【課題】回路素子のはんだ付け、特にはんだ付けロボットやはんだコテを用いた手作業によるはんだ付けの良否を判定する検査において、簡便に、且つ、確実な信頼度を以って良否の判定を行うことができるようにする。
【解決手段】図１（Ａ）のようにして、緑色の基板２に配置された抵抗３を、当該抵抗３の上方に配置されたカメラ（撮像装置）４により、当該カメラ４側から赤色の同軸照明５により乳泊アクリル製特殊フィルタ６を介して照射しつつ撮影し、撮影された撮像を白黒の２値化処理してはんだ付けの良否を判定する。この方法によれば、図１（Ｂ）のようにフィレット８に覆いかぶさるフラックス９の影響を受けることなく判定できる。 （もっと読む）

【課題】シート体の欠陥の高精度の検出が可能で、特にカラーフィルター、絶縁用セパレータ、グリーンシート等の光透過性を有するシート体の検査に好適なシート体の検査装置及び方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明のシート体の検査装置は、レーザー光線を出射する光源と、光源から出射されるレーザー光線の焦点を検査対象であるシート体表面近傍に合わせるレンズ光学系と、シート体裏面からの透過光を受光する光検出器とを備え、光検出器で得られた直接光成分以外の成分強度情報に基づいて欠陥を検出するシート体の検査装置である。シート体表面に略垂直にレーザー光線を照射するとよい。光検出器とシート体裏面との間にシート体裏面からの直接光成分を遮蔽するマスクを備えるとよい。シート体を設置するテーブルと、シート体表面に照射されるレーザー光線の位置を相対的に移動させる走査手段とを備えるとよい。 （もっと読む）

【課題】細長い欠陥がウェーハ表面に存在した場合に、欠陥の方向に依存せず、どの方位に伸びる欠陥であっても一様に検出することで、欠陥の実体を正確に把握することを低コストで実現できる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、ウェーハ表面にレーザー光を走査しつつ照射する入射系と、前記ウェーハの欠陥により一定角度に散乱する散乱光を捕らえるように配置された受光器を有する受光系とを備えた欠陥検査装置であって、前記入射系は、光源から発せられた一本のレーザー光を複数に分岐し、該分岐されたレーザー光を複数の方向から前記ウェーハ表面の同一領域に入射するものであって、前記受光系は、一つの受光器で前記散乱光を捕らえるものであることを特徴とする欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】形状の異なるモジュールであっても確実に欠陥部分を抽出する欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】リング照明でモジュールＭへ投光して撮像された第１の画像１０Ａの所定以上の輝度を有する領域を抽出する第１のステップを行い、抽出された所定以上の輝度を有する領域において所定の大きさ以上の面積を有する領域を第１の画像１０Ｂより除去する第２のステップを行い、第１の画像１０Ｃから直線または曲線形状で抽出された領域を除去する第３のステップを行い、モジュールＭをリング照明により投光して撮像された第２の画像１１Ａにおける第２のステップと第３のステップとにより第１の画像１０Ａから除去された領域に対して、第１のステップ、第２のステップ、第３のステップを再び実施する第４のステップを行うことにより、不要な高輝度領域を削除して欠陥部分８、１２のみを抽出することにより形状の異なるモジュールＭでも検査が可能になる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、シートの欠陥を一連の工程により検出することができ、欠陥を有するシートを分別除去することができるものである。欠陥は数多く存在するが、特に燃料電池用に用いられる電解質、電極基盤、電極において重要な欠陥を選定し、かつ各種の測定装置のうち製造工程に合致したものを選定することで、シート製造工程において、欠陥検出を一連の工程の下に簡便かつ容易に検出することができることで、製造工程をコンパクト化、スピードアップ化を図ることができる。
【解決手段】本発明は、レーザー透過式検出機、ＣＣＤカメラ、ならびにレーザー式反射検出機および／または接触式変位検出機により、シートの欠陥を検出することを特徴とするシート欠陥検出方法および当該欠陥検出後に当該シートを分別することを特徴とするシート分別方法である。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハなどのパターンが形成された試料の欠陥検査において、多種の製造工程と注目欠陥に対して、高スループットかつ高感度の欠陥検査装置を提供することにある。
【解決手段】パターンが形成された試料に光を照明し、該試料の像を反射型光学系を介して画像センサに結像し、欠陥の有無を判定する欠陥検査装置において、該反射型光学系は共役な２組のフーリエ変換光学系を有し、該反射型光学系の収差は光軸外で補正され、該試料面における非直線形状のスリット状の視野とを有する。また、光学系は反射型で、共役な２組のフーリエ変換光学系を含み、視野は非直線形状のスリット状であり、試料に応じて最適な波長帯域を選定する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成により、検査対象に応じて平面画像と斜め画像の撮影の切換えが可能な基板検査装置および基板検査方法を提供する。
【解決手段】本基板検査装置は、基板上の被検査対象ａに上方から照明光を照射する上側照明具１１０と、斜め側方から照明光を照射する下側照明具１２０と、上側照明具および下側照明具の軸中心上方に設けられた撮影部１３０と、撮影部と被検査対象との間に挿入可能に設けられた斜め画像を撮影しうるように撮影部の光路を被検査対象の斜め方向に誘導する光学手段１４０と、光学手段を移動、回転させることより平面画像と斜め画像の撮影の切換えおよび斜め画像の撮影方向の変更を行う光路変更手段１５０と、これらを制御すると共に、撮影した画像に基づいて被検査対象の状態の良否を判定する制御手段２００と、を備える。この基板検査装置は、さらに、スリット光照射手段１９０を備えることができる。 （もっと読む）

