【課題】シリコン材料表層における金属不純物を迅速かつ簡易的に感度良く分析する。
【解決手段】分析対象サンプルを小分けし、小分けサンプルを複数の処理容器に入れる。第１処理容器にＨＮＯ₃液を注入し、ＨＦ液を添加して第１エッチング液を調製し、サンプル表層の金属不純物を第１エッチング液中に含ませる。処理後の第１エッチング液を第２処理容器に注入し、ＨＦ液を添加して第２エッチング液を調製し、サンプル表層の金属不純物を第２エッチング液中に含ませる。第１処理容器から処理後サンプルを取出し、内部を洗浄した後の第１処理容器に新たな小分けサンプルを入れる。処理後の第２エッチング液を第１処理容器に注入し、ＨＦ液を添加して第３エッチング液を調製し、サンプル表層の金属不純物を第３エッチング液中に含ませる。全ての小分けサンプルに対して同じ処理を繰返す。容器から処理後のエッチング液を回収し、液中の金属不純物を定量分析する。 （もっと読む）

【課題】アーム部と吸引機構とを接続するフレキシブルホースを不要にし、清掃ユニットを長寿命化する。
【解決手段】上部電極清掃体５１１が上部電極３を清掃する清掃位置Ｑにおいて、アーム部５１に設けられたアーム部側吸引口５１Ｂと装置本体側に設けられた本体側吸引口１０２Ａとが連通するように構成している。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でありながら、るつぼＲを破損させること無く供給するとともに、るつぼ設置部３３への位置ずれを防止する。
【解決手段】るつぼＲを受け取るるつぼ設置部３３にるつぼＲを案内する案内路３２において、その導出口側に、るつぼＲの落下速度を低下させるとともに、るつぼＲの着地位置の位置ずれを小さくするための絞り構造３２１を設けている。 （もっと読む）

【課題】下部電極上にるつぼを搬送する搬送ユニットと下部電極を清掃する清掃ユニットを一体化し、下部電極へのるつぼの供給、下部電極からのるつぼの廃棄及び電極の清掃を行う。
【解決手段】元素分析装置１００が、るつぼ設置部２３から下部電極１１上にるつぼＲを搬送するとともに、電極１１、１２を清掃する搬送・清掃ユニット３を備えている。この搬送・清掃ユニット３は、電極１１、１２を清掃するための清掃体３１１、３１２、及びるつぼＲを把持する把持部３１３を有するアーム部３１と、清掃体３１１、３１２が電極１１、１２と対向する対向位置Ｒ１、把持部３１３に把持されたるつぼＲを下部電極１１上に載置する載置位置Ｒ４、及び対向位置Ｒ１及び載置位置Ｒ４から離間した退避位置Ｒ２にアーム部３１を回転移動して停止させる回転駆動機構３２と、有する。 （もっと読む）

【課題】Ｏリング等のシール部材に均一な力を加えることができるようにし、導入口を確実に密閉することができ、さらに導入口の開閉を簡単な構成により自動化する。
【解決手段】元素分析装置１００の試料導入部４において、導入通路４１Ａを有するブロック体４１の導入口５を蓋部材４２により開閉する開閉機構が、閉塞位置Ｐにある蓋部材４２を中間位置Ｑに鉛直移動させて、その後、中間位置Ｑにある蓋部材４２を水平方向に水平移動させる。そして、中間位置Ｑにおいて蓋部材４２に設けられたＯリングがブロック体４１の上面と非接触にしている。 （もっと読む）

【課題】るつぼ供給機構を簡単な構成にするとともに低コストを実現し、小型化しながらもるつぼの収容数を増大する。
【解決手段】るつぼ供給機構において、傾斜した載置面３１１上に並列にるつぼを載置し、その載置面３１１を滑降するるつぼをテーパ状の案内面３１２ｂにより、出口３１２ａに設けられたるつぼ移動機構３１３に集める。このるつぼ移動機構３１３は、るつぼを収容する収容凹部３１３１ｘを周面部３１３１ａに備えており、滑降したるつぼを受け取る受取位置と、るつぼ供給口３１４と連通して、るつぼを落下させる供給位置との間を回転移動する。 （もっと読む）

【課題】無機多孔体の細孔と骨格部とを電子顕微鏡を用いてコントラストよく観察するための試料を提供することを目的とする。
【解決手段】無機多孔体の断面を電子顕微鏡で観察するための観察試料であって、前記無機多孔体よりも二次電子放出率の高い金属が前記無機多孔体の細孔に充填されていることを特徴とする。前記無機多孔体は樹脂中に固定されるようにしてもよい。充填する金属としては、ジルコニウムを特に好適に用いることができる。 （もっと読む）

