基板検査装置および基板検査方法
【課題】簡易な構成により、検査対象に応じて平面画像と斜め画像の撮影の切換えが可能な基板検査装置および基板検査方法を提供する。
【解決手段】本基板検査装置は、基板上の被検査対象ａに上方から照明光を照射する上側照明具１１０と、斜め側方から照明光を照射する下側照明具１２０と、上側照明具および下側照明具の軸中心上方に設けられた撮影部１３０と、撮影部と被検査対象との間に挿入可能に設けられた斜め画像を撮影しうるように撮影部の光路を被検査対象の斜め方向に誘導する光学手段１４０と、光学手段を移動、回転させることより平面画像と斜め画像の撮影の切換えおよび斜め画像の撮影方向の変更を行う光路変更手段１５０と、これらを制御すると共に、撮影した画像に基づいて被検査対象の状態の良否を判定する制御手段２００と、を備える。この基板検査装置は、さらに、スリット光照射手段１９０を備えることができる。
【解決手段】本基板検査装置は、基板上の被検査対象ａに上方から照明光を照射する上側照明具１１０と、斜め側方から照明光を照射する下側照明具１２０と、上側照明具および下側照明具の軸中心上方に設けられた撮影部１３０と、撮影部と被検査対象との間に挿入可能に設けられた斜め画像を撮影しうるように撮影部の光路を被検査対象の斜め方向に誘導する光学手段１４０と、光学手段を移動、回転させることより平面画像と斜め画像の撮影の切換えおよび斜め画像の撮影方向の変更を行う光路変更手段１５０と、これらを制御すると共に、撮影した画像に基づいて被検査対象の状態の良否を判定する制御手段２００と、を備える。この基板検査装置は、さらに、スリット光照射手段１９０を備えることができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板検査装置および基板検査方法に関し、さらに詳しくは、簡易な構成により、検査対象に応じて平面画像と斜め画像の撮影の切換えが可能な基板検査装置および基板検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、被検査対象の上部に配置したカメラによって撮影した画像により、被検査対象である部品の実装状態（欠品、位置ズレや半田不良など）を検査することが行われていた。しかしながら、基板の上から基板面に対して平行に撮影した画像である平面画像を用いる検査では、基板上に実装された小さな部品の実装状態やリードの浮き、小型電子部品の小さく急峻な半田形状といった被検査対象の３次元形状を正確に認識することが困難であるといった問題があった。
そのため、上記検査装置で検査を行った後、不良と判定された箇所を再検査や修理するために、基板面に対して斜めに配置したカメラや、上部に配置したカメラとそのカメラの光路を基板面に対して斜め方向を向ける鏡筒とを用いて被検査対象の斜め画像を撮影する提案がある（例えば、特許文献１および特許文献２）。これらの提案にあっては、平面画像の撮影ができないため、斜めから目視する専用機として、上記の平面画像に基づいた検査を行う装置とは別に用いる必要があった。
一方、上部と斜めに複数のカメラを配置し平面画像と斜め画像とを撮影できる提案があるが（例えば、特許文献３および特許文献４）、装置の価格が高価になるのみならず、複数のカメラを同一条件で制御するための制御系が複雑になるといった問題を有していた。また、基板外周に対して斜めに配置される部品があるため、複数のカメラと照明とを回転する大きな駆動手段が必要になるといった問題を有していた。
【０００３】
【特許文献１】特開平８−３０４２９９号公報
【特許文献２】特開２００６−２２０４２５号公報
【特許文献３】特開平１−７９８７４号公報
【特許文献４】特開平２−２６８２６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は上記の問題を解決せんとするもので、簡易な構成により平面（直視）画像と斜め（斜視）画像の撮影が可能な基板検査装置および基板検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、以下の通りである。
１．プリント配線基板上に実装された部品の実装状態等を検査する基板検査装置であって、
基板上の被検査対象に上方から照明光を照射するリング状の上側照明具と、
上記上側照明具と同軸芯であり且つ該上側照明具の周方向外側の下方に設けられ且つ上記被検査対象に斜め側方から照明光を照射するリング状の下側照明具と、
上記上側照明具および上記下側照明具の軸中心上方に設けられた撮影部と、
上記撮影部と上記被検査対象との間に挿入可能に設けられ且つ上記基板面に対して傾斜した被検査対象の斜め画像を撮影しうるように上記撮影部の光路を該被検査対象の斜め方向に誘導する光学手段と、
上記光学手段を上記撮影部と上記被検査対象との間に移動させる移動手段、および該光学手段を該撮影部の視野中心を回転軸として回転させる回転手段を備え、これにより平面画像と斜め画像の撮影の切換えおよび斜め画像の撮影方向の変更を行う光路変更手段と、
上記上側照明具および上記下側照明具の点灯、上記撮影部による撮影、ならびに上記光路変更手段の動作を制御すると共に、上記撮影部により撮影した画像に基づいて被検査対象の状態の良否を判定する制御手段と、を備えることを特徴とする基板検査装置。
２．上記１．において、上記光学手段は、
上記撮影部の視野中心から周方向外側に延びるように設けられた鏡筒と、
上記撮影部の視野中心軸上であって上記鏡筒の上記撮影部側端部に設けられた第１反射鏡と、
上記鏡筒の上記周方向外側端部に設けられた第２反射鏡と、
上記第１反射鏡および上記第２反射鏡を介した上記撮影部から上記被検査対象までの該撮影部の光路上に設けられ且つ該光路の長さを補正するための光路長補正手段を備えることを特徴とする。
３．上記２．において、上記光路長補正手段は、上記撮影部の光路上であって上記第１反射鏡および上記第２反射鏡の間に設けられた１群または複数群のレンズ系であることを特徴とする。
４．上記２．において、上記光路長補正手段は、上記撮影部の光路上であって上記第２反射鏡を間に介して設けられた複数群のレンズ系であることを特徴とする。
５．上記２．において、上記光路長補正手段は、凹面の反射面をそれぞれ有する上記第１反射鏡および上記第２反射鏡であることを特徴とする。
６．上記１．乃至５．のいずれかにおいて、上記光学手段は、上記撮影部側とは別の端部側を軸として水平方向に回動可能に固定され、上記移動手段により上記撮影部下部に回動させられたときに上記撮影部の光路を上記被検査対象の斜め方向に誘導することを特徴とする。
７．上記１．乃至５．のいずれかにおいて光学手段は、水平方向に摺動可能に固定され、上記移動手段により上記撮影部下部に摺動させられたときに上記撮影部の光路を上記被検査対象の斜め方向に誘導することを特徴とする。
８．上記１．乃至７のいずれかにおいて、さらにスリット光照射手段を備え、
上記光学手段は、上記第１反射鏡の裏面に設けられた第３反射鏡をさらに備え、
上記スリット光照射手段は、上記第３反射鏡を介して被検査対象に向かって基板面に垂直なスリット光を照射可能であり且つ上記光学手段と水平に対向する周方向外側の位置に設けられ、
上記制御手段は、上記スリット光照射手段の点灯をさらに制御することを特徴とする。
９．プリント配線基板上に実装された部品の実装状態等を検査する基板検査方法であって、
基板上の被検査対象に上方および斜め側方から照明光を照射し、該被検査対象の上方に設けられた撮影部により該上方および斜め側方から照射された照明光による基板面に平行な平面画像をそれぞれ撮影する平面画像取得工程と、
上記被検査対象に斜め側方から照明光を照射し、上記撮影部および該被検査対象の間に移動可能に設けられ且つ該撮影部の光路を該被検査対象の斜め方向に誘導する光学手段を介して基板面に対して傾斜した上方および／または斜め画像を撮影する斜め画像取得工程と、
取得した上記平面画像および上記斜め画像より上記被検査対象の状態を得るための処理を行う画像処理工程と、
上記画像処理工程によって得られた処理結果と基準データとを比較して上記被検査対象の状態の良否を判定する良否判定工程と、を備えることを特徴とする基板検査方法。
１０．上記９．において、上記被検査対象にスリット光照射手段により基板面に垂直なスリット光を照射し、上記光学手段を介して基板面に対して傾斜したスリット光照射斜め画像を撮影するスリット光照射斜め画像取得工程をさらに備え、
上記画像処理工程は、取得した上記スリット光照射斜め画像より上記被検査対象の状態を得るための処理をさらに行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の基板検査装置によると、基板上の被検査対象に上方から照明光を照射するリング状の上側照明具と、上側照明具と同軸芯であり且つ上側照明具の周方向外側の下方に設けられ且つ被検査対象に斜め側方から照明光を照射するリング状の下側照明具と、上側照明具および下側照明具の軸中心上方に設けられた撮影部と、撮影部と被検査対象との間に挿入可能に設けられ且つ基板面に対して傾斜した被検査対象の斜め画像を撮影しうるように撮影部の光路を被検査対象の斜め方向に誘導する光学手段と、光学手段を撮影部と被検査対象との間に移動させる移動手段および光学手段を撮影部の視野中心を回転軸として回転させる回転手段を備える光路変更手段と、上側照明具および下側照明具の点灯、撮影部による撮影、ならびに光路変更手段の動作を制御すると共に、撮影部により撮影した画像に基づいて被検査対象の状態の良否を判定する制御手段と、を備えることを特徴とする。これにより、簡易な構成により迅速に光学手段を使用および不使用位置に移動させることができるため、被検査対象の上方に設けられた１つのカメラのみで、検査目的に応じて光学手段を適宜な位置へ切換えて、基板面に対して平行な被検査対象の平面画像と、基板面に対して傾斜した被検査対象の斜め画像とを撮影することができる。
【０００７】
また、光学手段が、撮影部の視野中心から周方向外側に延びるように設けられた鏡筒と、撮影部の視野中心軸上であって鏡筒の撮影部側端部に設けられた第１反射鏡と、鏡筒の周方向外側端部に設けられた第２反射鏡と、第１反射鏡及び第２反射鏡を介した撮影部から被検査対象までの撮影部の光路上に設けられ且つ光路の長さを補正するための光路長補正手段を備える場合は、光学手段を簡易に構成することができると共に、平面画像撮影時と斜め画像撮影時の光路長の違いによる拡大率の補正を、画像を切換えるつどに行う必要が無いといった効果がある。
【０００８】
さらに、光路長補正手段が、カメラの光路上であって第１反射鏡と第２反射鏡との間に設けられた１群もしくは複数群のレンズ系である場合、または第２反射鏡を間に介して設けられた複数群のレンズ系である場合は、光路長補正手段をより簡易な構成にすることができる。
また、光路長補正手段が、凹面の反射面をそれぞれ有する第１反射鏡および第２反射鏡である場合は、光路長補正手段をより一層簡易な構成にすることができる。
【０００９】
さらに、光学手段が、撮影部側とは別の端部側を軸として水平方向に回動可能に固定され、移動手段により撮影部下部に回動させられたときに撮影部の光路を被検査対象の斜め方向に誘導する場合、または水平方向に摺動可能に固定され、移動手段により撮影部下部に摺動させられたときに撮影部の光路を被検査対象の斜め方向に誘導する場合は、より簡易な構成で、より迅速に光学手段を移動させて撮影する画像を切換えることができる。
【００１０】
また、上記基板検査装置が、スリット光照射手段をさらに備え、光学手段が、第１反射鏡の裏面に設けられた第３反射鏡をさらに備え、スリット光照射手段が、第３反射鏡を介して被検査対象に向かって基板面に垂直なスリット光を照射可能であり且つ光学手段と水平に対向する周方向外側の位置に設けられ、制御手段が、スリット光照射手段の点灯をさらに制御する場合は、被検査対象に対して照射したスリット光により、被検査対象の３次元形状の判定が容易になるといった効果がある。
【００１１】
本発明の基板検査方法によると、基板上の被検査対象に上方および斜め側方から照明光を照射し、被検査対象の上方に設けられた撮影部により上方および斜め側方から照射された照明光による基板面に平行な平面画像をそれぞれ撮影する平面画像取得工程と、被検査対象に上方および／または斜め側方から照明光を照射し、撮影部および被検査対象の間に移動可能に設けられ且つ撮影部の光路を被検査対象の斜め方向に誘導する光学手段を介して基板面に対して傾斜した斜め画像を撮影する斜め画像取得工程と、取得した平面画像および斜め画像より被検査対象の状態を得るための処理を行う画像処理工程と、画像処理工程によって得られた処理結果と基準データとを比較して被検査対象の状態の良否を判定する良否判定工程と、を備えることを特徴とする。これにより、検査目的に応じて、基板面に対して平行な被検査対象の平面画像と、基板面に対して傾斜した被検査対象の斜め画像と、を撮影し、それらに基づいた適切な検査を実現できる。
【００１２】
また、上記基板検査方法が、被検査対象にスリット光照射手段により基板面に垂直なスリット光を照射し、カメラにより基板面に対して傾斜した被検査対象のスリット光照射斜め画像を光学手段を介して撮像するスリット光照射斜め画像取得工程をさらに備え、画像処理工程が、取得したスリット光照射斜め画像より被検査対象の状態を得るための処理をさらに行う場合は、スリット光照射斜め画像に基づいて、被検査対象の３次元形状を容易に判定できることにより、高精度な検査を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態について説明する。ここでは、下記の順序に従って本発明の実施の形態について説明する。
（１）本発明の構成：
（２）基板検査処理（基板検査方法）：
（３）他の実施形態：
なお、本発明に係る基板検査装置および基板検査方法により、基板上に実装された部品の正誤、ずれ量（位置ズレ、浮き、回転等）、半田付け状態等の検査を実現できる。
【００１４】
（１）本発明の構成：
図１は、本実施形態の基板検査装置の概略ブロック図であり、この基板検査装置は、撮影手段１００と制御手段２００と表示手段３００とを備えている。
撮影手段１００は、図２（Ａ）および（Ｂ）に示すように、赤色の光を照射する上側照明具１１０と、白色の光を照射する下側照明具１２０と、両照明具の中心位置の上部に両照明具と一体に固定されたカメラ（本発明に係る撮影部として例示する）１３０と、被検査対象の斜め画像を撮影するための光学手段１４０と、この光学手段１４０を使用、不使用位置に移動させる旋回手段（本発明に係る移動手段として例示する）１５１および光学手段１４０の使用時に斜め画像の撮影方向を変更する回転手段１５２を備える光路変更手段１５０と、これらを収容するケース１６０と、このケース１６０をＸ方向（図１の左右方向）に移動させるためのＸ軸駆動機構１７０と、被検査基板Ｐを載置してＹ方向へ移動させるためのステージ１８０と、を備えている。また、この撮影手段１００は、スリット光照射手段１９０をさらに備えている。そして、この撮影手段１００は、制御手段２００により制御される。
【００１５】
