【課題】本発明は試験片に設けられた空隙内だけの環境雰囲気を制御することで様々な環境雰囲気下での材料の特性を測定することが可能であり、大きな負担を要することなく、構造材料の機械的強度特性や耐環境特性を特有の、さらには過酷な環境下で行なうのと同様な結果を通常の環境下でも評価試験が行えるようにした試験片とその製造方法を提供する。
【解決手段】試験片は、その内部に形成した微細空隙内に環境構成流体を封じ込めたことを特徴とする構成を採用した。 （もっと読む）

【課題】観察対象が配置された部分が薄い観察用試料を容易に作製する。
【解決手段】観察用試料は、観察対象１を含み、第１の平面と第２の平面とを有している。第１の平面に対して第２の平面のなす角度は１．５°〜４．５°の範囲内である。第１の平面と第２の平面の間の最短距離は０．５μｍ以下である。観察用試料の作製方法は、素材１０Ｍの接着用平面１１Ｍと支持部材２０の加工用平面２１とを接着する工程と、素材１０Ｍが観察用試料となるように、支持部材２０および素材１０Ｍに対して研磨を含む加工を施す工程とを備えている。接着する工程では、接着用平面１１Ｍの外縁のうち観察対象１に最も近い部分が加工用平面２１の外縁よりも内側に配置される。加工を施す工程では、支持部材２０に第１の研磨面５１が形成され、素材１０Ｍに第２の研磨面５２が形成される。接着用平面１１Ｍは第１の平面となり、第２の研磨面５２は第２の平面となる。 （もっと読む）

【課題】イオンビームで研磨された試料を固定した試料ホルダはSEM試料台支持部に取り付けるに際して試料ホルダとＳＥＭ試料台支持部との間に取り付けのために用いられて来た中間材を設けることなく取り付けることができ、以って両者間の距離を短くし、試料ホルダをＳＥＭ試料台支持部に近接配置できるようにする。
【解決手段】試料ホルダ２３に試料３の研磨されて観察される面の裏側の面に、ＳＥＭ試料台支持部に設けたおねじ部５３に直接ねじ挿入されるめねじ穴５２を設け、当該おねじ部を当該めねじ部に直接ねじ挿入することによって、試料を固定した前記試料ホルダをSEM試料台を介さずに直接ＳＥＭ試料台支持部に固定される。 （もっと読む）

【課題】
イオンビーム測定子の移動を行うに際して、手間取らずに簡便に行うことのできるイオンミリング装置を提供する。
【解決手段】
イオンビーム測定子が真空チャンバの内部に設けられ、該イオンビーム測定子に連結され、真空排気によって駆動される駆動部を有する他の真空排気系が真空チャンバに連通する真空排気系に連通して設けられ、かつ各真空排気系に一方が開のときに閉、閉のときに開となる弁がそれぞれ設けられる。 （もっと読む）

【課題】取り扱いが容易で、単純な形状の試験片を用いて、ナノ領域のナノ物性を、条件を変化させながら、自動制御、自動調整し、精度を高く、安価に計測する。
【解決手段】測定したい金属・高分子・セラミックス等のすべての材料の微細試験片を装置に取り付け、試験片のナノ領域に於けるナノ物性を、温度や形状変化に対応して、引っ張り力による変化等を正確に、３次元表示自動調整しながら測定する装置で、ナノ物性を測定する。 （もっと読む）

（ａ）サンプル前駆体を支持しかつ保持するサンプル前駆体保持ユニットと、（ｂ）サンプル前駆体保持ユニットを運搬しかつ位置決めする運搬・位置決めユニットと、（ｃ）サンプル前駆体上のターゲット形状特徴を光学的にイメージングし、認識し、特定し、かつ、サンプル調製を監視する光イメージングユニットと、（ｄ）サンプル前駆体及びシステムコンポーネントを初期位置からその他の機能的に依存した位置へピックアンドプレイスするピックアンドプレイスユニットと、（ｅ）表面の各マイクロ溝の形成を制御するコンポーネントを含み、サンプル前駆体の表面に少なくとも１個のマイクロ溝を生成するマイクロ溝生成ユニットと、（ｆ）調製されたサンプルを形成するため、サンプル前駆体を所定の構造及びサイズまで極低温セクション化する極低温セクション化ユニットとを備える、マイクロ分析のためのサンプルを調製するシステム及び方法。所望により、マイクロマスク接着ユニット及びマイクロマスク接着方法をさらに含む。 （もっと読む）

【課題】 被加工物の加工時の変形・変質を十分に抑制できる試料保持用プローブ及び試料の製造方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の試料保持用プローブは、試料を保持する試料保持部を有するプローブ本体と、該プローブ本体を冷却する冷却部とを備える。 （もっと読む）