【課題】 被検知ガスのガス感度、ガス検知時の応答性、被毒ガスに対する耐久性に優れたガス感応部を有する半導体式ガス検知素子を提供する。
【解決手段】 検出電極２，３を覆うと共に被検知ガスと接触自在に設けられたガス感応層５を備えた半導体式ガス検知素子であって、ガス感応層５を、コア粒子５１ａと、コア粒子５１ａの表面を覆う金属酸化物の微粒子層５１ｂとからなる構成粒子が集合したポーラス構造に形成してある。 （もっと読む）

【課題】 部品点数を増加させることなく簡単な構成で、環境変化による影響を低減できるガス検知装置を提供する。
【解決手段】 半導体式ガスセンサ２０を間歇駆動させてガスを検知するガス検知装置１０において、半導体式ガスセンサ２０の駆動開始直後のセンサ出力Ｖ_０と、駆動開始後の安定した状態のセンサ出力Ｖ_１とに基づき、Ｖ_２＝Ｖ_１＋Ｃ（Ｖ_０）（但し、Ｖ_２：センサ出力補正値、Ｖ_１：安定した状態のセンサ出力、Ｖ_０：駆動開始直後のセンサ出力、Ｃ：補正関数）として、半導体式ガスセンサ２０のセンサ出力補正値Ｖ_２を算出し、このセンサ出力補正値Ｖ_２に基づいて、ベース出力の変動の有無を判定するガス検出判定手段３０を有する。 （もっと読む）

【課題】 防爆性の向上を図るとともに、燃料電池システム等のように被測定ガス中に水分が多量に含まれる場合においてもガス濃度を正確に検出する。
【解決手段】 ヒータ内蔵型のガス濃度センサ素子４を覆うように第１防爆体１０（センサ保護管７および金網９）を設け、本管５０内を流れる被測定ガスをガス濃度センサ素子４側に導く通路に第２防爆体（細管）１１を設けた。 （もっと読む）

【課題】 被検出雰囲気の熱伝導率が当該被検出雰囲気内の相対湿度に基づき変動することを考慮して、可燃性ガスを精度よく検出するようにした可燃性ガス検出装置及び可燃性ガス検出方法を提供する。
【解決手段】 発熱抵抗体２２１の端子電圧の発熱抵抗体２１１の端子電圧に対する電圧差及び電圧比が各ステップ４３０、４３１にて算出され、相対湿度がこの相対湿度の電圧比との近似直線関係を表す特性から電圧比に基づきステップ４３２にて算出され、電圧差と水素ガス濃度との関係を表す一次関数式の切片がこの切片の相対湿度との関係を表すマップデータに基づき算出相対湿度からステップ４３３にて決定され、一次関数式の勾配がステップ４３４にて被検出雰囲気の環境温度に基づき算出される。そして、水素ガスの濃度が、ステップ４４０にて、上記一次関数式を用いて、算出勾配、決定切片及び算出電圧差に基づいて算出される。 （もっと読む）

フッ素を含有するガス内のフッ素含有化学種などの対象ガス種、例えば、ＨＦ、ＮＦ_３等によるエッチ洗浄を受ける半導体処理ツールの排出物を検出するためのガス検出器及び方法。一の態様のガス検出器は、フッ素含有化学種に対し感受性のニッケル含有フィラメントを使用し、このフィラメントは、高温の検知が必要なとき、検知構成要素及び熱源の両方として機能できる。一の態様のガス検出器は、支持構造に垂直に装着されることができる細長いガスセンサ要素を使用する。このような細長いガスセンサ要素を支持構造に垂直に装着することにより、信号強度が相当高められ、応答時間が低減され、ガス検出器のフットプリントが最小にされ、またこのようなガスセンサ要素の熱膨張／収縮を受け入れるための構造的な柔軟性が提供される。

（もっと読む）