カメラ１３０は、基板面に対して垂直上方に設けられている。また、カメラ１３０は、有効画素数の十分に大きいＣＣＤカラーカメラを使用している。ただし、このカメラ１３０に白黒カメラを採用し、下側照明具１２０に赤色、緑色、青色の３色の各ＬＥＤを用い、ＲＧＢの各ＬＥＤを順次点灯させて撮影した画像を合成することにより、カラー画像を生成することも可能である。
【００１６】
上側照明具１１０は、リング状でカメラ１３０の外周に支持固定されており、この上側照明具１１０には、赤色のＬＥＤ１１１と上側拡散板１１２が配置されている。また、下側照明具１２０は、ケース１６０に固定され、この下側照明具１２０には、白色のＬＥＤ１２１と下側拡散板１２２が配置されている。
ここで、上段に赤色を用いるのは、基板面のレジストの色が緑である場合に赤に対する補色である緑の輝度が下がり、検査対象となる部品等の抽出が容易となるためである。したがって、この上段の照明光の色は、レジスト色の補色となるように、適宜、青色、緑色、白色、橙色、紫色等の種々の色を選択すればよい。
また、上記において、下段のＬＥＤの色を白色と説明したが、赤、青、緑のＬＥＤを用いて３色点灯により白色光を発光するようにしてもよく、また、複数色のＬＥＤを収容し、検査する基板に応じた色のＬＥＤ色を選択するようにしてもよい。したがって、下側照明具１２０に用いるＬＥＤの色としては、部品と基板とのコントラストが損なわれないような光色のＬＥＤを適宜選択すればよい。
【００１７】
なお、図４（Ａ）および（Ｂ）にそれぞれ示すように、ＬＥＤ１１１とＬＥＤ１２１は、それぞれ円周上に配置されている。ただし、ＬＥＤの個数と配列については必要とする明るさに応じて最適な個数と配列を決定すればよい。
また、上側拡散板１１２および下側拡散板１２２は、いずれも、乳白色の樹脂製拡散板からなり、図２に示すように、上側拡散板１１２は基板面に対して平行な薄板の形状、下側拡散板１２２は基板面に対して傾斜した面を有する形状をそれぞれなし、上方と斜め側方から均一な拡散光を基板面に照射できる構造となっている。ただし、本発明においては、上方および斜め側方からそれぞれ均一な拡散光を基板面に照射できればよく、拡散板の形状、材質、色等については特に限定されない。
【００１８】
光学手段１４０は、カメラ１３０の視野中心から周方向外側に延びるように設けられた鏡筒１４１と、カメラ１３０の視野中心軸上であって鏡筒１４１のカメラ１３０側端部に設けられた第１反射鏡１４２と、他端部側に設けられた第２反射鏡１４３と、鏡筒１４１内であって第１反射鏡１４２と第２反射鏡１４３との間に設けられた光路長補正レンズ系（本発明に係る光路長補正手段として例示する）１４４と、を備えている。また、光学手段１４０は、鏡筒１４１のカメラ１３０側とは別の端部側を軸として水平方向に回動可能に固定されており、これにより、平面画像と斜め画像の撮影の切換えのために、カメラ１３０の視野の内外に移動可能となる。
【００１９】
第１反射鏡１４２および第２反射鏡１４３は、各反射面が基板面に対してそれぞれ１３５°と６７．５°傾けられた状態で鏡筒１４１に取着されており、これにより、カメラ１３０の光路を、被検査対象ａの斜め４５°側方へと誘導することができる。ただし、斜め画像の撮影方向の角度は４５°に限定されるものではなく、第２反射鏡の傾斜角を、例えば、５５°〜８０°等に設定して、７０°〜２０°等の斜め画像の撮影方向の角度としてもよい。また、斜め画像の撮影方向の角度は、好ましくは、２０°〜７０°、さらに好ましくは、３０°〜６０°である。
【００２０】
光路長補正レンズ系１４４は、凹レンズと凸レンズを２枚組み合わせて１群のレンズ系をなしており、斜め画像を撮影する際に、平面画像を撮影する際との光路長の差を補正する。ただし、本発明においては、斜め画像と平面画像を撮影する際の光路長の差を補正できればよく、その形態等は特に限定されない。
また、光学手段１４０は、第１反射鏡１４２の裏面に、基板面に対して４５°傾けられた状態で鏡筒１４１に取着された第３反射鏡１４５をさらに備えており、後述するスリット光照射手段１９０から照射されたスリット光を被検査対象ａに向けて反射する。
【００２１】
光路変更手段１５０は、光学手段１４０を使用、不使用位置に移動させる旋回手段１５１と光学手段１４０使用時に斜め画像の撮影方向を変更する回転手段１５２とを備えている。旋回手段１５１は、電磁ソレノイドによって構成され、アーマチュアの先端が鏡筒１４１の側面に、コイル側が回転手段１５２にそれぞれ取着され、これにより、光学手段１４０を旋回移動させることができる。回転手段１５２は、円盤状の回転テーブル１５２ａとステッピングモータ１５２ｂとからなる。回転テーブル１５２ａは、図示しない回転機構により、カメラ１３０の視野中心を回転軸として回転可能に取着されている。また、回転テーブル１５２ａは、外周に歯車を備えており、その歯車と係合する歯車を介してステッピングモータ１５２ｂに接続されることにより、時計方向または反時計方向に各々１８０°回転可能となっている。これにより、光学手段１４０を介して斜め画像を撮影する際の撮影方向の変更が可能となる。
【００２２】
ここで、旋回手段１５１としては、光学手段１４０を旋回させることができればよく、上記電磁ソレノイドに限定されない。この場合、旋回手段１５１として、空気圧シリンダ、油圧シリンダ、リニアモータ、回転モータ等、種々のアクチュエータを選択することができる。
また、回転手段１５２としては、斜め画像の撮影方向を変更しうるように光学手段１４０を水平方向に回転させることができればよく、上記回転テーブルとステッピングモータを用いる形態に限定されない。
【００２３】
ケース１６０は、Ｘ軸移動手段１７０に取着されており、その内側に上側照明具１１０、下側照明具１２０、カメラ１３０、光学手段１４０、光路変更手段１５０およびスリット光照射手段１８０を収容している。
Ｘ軸移動手段１７０は、図示しない駆動機構により、ケース１６０をＸ方向（図２の左右方向）に移動させる。その構成は特に限定されず、ガイドウェイに沿って摺動可能に設けられたスライダをボールねじによって駆動する構成等、適宜選択することができる。
ステージ１８０は、適宜な支持手段によって基板Ｐを支持し、ケース１６０の移動方向と水平方向に直交するＹ方向に移動する。
【００２４】
撮影手段１００は、被検査対象ａに対して光切断法による検査を行うためのスリット光を照射するスリット光照射手段１９０をさらに備えている。このスリット光照射手段１９０は、光学手段１４０に対向する位置に設けられており、光学手段１４０の第３反射鏡１４５を介して、被検査対象ａに向かって基板面に垂直なスリット光を照射することができる。
ここで、光切断法について説明する。被検査対象ａに対して基板面に垂直にスリット光を照射した場合、図３（Ａ）に示すように、被検査対象ａの上面および基板面にはスリット光による切断線Ｓが出現する。これを斜め方向から見ると、図３（Ｂ）、（Ｃ）および（Ｄ）に示すように、被検査対象ａの正常な実装（図３（Ｂ））、位置ズレ（図３（Ｃ））、浮き（図３（Ｄ））に対して、それぞれの線Ｓ１’、Ｓ２’およびＳ３’の形状に差が生じることに基づいて、直視画像からは判別が困難な検査を実現できるものである。具体的には、図３（Ｃ）に示すように、被検査対象ａに位置ズレが生じた状態における切断線Ｓ２を斜め方向から見た場合の線Ｓ２’では、被検査対象ａの上面に形成される切断線と基板Ｐの表面に形成されるいずれか片側の切断線とが高低差のある連続した線として出現し、また、図３（Ｄ）に示すように、被検査対象ａに浮きが生じた状態における切断線Ｓ３を斜め方向から見た場合の線Ｓ３’では、被検査対象ａの上面に形成される切断線と基板Ｐの表面に形成される切断線とが高低差の大きな平行な直線として出現する。これらと、図３（Ｂ）に示すように、正常な実装状態における切断線Ｓ１を斜め方向から見た場合の線Ｓ１’、すなわち、基準となるパターンとを比較することにより、実装状態の良否を判別することができる。
【００２５】
なお、判別の手法としては、上記のほかに種々の方法が採用可能であり、例えば、判別の困難な微小な部品に対しては、複数のスリット光を照射し、極値を積分することにより差を大きくしてから基準値と比較する手法が有効である。
また、図３（Ｃ）に示すように、被検査対象ａに位置ズレが生じた状態では、被検査対象ａの上面に形成される切断線の長さｗ２の値が、正常に実装された状態である図３（Ｂ）のｗ１の値と比較して大きくなり、また、図３（Ｄ）に示すように、被検査対象ａに浮きが生じた状態では、その高さの差ｈ３の値が、正常に実装された状態である図３（Ｂ）のｈ１の値と比較して大きくなる。これらの値を算出して、基準となる正常な実装状態における値と比較することにより、良否を判定するようにしてもよい。
【００２６】
制御手段２００は、画像入力部２１０と、カメラコントロール部２１５と、照明コントロール部２２０と、Ｘ軸・Ｙ軸駆動部２２５と、回転移動制御機能と旋回移動制御機能を含む光路変更制御部２３０と、メモリ２３５と、サブＣＰＵ２４０と、入力部２４５と、出力部２５０と、ＣＰＵ２６０と、を備えている。そして、この構成において、ＣＰＵ２６０は、入力部２４５による制御スタートの制御指令の下でメモリ２３５に記録された検査プログラム２３５ａを実行して各部を制御したり、所定の演算処理を実施したり、また撮影画像や、サブＣＰＵ２４０による良否判定の判定結果を表示手段３００に表示することができる。
【００２７】
画像入力部２１０とカメラコントロール部２１５は、それぞれカメラ１３０に接続され、ＣＰＵ２６０が実行する検査プログラム２３５ａにおいて、メモリ２３５に記録された検査用データ２３５ｂに基づいて、所定のタイミングで基板面の撮影を行うと共に撮影したデジタルフレーム画像を入力する。
照明コントロール部２２０は、上側照明具１１０、下側照明具１２０およびスリット光照射手段１９０にそれぞれ接続され、メモリ２３５に記録された検査用データ２３５ｂに基づいた撮影タイミングに応じて各照明を順次点灯させる。
【００２８】
Ｘ軸・Ｙ軸駆動部２２５は、図示しないＸ軸駆動機構およびＹ軸駆動機構を介してＸ軸移動手段１７０およびステージ１８０に接続され、メモリ２３５に記録された検査用データ２３５ｂに基づいて、検査位置座標まで駆動し被検査対象ａをカメラ１３０の視野範囲に移動させる。
なお、上記において、カメラ１３０側をＸ方向へ、基板Ｐ側をＹ方向へそれぞれ移動させて撮影位置を変更する方法を説明したが、カメラ１３０側をＸ−Ｙ方向へ移動させたり、基板Ｐ側をＸ−Ｙ方向へ移動させたりするようにしてもよい。
【００２９】
光路変更制御部２３０は、光路変更手段１５０の旋回手段１５１と回転手段１５２に接続されており、メモリ２３５に記録された検査用データ２３５ｂに基づいて、旋回手段１５１を介して光学手段１４０を使用、不使用の各位置に移動させ、また、光学手段１４０使用時、すなわち斜め画像撮影時には、所定の撮影方向となるように回転手段１５２を介して光学手段１４０を回転させる。
【００３０】
メモリ２３５は、データを蓄積可能な記録媒体であり、各種検査を実行するための検査プログラム２３５ａと、基板Ｐ上の検査位置座標（部位）を含む部品データや照明と撮影の制御に関するデータを記憶した検査用データ（部品ライブラリ）２３５ｂと、良否判定の基準値に関する判定基準データ２３５ｃが記録されている。また、メモリ２３５は検査処理過程で生成される各種データを記憶することが可能で、カメラ１３０で撮影された撮像データ２３５ｄと、撮像データ２３５ｄを画像処理して生成される画像処理データ２３５ｅと、画像処理データ２３５ｅと判定基準データ２３５ｃとを比較して得られる被検査対象ａの良否判定結果である判定結果データ２３５ｆと、を記憶することができる。なお、メモリ２３５は、データを蓄積可能であれば、ＨＤＤやＤＶＤ−ＲＷなどリード／ライトが可能な如何様な形態の記録媒体であってもよい。
【００３１】
サブＣＰＵ２４０は、ＣＰＵ２６０が実行する撮影記憶処理と並行して画像処理および良否判定処理を実行する３台の画像処理判定部２４０ａ、２４０ｂ、２４０ｃからなる。ただし、並列処理するサブＣＰＵ２４０の台数は３台に限定されるものではなく、必要とするタクト時間に見合った処理能力となるように台数を選択すればよい。さらに、ＣＰＵ２６０が必要とするタクト時間に見合った処理能力を備えているのであれば、ＣＰＵ２６０により画像処理および良否判定処理を実行する形態としてもよい。
入力部２４５は、操作者によるプログラムのスタートや基準値などの各種設定入力を受付けるキーボードやマウスなどの入力機器から構成される。
出力部２５０は、映像信号を外部へ出力するインターフェースであり、表示手段３００に接続されている。
【００３２】
表示手段３００は、液晶ディスプレイ等の表示装置からなり、制御手段２００の出力部２５０に接続されている。なお、表示手段３００は、画像を表示する機能を備えた機器であればよく、表示素子として液晶に限定されないことは勿論である。また、説明の便宜上、表示手段を制御手段とは別体で表現したが、ノートパソコンのように制御手段と表示手段とが一体の構成を持つ装置を用いてもよい。
【００３３】
（２）基板検査処理（基板検査方法）：
次に、上記基板検査装置の構成による基板検査処理について説明する。ここでは、例として、２通りの基板検査処理を説明する。なお、本基板検査処理（基板検査方法）は、上記基板検査装置の構成を如何様にも適用して実施することができる。
【００３４】
（２−１）基板検査処理１
本基板検査処理１について、図５および６のフローチャートに従い説明する。なお、図５はそれぞれ検査プログラム２３５ａとしてメモリ２３５に記録されているプログラムで、それぞれ撮影記憶処理ならびに平面（直視）画像および斜め（斜視）画像の画像処理・良否判定処理を実行する。また、図５は、被検査基板Ｐの全ての検査対象部（被検査対象）の直視撮影を最初に実施し、その撮影した直視画像に基づいた良否判定において不良と判定された箇所をさらに斜視撮影する撮影記憶処理プログラムであり、図６は、撮影した直視画像および斜視画像をそれぞれ画像処理し、それらと判定の基準となるデータとを比較し、判定結果として、判定結果のデータファイルを作成する画像処理・良否判定処理プログラムである。
【００３５】
本基板検査処理１の撮影記憶処理プログラムは、図５に示すように、被検査基板Ｐがステージ１８０に支持され、検査プログラム２３５ａがスタートすると、ＣＰＵ２６０は、直視撮影位置数Ｎを記憶した直視撮影位置カウンタｎを１にセットする（ステップＳ１００）。そして、メモリ２３５の検査用データ２３５ｂを取得してｎ番目の撮影位置（ｎ番目の被検査対象ａｎの位置）の撮影位置座標を読み取り（ステップＳ１０５）、Ｘ軸・Ｙ軸駆動部２２５から駆動信号を図示しない駆動機構に出力してＸ軸移動手段１７０およびステージ１８０を駆動し、被検査対象ａｎをカメラ１３０の視野範囲に配置させる（ステップＳ１１０）。次に、上側照明具１１０を点灯して画像を撮影し、撮像データ２３５ｄとしてメモリ２３５に記憶する（ステップＳ１１５）。同様に、下側照明具１２０を点灯して画像を撮影し、撮像データ２３５ｄとしてメモリ２３５に記憶する（ステップＳ１２０）。
【００３６】
ここで、各撮影位置について上下各照明による直視画像の撮影が完了するごとに、各撮像データ２３５ｄは、各被検査基板ごとに作成される直視画像の撮像データの一覧表（直視画像データファイル）にリストアップされる。このとき、記載された撮像データ２３５ｄが、サブＣＰＵ２４０による画像処理・良否判定処理が未処理であるという情報（未処理フラグ）も同時に記載する。そして、この直視画像データファイル記載された撮像データ２３５ｄは、図６に示す、サブＣＰＵ２４０による画像処理・良否判定処理プログラムにより順次処理される。
