【課題】海苔が傾斜姿勢で撮像手段に搬送された場合であってもシンプルな判別処理によって欠けの有無検査が行える海苔の外観検査方法及びその装置を提供することを技術的課題とするものである。
【解決手段】各海苔画像を搬送方向（撮像画素Ｐの配列方向）に対して同方向になるように画像回転処理を行った後に、該海苔画像について、四辺の外辺接線となる水平接線及び垂直接線から任意画素内側に検査領域線を設定し、該検査領域線で囲まれた検査領域内に欠けがあるか否かを判別するようにしたので、海苔の欠け判別は、海苔周縁部分の凹凸形状の影響を受けずに海苔の全周縁部分に亘って的確に行え、また、前記検査領域線は、撮像画素Ｐの配列方向に沿った単純な垂直基準線及び水平基準線によって構成することができる。このため、シンプルな判別処理によってよって広い検出範囲の海苔の欠け判別が行えるようになる。 （もっと読む）

【課題】外周面に螺旋状の凹部または凸部を有する長尺物をその軸方向に移動させながら長尺物の外周面を撮像する際に、撮像位置における長尺物の上下方向及び水平方向の位置を安定させることのできる外観検査装置を提供する。
【解決手段】各ガイド部材３１，４１は互いに周方向に間隔をおいて配置されてホースＨの外周面に当接し、各ガイド部材３１，４１の当接面３１ｂ，４１ｂは螺旋状の凹部ＳＰ（または凸部）のピッチＰの２倍よりもホース軸方向に長く形成されるとともに、ホースＨの外周面との摩擦係数が０．１２以下の低摩擦係数材料から形成されているので、各ガイド部材３１，４１が螺旋状の凹部ＳＰ（または凸部）を乗り越える際にホースＨが上下方向及び水平方向に移動することがなく、ホースＨは各ガイド部材３１，４１上を円滑に移動する。即ち、撮像位置におけるホースＨの上下方向及び水平方向の位置を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】透明又は半透明の板状体の欠陥を、板状体の裏面の状況を反映することなく高精度で検出できる板状体の欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】互いに直交するＡ面、Ｂ面を有する透明又は半透明の板状体Ｗに、光源１２からの光を照射し、その反射光をＣＣＤカメラ１６によって撮像する。光源１２からの光の入射角度θ１をＢ面に対して全反射となる角度以上とする。また、Ａ面に入射した光が板状体Ｗの裏面Ｗ３によって反射される反射光を含むことになる裏面反射光領域Ｗ２を除く検査領域Ｗ１のみを、ＣＣＤカメラ１６によって撮像することで、映像に裏面Ｗ３の粗さ等が反映されるのを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】外周面に布部材を螺旋状に巻付けた状態で加硫されて成る長尺物の外観検査を正確に行うことのできる長尺物の外観検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】ホースＨを長手方向に移動させながら、照射線Ｌを所定時間おきに撮像することから、ホースＨの輪郭が長手方向に亘って連続的且つ正確に撮像される。また、各撮像データからホースＨの各幅方向位置に応じた照射線Ｌの高さ方向の位置データをそれぞれ抽出し、ホースＨの外周面形状に応じて各幅方向位置ごとに設けられた基準データによって減算処理することから、高さ方向の位置データからホースＨの外周面の円弧形状がキャンセルされる。また、減算処理された各撮像データの高さ方向の位置データを所定の色調基準に基づき撮像順に並べて検査用画像を作成する。 （もっと読む）

【課題】透明膜のムラ、傷、汚れ、ゴミ等の欠陥を簡単、かつ精度よく検査する。
【解決手段】保持枠２１に生化学センサ２を固定する。透明膜５のムラは、拡散光源ユニット２８の光源３８を点灯させ、乳白色板３９、拡散板４０、カラーフィルタ４１により拡散された拡散光Ｓ１を透明膜５の全域に照射し、金属膜４で反射された光の濃淡に基づいて検査する。透明膜５の傷等は、線状光源ユニット４７の光源３８を点灯させ、反射板５４、集光レンズ５５で集光され、遮光カバー５６でライン状にされた線状光Ｓ２を透明膜５に照射し、矢印Ｘ方向に移動させ、金属膜４の反射状態に基づいて検査する。 （もっと読む）

