【課題】被検出雰囲気の絶対湿度の影響を補正して可燃性ガスの検出精度を高めるとともに、部品点数を低減してコスト低減や生産性向上を図った可燃性ガス検出装置を提供する。
【解決手段】被検出雰囲気内に曝され、被検出雰囲気中の可燃性ガスの濃度に応じて温度が変化する１つの発熱抵抗体と、発熱抵抗体が所定温度に保たれるよう該発熱抵抗体を通電制御し、該発熱抵抗体の端子間電圧を検出するガス検出部１００と、可燃性ガスの濃度と端子間電圧との間の第１関係に基づき、端子間電圧から被検出雰囲気内の可燃性ガスの濃度をガス濃度算出値として算出する濃度算出手段３ａと、被検出雰囲気の温度を検出する主温度検出手段３ａ、５０と、ガス濃度算出値又は端子間電圧と、被検出雰囲気の温度との間の第２関係に基づき、主温度検出手段によって検出された温度からガス濃度算出値又は端子間電圧を補正する補正手段３ａと、を備えた可燃性ガス検出装置１である。 （もっと読む）

【課題】被測定水の溶存窒素濃度を簡便かつ正確に測定できる溶存窒素濃度の測定方法及び溶存窒素濃度の測定装置。
【解決手段】本発明の溶存窒素濃度の測定方法は、被測定水の溶存水素を除去する溶存水素除去工程と、前記溶存水素除去工程の後、熱伝導度式検出器１２により被測定水の溶存窒素濃度を測定する測定工程とを有することよりなる。前記溶存水素除去工程は、白金族触媒に被測定水を接触させて被測定水の溶存水素を除去することが好ましく、被測定水に酸素を添加する酸素添加工程を有していてもよい。本発明の溶存窒素濃度の測定装置１０は、被測定水の溶存水素を除去する溶存水素除去手段１１と、熱伝導度式検出器１２と、前記溶存水素除去手段１１で処理した水を前記熱伝導度式検出器１２に供給する脱水素水供給管１４とを有することよりなる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、半導体基板に形成された空洞部に設けられることによって半導体基板から熱的に絶縁された薄肉部にヒータとなる抵抗体が形成された計測素子において、スクリーニングを容易に行うことができ、ダイシング工程において破壊しにくい構造を提供することにある。
【解決手段】半導体基板２と、半導体基板２上に形成された電気絶縁膜３と、電気絶縁膜３上に形成されたヒータを構成する抵抗体４と、抵抗体４の本体部４ａが形成された領域に対応する半導体基板２部分を除去して形成した空洞２１とを備え、抵抗体本体部４ａが形成された領域を空洞２１により薄肉部１１とし、薄肉部１１の一部に薄肉部１１の厚さ方向に貫通した開口７を形成した計測素子において、開口７の領域を覆う膜９を形成した。 （もっと読む）

【課題】内燃機関等の吸入空気の湿度計測が可能な、高応答で高精度の湿度センサを提供すること。
【解決手段】湿度センサ１は、基板２の空洞部５内に複数本の支持腕６ａ〜６ｄ、６ｅ〜６ｈを介して第一および第二の薄膜支持体４ａ、４ｂを支持し、その第一および第二の薄膜支持体４ａ、４ｂに第一および第二の発熱体３ａ、３ｂを形成する。そして、第一および第二の発熱体３ａ、３ｂに対して加熱電力を供給して第一の発熱体３ａを第一の温度Ｔ１に制御しかつ第二の発熱体３ｂを第一の温度Ｔ１よりも高温である第二の温度Ｔ２に制御し、第一および第二の発熱体３ａ、３ｂの加熱電力に基づいて周囲気体の湿度を演算する （もっと読む）

【課題】 本発明は微小な領域を温度制御する方式、集積回路微細加工技術を用いたいわゆるＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）技術を用いて迅速に精度高く蒸気密度を制御し雰囲気の蒸気密度を検出することによって物体表面の脱吸着する物質量を測定することができる。
【解決手段】 本発明の物体表面脱吸着物質検出装置は、物体表面の近傍箇所における雰囲気の蒸気密度を変化させる蒸気密度調節手段と、物体表面から離間する所定の複数箇所における雰囲気中の蒸気密度を測定する蒸気密度測定手段と、該蒸気密度測定手段によって測定したそれぞれの蒸気密度に基づいて雰囲気の各蒸気密度分布を検出し、検出した各蒸気密度分布に基づいて物体表面に脱吸着する物質の蒸気密度量を検出する蒸気密度量検出手段とを具備することに特徴がある。 （もっと読む）

