【課題】水に濡れた被検査体に含まれる異物を判別する精度を向上させること。
【解決手段】特定の単一波長且つ直線偏光のレーザー光を被検査体（Ｓ）に照射する照射光源系（７）と、前記被検査体（Ｓ）自身による前記レーザー光の偏光方向とは異なる方向成分を含む反射・散乱光と、前記被検査体（Ｓ）表面の水による前記レーザー光と同じ偏光方向の反射光と、を含む反射・散乱光の中で、少なくとも前記レーザー光の偏光方向とは異なる方向の偏光成分を含む反射・散乱光を受光する受光素子（ＰＤ１〜ＰＤｎ）を有する受光光学系（８）と、受光した反射・散乱光の前記レーザー光の偏光方向とは異なる方向の偏光成分に基づいて、前記被検査体（Ｓ）が異物であるか否かを判別する異物混入判別手段（１１Ａ）と、を備えた異物混入判別装置（６）。 （もっと読む）

【課題】適切に欠陥を検出することができるパターン検査装置及びパターン検査方法を提供する。
【解決手段】光源から光を出射する手段と、前記出射された出射光が被検査体において反射したことにより生じる反射光から第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）の波長の光を取得する波長選択手段と、第ｉ（ｉは１以上ｎ以下の整数であって少なくとも２つの整数）の波長の光を用いて前記被検査体の第ｉの光学像を取得する手段と、前記第ｉの光学像を用いて前記被検査体の対応する２箇所における信号の差分である第ｉの差分を算出する差分算出手段と、複数の前記第ｉの差分を用いて欠陥の有無を判定する手段と、を備えたことを特徴とするパターン検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査を効率よく行うことのできるレーザー散乱式欠陥検査技術を提供する。
【解決手段】本発明のレーザー散乱式欠陥検査装置１００は、被検物Ｗを回転しつつ一方向に移動させるステージ装置２と、ステージ装置２に設置された被検物Ｗに向けてレーザー光ＬＢを射出するレーザー光源１と、レーザー光源１から射出されたレーザー光ＬＢを被検物Ｗ上で走査する光偏光器１５と、被検物Ｗの表面で散乱されたレーザー光ＬＢを検出する光検出器１６と、ステージ装置２による被検物Ｗの回転速度及び移動速度、並びに、光偏向器１５による被検物Ｗ上でのビームのスキャン幅及びスキャン振動数を含む欠陥検査の条件を被検物Ｗの製造プロセスの検査工程毎に記憶する記憶装置２４と、検査工程毎に記憶装置２４に記憶された欠陥検査の条件を読み出し、当該条件でステージ装置２及び光偏向器１５の駆動を制御する制御装置２５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】リードフレームの最終検査における各種の不良項目の検査を、同時かつリアルタイムに高い信頼性の下で行うことが可能な検査装置を提供すること。
【解決手段】板状金属製品の検査装置であって、板状金属製品に照明光を照射する複数種類の照明手段と、板状金属製品を撮像する複数の撮像手段と、板状金属製品を一定速度で一方向へ移動する搬送手段と、搬送手段上に板状金属製品を１枚ずつ供給する供給部と、複数の撮像手段により板状金属製品を撮像して得られた画像データを用いて板状金属製品に存在する不良を検出し良否判定する検査部と、検査部によって良否判定された板状金属製品をその良否により仕分けして排出する排出部と、検査装置全体の動作制御を行う制御部とを備え、各撮像手段が搬送手段と同期を取りつつ各撮像手段の撮像位置に到達した板状金属製品の撮像を行うことを特徴とする板状金属表面検査装置。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を伴うことなく、被検査基板への異物の付着を抑制すると共に光学系の冷却が可能な欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】検査部筐体１５の上部にファンフィルタユニット１６ｂが設けられ、除振台２０の上には光学系４０及びステージ３００が配置されている。清浄空気は気流２９ｃ→気流２９ｄ→気流２９ｅと流れる。光学系筐体４０８の側壁４０ａに沿う清浄空気の流れにより光学系４０を冷却する効果がある。被検査基板１上への異物付着防止用の清浄空気通路として光学系４０を収容する検査部筐体１５の内側壁と、光学系筐体４０８の側壁４０ａ及び底面と、除振動台２０の上面とを用いる構成としたので清浄空気通路用部材（仕切り板等）を別個に設けることなく、かつ、光学系冷却手段を別個に設けることなく清浄空気通路を形成して被検査基板への異物付着を抑制でき、光学系４０の冷却も行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ノイズや異物の影響を受けることなく、全ての検査対象における濃度むらを確実に判定することができる濃度むら検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】濃度計測ヘッド１０８ａ、１０８ｂは、搬送される貼り付け基板２４ｂの濃度データを計測し、計測データ処理装置１３６は、計測した濃度データのブロック平均データを算出し、ブロック平均データの差分データを算出し、差分データの絶対値を算出し、絶対値を所定の閾値データと比較することにより、貼り付け基板２４ｂの濃度むらを判定する。 （もっと読む）

