【課題】ネジ穴を精度良く検査することが可能なネジ穴検査方法を提供する。
【解決手段】ネジ穴１０の内周面の展開画像５１を撮像し、展開画像５１に高速フーリエ変換を施すことにより変換画像５２を生成し、展開画像５１および変換画像５２に基づいて展開画像５１におけるネジ山の長手方向と変換画像５２における点群を結んだ線の長手方向との成す角度である点群角度を算出するとともに変換画像５２に基づいて変換画像５２における点群の間隔のうちネジ穴１０のネジピッチに対応する間隔である点群間隔を算出し、予め取得された有効点群角度範囲と算出された点群角度とを比較するとともに予め取得された有効点群間隔範囲と算出された点群間隔とを比較することによりネジ穴１０のネジ形状に係る良否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】オペレータの負荷を軽減しつつ、不良ダイのマーキング判断を精度良く行う。
【解決手段】基板検査システムでは、ダイ２が複数配置されたウェハ１の表面を目視により概略的に検査して表面不良箇所を検査するマクロ検査部２０と、前記マクロ検査部２０の表面検査結果に基づき、前記ウェハ１の表面を第１の撮像装置４２により詳細に検査して表面不良箇所を検査するミクロ検査部４０と、前記マクロ検査部２０の表面検査結果と前記ミクロ検査部４０の表面検査結果とを所定のダイレイアウト上に記憶するシステムＰＣ５０内の記憶装置と、前記記憶装置の記憶結果と、前記ウェハ１に対する他の欠陥検査装置６２による欠陥検査結果と、前記ウェハ１に対する電気特性の不良箇所の測定結果とを解析して重ね合わせて前記不良箇所に対するマーキングデータ及び／又はインクレスデータを出力するデータ解析装置６３とを有している。 （もっと読む）

【課題】測定回数やデータ数を増やすことなく、タイヤ形状を精度よく検出することのできるタイヤ形状検出装置を提供する。
【解決手段】ＣＣＤカメラ１４のレンズとして、縦方向と横方向とで倍率の異なるアナモフィックレンズ１４Ｌを用い、かつ、上記ＣＣＤカメラ１４の向きを撮影した像が、タイヤの深さ方向に伸びた像となるように設置するとともに、座標変換手段１５を設けて、上記歪んだスリット光の画像(歪像)Ｓの２次元座標を引き伸ばされていないときの２次元座標に変換してから、上記スリット像の３次元座標を演算して、タイヤ１０の形状を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】検査表示部と隣接する表示部の光源から検査透過部への漏光検査を自動化できる漏光検査装置を提供する。
【解決手段】検査表示部４ａと隣接する表示部４ｂの光源５２から検査光透過部４１ａへの漏光を検査する漏光検査装置１０であって、検査光源５１を点燈している状態で検査表示部４ａを撮影して点燈画像情報Ａを取得し、検査光源５１を消燈し且つ光源５２を点燈している状態で検査表示部４ａを撮影して消燈画像情報Ｂを取得する撮像手段１２と、点燈画像情報Ａと消燈画像情報Ｂとを取り込んで、点燈画像情報Ａと消燈画像情報Ｂを位置合わせして重ねることによって消燈画像情報Ｂにおいて検査透過部４１ａを特定する特定手段１１と、消燈画像情報Ｂにおいて特定された検査透過部４１ａの明度情報を取り込んで、明度情報によって漏光の良否判定を行う判定手段１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面に形成されたパターンの境界線の検出精度を向上することができる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】（ａ）被検査物２の表面２ａに斜め方向から光束１５ａを照射し、光束１５ａの照射位置１５ｓを線状に移動させる発光部１４と、（ｂ）照射位置１５ｓで正反射した正反射光１５ｂを検出して信号を出力する受光部と、（ｃ）光束１５ａの断面強度分布の逆フィルタを含み、受光部が出力した信号を逆フィルタに通した後の信号に基づいて、被検査物の表面に形成されたパターンの境界を検出するパターン検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】放射状に生じる直線状の欠陥を検出できる画像処理検査装置を提供する。
【解決手段】画像処理検査装置の演算部１４３は、検査領域に対応する画像データを取得する取得部２０３と、画像データを直交座標系から極座標系のデータに変換する極座標変換部２０４と、半径方向の直線を強調するフィルタ処理を実行するフィルタ処理部２０６と、半径方向に表示される直線の平滑化を行なう平滑化処理部２０８と、２値化基準に基づいて平滑化された画像データの２値化処理を行なう２値化処理部２１０と、２値化処理された画像データから、抽出基準を満足する画像データを欠陥の候補として抽出する抽出部２１２と、極座標系のデータを直交座標系に変換する直交座標変換部２１４と、直交座標系のデータに基づいて欠陥の候補の特徴量を算出する算出部２１６と、判定基準と特徴量とに基づいて欠陥の候補が欠陥であるか否かを判定する欠陥判定部２１８とを含む。 （もっと読む）