【課題】可燃性ガスの濃度測定や漏洩検知等に用いられ、被検出ガスが導入される検出空間３９を加熱するようにしたガス検出器１０において、性能をより一層向上させる。
【解決手段】ガス検出器１０において、検出空間３９内に配設されたガス検出素子６０の温度測定回路（図示せず）により、その検出空間３９内の温度（以下、検出空間温度）を測定するとともに、サーミスタ２８により、検出空間３９に導入される前の被検出ガスの温度（以下、導入前温度）を測定し、検出空間温度が少なくとも導入前温度以上となるように発熱体５０，５１の発熱量を制御することで、過剰な加熱を抑制して効率化を図るとともに検出空間３９内の温度を安定させる。これにより、省エネルギー性や検出精度がより一層向上する。 （もっと読む）

【課題】可燃性ガスの濃度測定や漏洩検知等に用いられるガス検出器において、耐久性と検出精度とを高いレベルで両立させる。
【解決手段】ガス検出器は、シリコン製半導体基板６１上に、発熱抵抗体７１と、その発熱抵抗体７１を内包するように形成される絶縁層６７とが少なくとも積層されたガス検出素子６０を備えており、可燃性ガスに応じて変化する発熱抵抗体７１の温度及び抵抗値に基づき、可燃性ガスを検出する。上記のガス検出素子６０において、可燃性ガスが含まれる環境中に接する最表面に、ガス不透過性の酸化膜からなる保護層６４を設ける。これにより、耐アルカリ性が確保されるとともに、保護層６４が不透過性を有することからその保護層６４に環境中の不純物（有機シリコン）が侵入することが抑制され、ひいては出力が安定し、かつ正確なものとなる。 （もっと読む）

【課題】シリコン化合物に起因した検出精度低下を招くことなく、低濃度領域から高濃度領域に亘って可燃性ガス濃度を検出する
【解決手段】高温目標温度に対応する抵抗値となるように通電される高温用発熱抵抗体２２１と、高温目標温度より低く設定された低温目標温度に対応する抵抗値となるように通電される低温用発熱抵抗体２１１を有し、高温用発熱抵抗体２２１の端子間電圧（高温側電圧ＶＨ）に基づき可燃性ガス濃度（以下、第１演算ガス濃度という）を演算すると共に（Ｓ６０）、低温用発熱抵抗体２１１の端子間電圧（低温側電圧ＶＬ）に基づき可燃性ガス濃度（以下、第２演算ガス濃度という）を演算する（Ｓ１５０）。そして、第１演算ガス濃度又は第２演算ガス濃度と第１判定値又は第２判定値とを比較し（Ｓ８０，Ｓ１７０）、この比較結果に基づき、第１演算ガス濃度又は第２演算ガス濃度を検出結果として採用する（Ｓ９０，Ｓ１８０）。 （もっと読む）