【００３７】
次いで、直視撮影位置カウンタｎが予め設定された直視撮影位置数の最大値Ｎに達しているか否かを判別し（ステップＳ１２５）、最大値Ｎに達していると判別されなければ直視撮影位置カウンタｎをインクリメントして（ステップＳ１３０）、ステップＳ１０５以降の処理を繰り返す。ステップＳ１２５にて直視撮影位置カウンタｎが最大値Ｎに達していると判別された場合には、直視画像（平面画像）の撮影が全て完了したこと知らせる直視画像撮影終了信号を出力し（ステップＳ１３５）、不良判定箇所の斜視画像を取得するステップへと移行する。
【００３８】
不良判定箇所の斜視画像の撮影記憶処理では、まず、直視画像の撮影記憶処理と並行して実行されるサブＣＰＵ２４０による直視画像の良否判定処理の結果から、不良と判定され、斜視画像の撮影記憶処理を要する箇所の有無を確認、すなわち、斜視撮影位置数Ｍが０であるか否かを判別する（ステップＳ１４０）。
ここで、斜視撮影位置数Ｍは、直視画像の撮影記憶処理と並行して実行されるサブＣＰＵ２４０による直視画像の良否判定処理において、不良と判定された箇所が発生するごとにインクリメントされる数値である。すなわち、直視画像の撮影記憶処理と良否判定処理は並行して実行されているので、斜視撮影位置数Ｍの数値は、直視画像の良否判定処理が終了するまで未定である。
【００３９】
ステップＳ１４０において、斜視撮影位置数Ｍが０である場合は、直視画像良否判定処理終了信号の有無を確認、すなわち、直視画像の良否判定処理が終了しているか否かを確認する（ステップＳ１４５）。そして、直視画像良否判定処理終了信号がある場合は、ステップＳ１８５へ移行し、直視画像良否判定処理終了信号がない場合は、ステップＳ１４０以降の処理を繰り返す。
【００４０】
また、ステップＳ１４０において、斜視撮影位置数Ｍが０でないと判別された場合は、斜視画像の撮影記憶処理を要する箇所の数（斜視撮影位置数）Ｍを記憶した斜視撮影位置カウンタｍを１にセットする（ステップＳ１５０）。そして、検査用データ２３５ｂとして記録されている、ｍ番目の撮影位置（ｍ番目の被検査対象ａｍの位置）の撮影位置座標および斜視画像撮影方向のデータを読み取り（ステップＳ１５５）、Ｘ軸・Ｙ軸駆動部２２５から駆動信号を図示しない駆動機構に出力してＸ軸移動手段１７０およびステージ１８０を駆動し、被検査対象ａｍをカメラ１３０の視野範囲に配置させ、さらに光学手段１４０をカメラ１３０の下部に旋回移動させると共に斜視画像の撮影方向に回転移動させる（ステップＳ１６０）。次に、上側照明具１１０を点灯して画像を撮影し、撮像データ２３５ｄとしてメモリ２３５に記憶する（ステップＳ１６５）。同様に、下側照明具１２０を点灯して画像を撮影し、撮像データ２３５ｄとしてメモリ２３５に記憶する（ステップＳ１７０）。さらに、スリット光照射手段１９０を点灯してスリット光を照射し、被検査対象ａｍのスリット光照射画像（光切断画像）を撮影し、撮像データ２３５ｄとしてメモリ２３５に記憶する（ステップＳ１７５）。
【００４１】
ここで、上記直視画像の撮影と同様に、不良判定された各箇所の斜視画像の撮影が完了するごとに、各撮像データ２３５ｄは、各被検査基板ごとに作成される斜視画像の撮像データの一覧表（斜視画像データファイル）にリストアップされる。このとき、記載された撮像データ２３５ｄが、サブＣＰＵ２４０による画像処理・良否判定処理が未処理であるという情報（未処理フラグ）も同時に記載する。そして、この斜視画像データファイルに記載された撮像データ２３５ｄは、図６に示す、サブＣＰＵ２４０による画像処理・良否判定処理プログラムにより順次処理される。
【００４２】
次いで、斜視撮影位置カウンタｍが、設定された斜視撮影位置数の最大値Ｍに達しているか否かを判別し（ステップＳ１８０）、最大値Ｍに達していると判別されなければ斜視撮影位置カウンタｍをインクリメントして（ステップＳ１８５）、ステップＳ１５５以降の処理を繰り返す。ステップＳ１８０にて斜視撮影位置カウンタｍが最大値Ｍに達していると判別された場合には、直視画像良否判定処理終了信号の有無を確認する（ステップＳ１９０）。そして、直視画像良否判定処理終了信号がない場合は、ステップＳ１８０以降の処理を繰り返し、直視画像良否判定処理終了信号がある場合は、斜視画像の撮影が全て完了したこと知らせる斜視画像撮影終了信号を出力する（ステップＳ１９５）。
【００４３】
次に、良否判定結果データファイル（図７参照）の形式でメモリ２３５に記録された、撮影記憶処理と並行して実行される、サブＣＰＵ２４０による良否判定処理の判定結果である判定結果データ２３５ｆを読取り（ステップＳ２００）、斜視画像良否判定処理終了信号の有無の確認、すなわち、斜視画像の良否判定処理が終了しているか否かを確認する（ステップＳ２０５）。そして、斜視画像良否判定処理終了信号がない場合は、ステップＳ２００以降の処理を繰り返し、斜視画像良否判定処理終了信号がある場合は、ステップＳ２００にて読み取った良否判定結果データファイル（図７参照）を出力部２５０から表示手段３００に出力し（ステップＳ２１０）、撮影記憶処理プログラムを終了する。
なお、上記撮影記憶処理プログラムにおいては、上側照明具１１０、下側照明具１２０およびスリット光照射手段１９０によるそれぞれの斜視画像を連続して撮影する方法を例示したが、被検査対象ａに応じて適宜選択または組み合わせるようにしてもよい。
【００４４】
次に、図６に示す、画像処理・良否判定処理プログラムについて説明する。このプログラムは、上記撮影記憶処理プログラムと並行して実行され、上記撮影記憶処理プログラムにより撮影された直視画像に基づいて画像処理および良否判定を行ったのち、その良否判定に基づいてさらに撮影された斜視画像に基づいて画像処理および良否判定を行うプログラムである。
最初に、画像処理・良否判定処理プログラムが起動すると、サブＣＰＵ２４０の各画像処理判定部２４０ａ、２４０ｂ、２４０ｃは、上記撮影記憶処理によって作成された直視画像データファイルをそれぞれ順次読み取り（ステップＳ３００）、この中に画像処理・良否判定処理が未処理であるものがあるか否か、すなわち未処理フラグが立っているものがあるか否かを判別する（ステップＳ３１０）。未処理フラグが立っている撮像データ２３５ｄがある場合は、その撮像データ２３５ｄの画像データを読取る（ステップＳ３２０）。このとき、この撮像データ２３５ｄの未処理フラグの消去を同時に行う。
【００４５】
次に、読取った画像に検査ウィンドウを設定して画像処理を実行してウィンドウ内のパターン抽出を行い、この抽出したパターン（画像処理結果）を画像処理データ２３５ｅとして取得する（ステップＳ３３０）。次いで、判定基準データ２３５ｃとして記録されている、この検査対象部位（被検査対象）の良否判定を行うための基準パターンとなるデータをメモリ２３５から取得し、これと上記の画像処理データ２３５ｅのパターンとを比較して良否を判定する（ステップＳ３４０）。このとき、この判定結果を、判定結果データ２３５ｆとして、良否判定結果データファイル（図７参照）の形式でメモリ２３５に記録する。また、その判定結果が不良である場合、斜視撮影位置数Ｍをインクリメントする。そして、ステップＳ３００以降の処理を繰り返す。
【００４６】
ここで、良否判定結果データファイルについて説明する。良否判定結果データファイルは、図７に示すように、基板Ｐ上の全ての被検査対象に関して、番号（部品Ｎｏ．）、名称（部品名）等と、それらの直視、斜視のそれぞれの良否判定と、その良否判定において不良である場合の内容等が基板単位で一覧として記載されている。また、直視画像に基づいた良否判定において、不良と判定され斜視画像の撮影記憶処理を要する箇所の数Ｍ、すなわち、斜視撮影位置数Ｍの数値も記載されている。
この良否判定結果データファイルが表示手段３００に表示されることにより、作業者は基板の良否を速やかに確認することができ、またこの良否判定結果データファイルに示された不良箇所について、目視による再検査を行うこともできる。
【００４７】
上記ステップＳ３１０において未処理フラグが立っている撮像データ２３５ｄがないと判別された場合、ステップＳ３５０の直視画像撮影終了信号の有無の確認へ移行する。そして、直視画像撮影終了信号がない場合、すなわち、直視画像撮影記憶処理がまだ終了していない場合は、ステップＳ３００以降の処理を繰り返し、直視画像撮影終了信号がある場合は、全ての直視画像の撮像データ２３５ｄについての画像処理・良否判定処理が終了しているので、直視画像良否判定処理終了信号を出力し（ステップＳ３６０）、斜視画像の画像処理・良否判定処理へ移行する。
【００４８】
なお、上記の直視画像の画像処理・良否判定処理においては、基準データ（文字データを含む）とのパターンマッチングによって良否を判定する方法を説明したが、上段と下段の各照明の照射により撮影された各画像に対して、両者の輝度比を基準値と比較して良否を判定するようにしてもよい。すなわち、上側照明具１１０と下側照明具１２０を照射して撮影する画像において、例えば、チップ部品の凹形状の半田フィレットに検査部位（ウィンドウ）を設定した場合には、基板に対して傾斜部分と水平な部分とではそれぞれの照明具１１０、１２０から照射される照明光に対してカメラ１３０の受光素子が受光する輝度値が大きく異なるため、その輝度値の比を求め、予め設定した判定基準データ２３５ｃの基準値と比較することにより、半田形状の良否を判定することができる。
【００４９】
次に、直視画像の画像処理・良否判定処理が終了すると、サブＣＰＵ２４０の各画像処理判定部２４０ａ、２４０ｂ、２４０ｃは、作成された斜視画像データファイルをそれぞれ順次読み取り（ステップＳ４００）、この中に画像処理・良否判定処理が未処理であるものがあるか否か、すなわち未処理フラグが立っているものがあるか否かを判別する（ステップＳ４１０）。未処理フラグが立っている撮像データ２３５ｄがある場合は、その撮像データ２３５ｄの画像データを読取る（ステップＳ４２０）。このとき、この撮像データ２３５ｄの未処理フラグの消去を同時に行う。
【００５０】
次に、読取った画像に検査ウィンドウを設定して画像処理を実行してウィンドウ内のパターン抽出を行い、この抽出したパターン（画像処理結果）を画像処理データ２３５ｅとして取得する（ステップＳ４３０）。次いで、判定基準データ２３５ｃとして記録されている、この検査対象部位（被検査対象）の良否判定を行うための基準パターンとなるデータをメモリ２３５から取得し、これと上記の画像処理データ２３５ｅのパターンとを比較して良否を判定する（ステップＳ４４０）。このとき、この判定結果を、判定結果データ２３５ｆとして、良否判定結果データファイルの形式でメモリ２３５に記録する。そして、ステップＳ４００以降の処理を繰り返す。
【００５１】
上記ステップＳ４１０において未処理フラグが立っている撮像データ２３５ｄがないと判別された場合、ステップＳ４５０の斜視画像撮影終了信号の有無の確認へ移行する。そして、斜視画像撮影終了信号がない場合、すなわち、斜視画像撮影記憶処理がまだ終了していない場合は、ステップＳ４００以降の処理を繰り返し、斜視画像撮影終了信号がある場合は、全ての斜視画像の撮像データ２３５ｄについての画像処理・良否判定処理が終了しているので、斜視画像良否判定処理終了信号を出力し（ステップＳ４６０）、このプログラムを終了する。
【００５２】
なお、光切断法による斜視画像の良否判定に関して、上記パターンマッチングによる良否判定のほかに、ウィンドウ内における切断線の位置や長さ等を判定基準データ２３５ｃの基準値と比較するなど、適宜な検査手法を採用すればよい。
【００５３】
上記の基板検査処理によれば、最初に直視画像を撮影してその画像に基づいた良否判定を行い、その直視画像に基づいた良否判定において不良と判定された部位に関してさらに斜視画像に基づいた良否判定を行うので、被検査基板Ｐに対して適切な良否判定を行うことができる。
【００５４】
（２−２）基板検査処理２
本基板検査処理２について、図８および９のフローチャートに従い説明する。
図８および９はそれぞれ、検査プログラム２３５ａとしてメモリ２３５に記録されているプログラムで、それぞれ撮影記憶処理および画像処理・良否判定処理を実行する。なお、上記基板検査処理１では、最初に直視画像を撮影してその画像に基づいた良否判定を行い、その直視画像に基づいた良否判定において不良と判定された部位に関してさらに斜視画像に基づいた良否判定を行うようにしたが、本基板検査処理２では、各被検査対象について、直視画像のみを撮影する、又は直視画像と斜視画像の両方を撮影する、といったように、予め設定された直視撮影と斜視撮影を行うようにしている。
【００５５】
本基板検査処理２の撮影記憶処理プログラムは、図８に示すように、被検査基板Ｐがステージ１８０に支持され、検査プログラム２３５ａがスタートすると、ＣＰＵ２６０は、撮影位置数Ｎを記憶した撮影位置カウンタｎを１にセットし（ステップＳ５００）、メモリ２３５の検査用データ２３５ｂを読み取る（ステップＳ５０５）。この検査用データ２３５ｂには、ｎ番目の被検査対象ａｎに関する撮影位置座標、撮影回数、各撮影における撮影画像の種類、撮影方向等のデータ等が含まれている。
次に、読み取った検査用データ２３５ｂの撮影位置座標より、Ｘ軸・Ｙ軸駆動部２２５から駆動信号を図示しない駆動機構に出力してＸ軸移動手段１７０およびステージ１８０を駆動し、被検査対象ａｎをカメラ１３０の視野範囲に配置させる（ステップＳ５１０）。さらに、ステップＳ５０５にて読み取った検査用データ２３５ｂの撮影回数より、撮影回数Ｍを記憶した撮影回数カウンタｍを１にセットする（ステップＳ５１５）。
【００５６】
次いで、このｍ番目の撮影における撮影画像の種類を判別し（ステップＳ５２０）、撮影する画像が直視画像である場合は、上側照明具１１０を点灯して画像を撮影し、撮像データ２３５ｄとしてメモリ２３５に記憶する（ステップＳ５２５）。同様に、下側照明具１２０を点灯して画像を撮影し、撮像データ２３５ｄとしてメモリ２３５に記憶する（ステップＳ５３０）。ステップＳ５２０にて判別した撮影画像の種類が斜視画像である場合は、ステップＳ５０５にて読み取った検査用データ２３５ｂの、ｍ番目の撮影における斜視画像の撮影方向のデータに基づいて、光路変更手段１５０を介して、光学手段１４０を斜視画像の撮影方向に回転移動させると共にカメラ１３０の下部に旋回移動させる（ステップＳ５３５）。次に、上側照明具１１０を点灯して画像を撮影し、撮像データ２３５ｄとしてメモリ２３５に記憶する（ステップＳ５４０）。同様に、下側照明具１２０を点灯して画像を撮影し、撮像データ２３５ｄとしてメモリ２３５に記憶する（ステップＳ５４５）。さらに、スリット光照射手段１９０を点灯してスリット光を照射し、被検査対象ａｍのスリット光照射画像（光切断画像）を撮影し、撮像データ２３５ｄとしてメモリ２３５に記憶する（ステップＳ５５０）。
【００５７】