【課題】自動車等の被検査物の塗装外観検査において、従来の照明・検査方法では発見できなかった「色ムラまたは瑕」を発見する。
【解決手段】表面に塗装が施された被検査物１０の塗装外観を検査するために、被検査物に測定光を照射する塗装検査用照射方法において、被検査物に測定光として収束光を照射する塗装検査用照射装置３０Ｃと、被検査物からの反射光を撮像して受光画像を得る撮像手段と、前記受光画像に基づいて被検査物の塗装外観の良否を判定する判定手段と、を備えた塗装検査装置。収束手段３２はフレネルレンズ等の収束パネルを用いる。 （もっと読む）

【課題】 検出器を移動させることなく、照射した光束の光軸近傍における微小角度おきの散乱光強度の分布を捉えることができる散乱特性評価装置及び散乱特性評価方法を提供する。
【解決手段】 互いに半径が異なるリング状の受光面を有する検出素子の中心が、同心円状かつ光束の光軸上に配置されている検出器２と、集光レンズ４とを備える散乱特性評価装置１０であって、測定点Ｏを中心とした球Ｂを想定して、検出素子の受光面に導かれた光が球Ｂを通過した通過面積Ｓ_ｉと、ｉ番目の検出素子が検出した光強度Ｅ_ｉとを用いて、球Ｂにおける単位面積での散乱光強度Ｃ_ｉを算出して、散乱角度Θ_１から散乱角度Θ_Ｉまでの角度範囲における散乱光強度Ｃ_ｉの分布に基づいて、評価対象試料Ｆの光の透過散乱特性を評価する評価部２４を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
従来、印刷物を検査するということは、被印刷物の媒体(紙・フィルム等)が温度・湿度の影響や、印刷時の転写圧力(印圧)によって図柄の寸法が変動する要素があり、更に搬送中の印刷物を撮像するには、一枚毎の枚葉紙では静電気や空気抵抗、重力によるバタツキが発生し、クリアな画像を得るためにバタツキを抑制するためのエアー吹き付けや、ブラシの設置を行う必要があった。
【解決手段】
本発明では、印刷機上にて瞬時に印刷物の全数の欠点を検出し、更に撮像画像の安定化として、印刷直前の版面の状態を検査することによって、印刷図柄が被印刷物に転写される前に欠点を検出することが出来、安定した画像を撮像することを提供する。 （もっと読む）

