【課題】微小なパーティクルであっても高い確実性をもって検出することができ、信頼性の高い計測を行うことができるパーティクルの検出方法を提供すること。
【解決手段】基板である半導体ウエハＷの上にダミー膜１１を成膜し、次いでウエハＷの表面に真上から光を照射しながら照射位置を移動させ、その反射光を受光し、この受光した光の強度と光の照射位置とを対応付けたデータを取得して、ウエハＷ上のパーティクルを検出する。ここでダミー膜１１の膜厚をダミー膜１１の表面で反射された反射光と、ダミー膜１１とウエハＷとの界面で反射された反射光とが同位相になるかまたは逆位相になるように設定することにより、可干渉状態あるいは不干渉状態を形成しておく。パーティクルがダミー膜１１の表面あるいは前記界面のいずれかに存在すると、上記の状態が崩れるため、受光する光の強度が変化し、これにより高感度でパーティクルを検出することができる。 （もっと読む）

【課題】環境温度が変化しても欠陥を誤検出することがない欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置１が、ウェハ５を支持するステージ１０と、ステージ１０と対向するように配設された対物レンズ１１と、ステージ１０に支持されたウェハ５の表面に、落射照明により対物レンズ１１を介して照明光を照射する照明光学系２０と、照明光が照射されたウェハ５の表面からの反射光を、対物レンズ１１を介して受光し、対物レンズ１１の瞳面における輝度情報を検出する検出光学系３０と、検出光学系３０に検出された対物レンズ１１の瞳面における輝度情報に基づいて、ウェハ５の表面に形成された繰り返しパターンにおける欠陥を検出する画像処理部４５とを備え、ステージ１０に支持されたウェハ５と対物レンズ１１との間において、照明光および反射光の光路上に偏光素子１５が設けられる。 （もっと読む）

【課題】
賞味期限・消費期限などの日付の印字や製造番号・ロット番号などの印字は商業印刷で90％以上を占める黒色の印字色と可視光域の環境下での印字検査が行われており、依然として印字のもれやかすれなどの印字異常や不良を検知するには不十分である。また、出荷製品の包装の素材・色・形の多種多様化と製造工程の自動化機械の高速化も印字異常を検知しないまま見落としてしまう原因となっている。
【解決手段】
印字色に黒色以外の分光上の特性がある青、緑、赤、紫などのインクを用いて、印字色と包装色との間の反射率の差、透過率の差が最大の波長帯もしくはそれに準ずる波長帯やその他の効果的な波長帯を特定することにより、最適な明暗差・輝度差が得られる波長の照明を照射して印字異常の検知を確実にする。 （もっと読む）

【課題】透過サブストレートの欠陥を検出するための方法とシステム。
【解決手段】本願発明のシステムは、複数の検出チャネルを備え、その各々が、該サブストレートに照明を提供するための照明コンポーネントと、前記サブストレートの画像を提供するために前記サブストレートをスキャンする画像形成コンポーネントと、該サブストレートと該照明コンポーネントと複数の検出チャネルに含まれる画像形成コンポーネントの間の相対運動を生成するための移送モジュールと、前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントと前記画像形成コンポーネントを制御するための制御モジュールと、を含む。前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントの内の少なくとも２つの照明コンポーネントが、交替に照明を前記サブストレートに提供しその検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントが前記サブストレートを照明する場合には、前記複数の検出チャネルのいずれかに含まれる画像形成コンポーネントが、前記サブストレートをスキャンするようになっている。ここで、複数の検出チャネルの少なくとも２つの検出チャネルに含まれる前記画像形成コンポーネントが、同一の画像形成コンポーネントである。本願発明によって記述される方法とシステムは、実際の欠陥を検査されたサブストレートをクリーニングする必要がない疑似欠陥から識別することができる。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタの欠陥、特に、白抜けの検出能力を向上させて検査することのできるカラーフィルタの外観検査方法、外観検査装置を提供する。
【解決手段】１）透過検査用の光源として、赤色、緑色、青色の光を選択的に照射できる光源を用い、２）赤色の着色画素を検査する際には、緑色及び青色の光をカラーフィルタに照射し、得られた撮像データを比較処理することにより欠陥の有無を判定し、３）緑色の着色画素を検査する際には、青色及び赤色の光をカラーフィルタに照射し、得られた撮像データを比較処理することにより欠陥の有無を判定し、４）青色の着色画素を検査する際には、赤色及び緑色の光をカラーフィルタに照射し、得られた撮像データを比較処理することにより欠陥の有無を判定すること。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの高速検査を可能にする。
【解決手段】半導体ウェーハ２０の一部の並行検査を同時に実行するために、複数の独立した低コスト光学検査サブシステム３０がパッケージ化及び統合される。ここで、検査に関連するウェーハ位置は、ウェーハ全体が光学サブシステムからなるシステムによってラスタスキャンモードで画像化されるように制御される。単色の可干渉性（コヒーレントな）光源がウェーハ表面を照明する。暗視野光学システムが散乱光を集光し、フーリエフィルタリングを使用して、ウェーハに作り込まれた周期的な構造によって生成されたパターンをフィルタリングする。フィルタリングされた光は、汎用デジタル信号プロセッサによって処理される。ウェーハの欠陥を検出するために、画像を比較する方法が使用され、こうした欠陥は、統計的な工程制御、特に製造設備を支援するために、メインコンピュータ５０に報告される。 （もっと読む）