【課題】高い検出感度で、高速に欠陥検査をすることができる検査装置提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る欠陥検査装置１０は、光ビームを発生するレーザー光源１１と、レーザー光源１１から出射された光ビームを集光して試料Ｗの表面に光スポットを形成する対物レンズ１３と、試料Ｗで反射した光ビームを２つの光ビームに分岐するプリズム１５と、プリズム１５によって分岐された光ビームをそれぞれ受光し、受光した光の光量に基づく出力信号を出力する受光素子１７ａ、１７ｂと、受光素子１７ａからの出力信号と受光素子１７ｂからの出力信号とが略同時に検出されたときに、実欠陥と判定する実欠陥判定部２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】欠陥の誤検出を低減することができる欠陥検出装置および欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】時間遅れ座標系変換部２４は、周期パターンが形成された検査対象物の画像を構成する各画素の画素値からなるデータを次元ｍ（ｍは２以上の整数）の時間遅れ座標系のデータに変換する。欠陥検出部２５は、ｍ次元空間上で時間遅れ座標系のデータの示す位置が所定領域に含まれるか否かを判定し、判定結果に基づいて欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】パターンによる散乱光の影響が強く、試料表面に散乱光を発する異物等があるか否かの検査を正確にできないと考えられ場合も少なくとも蛍光を発する異物がある不良品を発見して、半導体素子の歩留まり低下を防止することができる異常検査装置を提供する。
【解決手段】サンプルＳに対して測定光Ｌ１を照射するレーザ光源２１と、測定光Ｌ１をサンプルＳの表面Ｓａ上に照射した場合に、表面Ｓａ上のパターンにより散乱されたパターン由来散乱光、表面Ｓａ上の異常により散乱された異常由来散乱光、及び、表面Ｓａ上の異常により発生した蛍光をそれぞれ検出するためのパターン由来散乱光検出部３１、異常由来散乱光検出部３２及び蛍光検出部３３と、パターン由来散乱光検出部３１で検出した光の強度が、所定の閾値を越える場合に、蛍光検出部３３で検出した光の強度に基づいて、異常の検出を行う異常検出部４ｄを具備するようにした。 （もっと読む）

【課題】測定すべきターゲット構造のラフネスパラメータを求めることができるスキャトロメトリ測定方法を提供する。
【解決手段】スキャトロメトリ方法において、屈折率に関連する可変パラメータを有する表面層を含むモデルを使用することによって、ラフネスの値を取得することができる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、光源の劣化を検出すると同時に、欠点検査時に太陽電池を用いて発電する電力で欠点検出器制御回路に電源を供給可能な、効率的かつ正確な光源検査が可能な欠陥検出器を提供せんとするものである。
【解決手段】
本発明の欠陥検出器は、走行するシート状物の一方の面に投光器で光を照射し、該シート状物の光照射面または他方の面において前記シート状物の一方の面に照射した光の反射光または透過光を受光部にて受光することにより、該シート状物の欠陥を検出器制御回路にて検出する方法において、光源または受光部に隣接した太陽電池を用いて発電量を計測し監視することで光源劣化を検出し、かつ同時に該太陽電池にて発電した電力によって、該検出器制御回路に電源を供給することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】鏡面乃至半鏡面状の測定対象表面上の、観察可能なあらゆる点での面歪分布を、定量的に、また高速・高精度に測定および評価できる、面歪の測定装置及び方法を提供することを課題とする。
【解決手段】複数種の明暗パタン５を切替えて表示することが可能なパタン表示手段２と
、鏡面乃至半鏡面状の測定対象１表面上に写る、前記パタン表示手段に表示された複数の
明暗パタンの鏡像を、撮影する撮影手段３と、撮影された、複数の明暗パタンの鏡像画像
を画像処理して、測定対象表面の面歪分布の演算、面歪の定量評価するパソコン１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】煩雑な作業を要することなく、装置の光学特性の検査への影響を排除することができる欠陥検査装置等を提供する。
【解決手段】特性分布取得手段３１は、カメラ２による撮影画像に基づいて、撮影領域におけるカメラ２の光学特性の分布を取得する。特徴量補正手段３２は、特性分布取得手段３１により取得された上記光学特性の分布に基づいて、カメラ２を介して得られる特徴量を補正する。検出手段３３は、特徴量補正手段３２により補正された特徴量に基づいて、液晶表示装置１の画面の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】複数のカメラを用いても正確に光学特性の不均一性を検査することができる検査画像取得方法。
【解決手段】複数のカメラ(2,3)を用いて１つの検査対象物(1)のそれぞれ異なる一定の領域(4,5)を撮像する際に、重複したオーバーラップ領域(6)が撮像されるよう撮像し、撮像された一方の画像のうち前記オーバーラップ領域の中心軸である接合部から一定距離離れた位置と、撮像された他方の画像のうち前記接合部から一定の距離離れた位置のそれぞれの輝度に基づいて、補正を行うべき補正範囲を決定し、前記一方の画像において前記接合部から前記補正範囲をとるものとし、当該補正範囲は前記接合部から遠ざかる方向に段階的に前記一方の画像の輝度に近づくように補正がなされ、前記他方の画像において前記接合部から前記補正範囲をとるものとし、当該補正範囲は前記接合部から遠ざかる方向に段階的に前記他方の画像の輝度に近づくように補正がなされる。 （もっと読む）