【課題】縦横にリブが設けられた容器に充填された飲料に混入する異物であっても高精度かつ高速に検査可能な異物検査装置を提供する。
【解決手段】内容物が充填された透過性を有する容器Ｂの側面側からの画像を取得し、その画像に基づいて容器Ｂ内の異物の有無を検査する異物検査装置１において、容器Ｂの中心軸線ＡＸに対して垂直な方向から撮像する中央カメラ４ｂと、中央カメラ４ｂの撮像方向に対して所定角度上方向にずれた位置から撮像する上方カメラ４ａと、中央カメラ４ｂの撮像方向に対して所定角度下方向にずれた位置から撮像する下方カメラ４ｃと、容器Ｂを挟んで各カメラ４の対向に設けられた光源３と、を備え、各カメラ４には、容器Ｂの正面像Ｆと、正面像Ｆに対して所定角度左側にずれた左側面像Ｌと、正面像Ｆに対して所定角度右側にずれた右側面像Ｒと、を同時に撮像するための光学系５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ハードディスクの平面部及び端面（エッジ部）の同時検査に好適なディスク検査装置及び方法並びにプログラムを提供する。
【解決手段】エッジを含んだディスク表面の所定形状の検査領域部分を視野内に含む撮像手段を用いて当該検査領域部分からの反射光を撮像することにより得た取り込み画像からハードディスクのエッジ位置を検出するエッジ検出処理手段と、当該検査対象ディスクの内径、外径及び記録面領域の範囲を規定する仕様情報を取得する情報取得手段と、検出したエッジ位置と仕様情報に基づき、取り込み画像を記録面領域、非記録内周領域、非記録外周領域、外周エッジ領域、内周エッジ領域の各領域に対応したウインドウに分離するウインドウ分離手段と、各領域ごとにデータ処理を行い、塵埃の位置及び大きさの情報を得る画像解析手段と、得られた結果をモニタ画面上に表示させる表示制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】
近年、半導体製造工程においては、製造時間の短縮および歩留まり低下要因の早期発見のため、ウェハの検査時間を短くすることが要求されている。これは、実際に検査する時間のみならず、検査の条件設定時の時間も短縮する必要がある。
【解決手段】
搬送系２の速度または位置の変動情報を用いて、検出器の蓄積時間や動作速度の制御もしくは取得画像の補正により、搬送系２の加減速時にも検査を行う。また、検出部の観察画像の表示を一定時間で切り替えることにより、検出部の視認性を向上させ、欠陥の有無を短時間で確認する。 （もっと読む）