【課題】検査対象物である電子部品の全ての面を精度よく検査することのできる外観検査装置を提供する。
【解決手段】第１〜第４撮像ユニットＤ１０〜Ｇ１０の投光部材を赤色発光素子、緑色発光素子、青色発光素子で構成し、第５及び第６撮像ユニットＨ１０，Ｉ１０の投光部材を白色発光素子で構成する。これによって、検査対象物である電子部品１の面のうち、ＲＧＢ三色照明で検査することが好適な側面に対してはＲＧＢ三色照明で照射を行って検査し、白色発光素子を照射して検査することが好適な側面に対しては白色発光素子で照射を行って検査する構成とする。これによって、電子部品１の６面全てを精度よく検査することができ、特に、６面全てをＲＧＢ三色照明で検査する場合に比して外部電極３，４で覆われている側面ｓ５，ｓ６の欠陥検出精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】銀メッキが施されたリードフレーム及びリードフレーム封止体の外観不良を確実で簡易に検出可能であるとともに、リードフレーム及びリードフレーム封止体の検査を兼用可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】所定位置に配置された被検査体に向けて青色の光を照射する青色照明部と、被検査体に対して青色照明部と同じ側に配置され、被検査体の画像を撮像する撮像部と、被検査体に対して青色照明部と同じ側に配置され、被検査体に向けて赤色の光を照射する赤色照明部と、被検査体を挟んで撮像部と対向する位置に配置され、撮像部に向けて光を照射する第３の照明部と、被検査体の画像に基づいて２値化画像を生成するとともに、２値化画像に基づいて被検査体における不良の有無を判定する画像処理手段とを備え、青色照明部、赤色照明部及び第３の照明部の点灯を切換えつつ撮像部が被検査体の画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】パターン付きウエハ検査装置を用い、信頼性の高い欠陥密度情報を得られる技術を提供する。
【解決手段】検査対象のチップ１６Ａと左隣のチップ１６Ｂとの差画像２１Ａと、検査対象のチップ１６Ａと右隣のチップ１６Ｃとの差画像２１Ｂとを算出し、差画像２１Ａ、２１Ｂの双方の検査の感度が一定の領域（メモリセル部２０およびパターン無し部１９を含む）に、事前に決定したしきい値以上の明るさのピクセル（ポイント）があれば、検査対象のチップ１６Ａのその部分に欠陥があると判定する。 （もっと読む）

【課題】導体パターンの検査と、導体パターンから露出する絶縁層の上に存在する異物の検査とを、容易かつ同時に実施することのできる、配線回路基板の製造方法を提供する。
【解決手段】ベース絶縁層２と、その上に形成される導体パターン３とを備える配線回路基板１を用意し、配線回路基板１を、支持台４の上に配置し、光１０を、配線回路基板１の上側から配線回路基板１に向けて照射することにより、パターン反射光７と台反射光８と異物反射光９とを検知して、それらの間のコントラストによって、導体パターン３および異物１１を検査する。この検査工程において、台反射光８の反射率を３０〜７０％に調整し、異物反射光９の反射率を１０％以下に調整する。 （もっと読む）