【課題】マイクロスクラッチと粒子との間を識別する検出システムを提供する。
【解決手段】サンプル表面（２０ａ）からの散乱光は表面（２０ａ）に対して垂直な線に対して略対称の光を集束する集束器（３８，５２）によって集束され、異なる方位角で経路へと導かれ、相対的方位角位置に関する情報が保存される。集束光は、垂直な線に対して異なる方位角で散乱した光線を表すそれぞれの信号に変換される。異常の有無および／または特徴は、この信号から判定される。あるいは、集束器（３８，５２）によって集束された、狭角および広角集束経路から得た信号は比較され、マイクロスクラッチと粒子との間を識別する。前方散乱光は、他の光線から集束され、比較されて、マイクロスクラッチと粒子との間を識別する。散乱の強度は、表面がＳおよびＰ偏光によって順次照射されたときに測定し、比較して、マイクロスクラッチと粒子との間を識別する。 （もっと読む）

【課題】ワークを保持部などの保持機構で保持した状態であっても、誤認識なくワークの良否判定を行う。
【解決手段】検査装置１では、ワーク２を照明する円環状の光源部３３を有する照明部３と、ワーク２を撮影する撮影部４とが設けられ、ワーク２を保持する保持部５が、照明部３と撮影部４との間に固定もしくは移動可能に配され、照明部３の光源部３３からワーク２に照射した光の照射方向上から外れた位置に、撮影部４が配されている。そして、ワーク２に異物を含む不確定な物がある場合、光源部３３からワーク２に照明した光は、異物を含む不確定な物によりその光路が変更されて撮影部４にて撮影される。 （もっと読む）

【課題】レンズの隠しマークと非マーク部分とを透過した光の輝度差が大きく、鮮明な画像を得ることができ信頼性の高いレンズ用画像撮像処理装置を提供する。
【解決手段】光源３１から出射した光Ｌをハーフミラー３５によって反射し、コリメータレンズ３６によって平行光Ｌ₁ に変換した後、被検レンズ１の凸面１ａに照射し、透過させる。回転反射体４３に設けたコーナーキューブプリズム４９は、被検レンズ１を透過した光Ｌ₁ を全反射して入射方向と同一方向に再帰反射する。この反射光Ｌ₂ は、被検レンズ１の非マーク部のみを透過する場合、拡散が僅かであるため、光束径が小さい再帰反射光となる。このため、開口絞り３７による光の損失がなく、撮像装置４０のＣＣＤ４０Ａ上に集光されると、明るい画像を形成する。一方、マーク３Ｃを透過した光Ｌ₃ は大きく拡散されるため、光束径が大きい発散反射光となり、開口絞り３７による光損失が大きい。このため、ＣＣＤ４０Ａ上に集光されると、照度が低く、暗いマーク画像を形成する。 （もっと読む）

【課題】検査時における照明光の光量を安定させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置１は、被検基板の表面に照明光を照射する照明部が、ランプハウス６１からの光のうち所定の波長領域の光を透過させるバンドパスフィルターが設けられた波長選択機構７０，７５を有し、当該バンドパスフィルターを透過して得られた所定の波長領域の光を照明光として被検基板の表面に照射するように構成されており、紫外光を遮断するＵＶカットフィルター６５がランプハウス６１と波長選択機構７０，７５との間の光路上に挿抜可能に設けられ、非検査時にＵＶカットフィルター６５が光路上に挿入されて、ＵＶカットフィルター６５を透過した光が波長選択機構７０，７５のバンドパスフィルターに照射されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】圧痕の状態を判別する検査およびダミー電極の位置関係を判別する検査を、同じ検査装置で精度良く実行できるようにする。
【解決手段】カラー画像用のカメラ１０と、カメラ１０の光軸に沿って緑色光Ｌ_Ｇを照射する第１の照明部１２と、光軸に対して斜めになる方向から赤色光Ｌ_Ｒを照射する第２の照明部１３とを用いて、液晶パネルのガラス基板とＩＣ，ＦＰＣとの接続状態を検査する。異方性導電膜による接続によってガラス基板の基板側電極に生じた圧痕の状態を検査する場合には、カラー画像データの緑色成分の強度に基づき、圧痕の数および面積の適否を判別する。また、ダミー電極の位置関係を検査する場合には、ガラス基板側のダミー電極を表す緑色パターンとＩＣ，ＦＰＣ側のダミー電極を表す赤色パターンとを検出し、これらのパターン間の位置関係の適否を判別する。 （もっと読む）