【課題】従来よりも単純な構造で雑ガスの影響をなくすと共にガス検出部への水分の浸入を防止して異常作動を防ぐことができるガスセンサを提供すること。
【解決手段】ガス検出室１１ａを構成するハウジング部材１１，２０と、ガス検出室１１ａ内に配置されたガス検出部１４と、ガス検出部１４を空隙２２を介して覆うように設けられ、外気中の被検知ガスのみをガス検出室１１ａに導入するためのガス分離透過膜１６と、ガス検出室１１ａに充填され、ガス分離透過膜１６により封止された不活性ガス２１と、ガス分離透過膜１６を覆う空洞部１７ａと、空洞部１７ａに通気する複数の通気孔１８とを有する支持体１７と、複数の通気孔１８内に形成された水分除去層１９と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ガス検出部への水分の浸入を防止することができるガスセンサを提供すること。
【解決手段】ガス検出部（１４）を覆う疎水性の第１の膜（１６）と、前記第１の膜（１６）の隣に設けられた、親水性の第２の膜（１７）または吸水性の第３の膜（１８）とを備えている。本発明によれば、ガスセンサの使用時、不使用時共に、水分がガス検出部に浸入・接触しない構造を有する耐水性の優れたガスセンサを実現でき、湿潤雰囲気中にセンサオフの状態で長時間置いた後でも、センサオン時に速やかに正常なガス検出を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 標準装備された既定ガスセンサと互いに特性の異なる追加のガスセンサを容易に装着することができ、しかも、目的とする検知対象ガスの濃度を選択性良く高い信頼性をもって得ることのできる多成分ガス検知装置を提供すること。
【解決手段】 この多成分ガス検知装置は、少なくとも１つが追加のガスセンサが着脱自在に装着されるガスセンサ追加装着部である、複数のガスセンサ装着部と、当該複数のガスセンサ装着部に装着された、互いに検知対象ガスの種類または検知レベルが異なる複数の既定ガスセンサおよび追加のガスセンサと、ガス供給機構とを備えてなり、追加のガスセンサが、被検ガスの流通方向において、既定ガスセンサおよびガス供給機構の位置との関係において、ガスセンサの特性に応じた位置に配管接続されて、すべてのガスセンサを直列に接続する一のガス流通路が形成されてなる。 （もっと読む）

【課題】ガス検出素子のリード線と基台のステーとの接続部に絶縁皮膜を形成すること
【解決手段】リード線５を介してガス感応部４２に通電してジュール熱により昇温させてガスを検出するガス検出素子４と、リード線５を介してガス感応部４２に通電するとともにガス検出素子４を固定する導電性のステー３を備えた基台２とからなるガス検出器の製造方法において、ガス検出器１を高分子蒸気を含有する環境に収容して高分子の薄膜１０を形成する工程と、リード線５を介してガス感応部４２に通電してガス感応部４２を高分子の薄膜が気化、または分解する程度に加熱する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】形状が均一で特性の揃った傍熱型感温抵抗素子を提供すること。また、前記傍熱型感温抵抗素子を用い、応答スピードが速く、高精度で機械的強度に優れた絶対湿度センサを提供すること。
【解決手段】
傍熱型感温抵抗素子は、基板と、該基板上に形成された絶縁膜と、該絶縁膜上に形成された感温抵抗膜と、該感温抵抗膜の周囲を取り囲む前記絶縁膜上に形成された加熱用抵抗膜と、前記感温抵抗膜と前記加熱用抵抗膜とをそれぞれ外部に電気的に導出するために前記基板上に形成された電極パッドとから構成されている。絶対湿度センサは、二つの凹部が対称に形成され、一方の凹部に貫通孔が形成されたケースと、該ケースの凹部のそれぞれに配置された前記傍熱型感温抵抗素子と、前記傍熱型感温抵抗素子を前記ケースとで閉塞する蓋部とから構成さている。 （もっと読む）

【課題】燃料ガスと不完全燃焼ガスとを、メタンガスセンサと不完全燃焼ガスセンサとを用い、燃料ガスセンサと不完全燃焼ガスセンサとを有効に活用できるガス検知装置を提供する。
【解決手段】ＣＯガスセンサ２が故障の場合には、メタンガスセンサ１がメタンガス検知に適した状態に達するタイミングでメタンガス検知値を取得するとともにＣＯガス検知に適した状態に達するタイミングでガス検知値をＣＯガス検知値として燃料ガス検知値取得部４４ａに取得させる第１検知制御部４３ａと、メタンガスセンサが故障の場合には、ＣＯガスセンサがＣＯガス検知に適した状態に達するタイミングでＣＯガス検知値を取得するとともにメタンガス検知に適した状態に達するタイミングでガス検知値をメタンガス検知値として不完全燃焼ガス検知値取得部４２ｂに取得させる第２検知制御部４３ｂとからなるガス検知装置。 （もっと読む）