ここで、各撮影が完了するごとに、各撮像データ２３５ｄは、各被検査基板ごとに作成される撮像データの一覧表（画像データファイル）にリストアップされる。このとき、記載された撮像データ２３５ｄが、サブＣＰＵ２４０による画像処理・良否判定処理が未処理であるという情報（未処理フラグ）も同時に記載する。そして、この画像データファイルに記載された撮像データ２３５ｄは、図９に示す、サブＣＰＵ２４０による画像処理・良否判定処理プログラムにより順次処理される。
【００５８】
次いで、撮影回数カウンタｍが予め設定された撮影回数の最大値Ｍに達しているか否かを判別し（ステップＳ５５５）、最大値Ｎに達していると判別されなければ撮影回数カウンタｍをインクリメントして（ステップＳ５６０）、ステップＳ５２０以降の処理を繰り返す。ステップＳにて撮影回数カウンタｍが最大値Ｍに達していると判別された場合には、ｎ番目の被検査対象ａｎにおける画像の撮影が全て完了しているので、ステップＳ５６５へ移行する。
【００５９】
ステップＳ５６５では、撮影位置カウンタｎが、予め設定された撮影位置数の最大値Ｎに達しているか否かを判別し、最大値Ｎに達していると判別されなければ撮影位置カウンタｎをインクリメントして（ステップＳ５７０）、ステップＳ５０５以降の処理を繰り返す。ステップＳにて撮影位置カウンタｎが最大値Ｎに達していると判別された場合には、被検査基板Ｐ上の全ての撮影位置における撮影が全て完了したこと知らせる撮影終了信号を出力する（ステップＳ５７５）。
【００６０】
次に、良否判定結果データファイル（図７参照）の形式でメモリ２３５に記録された、撮影記憶処理と並行して実行される、サブＣＰＵ２４０による良否判定処理の判定結果である判定結果データ２３５ｆを読取り（ステップＳ５８０）、良否判定処理終了信号の有無の確認、すなわち、良否判定処理が終了しているか否かを確認する（ステップＳ５８５）。そして、良否判定処理終了信号がない場合は、ステップＳ５８０以降の処理を繰り返し、良否判定処理終了信号がある場合は、ステップＳ５８０にて読み取った良否判定結果データファイル（図７参照）を出力部２５０から表示手段３００に出力し（ステップＳ５９０）、撮影記憶処理プログラムを終了する。
なお、上記撮影記憶処理プログラムにおいては、上記基板検査処理１の撮影記憶処理プログラムと同様に、上側照明具１１０、下側照明具１２０およびスリット光照射手段１９０によるそれぞれの斜視画像を連続して撮影する方法を例示したが、被検査対象ａに応じて適宜選択または組み合わせるようにしてもよい。
【００６１】
次に、図９に示す、画像処理・良否判定処理プログラムについて説明する。
最初に、画像処理・良否判定処理プログラムが起動すると、サブＣＰＵ２４０の各画像処理判定部２４０ａ、２４０ｂ、２４０ｃは、作成された画像データファイルをそれぞれ順次読み取り（ステップＳ６００）、この中に画像処理・良否判定処理が未処理であるものがあるか否か、すなわち未処理フラグが立っているものがあるか否かを判別する（ステップＳ６１０）。未処理フラグが立っている撮像データ２３５ｄがある場合は、その撮像データ２３５ｄの画像データを読取る（ステップＳ６２０）。このとき、この撮像データ２３５ｄの未処理フラグの消去を同時に行う。
【００６２】
次に、読取った画像に検査ウィンドウを設定して画像処理を実行してウィンドウ内のパターン抽出を行い、この抽出したパターン（画像処理結果）を画像処理データ２３５ｅとして取得する（ステップＳ６３０）。次いで、判定基準データ２３５ｃとして記録されている、良否判定を行うための基準パターンとなるデータをメモリ２３５から取得し、これと上記の画像処理データ２３５ｅのパターンとを比較して良否を判定する（ステップＳ６４０）。このとき、この判定結果を、判定結果データ２３５ｆとして、良否判定結果データファイル（図７参照）の形式でメモリ２３５に記録する。そして、ステップＳ６００以降の処理を繰り返す。
【００６３】
上記ステップＳ６１０において未処理フラグが立っている撮像データ２３５ｄがないと判別された場合、ステップＳ６５０の撮影終了信号の有無の確認へ移行する。そして、撮影終了信号がない場合、すなわち、撮影記憶処理がまだ終了していない場合は、ステップＳ６００以降の処理を繰り返し、撮影終了信号がある場合は、全ての撮像データ２３５ｄについての画像処理・良否判定処理が終了しているので、良否判定処理終了信号を出力し（ステップＳ６６０）、このプログラムを終了する。
【００６４】
なお、上記画像処理・良否判定処理プログラムにおいては、上記基板検査処理１と同様に、上段と下段の各照明の照射により撮影された各画像に対して、両者の輝度比を基準値と比較して良否を判定するようにしてもよい。また、光切断法による斜視画像の良否判定に関しても、上記基板検査処理１と同様に、ウィンドウ内における切断線の位置や長さ等を判定基準データ２３５ｃの基準値と比較するなど、適宜な検査手法を採用すればよい。
【００６５】
上記の基板検査処理によれば、直視画像と斜視画像の撮影およびそれらの画像に基づいた良否判定を、簡便な構成からなる１台の装置で行うことができる。
【００６６】
（３）他の実施形態：
なお、本発明においては、上記実施形態に限られず、目的、用途に応じて本発明の範囲内で種々変更した実施形態とすることができる。すなわち、上記実施形態では、カメラ１３０としてカラーカメラを用いたが、これに限定されず、白黒カメラを採用してもよい。また、下側照明具１２０として、白色ＬＥＤを用いた照明具としたが、これに限定されず、赤色、緑色、青色の各ＬＥＤの合成による白色光を照射する照明具としてもよい。さらに、白黒カメラと赤色、緑色、青色の各ＬＥＤを備える照明具との組み合わせにより、これら赤色、緑色、青色の各ＬＥＤを順次点灯して撮影した各画像を合成することにより、カラー画像を生成することもできる。
【００６７】
また、上記実施形態では、光学手段１４０の光路長補正レンズ系１４４は、第１反射鏡と第２反射鏡の間に凸レンズと凹レンズを組み合わせた１群のレンズ系として設けたが、これに限定されず、図１０（Ａ）に示すように、第１反射鏡と第２反射鏡の間に複数群のレンズ系として設けるようにしてもよいし、また、図１０（Ｂ）に示すように、第２反射鏡を間に介して複数群のレンズ系を設けるようにしてもよく、さらに、図１０（Ｃ）に示すように、第１反射鏡および第２反射鏡がそれぞれ凹面の反射面を有するようにしてもよい。
また、上記実施形態では、光学手段１４０は、カメラ１３０側とは別の端部側を軸として水平方向に回動可能に固定されて旋回移動するようにしたが、これに限定されず、図１１に示すように、水平方向に摺動可能に固定して、平行移動するようにしてもよい。この場合の光学手段１４０を水平方向に摺動させる直動機構としては、ステッピングモータの中空ロータと共に回転する軸受ナットを設け、モータの回転運動を軸受ナットに組み付けたボールねじの直線運動に直接変換するコンパクトリニアアクチュエータなどを利用すればよい。
【００６８】
さらに、上記実施形態では、直視画像に基づく良否判定において不良と判定された箇所について斜視画像をさらに撮影し、この画像に基づいた良否判定をさらに実行したが、これに限定されず、微小部品の位置ズレや半田不良などのように予め直視画像だけでは誤判定の恐れがある箇所について、入念な検査を行いたい場合等は、直視画像および複数方向から撮影した斜視画像に基づいた良否判定を実行するプログラムとしてもよい。
また、微小部品が多い場合には直視、斜視および光切断の検査を適宜組み合わせて、直視と斜視の判定が共に「ＯＫ」の場合に良とするプログラムを実行することも可能である。
さらに、上記実施形態では、斜視撮影において、上側照明具１１０、下側照明具１２０およびスリット光照射手段１９０によるそれぞれの斜視画像を撮影する方法を例示したが、これに限定されず、下側照明具１２０による斜視画像のみで被検査対象ａの形状を十分識別できる場合には、下側照明具１２０の点灯による斜視撮影のみとしてもよい。また、スリット光照射手段１９０のみの斜視撮影、さらに、下側照明具１２０およびスリット光照射手段１９０による各斜視撮影等、検査条件に応じて、適宜選択または組み合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明に係る基板検査装置の概略ブロック図である。
【図２】本発明に係る撮影手段の説明図であり、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は（Ａ）のＩ−Ｉ断面図である。
【図３】光切断法による検査方法の例を示す説明図で、（Ａ）は被検査対象にスリット光を照射した状態の斜視、（Ｂ）は正常に実装された被検査対象にスリット光を照射した状態、（Ｃ）は位置ズレが生じた状態で実装された被検査対象にスリット光を照射した状態、（Ｄ）は浮きが生じた状態で実装された被検査対象にスリット光を照射した状態をそれぞれ示す。
【図４】本発明に係る照明具のＬＥＤ配置を示す説明図で、（Ａ）は上側照明具、（Ｂ）は下側照明具をそれぞれ示す。
【図５】本実施形態１に係る撮影記憶処理のフローチャートである。
【図６】本実施形態１に係る画像処理・良否判定処理のフローチャートである。
【図７】本実施形態に係る良否判定結果データファイルの例である。
【図８】本実施形態２に係る撮影記憶処理のフローチャートである。
【図９】本実施形態２に係る画像処理・良否判定処理のフローチャートである。
【図１０】本発明に係る光学手段の光路長補正手段の他の実施形態の説明図であり、（Ａ）は第１反射鏡と第２反射鏡の間に設けられた複数群のレンズ系、（Ｂ）は第２反射鏡を間に介して設けられた複数群のレンズ系、（Ｃ）は凹面の反射面を有する第１反射鏡および第２反射鏡である場合をそれぞれ示す。
【図１１】本発明に係る撮影手段における光学手段の移動方法の他の実施形態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００７０】
１００；撮影手段、１１０；照明具、１１０；上側照明具、１１１；赤色ＬＥＤ、１１２；上側拡散板、１２０；下側照明具、１２１；白色ＬＥＤ、１２２；下側拡散板、１３０；カメラ、１４０；光学手段、１４１；鏡筒、１４２；第１反射鏡、１４３；第２反射鏡、１４４；光路長補正レンズ系、１４５；第３反射鏡、１５０；光路変更手段、１５１；旋回手段、１５２；回転手段、１５２ａ；回転テーブル、１５２ｂ；ステッピングモータ、１６０；ケース、１７０；Ｘ軸移動手段、１８０；ステージ、１９０；スリット光照射手段、２００；制御手段、２１０；画像入力部、２１５；カメラコントロール部、２２０；照明コントロール部、２２５；Ｘ軸・Ｙ軸駆動部、２３０；光路変更制御部、２３５；メモリ、２３５ａ；検査プログラム、２３５ｂ；検査用データ、２３５ｃ；判定基準データ、２３５ｄ；各撮像データ、２３５ｄ；撮像データ、２３５ｅ；画像処理データ、２３５ｆ；判定結果データ、２４０；サブＣＰＵ、２４０ａ、２４０ｂ、２４０ｃ；画像処理判定部、２４５；入力部、２５０；出力部、３００；表示手段、ａ；被検査対象、Ｐ；被検査基板、Ｓ；切断線。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板検査装置および基板検査方法に関し、さらに詳しくは、簡易な構成により、検査対象に応じて平面画像と斜め画像の撮影の切換えが可能な基板検査装置および基板検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、被検査対象の上部に配置したカメラによって撮影した画像により、被検査対象である部品の実装状態（欠品、位置ズレや半田不良など）を検査することが行われていた。しかしながら、基板の上から基板面に対して平行に撮影した画像である平面画像を用いる検査では、基板上に実装された小さな部品の実装状態やリードの浮き、小型電子部品の小さく急峻な半田形状といった被検査対象の３次元形状を正確に認識することが困難であるといった問題があった。
そのため、上記検査装置で検査を行った後、不良と判定された箇所を再検査や修理するために、基板面に対して斜めに配置したカメラや、上部に配置したカメラとそのカメラの光路を基板面に対して斜め方向を向ける鏡筒とを用いて被検査対象の斜め画像を撮影する提案がある（例えば、特許文献１および特許文献２）。これらの提案にあっては、平面画像の撮影ができないため、斜めから目視する専用機として、上記の平面画像に基づいた検査を行う装置とは別に用いる必要があった。
一方、上部と斜めに複数のカメラを配置し平面画像と斜め画像とを撮影できる提案があるが（例えば、特許文献３および特許文献４）、装置の価格が高価になるのみならず、複数のカメラを同一条件で制御するための制御系が複雑になるといった問題を有していた。また、基板外周に対して斜めに配置される部品があるため、複数のカメラと照明とを回転する大きな駆動手段が必要になるといった問題を有していた。
【０００３】
【特許文献１】特開平８−３０４２９９号公報
【特許文献２】特開２００６−２２０４２５号公報
【特許文献３】特開平１−７９８７４号公報
【特許文献４】特開平２−２６８２６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は上記の問題を解決せんとするもので、簡易な構成により平面（直視）画像と斜め（斜視）画像の撮影が可能な基板検査装置および基板検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、以下の通りである。
１．プリント配線基板上に実装された部品の実装状態等を検査する基板検査装置であって、
基板上の被検査対象に上方から照明光を照射するリング状の上側照明具と、
上記上側照明具と同軸芯であり且つ該上側照明具の周方向外側の下方に設けられ且つ上記被検査対象に斜め側方から照明光を照射するリング状の下側照明具と、
上記上側照明具および上記下側照明具の軸中心上方に設けられた撮影部と、
上記撮影部と上記被検査対象との間に挿入可能に設けられ且つ上記基板面に対して傾斜した被検査対象の斜め画像を撮影しうるように上記撮影部の光路を該被検査対象の斜め方向に誘導する光学手段と、
上記光学手段を上記撮影部と上記被検査対象との間に移動させる移動手段、および該光学手段を該撮影部の視野中心を回転軸として回転させる回転手段を備え、これにより平面画像と斜め画像の撮影の切換えおよび斜め画像の撮影方向の変更を行う光路変更手段と、
上記上側照明具および上記下側照明具の点灯、上記撮影部による撮影、ならびに上記光路変更手段の動作を制御すると共に、上記撮影部により撮影した画像に基づいて被検査対象の状態の良否を判定する制御手段と、を備えることを特徴とする基板検査装置。
２．上記１．において、上記光学手段は、
上記撮影部の視野中心から周方向外側に延びるように設けられた鏡筒と、
上記撮影部の視野中心軸上であって上記鏡筒の上記撮影部側端部に設けられた第１反射鏡と、
上記鏡筒の上記周方向外側端部に設けられた第２反射鏡と、
上記第１反射鏡および上記第２反射鏡を介した上記撮影部から上記被検査対象までの該撮影部の光路上に設けられ且つ該光路の長さを補正するための光路長補正手段を備えることを特徴とする。
３．上記２．において、上記光路長補正手段は、上記撮影部の光路上であって上記第１反射鏡および上記第２反射鏡の間に設けられた１群または複数群のレンズ系であることを特徴とする。
４．上記２．において、上記光路長補正手段は、上記撮影部の光路上であって上記第２反射鏡を間に介して設けられた複数群のレンズ系であることを特徴とする。
