【課題】ドライフィルムが積層された基板の蛍光イメージと散乱光イメージ、そして反射光イメージをさらに検出して、露光工程で発生する様々な欠陥を容易に検出できるようにしたパターン欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】光を生成して出射する光源１１と、光源１１から出射される光を基板２０にスキャンするスキャンミラー１４と、基板２０で蛍光された蛍光イメージを検出する蛍光イメージ検出部１７と、基板２０で散乱された散乱光イメージを検出する散乱光イメージ検出部１９と、を含むものである。 （もっと読む）

【課題】繰り返しパターンの線幅の測定精度を向上させた表面検査方法を提供する。
【解決手段】所定の繰り返しパターンを有するウェハの表面に直線偏光を照射する照射ステップ（Ｓ１０２）と、直線偏光が照射されたウェハの表面からの反射光を受光する受光ステップ（Ｓ１０３）と、対物レンズの瞳面と共役な面において、反射光のうち直線偏光の偏光方向と垂直な偏光成分を検出する検出ステップ（Ｓ１０４）と、検出した偏光成分の階調値から繰り返しパターンの線幅を求める演算ステップ（Ｓ１０５）とを有し、演算ステップでは、瞳面における対角線上の瞳内位置および対角線外の瞳内位置での階調値から、繰り返しパターンの線幅を求める。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、複数の処理ユニット有する基板処理装置において、基板を精度良く検査或いは処理でき、タクトタイムを向上できる基板搬送装置または基板搬送方法あるいは基板処理システムまたは基板処理方法を提供する。
【解決手段】
本発明は、基板を処理する複数の処理ユニットに跨って形成される搬送ステージ上を前記基板を搬送する際に、前記搬送は、前記基板の第１の辺を把持する第１把持搬送体を前記搬送する方向に平行回送移動させ、前記基板の第２の辺を把持する第２把持搬送体を前記搬送する方向に平行回送移動させ、前記第１把持搬送体から前記第２把持搬送体に前記把持を移行させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】照明手段による照光が撮像手段による画像に写り込むことを防止することで、容器内の異物の検出精度を向上させることができる異物検出装置を提供する。
【解決手段】異物検出装置１０は、一升瓶Ｂを照光する照明手段３７と、一升瓶Ｂを撮像する撮像手段３６とを備えている。照明手段３７は、背面照明手段３７１と側面照明手段３７２とを備えている。背面照明手段３７１は、一升瓶Ｂを間に位置させた背面側に配置され、透過光が撮像手段３６により一升瓶Ｂを撮像したときの画像の背景光となるものである。側面照明手段３７２は、撮像手段３６による撮像範囲外となる位置に配置され、かつ照光面を一升瓶Ｂにおける撮像面Ｐ１とは反対側の一升瓶Ｂの背面Ｐ２側とした。そうすることで、側面照明手段３７２からの照射光が撮像装置３６に入り込まないので、精度のよい画像が撮像できる。 （もっと読む）

【課題】樹脂製キャップを検査する場合、カメラで撮影された画像を２値化する際に、キャップの周辺部分に対応した画素群とキャップの中央部分に対応した画素群とを共通なしきい値を用いて２値化することができる照明撮像系を備えた樹脂製キャップの検査装置を提供する。
【解決手段】樹脂製キャップ１の天面１ａ側に配置され、樹脂製キャップ１の天面１ａに投光する天面側照明２０と、樹脂製キャップ１の天面１ａの裏面側に配置され、樹脂製キャップ１の天面１ａの裏面に投光する裏面側照明２２と、樹脂製キャップ１の天面１ａ側に設置され、天面１ａからの光を撮影するカメラ２１とを備え、カメラ２１に、天面側照明２０から樹脂製キャップ１の天面１ａに投光され天面１ａで反射した反射光を入射し、かつ裏面側照明２２から樹脂製キャップ１の天面１ａの裏面に投光され天面１ａを透過した透過光を入射させる。 （もっと読む）

【課題】被検査物を治具などで掴んだり吸着することなく、円筒状の被検査物を、決まったセンサ位置にて、中心軸の周りで回転させ、全周面にわたって、また必要に応じて端部も同時に、欠陥検査が行えるようにする。
【解決手段】磁性材料からなる被検査物に磁界を印加し、その表面の欠陥部に生じた漏洩磁界の乱れを磁気センサを用いて検出する磁気探傷方法である。被検査物１０は円筒状であって、その外周面が回転用ベルト１２に接触しており、回転用ベルトを介して被検査物に対向している永久磁石１４によって被検査物に磁界が印加されると共にその磁力により被検査物が回転用ベルトに引き付けられ、磁石をセンサ位置に停滞させた状態で回転用ベルトを動かすことにより、被検査物がセンサ位置に止まったままで回転用ベルトとの摩擦力で中心軸の周りに回転し、磁気１６センサによって被検査物の周面を検査する。 （もっと読む）