【課題】多数の物質試料のガス収着特性を同時に決定する装置を提供する。
【解決手段】本装置は、低容積導管の切換可能なマニホールド、およびセンサのアレイを含み、ここでそれぞれの低容積導管はガス収着物質の単一の試料を専用の検出器に流体的に結合する。切換可能なマニホールドは、試料を真空源または注入ガス源に流体的に結合するようにも構成される。導管の非常に小さい内部容積のために、特定の試料から放出される実質的に全てのガスは、放出されたガスの収着を通して、圧力を測定することによって、または他の手段によって、対応する検出器によって正確に検出される。このようにして試料によって放出されたガスの量が非常に正確に測定される。ある実施形態においては、センサのアレイは、水素化物ベースのセンサを含み、このセンサは、水素を含むガスに曝露されると光学的および／または電気的に応答性を有する水素化物を生成する物質を含む。 （もっと読む）

【課題】結露水が原因の検出不良を起こすことなくガスの物理量を正確に検出する。
【解決手段】ガス物理量検出装置１は、センサ取付部４の底部に配置されたフィルタ６と、内部に検出素子室７を形成する管状のセンサ筐体８と、検出素子室７内の上部に配置された測温抵抗体を内部に含む素子カバー９とを備え、フィルタ６は非疎水性の繊維を三次元状に不均一に編み込むことにより形成されている。 （もっと読む）

【課題】消費電力が少なく熱絶縁性・熱衝撃に優れた耐久性を有するガス検知素子を提供する。
【解決手段】ガス感応部１１および加熱手段を設けた被支持基板部１０が、複数の架橋部２０によって支持基板部３０に支持してあるガス検知素子Ｘであって、１つの架橋部２０では、被支持基板部１０に対する架橋部２０の延出方向と、支持基板部３０に対する架橋部２０の延出方向とを、異なる方向に設定してある。 （もっと読む）

【課題】アルコール検知に際して、時間的な拘束を受けることによる煩わしさを軽減することが可能なアルコール検知器を提供すること。
【解決手段】呼気吹き込み口４から吹き込まれた呼気は、一旦呼気室８内に閉じ込められるとともに、その一方で吸気口６から導入された空気は、空気室９内に閉じ込められる。そして、空気室９内に閉じ込められた空気に含まれるアルコールがアルコールセンサ３１により検出される。その後、呼気室８内の呼気及び空気室９内の空気は、呼気室８と空気室９とを含む閉領域内から流出しないように配慮されつつ、該閉領域内で互いに混じり合って混合気となる。そして、このように前記閉領域内に閉じ込められた混合気に含まれるアルコールが前記アルコールセンサ３１により検出される。そして、アルコールセンサ３１による都合２回のアルコール検出の結果を解析することで、アルコール被験者が飲酒状態にあるか否かが特定される。 （もっと読む）

【課題】水による誤作動を防止するガスセンサを提供すること。
【解決手段】本発明のガスセンサ１は、外部からガス導入用開口部３ｂを介して被検知ガスが導き入れられるガス検出室３ａを有する素子収納部３と、素子収納部３のガス検出室３ａに配置されたガス検出素子５と、ガス導入用開口部３ｂに設けられた熱伝導性メッシュ部材６と、熱伝導性メッシュ部材６に固定され、熱伝導性メッシュ部材６を水の蒸発温度以上に加熱するヒータ８と、ヒータ８の発熱を制御するヒータ制御手段１０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ブリッジ回路を用いて被検知ガスの濃度を検出するガスセンサの回路構成を簡素化するとともに被検知ガスを広範囲に亘り精度良く検出することを目的とする。
【解決手段】開閉可能な蓋２９を有するケース３０の内部に配置され、被検知ガスの酸化反応により素子の温度を上昇させ、その温度の変化に応じてその特性値が変化する接触燃焼型センサ素子２３と、被検知ガス雰囲気の温度の変化に応じてその特性値が変化する熱伝導型センサ素子２４と、固定抵抗２５，２６と、をブリッジ接続してガスセンサを構成する。被検知ガスの濃度が所定基準値よりも高いときは、被検知ガスを接触燃焼型センサ素子２３に接触させず、所定基準値以下のときは被検知ガスを接触燃焼型センサ素子２３に接触させる。 （もっと読む）