【課題】 ウエハの裏面欠陥をその表面に形成されたパターンと関連して検出する。
【解決手段】表面に複数の回路パターンが形成されたウエハＷの裏面の欠陥を検査する検査装置ＳＴ２が、ウエハＷの裏面を照明する裏面照明装置１２０と、裏面照明装置１２０により照明された照明光の正反射光が入射しない位置に配置された裏面撮像装置１３０と、この裏面撮像装置１３０により撮像されたウエハＷからの散乱光に基づく画像からウエハＷの裏面における欠陥の存在およびその位置を検出する画像処理検査部５０とを有して構成される。画像処理検査部５０は、ウエハの表面において回路のパターンを分割するダイシングラインの画像を裏面撮像装置１３０により撮像されたウエハ裏面画像に合成して合成画像を生成し、この合成画像に基づいて欠陥の位置を各回路パターン位置と対応させて検出する。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタパターン上にポジ型感光性樹脂を塗布、露光、現像して形成されたパターンの検査工程において、検査用照明光に感光性樹脂の感光波長域成分が含まれている場合、照明光が照射された部分の感光性樹脂は、相変化や架橋変化が生じ、加熱硬膜処理で、パターン線幅、高さの変化が顕著になる。その結果、照明光の照射、非照射の各領域の外観を比較した場合に相違が生じ、ムラとして検出されている。
【解決手段】照明部からの光路に紫外領域の波長成分を選択的に低減する第一光学フィルタと、５２０ｎｍ以下の波長域成分を選択的に低減させる第二光学フィルタを挿入することにより、照明光の紫外領域の波長成分を選択的に低減させ、紫外領域成分の光線による第二光学フィルタの光学特性を低下させることなく、安定したポジ型感光性樹脂パターン形成を行なうことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 検査対象物の良否の判定を効率よく、しかも高精度にて行える検査装置を提供する。
【解決手段】 搬送手段にて搬送されてきた検査対象物に検査用光を照射する照射部２と、照射部２の検査用光が照射された検査対象物の画像を取り込むための画像取込部３と、画像取込部３にて取り込んだ画像に基づいて検査対象物の良否を判定する判定処理部４とを備え、照射部２が、青色の光を照射する青色照射手段５と、赤色の光を照射する赤色照射手段６とを備え、画像取込部３が、色の異なる２種類の照射手段にて照射されている検査対象物のカラー画像を取り込むためのカラー画像取込部から構成し、青色照射手段５からの検査用光が検査対象物の外観表面を照射し、かつ、赤色照射手段６からの検査用光が検査対象物の内部に入り込むように、青色照射手段５及び赤色照射手段６を配置した。 （もっと読む）

主支持部材（２１８）であって、第１の端部と第２の端部とを有するベース部材（２２２）と、近位端部と遠位端部（２３４）とを有する第１の部材（２２８）であって、近位端部が、ベース部材（２２２）の第１の端部の第１の端部と接続され、第１の部材が、光源（２０６）を支持するように適合される、第１の部材（２２８）と、近位端部と遠位端部とを有する第２の部材であって、近位端部が、ベース部材の第２の端部と接続され、第２の部材の遠位端部が、カメラ（２０４）を支持するように適合される、第２の部材と、を含む、主支持部材（２１８）と、第１の端部（２９０）と第２の端部（２８６）とを有する位置合わせ（augment）部材（２４０）であって、第１の端部（２９０）が、第１の部材の遠位端部（２３４）と解放可能に接続可能であり、第２の端部（２８６）がベース部材（２２２９と解放可能に接続可能である、位置合わせ部材と、を含み、位置合わせ部材（２４０）が、第１の部材（２２８）と平行な少なくとも１つのスロットを含む、撮像装置を支持するための装置（２０２）。
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【課題】シート中の異物やシート表裏面の汚れを共に精度良く検出することができる検査装置を提供する。
【解決手段】被検査シートＳの一面側に設けられる第１の光源１と、被検査シートＳの他面側に設けられる第２の光源２と、第１の光源１から出射され被検査シートＳで一面側に反射した光と、第２の光源２から出射され被検査シートＳを透過して一面側に至った光とを受光する撮像素子を有するＣＣＤカメラ３等と、撮像素子から出力される画像信号を処理する画像処理部４と、を備える検査装置であって、第１の光源１が出射する光は、被検査シートＳに付着した黄色系汚れと補色関係にある青色光であり、第２の光源２が出射する光は赤色光である。 （もっと読む）

