本発明は、高周波加速空洞に関し、高周波加速空洞は、チャンバと、チャンバを包囲し内面（１９）および外面（１７）を有する導電性壁（１５）と、チャンバの周囲の壁（１５）の周縁に沿って配置されている複数の固体スイッチ（２９）を有するスイッチアセンブリとを有し、固体スイッチ（２９）は、スイッチアセンブリが導通すると、高周波電流が導電性壁（１５）内に誘導され、高周波電力が高周波加速空洞（１１）のチャンバ内に結合されるように、導電性壁（１５）に接続されており、導電性壁（１５）の外面（１７）の高周波空洞（１１）周縁に沿って遮蔽装置（３３、３７、３９、４１、４３）があり、遮蔽装置は、壁（１５）に結合されている高周波電流が壁（１５）の外面（１７）で抑制されるように、壁（１５）の外面（１７）に沿った高周波電流の分散経路のインピーダンスを上昇させる。本発明はさらに、前記高周波空洞を有する加速器に関する。
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本発明は、荷電粒子を加速する加速器に関する。この加速器は、異なる遅延を備えた少なくとも２つの遅延線路を含んでおり、当該少なくとも２つの遅延線路は入力側を有している。これらの遅延線路内に、加速させる電位差を形成するために電磁波が入力される。この遅延線路の入力側は、電磁波を反射するように構成されており、加速させる電位差は少なくとも部分的に、入力側で反射された波によって形成される。本発明は、加速器を作動させる方法に関する。この加速器は、異なる遅延を伴う、少なくとも２つの遅延線路を有している。少なくとも２つの遅延線路は入力側を有しており、これらの遅延線路内に、加速させる電位差を形成するために電磁波を導入する。遅延線路内に導入された電磁波は入力側で反射され、加速させる電位差が少なくとも部分的に、入力側で反射された波によって形成される。
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【課題】ファインメットや、４極真空管を用いることなく、小型化、省電力化が可能で、メンテナンスも容易な高周波加速空洞を実現する。
【解決手段】荷電粒子を高周波電場により加速又は減速するための磁性体コア１６を備えた高周波加速空洞１０において、前記磁性体コア１６の材料として、磁場処理コバルト基アモルファス磁気合金を用いる。 （もっと読む）

【課題】エッチング時に必要な加速エネルギーを確保することができる、プラズマを分離加速させる中性ビームエッチング装置を提供する。
【解決手段】中性ビームエッチング装置は、一方が第１開口を形成する第１チャンバー１１０と、一方が第２開口を形成し、プラズマ生成領域が形成されるよう第１チャンバー１１０の内部に配置される第２チャンバー１２０と、第１開口およびプラズマ生成領域を連結する第１チャネル１３０と、第２開口およびプラズマ生成領域を連結する第２チャネル１４０と、第１チャンバー１１０の外部表面上に配置し、磁場を形成してプラズマ生成領域でプラズマを生成するコイル１６０と、第１チャネル１３０および第２チャネル１４０に配置し、第１チャネル１３０および第２チャネル１４０を介してプラズマを陽イオンと電子とに分離加速させて放出させる加速部１７０とを含む。 （もっと読む）

【課題】誘導加速セルにより、バリアー電圧をバンチの周回に同期して印加するシンクロトロン振動周波数制御装置及びその制御方法を提供すること。
【解決手段】シンクロトロン１は、バンチ３にバリアー電圧９を印加する誘導加速セル６と、誘導加速セル６を駆動するスイッチング電源５ｂ、及びスイッチング電源５ｂのオン及びオフを制御するゲート信号パターン８ａを生成するパターン生成器８ｂ、ゲート信号パターン８ａの基になるゲート親信号８ｃのオン及びオフを制御するデジタル信号処理装置８ｄからなるインテリジェント制御装置８より構成される。 （もっと読む）

【課題】
電力系統のインピーダンスが大きな場所でも、高いビーム精度を保てる加速器システム用の電圧型自励変換装置を提供する。
【解決手段】
本発明の電圧型自励変換装置は、一端を交流系統に接続し、他端を一定周期で変動する負荷に接続し、交流を直流に変換するコンバータ部と、コンバータ部の直流出力を入力し、周期性がある電流指令値に基づいて前記負荷に電流を流すチョッパ部と、コンバータ部の制御装置とを備え、コンバータ部の制御装置が、コンバータ部の直流出力電圧を入力し、直流電圧を負荷の変動周期の自然数倍の周期の期間サンプリングし、サンプリングした直流電圧検出値の移動平均を算出し、移動平均値と、コンバータ部の直流電圧指令値とを用いて、コンバータ部の直流出力電圧を制御する。 （もっと読む）

【課題】 中性粒子ビームによる被処理物の加工中に中性粒子ビーム中の残留イオンによる被処理物のチャージアップを避けることができる中性粒子ビーム処理装置を提供する。
【解決手段】 中性粒子ビーム処理装置１０は、イオン生成室１４の内部にイオン７０を生成するイオン生成手段と、イオン生成室１４の内部のイオン７０を引き出す引出手段と、引き出されたイオン７０を中性化して中性粒子ビーム７２を生成する中性化手段と、中性粒子ビーム７２が照射される被処理物１８を保持する保持台４８とを備えている。中性粒子ビーム処理装置１０は、被処理物１８に帯電した電荷と反対の極性を持つ荷電粒子７６を被処理物１８に照射して、被処理物１８に帯電した電荷を中和する荷電粒子源６０を備えている。 （もっと読む）

【解決手段】 レーザー加速イオンビームを設計する方法を開示している。当該方法は、重イオン層と、電場と、最大の軽い陽イオンエネルギーを有した高エネルギーの軽い陽イオンとを含むシステムをモデル化する工程と、前記重イオン層と、前記電場と、前記最大の軽い陽イオンエネルギーとの物理パラメータを、前記モデルを使って相関する工程と、前記高エネルギーの軽い陽イオンのエネルギー分布を最適化するため、前記重イオン層の前記パラメータを変化させる工程とを含む。一方法は、２次元ＰＩＣ（ｐａｒｔｉｃｌｅ ｉｎ ｃｅｌｌ）シミュレーションおよび１次元解析モデルを使って、高出力レーザーパルスと２層構造の標的との相互作用から軽い陽イオン（例えば陽子）の加速を解析する工程を含む。加速された軽い陽イオン（陽子など）が獲得する最大エネルギーは、このモデルにおいて、前記重イオン層の物理特性―電子とイオンとの質量比およびイオンの実効荷電状態―に依存する。電子種および重イオン種の双方についての流体力学方程式の解と、陽子についてのテスト粒子近似値とが、適用される。前記重イオンの運動が長手方向の電場分布を修正し、軽い陽イオンに対する加速条件を変化させることがわかった。 （もっと読む）

イオンビームの空間電荷を中和するためのプラズマ発生器を開示し、このプラズマ発生器は、ビームライン径路に沿ってイオンブームを発生しかつ指向するように動作可能なイオン注入装置内に存在する。このプラズマ発生器は、ビーム径路の一部分に電界を発生させる電界発生システムとビーム径路の一部分に磁界を発生させる磁界発生システムとを有する。この磁界は、電界に直交している。プラズマ発生器は、さらに、電界と磁界によって占有される領域内にガスを導入するために作動可能なガス源を含む。この領域内の電子は、電界と磁界のそれぞれによって、この領域内を移動し、少なくともいくつかの電子がこの領域内で衝突し、ガスの一部分をイオン化し、これによりプラズマを発生する。 （もっと読む）