【課題】デバイスの高集積化に伴い、熱処理の低温化が進んだことにより、抵抗率の低いシリコン単結晶ウエーハに形成されるようになった小さなＢＭＤなどの微小な欠陥であっても検出することができる高感度の結晶欠陥の検出方法を提供する。
【解決手段】欠陥検出用のレーザーをシリコン単結晶ウエーハに入射し、結晶欠陥で散乱した散乱光を検出することにより、シリコン単結晶ウエーハの結晶欠陥を検出する結晶欠陥の検出方法において、シリコン単結晶ウエーハの抵抗率が０．０５Ω・ｃｍ以下のシリコン単結晶ウエーハを用いて、シリコン単結晶ウエーハの主表面に対して直角に劈開し、欠陥検出用のレーザーを劈開面に対して斜めに入射し、劈開面からの散乱光を検出して劈開面の表面層に存在する欠陥を検出することによってシリコン単結晶ウエーハの結晶欠陥を検出することを特徴とする結晶欠陥の検出方法。 （もっと読む）

【課題】
表面検査装置では、より粒径の小さいＰＳＬを使用することで、より小さい欠陥を検査することが可能となる。しかし、ＰＳＬの粒径は、有限である。このことから、従来の表面検査装置では、近い将来に半導体製造工程の検査で必要となるＰＳＬに設定の無いほど小さい粒径の欠陥をどのように検査するかということに関しては配慮がなされていなかった。
【解決手段】
本発明は、被検査物体で散乱，回折、または反射された光の、波長，光量，光量の時間変化、および偏光の少なくとも１つを模擬した光を発生する光源装置を有し、前記光を表面検査装置の光検出器に入射させる
【効果】
より微小な欠陥を検査することができる。 （もっと読む）

【課題】光反射体の反射光像による真贋判別を正確に、かつ、容易に実施することができる光反射体の真贋判別方法及びその真贋判別装置を提供する。
【解決手段】光反射体の真贋判別方法は、所定の入射角度で入射した光を特定の出射角度で反射する光反射体（１００）に対して、特定の波長の光を前記所定の入射角度で入射する波長入射ステップと、前記光反射体（１００）で反射する特定の波長の反射光を撮像する撮像ステップと、前記撮像ステップで撮像した前記反射光の反射光像と、前記光反射体の反射光像サンプルとを比較する比較ステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】表面に複数の凸部が形成された金属シートにおいて、凸部が形成されていない欠損箇所を効率よくかつ確実に検出する。
【解決手段】表面に複数のミクロンオーダーの凸部がミクロンオーダーの間隔で形成された金属シートに、同軸落射照明または斜方照明により、光軸に対して垂直な方向に幅を有する光を照射し、凸部が形成されていない欠損箇所を検出する。さらに、検出結果に基づいて欠損箇所を切除することにより、高容量で、充放電サイクル特性などの電池性能の低下が少ない電池を得るのに有効な電極を作製する。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出を高精度で行うことができる光透過性フィルムＡの欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】光透過性フィルムＡの欠陥検出装置は、光透過性フィルムＡの裏面側に配される観察用補助部材２、前記光透過性フィルムＡに表面側から光を照射する照明手段６、前記照明手段６から照射され、光透過性フィルムＡで反射された特定波長域の光を受光して撮像する撮像部１、及び前記撮像部１による撮像で得られた画像から光透過性フィルムＡの欠陥を検出する検出手段３を具備する。前記観察用補助部材２に、この観察用補助部材２での前記特定波長域の光の反射率を低減する反射率低減化処理が施されている。このため、撮像部１で受光される特定波長域の光における、観察用補助部材２からの反射光の割合が低減し、光透過性フィルムＡの欠陥に起因する反射光の強度変化が明りょうになる。 （もっと読む）

【課題】ベースフィルムの一面側にコーティング層が設けられた光透過性フィルムにおけるコーティング層の膜厚むらによる欠陥の検出を簡易な構成且つ高精度で行うことができる光透過性フィルムＡの欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】ベースフィルムの一面側にコーティング層が設けられた光透過性フィルムＡを搬送する搬送手段５を具備する。光透過性フィルムＡに一面側から光を照射する照明手段６を具備する。照明手段６から照射され、光透過性フィルムＡの一面側で反射された特定波長域の光を受光して撮像する撮像部１を具備する。前記撮像部１として、互いに異なる特定波長域の光を受光して撮像する複数の撮像部１が、前記搬送手段５による光透過性フィルムＡの経路に沿って設けられている。 （もっと読む）

