【課題】検査対象物に関する外観検査の前工程または外観検査装置自体で発生した変化を検知可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置（１）は、検査対象物を撮影した検査画像を取得する撮像部（３）と、検査画像から、検査対象物に関する特徴量を抽出する特徴量抽出部（５１）と、特徴量と予め設定された判定基準に従って検査対象物の良否を判定し、その良否判定結果を記憶部（４２）に記憶する良否判定部（５２）と、記憶部（４２）に記憶された良否判定結果に基づいて、所定期間内に検査された検査対象物の総数あるいは所定数量の検査対象物に対して不良品と判定された比率を表す不良品率が、判定基準の作成時において想定される不良品率よりも高い場合、外観検査装置自体または外観検査装置による検査工程の前工程の何れかに変化が発生したと判定する変化検知部（５４）とを有する。 （もっと読む）

【課題】自動外観検査で不良と判定される部品の良否を確認する作業を効率良く行うとともに、その作業の精度を確保できるようにする。
【解決手段】自動外観検査で不良と判定された同一部品種の部品を、それぞれの画像から抽出された特徴量による特徴空間に配置してクラスタリング処理を実行し、設定された集合Ｃ１，Ｃ２毎に良・不良を確定する。この確定処理では、処理対象の集合全体を含むように確認対象範囲を設定し、この範囲の境界部に対応する部品の画像を表示して、作業者による良否判定の入力を受け付ける。ここで表示された全ての部品が良品と判定されると、確認対象範囲内の全ての部品を良品として確定する。一方、表示された部品の中に不良品と判定されたものがある場合には、確認対象範囲を縮小し、更新された確認対象範囲の境界部に対応する部品の画像を表示して、同様に判定入力を受け付ける。 （もっと読む）

【課題】従来の縞パターン投影法とフーリエ変換法による三次元計測方法に、新たな処理フローを加えることにより、感光体表面に発生する膜厚むら、きず、突起、異物及び色むら等の全種の欠陥を検出する表面検査装置、それを用いた欠陥検出方法、プログラム及び記録媒体を提供する。
【解決手段】表面検査装置は、対象物上に縞パターンを投影する手段と、対象物の表面を撮像する手段と、対象物の画像データからフーリエ変換法により対象物の三次元形状データを算出する手段と、画像データの高周波成分に基づいて欠陥検出を行う手段と、低周波成分に基づいて欠陥検出を行う手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】孤立パターンの位置ずれ欠陥を検出可能なレチクル欠陥検査装置及びレチクル欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】検出部１３の位置合わせ手段１３ａにおいて、ＴＤＩセンサ１１ａ，１１ｂにより取得された光学画像と、参照画像生成部１５により生成された参照画像との位置合わせが、レチクル２の短冊状ストライプを細分化したフレーム毎に行われる。許容範囲算出手段１３ｃにおいて、１ストライプ分の位置合わせ量を１次回帰することにより、１ストライプ分の基準位置合わせ量が算出される。位置ずれ欠陥検出手段１３ｄにおいて、位置合わせ量が基準位置合わせ量と所定値以上相違するフレームのパターンが位置ずれ欠陥として検出される。 （もっと読む）

【課題】超音波接合における接合部を外観検査によって精度よく良否判定する。
【解決手段】被検査品の複数の略矩形状の集合よりなる超音波接合による接合打痕を撮影し（Ｓ１）、その画像を処理して（Ｓ２）、略矩形状を区切る線同士の間隔、二値化画像の白または黒面積、濃淡値を検出して、それらを説明変数とし、接合強度を目的変数とする重回帰式を用いて、被検査品の接合強度を推定する（Ｓ３）。また、推定値と基準値を比較して接合状態を判定する（Ｓ４）。 （もっと読む）

【課題】 本願は概して半導体ウエハ上に形成される構造の光学測定に関する。
【解決手段】 半導体ウエハ上に形成される構造の光学測定モデルが生成される。光学測定モデルは、1つ以上のプロセスパラメータ、及び分散を含む。分散と1つ以上のプロセスパラメータのうちの少なくとも1つとを関連づける分散関数が得られる。シミュレーションによる回折信号は、光学測定モデル、少なくとも1つのプロセスパラメータの値、及び分散の値を用いて生成される。分散の値は、少なくとも1つのプロセスパラメータの値及び分散関数を用いて生成される。構造の測定回折信号が得られる。測定回折信号はシミュレーションによる回折信号と比較される。構造に係る1つ以上のプロファイルパラメータ及び1つ以上のプロセスパラメータは、測定回折信号とシミュレーションによる回折信号との比較に基づいて決定される。 （もっと読む）