【課題】酸化雰囲気に活性なセラミックス被覆層についても単独で分離し、定比性を求めることができる方法を提供する。
【解決手段】少なくとも核、セラミックス被覆層及び除去層を含むセラミックス被覆粒子から前記核を除去する除去工程（Ｓ１）、前記核を除去した前記セラミックス被覆層及び前記除去層を研磨材より研磨する研磨工程（Ｓ２）、及び、前記セラミックス被覆層と前記除去層及び前記研磨材とを溶液中で分離する重液分離工程（Ｓ３）を備える。 （もっと読む）

【課題】 強酸化性の金属元素、特に酸化力の非常に強いセリウムを含む酸化物焼結体中の微量の塩素を定量分析するための試料作製方法及び定量分析方法を提供する。
【解決手段】強酸化性の金属元素と塩素とを含む酸化物焼結体を、少なくとも酸（塩素を含むものを除く）、還元剤と共に密封状態で加熱することにより、前記酸化物焼結体が分解した溶液を生成することを特徴とする酸化物焼結体に含まれる塩素の分析用試料の作製方法である。 （もっと読む）

【課題】スラグ中の微量元素、特に揮発性微量元素を正確且つ迅速に分析することができるスラグ分析方法を提供する。
【解決手段】採取したスラグの少なくとも９５％以上が球換算直径で５０μｍ以下となるようにスラグを粉砕し、圧力３０ｔ／ｃｍ^２以上で且つ２０秒以上加圧プレスすることにより、厚さが２〜４ｍｍで分析面の凹凸が０．０５ｍｍ以下の試料を成形し、上記分析面に対し、電圧３０ｋＶ〜４０ｋＶ、電流５０〜７０ｍＡのＸ線を照射してスラグ中の揮発性微量元素の分析を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】窒化アルミニウム又はアルミナ等のアルミニウム系セラミックス中に含有する金属等の不純物を、従来法より高感度かつ高精度で定量できる分析方法を提供する。
【解決手段】硫酸加圧分解法により、アルミニウム系セラミックスを分解する分解工程、上記分解工程により得られた分解液より遊離の硫酸を除去して残渣を得る硫酸除去工程、上記硫酸除去工程により得られた残渣を塩酸に溶解せしめて、残渣含有塩酸水溶液を調製する残渣溶解工程、上記残渣溶解工程より得られた残渣含有塩酸水溶液を陰イオン交換樹脂と接触せしめる吸着工程、上記吸着工程により陰イオン交換樹脂に吸着した成分を脱着する脱着工程、上記脱着工程により陰イオン交換樹脂より脱着された成分を誘導結合プラズマ質量分析法等により分析する分析工程を順次行う。 （もっと読む）

【課題】上部電極又は下部電極に対する清掃体の位置を調節可能にする。
【解決手段】元素分析装置１の清掃ユニット６が、上部電極３を清掃する第１清掃体６１と、下部電極４を清掃する第２清掃体６２と、前記第１清掃体６１を上部電極３側に、第２清掃体６２を下部電極４側に保持し、前記上部電極３及び前記下部電極４に狭持される保持部６３と、装置本体に設けられ、前記各清掃体６１、６２が前記各電極に対向する対向位置及びその対向位置から離間した退避位置の間で前記保持部６３を進退移動するとともに、前記対向位置において前記下部電極４の昇降動作により前記保持部６３を昇降自在に支持する駆動昇降機構６４と、前記保持部６３の下部電極４側に設けられ、前記保持部６３が前記上部電極３及び前記下部電極４により狭持されるときの、前記下部電極４と前記第２清掃体６２との距離を調節する距離調節機構６５と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】元素分析装置１における試料導入部５の清掃などのメンテナンスにおける作業性を向上させる。
【解決手段】上部電極３及び下部電極４によりるつぼ２を狭持し、前記上部電極３の上側に設けられた試料導入部５から前記るつぼ２に試料を導入し、前記上部電極３及び下部電極４に電圧を印加することにより、前記るつぼ２を加熱して前記試料を溶解し、それによって生じるガスから前記試料の元素を分析する元素分析装置１であって、前記試料導入部５が、前記試料を前記るつぼ２に導く導入通路５１Ａを有するブロック体５１と、前記ブロック体５１に固定され、前記導入通路５１Ａに対して移動する可動子５２１を有する駆動機構５２と、前記駆動機構５２とは独立して前記ブロック体５１に取り外し可能に設けられ、前記可動子５２１の移動に連動して、前記試料を保持又は前記試料を前記るつぼに導入する開閉構造体５３と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】高純度の材料を、迅速にかつ正確に測定することが要求されている最近の分析技術に鑑み、純度の高い坩堝を使用して坩堝からの不純物の混入を抑制すると共に、高価な坩堝材料である高純度ジルコニウムの耐久性を高め、ジルコニウム坩堝の使用回数を増加させることができる分析試料の融解用ジルコニウム坩堝を提供することを課題とする。
【解決手段】分析試料の前処理に用いる融解用ジルコニウム坩堝であって、ガス成分を除く純度が３Ｎ以上であり、かつガス成分である炭素が１００質量ｐｐｍ以下であることを特徴とする前記ジルコニウム坩堝。 （もっと読む）