【課題】検査員による官能検査の結果に近い結果を得ることができるムラ検査方法、このムラ検査方法を利用した表示パネルの製造方法、及びムラ検査装置を提供する。
【解決手段】パネル材におけるムラの有無を検査するムラ検査方法において、検査対象となるパネル材を複数水準の条件で撮像し（ステップＳ１）、この撮像結果から複数枚の一次画像を取得し（ステップＳ２）、これらの一次画像に画像の変化を強調するような処理を施して複数枚の二次画像を作成し（ステップＳ３）、これらの二次画像を所定の重み付けで合成して合成画像を作成し（ステップＳ４）、この合成画像に基づいてムラの有無を判定する（ステップＳ５）。そして、所定の重み付けを、ムラが発生している教示用のパネル材について二次画像を作成し、これらの二次画像を合成して合成画像を作成したときに、ムラが発生している領域とそれ以外の領域とを区別できるように決定する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの表面粗さに由来する背景散乱光が仰角方向または方位角方向に指向性を有する場合や、被検査ウェーハ上の位置によって背景散乱光の指向性が変化するような場合に、全散乱光量に占める背景散乱光の相対比率や角度方向での偏りが比較的大きくないときであっても、良好なＳ／Ｎで異物や欠陥からの散乱光検出ができる表面検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】本発明による表面検査では、複数の方向に配置された複数の光検出器によって被検査物体表面または表面近傍で散乱・回折・反射された光を検出し、それによって得られた複数の信号の一次結合による重み付き加算処理又は重み付き平均化処理をすることにより、非検査物体表面等における異物や欠陥を検出する。また、その重み付き加算処理又は重み付き平均化処理の結果から異物や欠陥の大きさを算出する。 （もっと読む）

【課題】ｐおよびｓ偏光ビーム両方の測定にかかる時間を短縮する。
【解決手段】基板Ｗの特性を求めるために、基板Ｗから回折した後、２本の直交的に偏光したビームの同時測定を実行する。直交する方向に偏光された放射を有する直線偏光光源Ｐ、Ｓは、一方が他方に対して９０°回転した２つの非偏光ビームスプリッタを介して渡される。次に、組み合わせたビームは、基板Ｗで回折してから、非偏光ビームスプリッタを通して戻され、移相器およびウォラストンプリズム５０を通過してから、ＣＣＤカメラＣＣＤで測定される。この方法で、２つの偏光ビームの様々な位相段階で、位相および強度をこれによって測定することができ、ビームの偏光状態を求めることができる。移相器をゼロに変更する（つまり位相シフトがない）と、基板の回折格子は、そのパラメータが、同じ検出器システムでＴＥおよびＴＭ偏光で同時に測定される。 （もっと読む）

【課題】微小な凹凸欠陥の形状を、計測できるようにした安価な表面検査装置及びその方法を提供する。
【解決手段】半導体レーザのような広帯域のレーザ光源を干渉計に用いた光干渉方式を用いた表面検査装置において、照明光源に可干渉距離の短いスペクトルの幅の広い半導体レーザを使用し、分岐光学要素４と合成光学要素１５との間の２つの光路の各々に、互にわずかに異なる周波数で変調する変調光学要素５、１０と光路長を調整できる光路長可変光学要素８、１３とを設置し、干渉強度を計測しながら、前記光路長可変光学要素８、１３を調整して干渉強度が最大となるように構成した。 （もっと読む）

【課題】通常の計測状態と校正用の計測状態との切り換えを、大掛かりな操作を要せずに容易かつ迅速に行うことができる、透過光計測型の青果物の内部品質評価装置を提供する。
【解決手段】被計測対象である青果物６０に対して光を投射する投光装置１０の光学系の近傍に、リファレンス光取り出し部４０を固定配置して、投光装置１０の光源からの光の一部を校正用として取り出すと共に、リファレンス光取り出し部４０からの光を、光ファイバ等のリファレンス光導光部４２により導光して受光装置２０へ導くようにした。 （もっと読む）

【課題】簡明且つ低廉な装置構成でスループットの高い検査が可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、繰り返しパターンが形成された被検基板１０に直線偏光の照明光を照射する照明光学系３０と、被検基板１０により反射された反射光による像を撮像する撮像手段４４と、被検基板１０と撮像手段４４との間に設けられた偏光素子４３と、前記照明光の偏光軸方向と偏光素子４３の偏光軸方向とのなす角度を第１の角度および第２の角度に設定する設定手段４５と、前記第１の角度において撮像手段４４で撮像された第１画像および前記第２の角度において撮像手段４４で撮像された第２画像に基づいて、前記第１画像の輝度値と前記第２画像の輝度値とを演算処理して第３画像を生成する演算処理部５２と、前記第３画像を表示する画像表示部６０とを備える。 （もっと読む）