【課題】垂直、水平及びその他の角度のクラック（“亀裂”）を“膨れ”から区別することができるガラス容器の検査装置を提供すること。
【解決手段】検査ステーションにおいて回転しているガラス容器を検査するための装置。カメラが、ガラス容器上の関連する領域（例えば、口部）の像を撮像し、前記領域はある角度増分毎に撮像される。各像内で異常な対象物が分析され、データに対するその中心の偏りが測定される。最大値よりも小さい偏りによって、制御装置が、当該対象物を“膨れ”として特定することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】不完全エリアを有効に検査することで歩留り管理の精度向上を図ることができる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】ウェーハ１に検査光を照射する照明手段１０と、ウェーハ１からの散乱光を検出し画像信号を出力する検出手段２０と、ウェーハ１上の各検査エリアの配置情報を記憶した座標管理装置１４０と、検出手段２０で検出された検査エリアの画像信号を参照エリアの対応画素の画像信号と比較して両者の差分を検出するとともに、検査エリアの配置情報を基にウェーハエッジ１ａに掛かる不完全な検査エリアを認識し、不完全な検査エリアを検査する場合に当該不完全な検査エリア内のウェーハエッジ１ａよりも外側の検査データを有効データから除外する画像処理装置１２０と、検査エリア及び参照エリアの対応画素の画像信号の差分をしきい値と比較して異物の有無を判定する異物判定装置１３０とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】構造から回折したビームの位相差および振幅を、複数の範囲の波長を有する既知の位相変調器の欠点がない状態で測定可能なスキャトロメータの楕円偏光法の機能を提供する。
【解決手段】本発明は、基板の特性を求めるために、基板から回折したら、別個に偏光した４つのビームを同時に測定することに関する。最大３つの偏光要素を介して、円または楕円偏光源を渡す。これは、光源を０、４５、９０および１３５°偏光する。位相変調器の代わりに、複数の偏光ビームスプリッタを使用するが、４つのビーム全部の強度を測定し、したがって組み合わせたビームの位相変調および振幅を測定して、基板の特徴を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】画像処理を用いて各棒状回転工具を、効率良く正確に検査することができる棒状回転工具の欠陥検査装置と欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】切削加工等に用いる棒状回転工具であるワーク１６の回転軸を軸線として、これに垂直方向から観察可能な側面カメラ２８により撮影された画像を用いて画像処理を行うことによりワーク１６の欠陥を検出する画像処理ボード３０等の画像処理装置を有する。ワーク１６の軸線に同軸な円筒面に内向きに、ＬＥＤ３４を複数配置したほぼ半円アーチ形の照明装置２４を備える。照明装置２４はワーク１６に対して側面カメラ２８が配置された側に位置し、ワーク１６の外周面を均一に照明可能である。 （もっと読む）

【課題】FBG光ファイバセンサを用いた損傷探知システムにおいて、損傷を高精度に探知する。
【解決手段】ピエゾ素子から発振され構造用複合材料を伝搬する弾性波を光ファイバセンサの反射光の波長振動により検出することにより構造用複合材料の損傷を探知するシステムにおいて、波長振動を高感度に検出するために光ファイバセンサの反射光の出力端に並列接続された２つの光学フィルタを設ける。この２つの光学フィルタに係る通過域の中心７４Ｃ，７５Ｃを反射光の中心波長７３Ｃの両側に固定して検出を行う。 （もっと読む）

【課題】 目視検査時に欠陥情報を表示し、オペレータの判定のばらつきを少なくする基板の欠陥検査システムを提供する。
【解決手段】 複数の基板について作成された欠陥履歴データから検索条件に合致するものを読み込んで、この中から２つずつの欠陥位置の重なりを比較し、重なる領域が存在する場合には、その領域を重なり数ｌ＝１の重なり情報データとして記録し、以降は、全ての欠陥履歴データについて重なり情報データを作成し、さらに欠陥履歴データと重なり情報データとの間の欠陥の重なり合い比較し、重なる領域について、重なり数を１つ加算した重なり情報データを作成する。 （もっと読む）

【課題】 画像中の抽出対象部位と非抽出対象部位との分離能力が反映された評価値を用いた画像処理アルゴリズム評価方法を提供する。
【解決手段】 評価対象となる画像処理アルゴリズムを生成して（ＳＴＥＰ１）、これを欠陥位置が既知の学習用画像データに対して適用して擬似欠陥を含む欠陥候補を抽出して各候補の特徴量を算出する（ＳＴＥＰ２〜ＳＴＥＰ５）、欠陥位置が既知であることに基づき欠陥候補を真欠陥と擬似欠陥に分類し（ＳＴＥＰ６）、真欠陥群の特徴量と擬似欠陥群の特徴量の分離度を求め（ＳＴＥＰ７）、求めた分離度に基づき画像処理アルゴリズムを評価する（ＳＴＥＰ８）。そして、その評価値に基づいて画像処理アルゴリズムのパラメータを調整する（ＳＴＥＰ１１）ことにより画像処理アルゴリズムの生成を行う。 （もっと読む）

【課題】 軽微な周期性疵の有無を高精度で判定することができる帯状体等の周期性疵検出方法およびその装置を提供すること。
【解決手段】 移動する帯状体等の表面を連続的に撮像し、撮像画像を画像処理により重ね合せて周期性疵を検出する帯状体等の周期性疵検出方法において、撮像画像から長手方向の長さがＭであるテンプレート画像Ｔを切り出し、前記テンプレート画像ＴをＫ個並べて長手方向の長さがＭ×Ｋ（Ｍ×Ｋ≧ロール周長Ｌ）であるターゲット画像Ｇを生成し、生成したターゲット画像ＧとＫ＋１番目のテンプレート画像Ｔとの間でテンプレートマッチング処理を行い、最大の類似度を与えるターゲット画像Ｇの位置にＫ＋１番目のテンプレート画像Ｔを重ね合せ、Ｋ＋２番目以降のテンプレート画像について前記テンプレートマッチング処理およびテンプレート画像Ｔの重ね合せを行って周期性疵を検出することを特徴とする帯状体等の周期性疵検出方法。 （もっと読む）