【課題】元素分析前処理用容器であって、耐熱性と、耐酸性等の耐薬品性に優れ、かつ高純度な元素分析前処理用容器を提供する。また、ＩＣＰ法による分析装置で用いられる誘導結合プラズマトーチであって、精密な元素分析を可能とし、かつ耐久性に優れる誘導結合プラズマトーチ、及びこれを具備するＩＣＰ法による元素分析装置を提供する。
【解決手段】元素分析の前処理で使用される容器であって、該容器が、化学気相成長（ＣＶＤ）法によって製造されたセラミック容器であることを特徴とする元素分析前処理用容器。また、少なくとも、誘導コイルとノズルを具備する、ＩＣＰ法による元素分析装置で用いられる誘導結合プラズマトーチであって、前記ノズルが、ＣＶＤ法によって製造されたセラミックノズルであることを特徴とする誘導結合プラズマトーチ。 （もっと読む）

【課題】 測定値に対する信頼性の確保しつつ、校正ガスとして高圧の水素ガスを用いることなく、測定精度の高い元素分析方法および元素分析装置を提供すること。
【解決手段】 不活性ガス雰囲気で融解処理された試料Ｓ中の水素または水素を含む複数の元素を測定対象とする元素分析装置であって、前記処理によって得られたサンプルガス中の水素を測定するガス分析計２の感度校正用ガス流路に、水素吸蔵合金を内蔵し加熱・冷却が可能な水素処理部５を配設し、冷却状態においてサンプルガス中あるいは校正ガス中の水素を吸蔵するとともに、前記ガス分析計２の校正時に、加熱状態に切り換えた該水素処理部５に対して特定のキャリアガスＡｒを流通して前記ガス分析計２の感度校正を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】良好な精度で、かつ容易に石英部材の分析を行う分析方法を提供する。
【解決手段】石英部材にエッチング液を供給してエッチングする第１の工程と、前記第１の工程で用いた前記エッチング液中の金属を分析する第２の工程と、を有する石英部材の分析方法であって、前記第１の工程の前記エッチング液の供給は、前記石英部材に形成された凹状のエッチング液保持部にされることを特徴とする石英部材の分析方法。 （もっと読む）

【課題】 測定に供する微粒子懸濁液試料の取り扱いを容易にするための試料容器を提供する。
【解決手段】 容器からの試料液採取の際に、気泡を混入させることなく容器内部での試料液の均一化を簡便に実現出来、かつ使用を通してダストその他の不純物の混入、溶媒成分の蒸発を抑えられる密閉性の高い容器。 （もっと読む）

【課題】シリコン試料の表面に、適正化を図った薄膜振動子を形成することにより、シリコンウェーハ中の原子空孔濃度を、その濃度を高める等の加速処理を行うことなく、定量的に評価することができる、ウェーハ中に存在する原子空孔の定量評価装置等を提供する。
【解決手段】シリコンウェーハから所定の部位を切り出したシリコン試料５に対し外部磁場を印加する磁力発生手段２と、シリコン試料５を50Ｋ以下の温度域に冷却・制御可能な温度制御手段３と、シリコン試料５の表面に対し超音波パルスを発振し、発振させた超音波パルスをシリコン試料５中を伝播させ、伝播した超音波パルスの音速変化を検出する超音波発振・検出手段４とを有し、シリコン試料５の表面に、前記温度域でシリコン試料５の膨張に追随できる物性をもち、かつＣ軸が所定の方向に揃った薄膜振動子８を直接形成してなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易に安定な試料液を調製することができるケイ素化合物含有試料中の不純物分析用試料液の調製方法を提供する。
【解決手段】ケイ素化合物含有試料の不純物分析用試料液を、ケイ素化合物含有試料をアルカリ融解し、このアルカリ融解後の融成物をアルカリ性の水性溶液として調製する。こうすることで、簡易にかつホウ素などの不純物を安定して溶解する試料液を得ることができる。 （もっと読む）