５．上記２．において、上記光路長補正手段は、凹面の反射面をそれぞれ有する上記第１反射鏡および上記第２反射鏡であることを特徴とする。
６．上記１．乃至５．のいずれかにおいて、上記光学手段は、上記撮影部側とは別の端部側を軸として水平方向に回動可能に固定され、上記移動手段により上記撮影部下部に回動させられたときに上記撮影部の光路を上記被検査対象の斜め方向に誘導することを特徴とする。
７．上記１．乃至５．のいずれかにおいて光学手段は、水平方向に摺動可能に固定され、上記移動手段により上記撮影部下部に摺動させられたときに上記撮影部の光路を上記被検査対象の斜め方向に誘導することを特徴とする。
８．上記１．乃至７のいずれかにおいて、さらにスリット光照射手段を備え、
上記光学手段は、上記第１反射鏡の裏面に設けられた第３反射鏡をさらに備え、
上記スリット光照射手段は、上記第３反射鏡を介して被検査対象に向かって基板面に垂直なスリット光を照射可能であり且つ上記光学手段と水平に対向する周方向外側の位置に設けられ、
上記制御手段は、上記スリット光照射手段の点灯をさらに制御することを特徴とする。
９．プリント配線基板上に実装された部品の実装状態等を検査する基板検査方法であって、
基板上の被検査対象に上方および斜め側方から照明光を照射し、該被検査対象の上方に設けられた撮影部により該上方および斜め側方から照射された照明光による基板面に平行な平面画像をそれぞれ撮影する平面画像取得工程と、
上記被検査対象に斜め側方から照明光を照射し、上記撮影部および該被検査対象の間に移動可能に設けられ且つ該撮影部の光路を該被検査対象の斜め方向に誘導する光学手段を介して基板面に対して傾斜した上方および／または斜め画像を撮影する斜め画像取得工程と、
取得した上記平面画像および上記斜め画像より上記被検査対象の状態を得るための処理を行う画像処理工程と、
上記画像処理工程によって得られた処理結果と基準データとを比較して上記被検査対象の状態の良否を判定する良否判定工程と、を備えることを特徴とする基板検査方法。
１０．上記９．において、上記被検査対象にスリット光照射手段により基板面に垂直なスリット光を照射し、上記光学手段を介して基板面に対して傾斜したスリット光照射斜め画像を撮影するスリット光照射斜め画像取得工程をさらに備え、
上記画像処理工程は、取得した上記スリット光照射斜め画像より上記被検査対象の状態を得るための処理をさらに行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の基板検査装置によると、基板上の被検査対象に上方から照明光を照射するリング状の上側照明具と、上側照明具と同軸芯であり且つ上側照明具の周方向外側の下方に設けられ且つ被検査対象に斜め側方から照明光を照射するリング状の下側照明具と、上側照明具および下側照明具の軸中心上方に設けられた撮影部と、撮影部と被検査対象との間に挿入可能に設けられ且つ基板面に対して傾斜した被検査対象の斜め画像を撮影しうるように撮影部の光路を被検査対象の斜め方向に誘導する光学手段と、光学手段を撮影部と被検査対象との間に移動させる移動手段および光学手段を撮影部の視野中心を回転軸として回転させる回転手段を備える光路変更手段と、上側照明具および下側照明具の点灯、撮影部による撮影、ならびに光路変更手段の動作を制御すると共に、撮影部により撮影した画像に基づいて被検査対象の状態の良否を判定する制御手段と、を備えることを特徴とする。これにより、簡易な構成により迅速に光学手段を使用および不使用位置に移動させることができるため、被検査対象の上方に設けられた１つのカメラのみで、検査目的に応じて光学手段を適宜な位置へ切換えて、基板面に対して平行な被検査対象の平面画像と、基板面に対して傾斜した被検査対象の斜め画像とを撮影することができる。
【０００７】
また、光学手段が、撮影部の視野中心から周方向外側に延びるように設けられた鏡筒と、撮影部の視野中心軸上であって鏡筒の撮影部側端部に設けられた第１反射鏡と、鏡筒の周方向外側端部に設けられた第２反射鏡と、第１反射鏡及び第２反射鏡を介した撮影部から被検査対象までの撮影部の光路上に設けられ且つ光路の長さを補正するための光路長補正手段を備える場合は、光学手段を簡易に構成することができると共に、平面画像撮影時と斜め画像撮影時の光路長の違いによる拡大率の補正を、画像を切換えるつどに行う必要が無いといった効果がある。
【０００８】
さらに、光路長補正手段が、カメラの光路上であって第１反射鏡と第２反射鏡との間に設けられた１群もしくは複数群のレンズ系である場合、または第２反射鏡を間に介して設けられた複数群のレンズ系である場合は、光路長補正手段をより簡易な構成にすることができる。
また、光路長補正手段が、凹面の反射面をそれぞれ有する第１反射鏡および第２反射鏡である場合は、光路長補正手段をより一層簡易な構成にすることができる。
【０００９】
さらに、光学手段が、撮影部側とは別の端部側を軸として水平方向に回動可能に固定され、移動手段により撮影部下部に回動させられたときに撮影部の光路を被検査対象の斜め方向に誘導する場合、または水平方向に摺動可能に固定され、移動手段により撮影部下部に摺動させられたときに撮影部の光路を被検査対象の斜め方向に誘導する場合は、より簡易な構成で、より迅速に光学手段を移動させて撮影する画像を切換えることができる。
【００１０】
また、上記基板検査装置が、スリット光照射手段をさらに備え、光学手段が、第１反射鏡の裏面に設けられた第３反射鏡をさらに備え、スリット光照射手段が、第３反射鏡を介して被検査対象に向かって基板面に垂直なスリット光を照射可能であり且つ光学手段と水平に対向する周方向外側の位置に設けられ、制御手段が、スリット光照射手段の点灯をさらに制御する場合は、被検査対象に対して照射したスリット光により、被検査対象の３次元形状の判定が容易になるといった効果がある。
【００１１】
本発明の基板検査方法によると、基板上の被検査対象に上方および斜め側方から照明光を照射し、被検査対象の上方に設けられた撮影部により上方および斜め側方から照射された照明光による基板面に平行な平面画像をそれぞれ撮影する平面画像取得工程と、被検査対象に上方および／または斜め側方から照明光を照射し、撮影部および被検査対象の間に移動可能に設けられ且つ撮影部の光路を被検査対象の斜め方向に誘導する光学手段を介して基板面に対して傾斜した斜め画像を撮影する斜め画像取得工程と、取得した平面画像および斜め画像より被検査対象の状態を得るための処理を行う画像処理工程と、画像処理工程によって得られた処理結果と基準データとを比較して被検査対象の状態の良否を判定する良否判定工程と、を備えることを特徴とする。これにより、検査目的に応じて、基板面に対して平行な被検査対象の平面画像と、基板面に対して傾斜した被検査対象の斜め画像と、を撮影し、それらに基づいた適切な検査を実現できる。
【００１２】
また、上記基板検査方法が、被検査対象にスリット光照射手段により基板面に垂直なスリット光を照射し、カメラにより基板面に対して傾斜した被検査対象のスリット光照射斜め画像を光学手段を介して撮像するスリット光照射斜め画像取得工程をさらに備え、画像処理工程が、取得したスリット光照射斜め画像より被検査対象の状態を得るための処理をさらに行う場合は、スリット光照射斜め画像に基づいて、被検査対象の３次元形状を容易に判定できることにより、高精度な検査を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態について説明する。ここでは、下記の順序に従って本発明の実施の形態について説明する。
（１）本発明の構成：
（２）基板検査処理（基板検査方法）：
（３）他の実施形態：
なお、本発明に係る基板検査装置および基板検査方法により、基板上に実装された部品の正誤、ずれ量（位置ズレ、浮き、回転等）、半田付け状態等の検査を実現できる。
【００１４】
（１）本発明の構成：
図１は、本実施形態の基板検査装置の概略ブロック図であり、この基板検査装置は、撮影手段１００と制御手段２００と表示手段３００とを備えている。
撮影手段１００は、図２（Ａ）および（Ｂ）に示すように、赤色の光を照射する上側照明具１１０と、白色の光を照射する下側照明具１２０と、両照明具の中心位置の上部に両照明具と一体に固定されたカメラ（本発明に係る撮影部として例示する）１３０と、被検査対象の斜め画像を撮影するための光学手段１４０と、この光学手段１４０を使用、不使用位置に移動させる旋回手段（本発明に係る移動手段として例示する）１５１および光学手段１４０の使用時に斜め画像の撮影方向を変更する回転手段１５２を備える光路変更手段１５０と、これらを収容するケース１６０と、このケース１６０をＸ方向（図１の左右方向）に移動させるためのＸ軸駆動機構１７０と、被検査基板Ｐを載置してＹ方向へ移動させるためのステージ１８０と、を備えている。また、この撮影手段１００は、スリット光照射手段１９０をさらに備えている。そして、この撮影手段１００は、制御手段２００により制御される。
【００１５】
カメラ１３０は、基板面に対して垂直上方に設けられている。また、カメラ１３０は、有効画素数の十分に大きいＣＣＤカラーカメラを使用している。ただし、このカメラ１３０に白黒カメラを採用し、下側照明具１２０に赤色、緑色、青色の３色の各ＬＥＤを用い、ＲＧＢの各ＬＥＤを順次点灯させて撮影した画像を合成することにより、カラー画像を生成することも可能である。
【００１６】
上側照明具１１０は、リング状でカメラ１３０の外周に支持固定されており、この上側照明具１１０には、赤色のＬＥＤ１１１と上側拡散板１１２が配置されている。また、下側照明具１２０は、ケース１６０に固定され、この下側照明具１２０には、白色のＬＥＤ１２１と下側拡散板１２２が配置されている。
ここで、上段に赤色を用いるのは、基板面のレジストの色が緑である場合に赤に対する補色である緑の輝度が下がり、検査対象となる部品等の抽出が容易となるためである。したがって、この上段の照明光の色は、レジスト色の補色となるように、適宜、青色、緑色、白色、橙色、紫色等の種々の色を選択すればよい。
また、上記において、下段のＬＥＤの色を白色と説明したが、赤、青、緑のＬＥＤを用いて３色点灯により白色光を発光するようにしてもよく、また、複数色のＬＥＤを収容し、検査する基板に応じた色のＬＥＤ色を選択するようにしてもよい。したがって、下側照明具１２０に用いるＬＥＤの色としては、部品と基板とのコントラストが損なわれないような光色のＬＥＤを適宜選択すればよい。
【００１７】
なお、図４（Ａ）および（Ｂ）にそれぞれ示すように、ＬＥＤ１１１とＬＥＤ１２１は、それぞれ円周上に配置されている。ただし、ＬＥＤの個数と配列については必要とする明るさに応じて最適な個数と配列を決定すればよい。
また、上側拡散板１１２および下側拡散板１２２は、いずれも、乳白色の樹脂製拡散板からなり、図２に示すように、上側拡散板１１２は基板面に対して平行な薄板の形状、下側拡散板１２２は基板面に対して傾斜した面を有する形状をそれぞれなし、上方と斜め側方から均一な拡散光を基板面に照射できる構造となっている。ただし、本発明においては、上方および斜め側方からそれぞれ均一な拡散光を基板面に照射できればよく、拡散板の形状、材質、色等については特に限定されない。
【００１８】
光学手段１４０は、カメラ１３０の視野中心から周方向外側に延びるように設けられた鏡筒１４１と、カメラ１３０の視野中心軸上であって鏡筒１４１のカメラ１３０側端部に設けられた第１反射鏡１４２と、他端部側に設けられた第２反射鏡１４３と、鏡筒１４１内であって第１反射鏡１４２と第２反射鏡１４３との間に設けられた光路長補正レンズ系（本発明に係る光路長補正手段として例示する）１４４と、を備えている。また、光学手段１４０は、鏡筒１４１のカメラ１３０側とは別の端部側を軸として水平方向に回動可能に固定されており、これにより、平面画像と斜め画像の撮影の切換えのために、カメラ１３０の視野の内外に移動可能となる。
【００１９】
第１反射鏡１４２および第２反射鏡１４３は、各反射面が基板面に対してそれぞれ１３５°と６７．５°傾けられた状態で鏡筒１４１に取着されており、これにより、カメラ１３０の光路を、被検査対象ａの斜め４５°側方へと誘導することができる。ただし、斜め画像の撮影方向の角度は４５°に限定されるものではなく、第２反射鏡の傾斜角を、例えば、５５°〜８０°等に設定して、７０°〜２０°等の斜め画像の撮影方向の角度としてもよい。また、斜め画像の撮影方向の角度は、好ましくは、２０°〜７０°、さらに好ましくは、３０°〜６０°である。
【００２０】
光路長補正レンズ系１４４は、凹レンズと凸レンズを２枚組み合わせて１群のレンズ系をなしており、斜め画像を撮影する際に、平面画像を撮影する際との光路長の差を補正する。ただし、本発明においては、斜め画像と平面画像を撮影する際の光路長の差を補正できればよく、その形態等は特に限定されない。
また、光学手段１４０は、第１反射鏡１４２の裏面に、基板面に対して４５°傾けられた状態で鏡筒１４１に取着された第３反射鏡１４５をさらに備えており、後述するスリット光照射手段１９０から照射されたスリット光を被検査対象ａに向けて反射する。
【００２１】
光路変更手段１５０は、光学手段１４０を使用、不使用位置に移動させる旋回手段１５１と光学手段１４０使用時に斜め画像の撮影方向を変更する回転手段１５２とを備えている。旋回手段１５１は、電磁ソレノイドによって構成され、アーマチュアの先端が鏡筒１４１の側面に、コイル側が回転手段１５２にそれぞれ取着され、これにより、光学手段１４０を旋回移動させることができる。回転手段１５２は、円盤状の回転テーブル１５２ａとステッピングモータ１５２ｂとからなる。回転テーブル１５２ａは、図示しない回転機構により、カメラ１３０の視野中心を回転軸として回転可能に取着されている。また、回転テーブル１５２ａは、外周に歯車を備えており、その歯車と係合する歯車を介してステッピングモータ１５２ｂに接続されることにより、時計方向または反時計方向に各々１８０°回転可能となっている。これにより、光学手段１４０を介して斜め画像を撮影する際の撮影方向の変更が可能となる。
【００２２】
ここで、旋回手段１５１としては、光学手段１４０を旋回させることができればよく、上記電磁ソレノイドに限定されない。この場合、旋回手段１５１として、空気圧シリンダ、油圧シリンダ、リニアモータ、回転モータ等、種々のアクチュエータを選択することができる。
また、回転手段１５２としては、斜め画像の撮影方向を変更しうるように光学手段１４０を水平方向に回転させることができればよく、上記回転テーブルとステッピングモータを用いる形態に限定されない。
【００２３】
ケース１６０は、Ｘ軸移動手段１７０に取着されており、その内側に上側照明具１１０、下側照明具１２０、カメラ１３０、光学手段１４０、光路変更手段１５０およびスリット光照射手段１８０を収容している。
Ｘ軸移動手段１７０は、図示しない駆動機構により、ケース１６０をＸ方向（図２の左右方向）に移動させる。その構成は特に限定されず、ガイドウェイに沿って摺動可能に設けられたスライダをボールねじによって駆動する構成等、適宜選択することができる。
ステージ１８０は、適宜な支持手段によって基板Ｐを支持し、ケース１６０の移動方向と水平方向に直交するＹ方向に移動する。