【課題】 石英粉体中に有色異物、特に鉄系ごみ、有機物系ごみ、カーボン系ごみのような淡い色の有色異物が含まれる場合であっても、精度良く検出することができる石英粉体原料中に含まれる有色異物の検出装置および検出方法を提供する。
【解決手段】 この発明の検出装置１は、石英粉体の原料を一定量ずつ連続供給するための原料供給手段２と、該原料供給手段２から連続供給された前記石英粉体原料Ｑを搬送するベルト搬送手段３と、所定波長の光を発する第１発光手段４と、前記第１発光手段４から発する光を散乱光に変換した上で、ベルト搬送手段３で搬送される前記石英粉体原料Ｑに対し照射する光拡散照射手段５と、前記石英粉体原料Ｑのカラー画像を連続撮影するカラー撮像手段６とを具え、前記光拡散照射手段５からの散乱光を前記石英粉体原料Ｑに対して照射することにより、前記カラー撮像手段６で撮影したカラー画像の濃淡を明確化して、前記石英粉体原料Ｑ中に含まれる有色異物を検出することにある。 （もっと読む）

【課題】めっき層表面に生じるめっき未着等の欠陥を安定的に検出することが可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置２０は、パッド部１１ａ、１１ｂと、パッド部１１ａ、１１ｂと異なる色彩をもつめっき層１２とを有する被検査基材１０の外観を検査するものである。外観検査装置２０は、被検査基材１０に対してパッド部１１ａ、１１ｂからの反射率と、めっき層１２からの反射率との差が大きくなる特定波長成分を含む光を照射する照明装置２３ａ−２３ｃと、被検査基材１０を撮像してグレー画像を取得するモノクロカメラ２２と、モノクロカメラ２２に接続された画像処理装置３０とを備えている。画像処理装置３０は、モノクロカメラ２２からのグレー画像に基づいて白黒画像を生成する二値化処理部３３と、白黒画像に基づいてめっき層１２の未着を判定する判定部３４とを有している。 （もっと読む）

【課題】高いコントラストで検査を行うことができる検査装置及び検査方法並びにそれを用いたパターン基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】
本発明にかかる検査装置は、光を透過するガラス基板２１の透過率に基づいて欠陥を検出して、ガラス基板２１と、反射面を有する第１の膜２９とを備える試料を検査する検査装置であって、ガラス基板２１の一方の面である入射面から試料に光を入射させる光源１１と、開口数が０．００２以上０．２以下で、光源１１からの光を反射面上に集光する対物レンズ１７と、ガラス基板２１に斜めに入射した入射光が反射面で正反射されることによって、ガラス基板２１において入射光が通過した位置と近い位置を斜めに通過して入射面から出射された光を検出する光検出器３２とを備えるものである （もっと読む）

【課題】表面粗さの粗い被検査対象物においても、凹凸が数μm程度の微小凹凸性疵を確実に検出できる装置及び方法を提供する。
【解決手段】鋼板表面に波長が１０．６μm以上の光を照射する光源４と、前記鋼板表面の微小凹凸疵で反射された光の集束及び発散によって得られる明暗パターンに基づいて微小欠陥を検出する検出系とを有する。前記光源４は、前記鋼板１がロール２に接している部位に光を照射する。又前記検出系は、前記鋼板表面により反射された光を投影するスクリーン６と、当該スクリーン上の光強度分布を測定する２次元カメラ７とを有する。 （もっと読む）

【課題】より高感度な検査を行うことができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１において、照明光学系３０は、照明装置３１からの光を偏光にする第１の偏光素子３３を有し、照明装置３１から第１の偏光素子３３を透過して得られた偏光をウェハ１０の表面に照射するように構成され、撮像光学系４０は、第１の偏光素子３３に対してクロスニコル状態となるように配置された第２の偏光素子４３を有し、偏光が照射されたウェハ１０の表面から第２の偏光素子４３を透過して得られた光を検出するように構成されており、第１の偏光素子３３および第２の偏光素子４３が、光路上に並んで配設された消光比の波長特性が互いに異なる複数の偏光部材３４〜３６，４４〜４６を有して構成される。 （もっと読む）