【課題】光学フィルムに生じている欠陥が揮点欠陥を生じさせる欠陥（光学欠陥）であるのか否かを容易に判定できるようにする。
【解決手段】光学フィルム１の一方の面側に配置された偏光板３を介して照明光７で照明しつつ、該光学フィルム１の他方の面側に配置された偏光板２を介して撮像し、該撮像結果に基づいて、光学欠陥の有無を判定する。偏光板２と偏光板３とはクロスニコルに配置される。照明光７として、青から緑の波長帯域内にある単波長光を用い、照明光７による露光時間が最適化されている。 （もっと読む）

【課題】はんだ検査に使用されるのと同様のカラーハイライト方式の光学系により生成されたカラー画像を用いて、部品電極の浮き不良を検査できるようにする。
【解決手段】カラー画像中で赤、緑、青の各色彩が分布するはんだ付け部位毎に設定された検査領域のうち、部品電極２０の浮き不良の検査が必要な領域を対象に、領域内のカラー画像を濃淡画像に変換し、変換後の画像からエッジを抽出することによって、浮き不良の有無を判別する。画像変換処理では、はんだ部分のカラー画像が濃度のばらつきが小さな濃淡画像に変換されるように設定された輝度変換係数α，β，γをそれぞれＲ，Ｇ，Ｂの各色パラメータに掛け合わせ、各乗算値の総和に基づきグレースケールを決定する。この結果、変換後の濃淡画像に対するエッジ抽出処理では、部品電極２０のエッジ５０は抽出されるが、はんだ部分の元の色彩領域間の境界でエッジが抽出されるのを回避できる。 （もっと読む）

【課題】１本の感光ドラムに対する撮像回数を著しく減少させることが可能で、専門知識を有する技術者を必要とせずに簡易的に感光ドラムの外観検査を行うことができる取扱性のよい外観検査装置、さらには、感光ドラムの種類毎に光の波長を最適化させる等の調整が不要で操作性のよい外観検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物である感光ドラム（Ｗ）に検査光を照射する光源を有する照明装置（１）と、この照明装置によって上記検査光が照らされている感光ドラムの表面を撮像する撮像装置（２）とを有し、上記感光ドラムにおける感光層の点欠陥や塗布ムラ等の異常の有無を検査する感光ドラム用の外観検査装置とした。上記撮像装置としては、上記感光ドラムを２次元に撮像する２次元撮像装置であって、上記撮像した上記感光ドラムの画像を表示する表示部（２０）を有するものを用いた。 （もっと読む）

【課題】機能性材料層の平坦性を正確かつ容易に判定できる有機ＥＬ表示装置の中間製品検査装置を提供する。
【解決手段】透明基板上に形成された透明電極層と、透明電極層の上にパターン配列された隔壁及び透明機能層を有する有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）表示装置の中間製品の検査装置であって、中間製品を載置しＸＹ平面上を移動させる試料移動手段と、中間製品の透明機能層側へ可視光を照射する光照射手段と、光照射手段からの可視光を撮像領域全体に均一に照明するための撮像用照明光学系と、中間製品からの反射光を撮像する撮像手段と、撮像手段と中間製品との距離を測定する距離測定手段と、距離測定手段により得られた距離の値をもとに焦点位置へ撮像手段を移動させるＺ方向移動手段と、撮像された画像データを処理する画像処理手段とを有することを特徴とする有機ＥＬ表示装置の中間製品検査装置。 （もっと読む）