光学検査システム又はツールは、照明の１つ又はそれよりも多くの特性が、異なる区域の検査の必要性を満たすように調節される動的照明を用いて物体を検査するように構成することができる。例えば、照明強度は、ツールがメモリの区域及びウェーハダイの周縁部特徴を検査する時に増加又は減少させることができる。一部の実施形態では、調節は、様々な特性を有する照明に基づいて撮った画像が検査工程の残りの部分の適合性に対して評価される検査前設定シーケンス中に得られるデータに基づくことができる。 （もっと読む）

【課題】フレキシブル印刷回路基板の回路パターンと外観を総合して検査することができるフレキシブル印刷回路基板の総合検査システム及び方法を提供する。
【解決手段】本発明は、フレキシブル印刷回路基板の回路パターンと外観を総合して検査することができるフレキシブル印刷回路基板の総合検査システムに関することである。本発明による総合検査システムは、検査対象物が提供される巻出部と、検査を済ました前記検査対象物がアンロードされる巻取部と、前記巻出部と前記巻取部の間に位置されて前記巻出部から前記巻取部に移動される前記検査対象物を検査する検査部と、を含み、前記検査部は、前記検査対象物のパターンを検査するパターン検査部と、前記検査対象物の外観を検査する外観検査部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】紙葉類、たとえば紙幣の厚みを非接触で検出したり、紙幣にテープ等の異物が貼られていることを非接触で検査できる方法および検査装置が望まれていた。
【解決手段】この発明では、紙幣１４の厚さを非接触で検査するのに、テラヘルツ光１２を用いる。テラヘルツ光１２は、紙幣１４の厚さの数分の１〜数倍の波長のものを使用する。テラヘルツ光１２を紙幣１２の片面側１４１から照射し、紙幣１４の表面１４１および裏面１４２で反射されるテラヘルツ反射光１２１、１２４を検出する。検出したテラヘルツ反射光は、表面で反射された反射光１２１および裏面で反射された反射光１２４を含んでいるから位相差を有する。そして位相差は干渉の強さとして検知できる。その結果、紙幣の厚さを正しく、非接触で検出することができる。 （もっと読む）

【課題】チューブ内の流体物およびチューブに対して簡易分光を行い、流体物の状態ならびにチューブの品質を正確に、かつ迅速に、検知でき、また照射する光を自由に設定でき、機械的精度が必要とされないような、流体検知センサの提供をする。
【解決手段】投光手段と受光手段と信号処理手段からなり、流体が流通する透光性のチューブの外側に着脱自在に設けられる流体検知センサであって、流体検知センサのハウジング部がヒンジ機構により開閉自在とされ、チューブを挟み込める機構を備え、投光手段がアレイ状に配置された複数の投光素子から構成される。投光素子の各々が、ピーク波長が異なる光をチューブ内部に対して照射し、受光手段がチューブ内部を透過したピーク波長が異なる光を受光し、信号処理手段が、受光手段が受光した光の分光分析処理を行い、その変化をとらえて、チューブ内を流動もしくは滞留する流体物の状態を検知し得る構成とされる。 （もっと読む）

【課題】 バンドパスフィルタを用いて制限した光を被検物の表面に当てて、その反射光により被検物の表面を安定的に観察する。
【解決手段】 被検物を照射する光源と、該光源の光から所定の波長成分を選択的に透過させる波長選択部と、同様な波長成分を透過する部分間で前記照射に用いる光を透過させる位置を切り替える切り替え部と、前記所定の波長の光で前記被検物を照明する照明光学系と、前記照明された前記被検物の検査を行う検査光学系とを用いる。 （もっと読む）