【課題】検査時間の短縮しつつ、タイヤの内周面を広範囲にわたって検査することができるタイヤの検査装置を提供する。
【解決手段】タイヤＴの内周面８を照明する照明部１６と、タイヤＴの内周面８を撮影する第１撮影部１８と、タイヤＴの内周面８の周方向Ｃに沿って湾曲しタイヤＴの内周面８を照らした光を第１撮影部１８へ反射させる鏡３６とを有する検査部２０と、タイヤＴと検査部２０とをタイヤＴの軸回りに相対的に回転させる駆動部とを備え、照明部１６がタイヤＴの内周面８を照明した状態で、駆動部がタイヤＴと検査部２０とをタイヤＴの軸回りに相対的に回転させながら、タイヤＴの内周面８に沿わせて配置した鏡３６で反射したタイヤＴの内周面８からの光を第１撮影部１８が撮影することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】タイヤの内周面に生じた線状の凹凸を容易に検出することができる照明装置及びタイヤの検査装置を提供する。
【解決手段】光源ユニット３６から照射された光によってタイヤＴの内周面８を照明する照明装置１６と、タイヤＴの内周面８を撮影する撮影部１８，１９と、タイヤＴと照明装置１６及び撮影部１８，１９とをタイヤＴの回転軸Ｌ２の回りに相対的に回転させるテーブル駆動部１４とを備え、タイヤＴの内周面８に沿わせて配置した光源ユニット３６からタイヤＴの周方向Ｃに向けて光を照射した状態で、テーブル駆動部１４がタイヤＴと照明装置１６及び撮影部１８，１９とをタイヤＴの回転軸Ｌ２の回りに相対的に回転させながら、撮影部１８，１９がタイヤＴの内周面８を撮影する。 （もっと読む）

【課題】パターン形状の測定精度を向上させた検査装置を提供する。
【解決手段】下地層の上に所定のパターンを有するウェハ５のパターンを検査する検査装置であって、対物レンズ７の瞳面もしくは該瞳面と共役な面における領域毎の光の強度情報を検出する撮像素子１８と、パターンの形状変化に対しては強度情報の変化が異なり、下地層の変化に対しては強度情報の変化が同程度である、瞳面もしくは該瞳面と共役な面内の第１領域と第２領域の位置情報をそれぞれ記憶する記憶部と、撮像素子１８で検出される、第１領域の強度情報と、第２領域の強度情報との差異に基づいてパターンの形状を求める演算処理部２０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】
測定時間及び費用を低減させるようにガラス基板から反射された反射光のうち上面から反射された光のみを用いてガラス基板の不均一度を測定するシステム及び方法を提供する。
【解決手段】
ガラス基板の不均一度測定システムは、第１光をガラス基板に照射する光源部及びスクリーンを含む。ここで、光源部から照射された第１光はガラス基板の上面及び下面で反射され、ガラス基板の上面によって反射された第１反射光がスクリーンに入射されて第１帯を形成し、ガラス基板の下面によって反射されて上面を通じて出力された第２反射光がスクリーンに入射されて第２帯を形成し、第１帯と第２帯が分離されて形成されるように光源部及びスクリーンがガラス基板を基準として配列される。 （もっと読む）

【課題】透明な保護膜で被覆され、回路基板に付着した異物の検出能力を向上することができる異物検出装置を提供すること。
【解決手段】防滴膜２３が塗布された回路基板２０における異物検出装置１００であって、回路基板２０における防滴膜２３で被覆された部位に対して赤色光を照射する赤色ＬＥＤ１２，１３ａ〜１３ｄと、回路基板２０における赤色光が照射された領域を撮像するカメラ１１ａ〜１１ｅと、カメラ１１ａ〜１１ｅから出力された画像データに基づいて回路基板２０からの反射光輝度を測定し、この反射光輝度が所定の値を超えているか否かによって回路基板２０における異物を検出するものであり、反射光輝度が閾値を超えている場合に異物が有ると判定する処理部１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 コークス炉の炭化室の炉壁の肌荒れによる損傷の程度を指標化できるようにする。
【解決手段】 炭化室１１の炉壁１４の画像データから、炭化室１１の奥行方向の各位置における炉壁１４の凹凸量を示す凹凸プロフィール９００であって、炭化室１１の高さ位置が異なる複数の凹凸プロフィール９００を生成する。そして、複数の凹凸プロフィール９００から基準位置の変位の部分を抽出してこれらの差分をとることにより、基準位置が揃った凹凸プロフィールを得る。そして、当該基準位置が揃った凹凸プロフィールを、炭化室の奥行方向において１００ｍｍピッチで分割し、分割した各区間において、当該凹凸プロフィールの値（凹凸量）の最小値を抽出し、その平均値を肌荒れ指数とする。 （もっと読む）