【課題】 被検物の検査において、良品／不良品の選別の工数を低減すること。
【解決手段】 被検物からの反射光に基づいて、被検物を一括的に撮像する第１撮像部を備え、撮像部により第１の被検物画像を取得する第１取得部と、第１の被検物画像と、予め記憶された第１の参照画像とを比較する第１比較部と、第１比較部による比較結果に基づいて、第１の被検物画像中の欠陥候補領域を検出する検出部と、欠陥候補領域に相当する第２の被検物画像を取得する第２取得部と、第２の被検物画像と、予め記憶された第２の参照画像のうち、欠陥候補領域に相当する領域の第２の参照画像とを比較する第２比較部と、第２比較部による比較結果に基づいて、欠陥候補領域が欠陥領域であるか否かを判定する判定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】ハロゲンランプの経時劣化や交換による分光特性の変化分を補完し、検査光の色温度を一定に維持することができるローコストな検査光照射装置を提供する。
【解決手段】検査光照射装置は、ハロゲンランプ１１と、ＬＥＤ１２ａ〜１２ｃと、これらの光を混合して均一な白色光である検査光を生成する光混合装置１４と、検査光を集光して固体撮像素子１５に結像させる集光レンズ１６とからなる。光混合装置１４から射出された検査光を固体撮像素子１５に導く光路２８には、検査光の一部を受光する受光素子３０が設けられ、その出力信号が制御装置３１に送られる。制御装置３１は、ＬＥＤ用電源１９を制御してＬＥＤ１２ａ〜１２ｃの駆動電圧や点灯数を適切に変更するから、ハロゲンランプ１１の経時劣化や交換による分光特性の変化があっても、常に検査光の色温度を理想的な目標値に保つことができる。 （もっと読む）

【課題】パターンの微細化が進んでも従来の照明を用いて回折検査が可能な表面検査方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査方法は、所定の繰り返しパターン１１を有したウェハ１０の表面を検査する表面検査方法において、繰り返しパターン１１の表面もしくは表面近傍に繰り返しパターン１１のピッチに対して３倍のピッチを有する遮光性のマスクパターン５１を重ねて設ける第１のステップと、マスクパターン５１が設けられた状態でウェハ１０の表面に照明光を照射する第２のステップと、照明光が照射されたウェハ１０の表面からのマスクパターン５１のピッチに対応した回折光を検出する第３のステップと、第３のステップで検出した回折光に基づいて繰り返しパターン１１における欠陥の有無を検査する第４のステップとを有している。 （もっと読む）

【課題】複合構造の作製中に累積異物指標を求めるための方法およびシステムを提供する。
【解決手段】複合構造の連続したセグメントの画像を、複合構造の配置中に記録することができる。これらの記録した画像を分析して、複合構造上の異物を検出することができる。複合構造上で検出された異物の累積異物指標を求めることができ、この累積異物指標を、ユーザに提供することができる。これにより、複合構造の作製中に累積異物指標を求めるための方法およびシステムを提供することができる。 （もっと読む）

少なくとも部分的に正反射性の挙動を示し、露光領域内に位置する対象物（２）の構造細部の反射による観察のための装置であって、放射線の流れを放射する少なくとも２つの別個の領域（２６、２７）を有する放射面（６）を伴い、少なくとも１つの特性が１つの領域と隣の領域とで異なる少なくとも１つの放射線源と、露光領域に対して放射線源と一直線を成して放射線の経路に位置する光学投影系と、光学投影系の入口絞り（１４）と放射面（６）とを光学的にリンクさせるようになっている光学露光系（１８）と、露光領域内の対象物と光学的にリンクされるとともに、その受けられる放射線が対象物（２）における偏向に依存する投影面（１０）とを含む装置。 （もっと読む）