【００２４】
撮影手段１００は、被検査対象ａに対して光切断法による検査を行うためのスリット光を照射するスリット光照射手段１９０をさらに備えている。このスリット光照射手段１９０は、光学手段１４０に対向する位置に設けられており、光学手段１４０の第３反射鏡１４５を介して、被検査対象ａに向かって基板面に垂直なスリット光を照射することができる。
ここで、光切断法について説明する。被検査対象ａに対して基板面に垂直にスリット光を照射した場合、図３（Ａ）に示すように、被検査対象ａの上面および基板面にはスリット光による切断線Ｓが出現する。これを斜め方向から見ると、図３（Ｂ）、（Ｃ）および（Ｄ）に示すように、被検査対象ａの正常な実装（図３（Ｂ））、位置ズレ（図３（Ｃ））、浮き（図３（Ｄ））に対して、それぞれの線Ｓ１’、Ｓ２’およびＳ３’の形状に差が生じることに基づいて、直視画像からは判別が困難な検査を実現できるものである。具体的には、図３（Ｃ）に示すように、被検査対象ａに位置ズレが生じた状態における切断線Ｓ２を斜め方向から見た場合の線Ｓ２’では、被検査対象ａの上面に形成される切断線と基板Ｐの表面に形成されるいずれか片側の切断線とが高低差のある連続した線として出現し、また、図３（Ｄ）に示すように、被検査対象ａに浮きが生じた状態における切断線Ｓ３を斜め方向から見た場合の線Ｓ３’では、被検査対象ａの上面に形成される切断線と基板Ｐの表面に形成される切断線とが高低差の大きな平行な直線として出現する。これらと、図３（Ｂ）に示すように、正常な実装状態における切断線Ｓ１を斜め方向から見た場合の線Ｓ１’、すなわち、基準となるパターンとを比較することにより、実装状態の良否を判別することができる。
【００２５】
なお、判別の手法としては、上記のほかに種々の方法が採用可能であり、例えば、判別の困難な微小な部品に対しては、複数のスリット光を照射し、極値を積分することにより差を大きくしてから基準値と比較する手法が有効である。
また、図３（Ｃ）に示すように、被検査対象ａに位置ズレが生じた状態では、被検査対象ａの上面に形成される切断線の長さｗ２の値が、正常に実装された状態である図３（Ｂ）のｗ１の値と比較して大きくなり、また、図３（Ｄ）に示すように、被検査対象ａに浮きが生じた状態では、その高さの差ｈ３の値が、正常に実装された状態である図３（Ｂ）のｈ１の値と比較して大きくなる。これらの値を算出して、基準となる正常な実装状態における値と比較することにより、良否を判定するようにしてもよい。
【００２６】
制御手段２００は、画像入力部２１０と、カメラコントロール部２１５と、照明コントロール部２２０と、Ｘ軸・Ｙ軸駆動部２２５と、回転移動制御機能と旋回移動制御機能を含む光路変更制御部２３０と、メモリ２３５と、サブＣＰＵ２４０と、入力部２４５と、出力部２５０と、ＣＰＵ２６０と、を備えている。そして、この構成において、ＣＰＵ２６０は、入力部２４５による制御スタートの制御指令の下でメモリ２３５に記録された検査プログラム２３５ａを実行して各部を制御したり、所定の演算処理を実施したり、また撮影画像や、サブＣＰＵ２４０による良否判定の判定結果を表示手段３００に表示することができる。
【００２７】
画像入力部２１０とカメラコントロール部２１５は、それぞれカメラ１３０に接続され、ＣＰＵ２６０が実行する検査プログラム２３５ａにおいて、メモリ２３５に記録された検査用データ２３５ｂに基づいて、所定のタイミングで基板面の撮影を行うと共に撮影したデジタルフレーム画像を入力する。
照明コントロール部２２０は、上側照明具１１０、下側照明具１２０およびスリット光照射手段１９０にそれぞれ接続され、メモリ２３５に記録された検査用データ２３５ｂに基づいた撮影タイミングに応じて各照明を順次点灯させる。
【００２８】
Ｘ軸・Ｙ軸駆動部２２５は、図示しないＸ軸駆動機構およびＹ軸駆動機構を介してＸ軸移動手段１７０およびステージ１８０に接続され、メモリ２３５に記録された検査用データ２３５ｂに基づいて、検査位置座標まで駆動し被検査対象ａをカメラ１３０の視野範囲に移動させる。
なお、上記において、カメラ１３０側をＸ方向へ、基板Ｐ側をＹ方向へそれぞれ移動させて撮影位置を変更する方法を説明したが、カメラ１３０側をＸ−Ｙ方向へ移動させたり、基板Ｐ側をＸ−Ｙ方向へ移動させたりするようにしてもよい。
【００２９】
光路変更制御部２３０は、光路変更手段１５０の旋回手段１５１と回転手段１５２に接続されており、メモリ２３５に記録された検査用データ２３５ｂに基づいて、旋回手段１５１を介して光学手段１４０を使用、不使用の各位置に移動させ、また、光学手段１４０使用時、すなわち斜め画像撮影時には、所定の撮影方向となるように回転手段１５２を介して光学手段１４０を回転させる。
【００３０】
メモリ２３５は、データを蓄積可能な記録媒体であり、各種検査を実行するための検査プログラム２３５ａと、基板Ｐ上の検査位置座標（部位）を含む部品データや照明と撮影の制御に関するデータを記憶した検査用データ（部品ライブラリ）２３５ｂと、良否判定の基準値に関する判定基準データ２３５ｃが記録されている。また、メモリ２３５は検査処理過程で生成される各種データを記憶することが可能で、カメラ１３０で撮影された撮像データ２３５ｄと、撮像データ２３５ｄを画像処理して生成される画像処理データ２３５ｅと、画像処理データ２３５ｅと判定基準データ２３５ｃとを比較して得られる被検査対象ａの良否判定結果である判定結果データ２３５ｆと、を記憶することができる。なお、メモリ２３５は、データを蓄積可能であれば、ＨＤＤやＤＶＤ−ＲＷなどリード／ライトが可能な如何様な形態の記録媒体であってもよい。
【００３１】
サブＣＰＵ２４０は、ＣＰＵ２６０が実行する撮影記憶処理と並行して画像処理および良否判定処理を実行する３台の画像処理判定部２４０ａ、２４０ｂ、２４０ｃからなる。ただし、並列処理するサブＣＰＵ２４０の台数は３台に限定されるものではなく、必要とするタクト時間に見合った処理能力となるように台数を選択すればよい。さらに、ＣＰＵ２６０が必要とするタクト時間に見合った処理能力を備えているのであれば、ＣＰＵ２６０により画像処理および良否判定処理を実行する形態としてもよい。
入力部２４５は、操作者によるプログラムのスタートや基準値などの各種設定入力を受付けるキーボードやマウスなどの入力機器から構成される。
出力部２５０は、映像信号を外部へ出力するインターフェースであり、表示手段３００に接続されている。
【００３２】
表示手段３００は、液晶ディスプレイ等の表示装置からなり、制御手段２００の出力部２５０に接続されている。なお、表示手段３００は、画像を表示する機能を備えた機器であればよく、表示素子として液晶に限定されないことは勿論である。また、説明の便宜上、表示手段を制御手段とは別体で表現したが、ノートパソコンのように制御手段と表示手段とが一体の構成を持つ装置を用いてもよい。
【００３３】
（２）基板検査処理（基板検査方法）：
次に、上記基板検査装置の構成による基板検査処理について説明する。ここでは、例として、２通りの基板検査処理を説明する。なお、本基板検査処理（基板検査方法）は、上記基板検査装置の構成を如何様にも適用して実施することができる。
【００３４】
（２−１）基板検査処理１
本基板検査処理１について、図５および６のフローチャートに従い説明する。なお、図５はそれぞれ検査プログラム２３５ａとしてメモリ２３５に記録されているプログラムで、それぞれ撮影記憶処理ならびに平面（直視）画像および斜め（斜視）画像の画像処理・良否判定処理を実行する。また、図５は、被検査基板Ｐの全ての検査対象部（被検査対象）の直視撮影を最初に実施し、その撮影した直視画像に基づいた良否判定において不良と判定された箇所をさらに斜視撮影する撮影記憶処理プログラムであり、図６は、撮影した直視画像および斜視画像をそれぞれ画像処理し、それらと判定の基準となるデータとを比較し、判定結果として、判定結果のデータファイルを作成する画像処理・良否判定処理プログラムである。
【００３５】
本基板検査処理１の撮影記憶処理プログラムは、図５に示すように、被検査基板Ｐがステージ１８０に支持され、検査プログラム２３５ａがスタートすると、ＣＰＵ２６０は、直視撮影位置数Ｎを記憶した直視撮影位置カウンタｎを１にセットする（ステップＳ１００）。そして、メモリ２３５の検査用データ２３５ｂを取得してｎ番目の撮影位置（ｎ番目の被検査対象ａｎの位置）の撮影位置座標を読み取り（ステップＳ１０５）、Ｘ軸・Ｙ軸駆動部２２５から駆動信号を図示しない駆動機構に出力してＸ軸移動手段１７０およびステージ１８０を駆動し、被検査対象ａｎをカメラ１３０の視野範囲に配置させる（ステップＳ１１０）。次に、上側照明具１１０を点灯して画像を撮影し、撮像データ２３５ｄとしてメモリ２３５に記憶する（ステップＳ１１５）。同様に、下側照明具１２０を点灯して画像を撮影し、撮像データ２３５ｄとしてメモリ２３５に記憶する（ステップＳ１２０）。
【００３６】
ここで、各撮影位置について上下各照明による直視画像の撮影が完了するごとに、各撮像データ２３５ｄは、各被検査基板ごとに作成される直視画像の撮像データの一覧表（直視画像データファイル）にリストアップされる。このとき、記載された撮像データ２３５ｄが、サブＣＰＵ２４０による画像処理・良否判定処理が未処理であるという情報（未処理フラグ）も同時に記載する。そして、この直視画像データファイル記載された撮像データ２３５ｄは、図６に示す、サブＣＰＵ２４０による画像処理・良否判定処理プログラムにより順次処理される。
【００３７】
次いで、直視撮影位置カウンタｎが予め設定された直視撮影位置数の最大値Ｎに達しているか否かを判別し（ステップＳ１２５）、最大値Ｎに達していると判別されなければ直視撮影位置カウンタｎをインクリメントして（ステップＳ１３０）、ステップＳ１０５以降の処理を繰り返す。ステップＳ１２５にて直視撮影位置カウンタｎが最大値Ｎに達していると判別された場合には、直視画像（平面画像）の撮影が全て完了したこと知らせる直視画像撮影終了信号を出力し（ステップＳ１３５）、不良判定箇所の斜視画像を取得するステップへと移行する。
【００３８】
不良判定箇所の斜視画像の撮影記憶処理では、まず、直視画像の撮影記憶処理と並行して実行されるサブＣＰＵ２４０による直視画像の良否判定処理の結果から、不良と判定され、斜視画像の撮影記憶処理を要する箇所の有無を確認、すなわち、斜視撮影位置数Ｍが０であるか否かを判別する（ステップＳ１４０）。
ここで、斜視撮影位置数Ｍは、直視画像の撮影記憶処理と並行して実行されるサブＣＰＵ２４０による直視画像の良否判定処理において、不良と判定された箇所が発生するごとにインクリメントされる数値である。すなわち、直視画像の撮影記憶処理と良否判定処理は並行して実行されているので、斜視撮影位置数Ｍの数値は、直視画像の良否判定処理が終了するまで未定である。
【００３９】
ステップＳ１４０において、斜視撮影位置数Ｍが０である場合は、直視画像良否判定処理終了信号の有無を確認、すなわち、直視画像の良否判定処理が終了しているか否かを確認する（ステップＳ１４５）。そして、直視画像良否判定処理終了信号がある場合は、ステップＳ１８５へ移行し、直視画像良否判定処理終了信号がない場合は、ステップＳ１４０以降の処理を繰り返す。
【００４０】
また、ステップＳ１４０において、斜視撮影位置数Ｍが０でないと判別された場合は、斜視画像の撮影記憶処理を要する箇所の数（斜視撮影位置数）Ｍを記憶した斜視撮影位置カウンタｍを１にセットする（ステップＳ１５０）。そして、検査用データ２３５ｂとして記録されている、ｍ番目の撮影位置（ｍ番目の被検査対象ａｍの位置）の撮影位置座標および斜視画像撮影方向のデータを読み取り（ステップＳ１５５）、Ｘ軸・Ｙ軸駆動部２２５から駆動信号を図示しない駆動機構に出力してＸ軸移動手段１７０およびステージ１８０を駆動し、被検査対象ａｍをカメラ１３０の視野範囲に配置させ、さらに光学手段１４０をカメラ１３０の下部に旋回移動させると共に斜視画像の撮影方向に回転移動させる（ステップＳ１６０）。次に、上側照明具１１０を点灯して画像を撮影し、撮像データ２３５ｄとしてメモリ２３５に記憶する（ステップＳ１６５）。同様に、下側照明具１２０を点灯して画像を撮影し、撮像データ２３５ｄとしてメモリ２３５に記憶する（ステップＳ１７０）。さらに、スリット光照射手段１９０を点灯してスリット光を照射し、被検査対象ａｍのスリット光照射画像（光切断画像）を撮影し、撮像データ２３５ｄとしてメモリ２３５に記憶する（ステップＳ１７５）。
【００４１】
ここで、上記直視画像の撮影と同様に、不良判定された各箇所の斜視画像の撮影が完了するごとに、各撮像データ２３５ｄは、各被検査基板ごとに作成される斜視画像の撮像データの一覧表（斜視画像データファイル）にリストアップされる。このとき、記載された撮像データ２３５ｄが、サブＣＰＵ２４０による画像処理・良否判定処理が未処理であるという情報（未処理フラグ）も同時に記載する。そして、この斜視画像データファイルに記載された撮像データ２３５ｄは、図６に示す、サブＣＰＵ２４０による画像処理・良否判定処理プログラムにより順次処理される。
【００４２】
次いで、斜視撮影位置カウンタｍが、設定された斜視撮影位置数の最大値Ｍに達しているか否かを判別し（ステップＳ１８０）、最大値Ｍに達していると判別されなければ斜視撮影位置カウンタｍをインクリメントして（ステップＳ１８５）、ステップＳ１５５以降の処理を繰り返す。ステップＳ１８０にて斜視撮影位置カウンタｍが最大値Ｍに達していると判別された場合には、直視画像良否判定処理終了信号の有無を確認する（ステップＳ１９０）。そして、直視画像良否判定処理終了信号がない場合は、ステップＳ１８０以降の処理を繰り返し、直視画像良否判定処理終了信号がある場合は、斜視画像の撮影が全て完了したこと知らせる斜視画像撮影終了信号を出力する（ステップＳ１９５）。
【００４３】
次に、良否判定結果データファイル（図７参照）の形式でメモリ２３５に記録された、撮影記憶処理と並行して実行される、サブＣＰＵ２４０による良否判定処理の判定結果である判定結果データ２３５ｆを読取り（ステップＳ２００）、斜視画像良否判定処理終了信号の有無の確認、すなわち、斜視画像の良否判定処理が終了しているか否かを確認する（ステップＳ２０５）。そして、斜視画像良否判定処理終了信号がない場合は、ステップＳ２００以降の処理を繰り返し、斜視画像良否判定処理終了信号がある場合は、ステップＳ２００にて読み取った良否判定結果データファイル（図７参照）を出力部２５０から表示手段３００に出力し（ステップＳ２１０）、撮影記憶処理プログラムを終了する。
なお、上記撮影記憶処理プログラムにおいては、上側照明具１１０、下側照明具１２０およびスリット光照射手段１９０によるそれぞれの斜視画像を連続して撮影する方法を例示したが、被検査対象ａに応じて適宜選択または組み合わせるようにしてもよい。
【００４４】
次に、図６に示す、画像処理・良否判定処理プログラムについて説明する。このプログラムは、上記撮影記憶処理プログラムと並行して実行され、上記撮影記憶処理プログラムにより撮影された直視画像に基づいて画像処理および良否判定を行ったのち、その良否判定に基づいてさらに撮影された斜視画像に基づいて画像処理および良否判定を行うプログラムである。