【課題】被検査物の種類や特徴に応じて、自動で最適な測定条件を決定して被検査物の特性を測定する。
【解決手段】前記被検査物を撮像する撮像部１６と、前記被検査物の特性を測定する特性測定部１５と、前記被検査物に関する検査情報を取得する検査情報取得部１１と、前記検査情報に対応する前記被検査物の測定条件に関する測定情報を決定する条件決定部１２と、前記撮像部による撮像を制御する撮像制御部１４と、前記測定情報に基づいて前記特性測定部による測定を制御する測定制御部１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ上のＬＰＤを検出して結晶欠陥と付着異物とに分類する精度を向上させる方途を提供する。
【解決手段】ウェーハの表面に対して垂直の方向に照射させる垂直照射光の該照射表面からの散乱光のうち、高角度範囲に散乱する散乱光の検出強度から照射表面における輝点欠陥の第１のサイズを求め、照射表面に対して斜めの方向に入射させる斜め照射光の該照射表面からの散乱光のうち、低角度範囲に散乱する散乱光の検出強度から輝点欠陥の第２のサイズを求め、輝点欠陥を、第２のサイズに対する第１のサイズの比および予め求めた閾値に基づいて結晶欠陥と付着異物とに分類するに際し、垂直入射光の波長と斜め入射光の波長とを異ならせるようにする。 （もっと読む）

【課題】ガラス壜を透過した透過光を用いてガラス壜の外面に付着した金属スパッタやスプレーペンキ等の色付きの異物を検出することができるガラス壜の検査装置および方法を提供する。
【解決手段】ガラス壜１の側方に配置され、ガラス壜１の側方からガラス壜１に投光する照明２と、ガラス壜１を挟んで照明２の反対側に配置され、ガラス壜１を透過した透過光を撮影してカラー画像を形成する撮像装置３と、撮像装置３で得られたカラー画像を処理する画像処理装置４とを備え、画像処理装置４は、ガラス壜１に付着した異物およびガラス壜１を透過した透過光を撮影することにより得られる色と同一の色をあらかじめ登録しておき、撮像装置３で得られたカラー画像中に登録された色と同一の色があるか否かを判定することにより、ガラス壜１の外面に付着した色付きの異物を検出する。 （もっと読む）

【課題】カバー絶縁層中の異物の有無を精度よく検査することのできる検査装置、および、配線回路基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】カバー絶縁層に入射する入射光３１を発光する光源ユニット２と、入射光３１がカバー絶縁層の表面で反射された反射光３２を受光するカメラユニット３とを備える検査装置１において、光源ユニット２に、ベース絶縁層の表面との角度が２５°以下となるように、入射光３１を発光する環状の第１発光部６と、ベース絶縁層の表面との角度が３５〜６５°となるように、入射光３１を発光する環状の第２発光部７とを設け、その検査装置１を用いて、カバー絶縁層中の異物の有無を検査する。 （もっと読む）

【課題】光透過性フィルムに発生する塗布ムラ欠点を高精度に検査できる検査装置を提供する。
【解決手段】特定波長の単色光を照射する光照射手段と、前記光照射手段からの光に由来する光を反射する光反射手段と、光反射手段で反射された光に由来する光を受光する受光手段と、受光手段で受光した光量の変化を検出する検出手段とを備えた、光透過性フィルムの検査装置、とすることにより、光透過性フィルムに発生する欠点を高精度に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】目的とする真珠もしくは真珠貝殻の品質を非破壊的に、かつ簡便かつ迅速に判定することができる方法および検査装置を提供する。
【解決手段】被検体としての真珠もしくは真珠貝殻の紫外域から可視域の反射スペクトル、および／または紫外域から可視域の蛍光スペクトルを測定し、得られた値を、予め測定しておいた正常な真珠もしくは真珠貝殻の値と比較することによって、真珠品質を非破壊的に判定する方法および検査装置である。 （もっと読む）

【課題】透明材料中に存在する欠陥の検出方法及び検出装置を提供する
【解決手段】透明材料の一定の容積部分を第一放射光源で照射する工程と、第二放射光源の光を前記透明材料中へ照射結合させて前記容積部分中の前記光の光路が前記透明材料の内部だけに拡がるようにする工程と、前記透明材料の前記容積部分中の前記欠陥の存在を検出するため、前記容積部分中の欠陥からの散乱光、前記容積部分中の前記欠陥からの明度視野吸収、及び／または前記容積部分中の前記欠陥による前記第一放射光源の光の偏向を検出する工程から構成される透明材料中の欠陥の検出方法。 （もっと読む）

【課題】２種類の波長の紫外線を、同時又は個別に、各波長の強度を調整しながら照射することができる紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】紫外線照射装置１００は、第１開口１１１及び第２開口１２１を有する筐体１０１と、筐体１０１内に配置され、第１開口１１１を介して、第１波長領域内の紫外線を照射する第１ランプ１１２と、筐体１０１内に配置され、第２開口１２１を介して、第２波長領域内の紫外線を照射する第２ランプ１２２と、を備える。また、紫外線照射装置１００は制御部１３０を備える。制御部１３０は、第１開口１１１を介した第１ランプ１１２からの紫外線照射強度及び第２開口１２１を介した第２ランプ１２２からの紫外線照射強度を制御する。 （もっと読む）