【課題】蛍光ランプの蛍光塗膜の検査において、検査精度の飛躍的な向上を図る。
【解決手段】蛍光ランプ検査装置１は、面発光光源２と、カメラ３と、画像処理装置４とを備える。画像処理装置４は、画像メモリ５、演算装置６を備え、演算装置６は判定手段１７を有する。面発光光源２で光を照射された蛍光ランプ１１は、面発光光源２とは反対側に設けられたカメラ３で撮像され、画像データが画像メモリ５に記憶される。記憶された画像データに対して、判定手段１７は、欠け不良検査処理及び膜厚不良検査処理を実行する。両検査処理では、欠け不良や膜厚不良の異常部位を明部として、正常な部位を暗部として明確に区別することができる。その結果、ガラス管１１表面の反射光の影響を受けてしまう従来技術と比較して、飛躍的に検査精度の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】厚み方向のレターデーションに起因する位相差性の欠陥を検査可能な位相差フィルム検査装置を提供することを主目的とする。
【解決手段】互いに吸収軸が直交するように配置された第１直線偏光板および第２直線偏光板と、位相差フィルムを、上記第１直線偏光板および上記第２直線偏光板の間に配置されるように支持する位相差フィルム支持部と、上記第１直線偏光板側に配置され、上記位相差フィルム支持部に支持された位相差フィルムに第１直線偏光板を通して光を照射する光源と、上記第２直線偏光板側に配置され、上記２直線偏光板を透過した光を受光する、指向性を備える受光機とを有する位相差フィルム検査装置であって、上記受光機の垂直受光角度θ^１が０°＜θ^１＜９０°の範囲内となり、かつ、平行受光角度θ^２が０°＜θ^２＜９０°の範囲内であることを特徴とする位相差フィルム検査装置を提供することにより、上記課題を解決するものである。 （もっと読む）

【課題】大型のフォトマスクの性能評価及び欠陥検査を良好に行うことができるフォトマスクの検査装置及びフォトマスクの検査方法を提供し、これらフォトマスクの検査装置及びフォトマスクの検査方法を用いた液晶装置製造用フォトマスクの製造方法及びパターン転写方法を提供する。
【解決手段】フォトマスク３を保持し、光源１からの所定波長の光束を照明光学系２を介して照射し、対物レンズ系４を介して、撮像手段５によりフォトマスク３の像を撮像する。光源１より発せられた光束は、少なくとも、ｇ線、ｈ線、または、ｉ線のいずれかを含み、あるいは、これらのうち任意の二以上を混合した光束を含み、波長選択フィルタ６を介して、フォトマスク３に照射される。 （もっと読む）

【課題】 繰り返しパターンに生じた欠陥を、短時間で、信頼性よく検査する。
【解決手段】 単位パターンが周期的に配列された繰り返しパターンを備えた被検査体の、繰り返しパターンに生じた欠陥を検査するパターン欠陥検査方法であって、繰り返しパターンに所定の入射角で光を照射して回折光を生じさせる工程と、繰り返しパターンからの回折光を受光して結像させる工程と、回折光を結像させた像を観察することにより繰り返しパターンに生じた欠陥を検出する工程と、を有し、単位パターンの配列のピッチを１μｍ〜８μｍとする。 （もっと読む）