最初に、画像処理・良否判定処理プログラムが起動すると、サブＣＰＵ２４０の各画像処理判定部２４０ａ、２４０ｂ、２４０ｃは、上記撮影記憶処理によって作成された直視画像データファイルをそれぞれ順次読み取り（ステップＳ３００）、この中に画像処理・良否判定処理が未処理であるものがあるか否か、すなわち未処理フラグが立っているものがあるか否かを判別する（ステップＳ３１０）。未処理フラグが立っている撮像データ２３５ｄがある場合は、その撮像データ２３５ｄの画像データを読取る（ステップＳ３２０）。このとき、この撮像データ２３５ｄの未処理フラグの消去を同時に行う。
【００４５】
次に、読取った画像に検査ウィンドウを設定して画像処理を実行してウィンドウ内のパターン抽出を行い、この抽出したパターン（画像処理結果）を画像処理データ２３５ｅとして取得する（ステップＳ３３０）。次いで、判定基準データ２３５ｃとして記録されている、この検査対象部位（被検査対象）の良否判定を行うための基準パターンとなるデータをメモリ２３５から取得し、これと上記の画像処理データ２３５ｅのパターンとを比較して良否を判定する（ステップＳ３４０）。このとき、この判定結果を、判定結果データ２３５ｆとして、良否判定結果データファイル（図７参照）の形式でメモリ２３５に記録する。また、その判定結果が不良である場合、斜視撮影位置数Ｍをインクリメントする。そして、ステップＳ３００以降の処理を繰り返す。
【００４６】
ここで、良否判定結果データファイルについて説明する。良否判定結果データファイルは、図７に示すように、基板Ｐ上の全ての被検査対象に関して、番号（部品Ｎｏ．）、名称（部品名）等と、それらの直視、斜視のそれぞれの良否判定と、その良否判定において不良である場合の内容等が基板単位で一覧として記載されている。また、直視画像に基づいた良否判定において、不良と判定され斜視画像の撮影記憶処理を要する箇所の数Ｍ、すなわち、斜視撮影位置数Ｍの数値も記載されている。
この良否判定結果データファイルが表示手段３００に表示されることにより、作業者は基板の良否を速やかに確認することができ、またこの良否判定結果データファイルに示された不良箇所について、目視による再検査を行うこともできる。
【００４７】
上記ステップＳ３１０において未処理フラグが立っている撮像データ２３５ｄがないと判別された場合、ステップＳ３５０の直視画像撮影終了信号の有無の確認へ移行する。そして、直視画像撮影終了信号がない場合、すなわち、直視画像撮影記憶処理がまだ終了していない場合は、ステップＳ３００以降の処理を繰り返し、直視画像撮影終了信号がある場合は、全ての直視画像の撮像データ２３５ｄについての画像処理・良否判定処理が終了しているので、直視画像良否判定処理終了信号を出力し（ステップＳ３６０）、斜視画像の画像処理・良否判定処理へ移行する。
【００４８】
なお、上記の直視画像の画像処理・良否判定処理においては、基準データ（文字データを含む）とのパターンマッチングによって良否を判定する方法を説明したが、上段と下段の各照明の照射により撮影された各画像に対して、両者の輝度比を基準値と比較して良否を判定するようにしてもよい。すなわち、上側照明具１１０と下側照明具１２０を照射して撮影する画像において、例えば、チップ部品の凹形状の半田フィレットに検査部位（ウィンドウ）を設定した場合には、基板に対して傾斜部分と水平な部分とではそれぞれの照明具１１０、１２０から照射される照明光に対してカメラ１３０の受光素子が受光する輝度値が大きく異なるため、その輝度値の比を求め、予め設定した判定基準データ２３５ｃの基準値と比較することにより、半田形状の良否を判定することができる。
【００４９】
次に、直視画像の画像処理・良否判定処理が終了すると、サブＣＰＵ２４０の各画像処理判定部２４０ａ、２４０ｂ、２４０ｃは、作成された斜視画像データファイルをそれぞれ順次読み取り（ステップＳ４００）、この中に画像処理・良否判定処理が未処理であるものがあるか否か、すなわち未処理フラグが立っているものがあるか否かを判別する（ステップＳ４１０）。未処理フラグが立っている撮像データ２３５ｄがある場合は、その撮像データ２３５ｄの画像データを読取る（ステップＳ４２０）。このとき、この撮像データ２３５ｄの未処理フラグの消去を同時に行う。
【００５０】
次に、読取った画像に検査ウィンドウを設定して画像処理を実行してウィンドウ内のパターン抽出を行い、この抽出したパターン（画像処理結果）を画像処理データ２３５ｅとして取得する（ステップＳ４３０）。次いで、判定基準データ２３５ｃとして記録されている、この検査対象部位（被検査対象）の良否判定を行うための基準パターンとなるデータをメモリ２３５から取得し、これと上記の画像処理データ２３５ｅのパターンとを比較して良否を判定する（ステップＳ４４０）。このとき、この判定結果を、判定結果データ２３５ｆとして、良否判定結果データファイルの形式でメモリ２３５に記録する。そして、ステップＳ４００以降の処理を繰り返す。
【００５１】
上記ステップＳ４１０において未処理フラグが立っている撮像データ２３５ｄがないと判別された場合、ステップＳ４５０の斜視画像撮影終了信号の有無の確認へ移行する。そして、斜視画像撮影終了信号がない場合、すなわち、斜視画像撮影記憶処理がまだ終了していない場合は、ステップＳ４００以降の処理を繰り返し、斜視画像撮影終了信号がある場合は、全ての斜視画像の撮像データ２３５ｄについての画像処理・良否判定処理が終了しているので、斜視画像良否判定処理終了信号を出力し（ステップＳ４６０）、このプログラムを終了する。
【００５２】
なお、光切断法による斜視画像の良否判定に関して、上記パターンマッチングによる良否判定のほかに、ウィンドウ内における切断線の位置や長さ等を判定基準データ２３５ｃの基準値と比較するなど、適宜な検査手法を採用すればよい。
【００５３】
上記の基板検査処理によれば、最初に直視画像を撮影してその画像に基づいた良否判定を行い、その直視画像に基づいた良否判定において不良と判定された部位に関してさらに斜視画像に基づいた良否判定を行うので、被検査基板Ｐに対して適切な良否判定を行うことができる。
【００５４】
（２−２）基板検査処理２
本基板検査処理２について、図８および９のフローチャートに従い説明する。
図８および９はそれぞれ、検査プログラム２３５ａとしてメモリ２３５に記録されているプログラムで、それぞれ撮影記憶処理および画像処理・良否判定処理を実行する。なお、上記基板検査処理１では、最初に直視画像を撮影してその画像に基づいた良否判定を行い、その直視画像に基づいた良否判定において不良と判定された部位に関してさらに斜視画像に基づいた良否判定を行うようにしたが、本基板検査処理２では、各被検査対象について、直視画像のみを撮影する、又は直視画像と斜視画像の両方を撮影する、といったように、予め設定された直視撮影と斜視撮影を行うようにしている。
【００５５】
本基板検査処理２の撮影記憶処理プログラムは、図８に示すように、被検査基板Ｐがステージ１８０に支持され、検査プログラム２３５ａがスタートすると、ＣＰＵ２６０は、撮影位置数Ｎを記憶した撮影位置カウンタｎを１にセットし（ステップＳ５００）、メモリ２３５の検査用データ２３５ｂを読み取る（ステップＳ５０５）。この検査用データ２３５ｂには、ｎ番目の被検査対象ａｎに関する撮影位置座標、撮影回数、各撮影における撮影画像の種類、撮影方向等のデータ等が含まれている。
次に、読み取った検査用データ２３５ｂの撮影位置座標より、Ｘ軸・Ｙ軸駆動部２２５から駆動信号を図示しない駆動機構に出力してＸ軸移動手段１７０およびステージ１８０を駆動し、被検査対象ａｎをカメラ１３０の視野範囲に配置させる（ステップＳ５１０）。さらに、ステップＳ５０５にて読み取った検査用データ２３５ｂの撮影回数より、撮影回数Ｍを記憶した撮影回数カウンタｍを１にセットする（ステップＳ５１５）。
【００５６】
次いで、このｍ番目の撮影における撮影画像の種類を判別し（ステップＳ５２０）、撮影する画像が直視画像である場合は、上側照明具１１０を点灯して画像を撮影し、撮像データ２３５ｄとしてメモリ２３５に記憶する（ステップＳ５２５）。同様に、下側照明具１２０を点灯して画像を撮影し、撮像データ２３５ｄとしてメモリ２３５に記憶する（ステップＳ５３０）。ステップＳ５２０にて判別した撮影画像の種類が斜視画像である場合は、ステップＳ５０５にて読み取った検査用データ２３５ｂの、ｍ番目の撮影における斜視画像の撮影方向のデータに基づいて、光路変更手段１５０を介して、光学手段１４０を斜視画像の撮影方向に回転移動させると共にカメラ１３０の下部に旋回移動させる（ステップＳ５３５）。次に、上側照明具１１０を点灯して画像を撮影し、撮像データ２３５ｄとしてメモリ２３５に記憶する（ステップＳ５４０）。同様に、下側照明具１２０を点灯して画像を撮影し、撮像データ２３５ｄとしてメモリ２３５に記憶する（ステップＳ５４５）。さらに、スリット光照射手段１９０を点灯してスリット光を照射し、被検査対象ａｍのスリット光照射画像（光切断画像）を撮影し、撮像データ２３５ｄとしてメモリ２３５に記憶する（ステップＳ５５０）。
【００５７】
ここで、各撮影が完了するごとに、各撮像データ２３５ｄは、各被検査基板ごとに作成される撮像データの一覧表（画像データファイル）にリストアップされる。このとき、記載された撮像データ２３５ｄが、サブＣＰＵ２４０による画像処理・良否判定処理が未処理であるという情報（未処理フラグ）も同時に記載する。そして、この画像データファイルに記載された撮像データ２３５ｄは、図９に示す、サブＣＰＵ２４０による画像処理・良否判定処理プログラムにより順次処理される。
【００５８】
次いで、撮影回数カウンタｍが予め設定された撮影回数の最大値Ｍに達しているか否かを判別し（ステップＳ５５５）、最大値Ｎに達していると判別されなければ撮影回数カウンタｍをインクリメントして（ステップＳ５６０）、ステップＳ５２０以降の処理を繰り返す。ステップＳにて撮影回数カウンタｍが最大値Ｍに達していると判別された場合には、ｎ番目の被検査対象ａｎにおける画像の撮影が全て完了しているので、ステップＳ５６５へ移行する。
【００５９】
ステップＳ５６５では、撮影位置カウンタｎが、予め設定された撮影位置数の最大値Ｎに達しているか否かを判別し、最大値Ｎに達していると判別されなければ撮影位置カウンタｎをインクリメントして（ステップＳ５７０）、ステップＳ５０５以降の処理を繰り返す。ステップＳにて撮影位置カウンタｎが最大値Ｎに達していると判別された場合には、被検査基板Ｐ上の全ての撮影位置における撮影が全て完了したこと知らせる撮影終了信号を出力する（ステップＳ５７５）。
【００６０】
次に、良否判定結果データファイル（図７参照）の形式でメモリ２３５に記録された、撮影記憶処理と並行して実行される、サブＣＰＵ２４０による良否判定処理の判定結果である判定結果データ２３５ｆを読取り（ステップＳ５８０）、良否判定処理終了信号の有無の確認、すなわち、良否判定処理が終了しているか否かを確認する（ステップＳ５８５）。そして、良否判定処理終了信号がない場合は、ステップＳ５８０以降の処理を繰り返し、良否判定処理終了信号がある場合は、ステップＳ５８０にて読み取った良否判定結果データファイル（図７参照）を出力部２５０から表示手段３００に出力し（ステップＳ５９０）、撮影記憶処理プログラムを終了する。
なお、上記撮影記憶処理プログラムにおいては、上記基板検査処理１の撮影記憶処理プログラムと同様に、上側照明具１１０、下側照明具１２０およびスリット光照射手段１９０によるそれぞれの斜視画像を連続して撮影する方法を例示したが、被検査対象ａに応じて適宜選択または組み合わせるようにしてもよい。
【００６１】
次に、図９に示す、画像処理・良否判定処理プログラムについて説明する。
最初に、画像処理・良否判定処理プログラムが起動すると、サブＣＰＵ２４０の各画像処理判定部２４０ａ、２４０ｂ、２４０ｃは、作成された画像データファイルをそれぞれ順次読み取り（ステップＳ６００）、この中に画像処理・良否判定処理が未処理であるものがあるか否か、すなわち未処理フラグが立っているものがあるか否かを判別する（ステップＳ６１０）。未処理フラグが立っている撮像データ２３５ｄがある場合は、その撮像データ２３５ｄの画像データを読取る（ステップＳ６２０）。このとき、この撮像データ２３５ｄの未処理フラグの消去を同時に行う。
【００６２】
次に、読取った画像に検査ウィンドウを設定して画像処理を実行してウィンドウ内のパターン抽出を行い、この抽出したパターン（画像処理結果）を画像処理データ２３５ｅとして取得する（ステップＳ６３０）。次いで、判定基準データ２３５ｃとして記録されている、良否判定を行うための基準パターンとなるデータをメモリ２３５から取得し、これと上記の画像処理データ２３５ｅのパターンとを比較して良否を判定する（ステップＳ６４０）。このとき、この判定結果を、判定結果データ２３５ｆとして、良否判定結果データファイル（図７参照）の形式でメモリ２３５に記録する。そして、ステップＳ６００以降の処理を繰り返す。
【００６３】
上記ステップＳ６１０において未処理フラグが立っている撮像データ２３５ｄがないと判別された場合、ステップＳ６５０の撮影終了信号の有無の確認へ移行する。そして、撮影終了信号がない場合、すなわち、撮影記憶処理がまだ終了していない場合は、ステップＳ６００以降の処理を繰り返し、撮影終了信号がある場合は、全ての撮像データ２３５ｄについての画像処理・良否判定処理が終了しているので、良否判定処理終了信号を出力し（ステップＳ６６０）、このプログラムを終了する。
【００６４】
なお、上記画像処理・良否判定処理プログラムにおいては、上記基板検査処理１と同様に、上段と下段の各照明の照射により撮影された各画像に対して、両者の輝度比を基準値と比較して良否を判定するようにしてもよい。また、光切断法による斜視画像の良否判定に関しても、上記基板検査処理１と同様に、ウィンドウ内における切断線の位置や長さ等を判定基準データ２３５ｃの基準値と比較するなど、適宜な検査手法を採用すればよい。
【００６５】
上記の基板検査処理によれば、直視画像と斜視画像の撮影およびそれらの画像に基づいた良否判定を、簡便な構成からなる１台の装置で行うことができる。
【００６６】
（３）他の実施形態：
なお、本発明においては、上記実施形態に限られず、目的、用途に応じて本発明の範囲内で種々変更した実施形態とすることができる。すなわち、上記実施形態では、カメラ１３０としてカラーカメラを用いたが、これに限定されず、白黒カメラを採用してもよい。また、下側照明具１２０として、白色ＬＥＤを用いた照明具としたが、これに限定されず、赤色、緑色、青色の各ＬＥＤの合成による白色光を照射する照明具としてもよい。さらに、白黒カメラと赤色、緑色、青色の各ＬＥＤを備える照明具との組み合わせにより、これら赤色、緑色、青色の各ＬＥＤを順次点灯して撮影した各画像を合成することにより、カラー画像を生成することもできる。
【００６７】
また、上記実施形態では、光学手段１４０の光路長補正レンズ系１４４は、第１反射鏡と第２反射鏡の間に凸レンズと凹レンズを組み合わせた１群のレンズ系として設けたが、これに限定されず、図１０（Ａ）に示すように、第１反射鏡と第２反射鏡の間に複数群のレンズ系として設けるようにしてもよいし、また、図１０（Ｂ）に示すように、第２反射鏡を間に介して複数群のレンズ系を設けるようにしてもよく、さらに、図１０（Ｃ）に示すように、第１反射鏡および第２反射鏡がそれぞれ凹面の反射面を有するようにしてもよい。
