色のフィルターの検査を可能とする検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】カラーフィルターに互いに異なる波長の単色光を照射する複数の単色光照射手段と、各単色光を照射されたときのカラーフィルターの回折像を少なくとも１枚ずつ撮像する回折像撮像手段と、回折像撮像手段により撮像された各単色光ごとの回折像を位相回復法により解析し、各単色光での元画像を再生する解析手段と、解析手段により再生した各単色光ごとの元画像を、１枚の合成画像にする画像合成手段と、合成画像または各単色光ごとの元画像に対して、カラーフィルター上の各色フィルターおよび各単色光の波長の組み合わせをもとに、所定の欠陥の有無を判定する画像検査処理を行う検査判定手段とを備えることを特徴とする、カラーフィルターの検査装置。 （もっと読む）

本発明は、線材製造工程のうち圧延、引抜、及び射出工程で線材を生産する過程で線材の表面に発生する表面欠陥を光学センサを用いて非接触式でリアルタイムに検出する装置及び方法に関する。
本発明による円形線材の光学欠陥検出装置は、円形面状の光を照射する照明装置と、移送されている円形線材で反射された前記照明装置の反射光を受光して光信号を生成し、前記生成された光信号を映像信号に変換する光学センサと、前記光学センサから映像信号を受信して前記円形線材の表面情報を取得する信号処理手段とを含む。 （もっと読む）

【課題】薄膜コート厚の制限によらず、薄膜コート未塗工部を正確に識別可能にする。
【解決手段】ロール状原反から連続シートを巻き出しながら、前記連続シートに薄膜コートを塗工してロール状シートとして巻き取り、ロール状シート加工品を生産する加工工程で、前記ロール状シート加工品の全面に対して薄膜コート未塗工部を検査する装置であって、
前記連続シートの薄膜コート塗工面直上から同軸落射光または側方斜め上方から照射するライン照明を行う照明手段と、
前記照明手段でライン照明された前記連続シートの薄膜コート塗工面を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段で得られた画像データに対して画像処理を行い、薄膜コート未塗工部を検出する画像処理手段とを備え、
前記ライン照明に赤色ＬＥＤと青色ＬＥＤとの２ステージ照明を用いることを特徴とする薄膜コート未塗工部検査装置。 （もっと読む）

【課題】ウエハの端面領域の欠陥を検出する検査装置において、欠陥の種類の分類や致命性を判定できる手法がなかった。
【解決手段】本発明では、異なる角度からの照明系を用い、各照明系に用いる光源の波長の帯域を別にする。このことにより、撮像される反射光、散乱光はいずれの照明によるものかを弁別できる。また、各方向の照明による反射光、散乱光の強度の特性は欠陥の種類により異なる。これらの特性をもとに、欠陥の種類を分類することができる。また、検出サイズや欠陥の存在箇所の情報をこれと組み合わせることにより致命性判定も可能となる。 （もっと読む）

【課題】正常粒（白色粒）から異常粒（半透明粒）を選別する。
【解決手段】色彩選別機では、蛍光灯５６、５８が消灯されると共に、蛍光灯６０、６２が点灯されて、フロントカメラ５２が選別粒Ｇを透過する透過光によって選別粒Ｇを撮影すると共に、リヤカメラ５４が選別粒Ｇによって反射される反射光によって選別粒Ｇを撮影する。また、第１背景板４０の第１背景面４０Ａが黒色にされると共に蛍光灯６０、６２によって照明されず、フロントカメラ５２が撮影する第１背景面４０Ａの光量レベルが、フロントカメラ５２が撮影する選別粒Ｇの正常粒（モチ米）の光量レベル以下にされている。さらに、第２背景部８４の第２背景板９０が発光可能にされて、リヤカメラ５４が撮影する第２背景板９０の光量レベルが、リヤカメラ５４が撮影する選別粒Ｇの正常粒の光量レベル以上にされている。このため、正常粒から異常粒（ウルチ米）を選別できる。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程におけるピンホールの検出検査に関し、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる不良検査装置、及び、ＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤投入後に検査を行う第２不良検査装置２１Ｂは、照明装置２２Ｂ、カメラ２３Ｂ及び画像処理装置２４Ｂ等を備えている。容器フィルム３のポケット部にピンホールが存在する場合、照明装置２２Ｂから容器フィルム３に対し照射された光は、ピンホールを通過して錠剤に照射される。そして、錠剤５の表面で乱反射した光がカメラ２３Ｂにより撮像される。これに基づき、画像処理装置２４Ｂにより錠剤表面の明暗が判別され、ピンホールが検出される。 （もっと読む）

【課題】撮影手段が撮影する背景部の光量レベルを容易に調整する。
【解決手段】色彩選別機では、フロントカメラ５２及びリヤカメラ５４が背景部８４の背景板９０を背景として撮影した選別粒Ｇの光量レベルに基づいて、選別粒Ｇのうちの正常粒と異常粒とを選別する。ここで、背景部８４内における冷陰極管８６の発光光量が調整可能にされており、背景板９０は冷陰極管８６によって発光可能にされると共に、背景板９０の発光光量が調整可能にされている。このため、フロントカメラ５２及びリヤカメラ５４が撮影する背景板９０の光量レベルを容易に調整できる。 （もっと読む）