【課題】レーザ光線を照射して被測定物全体からのフォトルミネッセンス光の強度分布を短時間で測定できるフォトルミネッセンス測定装置を提供する。
【解決手段】この装置はレーザ光源１とＣＣＤカメラ８を具備し、被測定物５とＣＣＤカメラ間の光路上に、偏光フィルター６とレーザ光線の波長を遮断して測定波長のみを透過させるバンドパスフィルター７が配置され、レーザ光源と被測定物間の光路上に、集光レンズ２と第１のガルバノミラー３および第２のガルバノミラー４が配置され、集光レンズで集光されたレーザ光線が、第１のガルバノミラーと第２のガルバノミラーにより反射されて２次元走査されるようになっていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】インク印刷と銀光沢を有する金属領域を光学的に区別することができるプリント配線板の検査装置を提供する。
【解決手段】基板本体の表面に、金属領域とシルク領域を有するプリント配線板１００を検査する検査装置１であって、前記プリント配線板１００の表面を撮像可能に配置されたカラーカメラ５と、プリント配線板表面に着色光を射出しプリント配線板の表面での着色光Ｌｃの正反射光がカラーカメラ５に対して入射するような位置に配置される着色光源４と、プリント配線板１００表面に白色光Ｌｗを照射し、カラーカメラ５と拡散反射光学系を構成するように配置されている白色光源６とを備える。着色光源４によって着色された部分を金属領域と認識して、プリント配線板１００の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】作業効率を向上し、検査の高速化を図ることができる蛍光体検査装置を提供する。
【解決手段】従来の蛍光体検査装置と蛍光体印刷ずれ検査装置を一体化し、前段の蛍光体検査の検出結果を後段の蛍光体印刷ずれ検査において共有する。そして、検出された欠陥位置にカラーカメラを移動させ、自動的に欠陥位置の画像を撮像しモニタに表示する。このようにすることで、従来人手でガラス基板をラインから取り出し、欠陥を目視確認して最終判断を行っていた工程を省き、インラインでの最終判定を可能とする。 （もっと読む）

【課題】ウェハの良否を的確に判断するための検査方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る検査方法は、加工工程の途中でウェハに対して行う検査方法であって、ウェハの周縁部近傍で異物の材質を分析する分析工程（ステップＳ１０１）と、分析工程における分析の結果に基づいて、異物が分析工程以降の加工工程に影響を与えるか否かを判断する判断工程（ステップＳ１０２）とを有している。 （もっと読む）

【課題】ベルトの表面に存在する微小な凹凸形状を検査することが可能なベルトの外観検査方法および外観検査装置を提供すること。
【解決手段】外観検査装置１は、ベルト１００の検査面１０１Ａが外側になるようにベルトが懸架される駆動ロール２および従動ロール３と、検査面１０１Ａに対して斜め方向から、レーザー光を照射するレーザー照射装置４と、前記レーザー光が検査面１０１Ａの凹凸形状に照射されることによって生じる明暗パターンを撮影して、その画像データを取得するデジタルカメラ５と、前記画像データに対して画像処理を行う画像処理部１４と、画像処理されたデータに基づきベルト１００の表面の状態の良否を判定する判定部１５とを備えている。外観検査装置１により、ベルト表面の凹凸形状が微小であっても検出できるとともに、ベルトの表面の検査を簡便に且つ精度良く検査することができる。 （もっと読む）

【課題】所定サイズ以上の大欠陥がある場合に対応して検査時間を短縮することができる欠陥検出装置および欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】１次欠陥検出部３６は、検査対象物上の所定サイズ以上の大欠陥の有無を検出する１次欠陥検出処理を実行する。２次欠陥検出部３７は、検査対象物の画像データを用いて検査対象物上の欠陥を検出する２次欠陥検出処理を実行する。処理制御部３８は、２次欠陥検出処理の開始前に１次欠陥検出処理で大欠陥が検出された場合に２次欠陥検出処理を省略する、または２次欠陥検出処理の開始後に１次欠陥検出処理で大欠陥が検出された場合に２次欠陥検出処理を途中で終了する。 （もっと読む）

電子回路基板の表面上に半田ペーストを堆積するためのステンシル印刷装置が、フレームと、前記フレームに結合され、複数の小孔を有したステンシルと、前記フレームに結合されたディスペンサーであてって、前記ステンシルおよび前記ディスペンサーが、電子回路基板上に半田ペーストを堆積するようにしたディスペンサーと、電子回路基板の画像を取込むように構成された画像システムと、画像システムに結合され、画像を取込むために前記画像システムの動作を制御する制御装置とを具備する。前記画像システムは、前記電子回路基板の表面の少なくとも一部の画像を取込むように構成されたカメラ要素と、長波長光を生成することによって前記電子回路基板の表面の少なくとも一部を照明するように構成された長波長光源を備えた第１の照明要素とを具備する。他の実施形態および方法が開示される。
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