また、上記実施形態では、光学手段１４０は、カメラ１３０側とは別の端部側を軸として水平方向に回動可能に固定されて旋回移動するようにしたが、これに限定されず、図１１に示すように、水平方向に摺動可能に固定して、平行移動するようにしてもよい。この場合の光学手段１４０を水平方向に摺動させる直動機構としては、ステッピングモータの中空ロータと共に回転する軸受ナットを設け、モータの回転運動を軸受ナットに組み付けたボールねじの直線運動に直接変換するコンパクトリニアアクチュエータなどを利用すればよい。
【００６８】
さらに、上記実施形態では、直視画像に基づく良否判定において不良と判定された箇所について斜視画像をさらに撮影し、この画像に基づいた良否判定をさらに実行したが、これに限定されず、微小部品の位置ズレや半田不良などのように予め直視画像だけでは誤判定の恐れがある箇所について、入念な検査を行いたい場合等は、直視画像および複数方向から撮影した斜視画像に基づいた良否判定を実行するプログラムとしてもよい。
また、微小部品が多い場合には直視、斜視および光切断の検査を適宜組み合わせて、直視と斜視の判定が共に「ＯＫ」の場合に良とするプログラムを実行することも可能である。
さらに、上記実施形態では、斜視撮影において、上側照明具１１０、下側照明具１２０およびスリット光照射手段１９０によるそれぞれの斜視画像を撮影する方法を例示したが、これに限定されず、下側照明具１２０による斜視画像のみで被検査対象ａの形状を十分識別できる場合には、下側照明具１２０の点灯による斜視撮影のみとしてもよい。また、スリット光照射手段１９０のみの斜視撮影、さらに、下側照明具１２０およびスリット光照射手段１９０による各斜視撮影等、検査条件に応じて、適宜選択または組み合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明に係る基板検査装置の概略ブロック図である。
【図２】本発明に係る撮影手段の説明図であり、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は（Ａ）のＩ−Ｉ断面図である。
【図３】光切断法による検査方法の例を示す説明図で、（Ａ）は被検査対象にスリット光を照射した状態の斜視、（Ｂ）は正常に実装された被検査対象にスリット光を照射した状態、（Ｃ）は位置ズレが生じた状態で実装された被検査対象にスリット光を照射した状態、（Ｄ）は浮きが生じた状態で実装された被検査対象にスリット光を照射した状態をそれぞれ示す。
【図４】本発明に係る照明具のＬＥＤ配置を示す説明図で、（Ａ）は上側照明具、（Ｂ）は下側照明具をそれぞれ示す。
【図５】本実施形態１に係る撮影記憶処理のフローチャートである。
【図６】本実施形態１に係る画像処理・良否判定処理のフローチャートである。
【図７】本実施形態に係る良否判定結果データファイルの例である。
【図８】本実施形態２に係る撮影記憶処理のフローチャートである。
【図９】本実施形態２に係る画像処理・良否判定処理のフローチャートである。
【図１０】本発明に係る光学手段の光路長補正手段の他の実施形態の説明図であり、（Ａ）は第１反射鏡と第２反射鏡の間に設けられた複数群のレンズ系、（Ｂ）は第２反射鏡を間に介して設けられた複数群のレンズ系、（Ｃ）は凹面の反射面を有する第１反射鏡および第２反射鏡である場合をそれぞれ示す。
【図１１】本発明に係る撮影手段における光学手段の移動方法の他の実施形態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００７０】
１００；撮影手段、１１０；照明具、１１０；上側照明具、１１１；赤色ＬＥＤ、１１２；上側拡散板、１２０；下側照明具、１２１；白色ＬＥＤ、１２２；下側拡散板、１３０；カメラ、１４０；光学手段、１４１；鏡筒、１４２；第１反射鏡、１４３；第２反射鏡、１４４；光路長補正レンズ系、１４５；第３反射鏡、１５０；光路変更手段、１５１；旋回手段、１５２；回転手段、１５２ａ；回転テーブル、１５２ｂ；ステッピングモータ、１６０；ケース、１７０；Ｘ軸移動手段、１８０；ステージ、１９０；スリット光照射手段、２００；制御手段、２１０；画像入力部、２１５；カメラコントロール部、２２０；照明コントロール部、２２５；Ｘ軸・Ｙ軸駆動部、２３０；光路変更制御部、２３５；メモリ、２３５ａ；検査プログラム、２３５ｂ；検査用データ、２３５ｃ；判定基準データ、２３５ｄ；各撮像データ、２３５ｄ；撮像データ、２３５ｅ；画像処理データ、２３５ｆ；判定結果データ、２４０；サブＣＰＵ、２４０ａ、２４０ｂ、２４０ｃ；画像処理判定部、２４５；入力部、２５０；出力部、３００；表示手段、ａ；被検査対象、Ｐ；被検査基板、Ｓ；切断線。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント配線基板上に実装された部品の実装状態等を検査する基板検査装置であって、
基板上の被検査対象に上方から照明光を照射するリング状の上側照明具と、
上記上側照明具と同軸芯であり且つ該上側照明具の周方向外側の下方に設けられ且つ上記被検査対象に斜め側方から照明光を照射するリング状の下側照明具と、
上記上側照明具および上記下側照明具の軸中心上方に設けられた撮影部と、
上記撮影部と上記被検査対象との間に挿入可能に設けられ且つ上記基板面に対して傾斜した被検査対象の斜め画像を撮影しうるように上記撮影部の光路を該被検査対象の斜め方向に誘導する光学手段と、
上記光学手段を上記撮影部と上記被検査対象との間に移動させる移動手段、および該光学手段を該撮影部の視野中心を回転軸として回転させる回転手段を備え、これにより平面画像と斜め画像の撮影の切換えおよび斜め画像の撮影方向の変更を行う光路変更手段と、
上記上側照明具および上記下側照明具の点灯、上記撮影部による撮影、ならびに上記光路変更手段の動作を制御すると共に、上記撮影部により撮影した画像に基づいて被検査対象の状態の良否を判定する制御手段と、を備えることを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
上記光学手段は、
上記撮影部の視野中心から周方向外側に延びるように設けられた鏡筒と、
上記撮影部の視野中心軸上であって上記鏡筒の上記撮影部側端部に設けられた第１反射鏡と、
上記鏡筒の上記周方向外側端部に設けられた第２反射鏡と、
上記第１反射鏡および上記第２反射鏡を介した上記撮影部から上記被検査対象までの該撮影部の光路上に設けられ且つ該光路の長さを補正するための光路長補正手段を備える請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
上記光路長補正手段は、上記撮影部の光路上であって上記第１反射鏡および上記第２反射鏡の間に設けられた１群または複数群のレンズ系である請求項２記載の基板検査装置。
【請求項４】
上記光路長補正手段は、上記撮影部の光路上であって上記第２反射鏡を間に介して設けられた複数群のレンズ系である請求項２記載の基板検査装置。
【請求項５】
上記光路長補正手段は、凹面の反射面をそれぞれ有する上記第１反射鏡および上記第２反射鏡である請求項２記載の基板検査装置。
【請求項６】
上記光学手段は、上記撮影部側とは別の端部側を軸として水平方向に回動可能に固定され、上記移動手段により上記撮影部下部に回動させられたときに上記撮影部の光路を上記被検査対象の斜め方向に誘導する請求項１乃至５のいずれかに記載の基板検査装置。
【請求項７】
上記光学手段は、水平方向に摺動可能に固定され、上記移動手段により上記撮影部下部に摺動させられたときに上記撮影部の光路を上記被検査対象の斜め方向に誘導する請求項１乃至５のいずれかに記載の基板検査装置。
【請求項８】
さらにスリット光照射手段を備え、
上記光学手段は、上記第１反射鏡の裏面に設けられた第３反射鏡をさらに備え、
上記スリット光照射手段は、上記第３反射鏡を介して被検査対象に向かって基板面に垂直なスリット光を照射可能であり且つ上記光学手段と水平に対向する周方向外側の位置に設けられ、
上記制御手段は、上記スリット光照射手段の点灯をさらに制御する請求項１乃至７のいずれかに記載の基板検査装置。
【請求項９】
プリント配線基板上に実装された部品の実装状態等を検査する基板検査方法であって、
基板上の被検査対象に上方および斜め側方から照明光を照射し、該被検査対象の上方に設けられた撮影部により該上方および斜め側方から照射された照明光による基板面に平行な平面画像をそれぞれ撮影する平面画像取得工程と、
上記被検査対象に上方および／または斜め側方から照明光を照射し、上記撮影部および該被検査対象の間に移動可能に設けられ且つ該撮影部の光路を該被検査対象の斜め方向に誘導する光学手段を介して基板面に対して傾斜した斜め画像を撮影する斜め画像取得工程と、
取得した上記平面画像および上記斜め画像より上記被検査対象の状態を得るための処理を行う画像処理工程と、
上記画像処理工程によって得られた処理結果と基準データとを比較して上記被検査対象の状態の良否を判定する良否判定工程と、を備えることを特徴とする基板検査方法。
【請求項１０】
上記被検査対象にスリット光照射手段により基板面に垂直なスリット光を照射し、上記光学手段を介して基板面に対して傾斜したスリット光照射斜め画像を撮影するスリット光照射斜め画像取得工程をさらに備え、
上記画像処理工程は、取得した上記スリット光照射斜め画像より上記被検査対象の状態を得るための処理をさらに行う請求項９記載の基板検査方法。
【請求項１】
プリント配線基板上に実装された部品の実装状態等を検査する基板検査装置であって、
基板上の被検査対象に上方から照明光を照射するリング状の上側照明具と、
上記上側照明具と同軸芯であり且つ該上側照明具の周方向外側の下方に設けられ且つ上記被検査対象に斜め側方から照明光を照射するリング状の下側照明具と、
上記上側照明具および上記下側照明具の軸中心上方に設けられた撮影部と、
上記撮影部と上記被検査対象との間に挿入可能に設けられ且つ上記基板面に対して傾斜した被検査対象の斜め画像を撮影しうるように上記撮影部の光路を該被検査対象の斜め方向に誘導する光学手段と、
上記光学手段を上記撮影部と上記被検査対象との間に移動させる移動手段、および該光学手段を該撮影部の視野中心を回転軸として回転させる回転手段を備え、これにより平面画像と斜め画像の撮影の切換えおよび斜め画像の撮影方向の変更を行う光路変更手段と、
上記上側照明具および上記下側照明具の点灯、上記撮影部による撮影、ならびに上記光路変更手段の動作を制御すると共に、上記撮影部により撮影した画像に基づいて被検査対象の状態の良否を判定する制御手段と、を備えることを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
上記光学手段は、
上記撮影部の視野中心から周方向外側に延びるように設けられた鏡筒と、
上記撮影部の視野中心軸上であって上記鏡筒の上記撮影部側端部に設けられた第１反射鏡と、
上記鏡筒の上記周方向外側端部に設けられた第２反射鏡と、
上記第１反射鏡および上記第２反射鏡を介した上記撮影部から上記被検査対象までの該撮影部の光路上に設けられ且つ該光路の長さを補正するための光路長補正手段を備える請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
上記光路長補正手段は、上記撮影部の光路上であって上記第１反射鏡および上記第２反射鏡の間に設けられた１群または複数群のレンズ系である請求項２記載の基板検査装置。
【請求項４】
上記光路長補正手段は、上記撮影部の光路上であって上記第２反射鏡を間に介して設けられた複数群のレンズ系である請求項２記載の基板検査装置。
【請求項５】
上記光路長補正手段は、凹面の反射面をそれぞれ有する上記第１反射鏡および上記第２反射鏡である請求項２記載の基板検査装置。
【請求項６】
上記光学手段は、上記撮影部側とは別の端部側を軸として水平方向に回動可能に固定され、上記移動手段により上記撮影部下部に回動させられたときに上記撮影部の光路を上記被検査対象の斜め方向に誘導する請求項１乃至５のいずれかに記載の基板検査装置。
【請求項７】
上記光学手段は、水平方向に摺動可能に固定され、上記移動手段により上記撮影部下部に摺動させられたときに上記撮影部の光路を上記被検査対象の斜め方向に誘導する請求項１乃至５のいずれかに記載の基板検査装置。
【請求項８】
さらにスリット光照射手段を備え、
上記光学手段は、上記第１反射鏡の裏面に設けられた第３反射鏡をさらに備え、
上記スリット光照射手段は、上記第３反射鏡を介して被検査対象に向かって基板面に垂直なスリット光を照射可能であり且つ上記光学手段と水平に対向する周方向外側の位置に設けられ、
上記制御手段は、上記スリット光照射手段の点灯をさらに制御する請求項１乃至７のいずれかに記載の基板検査装置。
【請求項９】
プリント配線基板上に実装された部品の実装状態等を検査する基板検査方法であって、
基板上の被検査対象に上方および斜め側方から照明光を照射し、該被検査対象の上方に設けられた撮影部により該上方および斜め側方から照射された照明光による基板面に平行な平面画像をそれぞれ撮影する平面画像取得工程と、
上記被検査対象に上方および／または斜め側方から照明光を照射し、上記撮影部および該被検査対象の間に移動可能に設けられ且つ該撮影部の光路を該被検査対象の斜め方向に誘導する光学手段を介して基板面に対して傾斜した斜め画像を撮影する斜め画像取得工程と、
取得した上記平面画像および上記斜め画像より上記被検査対象の状態を得るための処理を行う画像処理工程と、
上記画像処理工程によって得られた処理結果と基準データとを比較して上記被検査対象の状態の良否を判定する良否判定工程と、を備えることを特徴とする基板検査方法。
【請求項１０】
上記被検査対象にスリット光照射手段により基板面に垂直なスリット光を照射し、上記光学手段を介して基板面に対して傾斜したスリット光照射斜め画像を撮影するスリット光照射斜め画像取得工程をさらに備え、
上記画像処理工程は、取得した上記スリット光照射斜め画像より上記被検査対象の状態を得るための処理をさらに行う請求項９記載の基板検査方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２００９−１９８３９７（Ｐ２００９−１９８３９７Ａ）
【公開日】平成２１年９月３日（２００９．９．３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−４１９８７（Ｐ２００８−４１９８７）
【出願日】平成２０年２月２２日（２００８．２．２２）
【出願人】（０００２４３８８１）名古屋電機工業株式会社 (107)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年９月３日（２００９．９．３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年２月２２日（２００８．２．２２）
【出願人】（０００２４３８８１）名古屋電機工業株式会社 (107)
【Ｆターム（参考）】
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