【課題】参照光と検査対象物で反射され周波数変調された信号光との干渉縞を安定化することが可能な干渉縞安定化装置、および検査対象物の内部欠陥の検出精度の向上が可能な非破壊検査装置を提供する。
【解決手段】非破壊検査装置は、検出用レーザ１１と、弾性波励起用レーザ２１と、信号光と参照光とを干渉させ検査対象物Ｏｂの振動を検出する振動検出手段３０と、干渉縞安定化装置４０とを備える。干渉縞安定化装置４０は、信号光から分岐された補正用信号光と参照光から分岐された補正用参照光との干渉縞を検出する干渉縞検出手段４１と、補正用参照光を分岐する前の参照光の光路上に配設され参照光の波面を制御する波面制御用ミラー４２と、干渉縞検出手段４１により検出される干渉縞の安定状態からの位相シフトを抑制するように波面制御用ミラー４２の位置を制御する制御手段４３とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象物中に混入した異物の検出に必要な検査パラメータを簡易に取得して、その異物検査処理を効率的に実行することのできる異物検査装置を提供する。
【解決手段】ベルトコンベア等の搬送機構の端部から送り出されて空中に飛び出した検査対象物を撮像して検査画像を得るカラー撮像装置の撮像領域に、前記検査対象物が有する色成分を代表する固有色の前記検査画像の背景を形成する背景体を設ける。そして前記撮像手段にて求められた検査画像の色成分から前記検査対象物の特徴を解析して前記検査対象物中に混入した異物を検出する（異物検出手段）と共に、前記撮像手段にて求められた検査画像の色成分に基づいて前記異物検出手段で用いる異物判定の為の検査パラメータを初期設定し、更には設定した検査パラメータを更新する（検査制御手段）。 （もっと読む）

【課題】表面を斜めの検査角度において高い解像度で検査できるようにする方法及び装置を提供する。
【解決手段】表面に対して斜めのビュー角度に沿って表面のエリアを像形成するための装置は、ビュー角度に向けられた光学軸に沿ってエリアから光学放射を収集することによりエリアの初期傾斜像を形成するように適応された無限焦点光学リレー(192)を備えている。傾斜補正ユニット(194)が、初期像の傾斜を補正するように結合されて、実質的に無歪の中間像を形成する。中間像を像検出器に収束するために拡大モジュール(19８)が結合される。 （もっと読む）

【課題】ロール状シート加工品の全面に対して、薄膜コート未塗工部を検出する検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】ロール状原反を連続シートとして巻き出しながら薄膜コートを施してロール状シート加工品として巻き取る段階を有する加工工程において、連続シートの薄膜コート未塗工部を検査する検査装置であって、赤色ＬＥＤの面発光光源を照明光源として、連続シートの薄膜コート面の直上から同軸落射、または斜め上方から照射する照明光照射手段と、前記連続シートの薄膜コート面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段で得られた画像データに対して画像処理を行い、薄膜コート未塗工部を検出する画像処理手段を備えることを特徴とする、薄膜コート未塗工部検査装置。 （もっと読む）

【課題】ウェハエッジ部にある微小な欠陥を、高スループットで検出することが可能な欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】上ベベル用照明光源３ａから放出されたは、上ベベル用干渉フィルタ４ａで所定波長域の光とされ、上ベベル用集光レンズ５ａにより、ウェハ１の上ベベルの被照明領域を、幅ｄのスリット光でテレセントリックに照明する。上ベベルの被照明領域からの乱反射光は、上ベベル用干渉フィルタ４ａと同じ波長特性を有する上ベベル用干渉フィルタ６ａを透過し、上ベベル用集光レンズ７ａで集光されてＳＰＤ等の上ベベル用受光装置８ａで受光される。上ベベルの被照明領域からの正反射光は、受光光学系に入射せず、バックグラウンドノイズとならない。 （もっと読む）

【課題】分析処理に使用する容器に残存する汚れをさらに厳密に検出できる汚れ検出装置および分析装置を提供すること。
【解決手段】この発明にかかる分析装置１は、単に吸光度測定を行なうのではなく、液体検体中の成分と選択的に反応して光学的特性を変化させる汚れ検出用試薬を反応容器２１に投入して、反応容器２１に残存する汚れの光学的特性を十分に検出可能である程度まで引き上げてから、汚れ検出用測光部２０による反応容器２１における光学的特性を測定する汚れ検出用測定処理を行なう。そして、汚れ検出部３４は、この汚れ検出用測光部２０において測定された測定結果をもとに反応容器２１の汚れの程度を検出する。 （もっと読む）

【課題】クリームはんだ印刷の３次元自動検査において検査領域の自動的な設定を実現する。
【解決手段】斜めの撮像角度で基板を撮像する１次元カラーイメージセンサカメラと、直上方向からからクリームはんだ上面を照明する第１色相光光源と、横方向からクリームはんだ側面を照明する第２色相光光源とが構成する３次元撮像幾何光学配置において、カメラのピクセル配置に直交する方向に素基板あるいははんだ印刷基板を移動することによって基板全面画像を獲得し、銅箔パッド領域あるいは基板面領域あるいはクリームはんだ印刷領域を、基板画像の画素値によって自動的に選択し、検査領域を自動的に設定することにより、誰でもクリームはんだ印刷基板の３次元画像検査ができるようにした。 （もっと読む）