【課題】色の再現性及び光源の利用効率が良く、長期間使用してもが画質が低下しない投射型表示装置を提供する。
【解決手段】 光源から投影レンズとの間に設ける偏光部材として、基板上の少なくとも一面に、第１の酸化アルミニウム層と、銀層または銀合金層と、第２の酸化アルミニウム層と、フッ化マグネシウム層と、チタン酸化物層またはタンタル酸化物層またはチタンとランタンとの複合酸化物層とを、基板側から順に積層した表面鏡を使用する。 （もっと読む）

【課題】従来のＴｉＯ_２−ＳｉＯ_２ガラスはガラス中に水素分子を多く含むため、超高真空下での成膜中に水素分子がチャンバー内に拡散し、膜中にＨ_２分子が取り込まれる。水素分子は容易に拡散するため、多層膜の光学特性が変化する可能性がある。
【解決手段】ＥＵＶリソグラフィ用光学部材において、ＴｉＯ_２濃度が３〜１２質量％であって、ガラス中の水素分子含有量が５×１０^１７分子／ｃｍ^３未満であるＴｉＯ_２を含有するシリカガラスの上に多層膜をイオンビームスパッタにより成膜する。 （もっと読む）

【課題】表面へのコンタミ物質の吸着をできるだけ少なくして酸化膜の生成を低減し、光学特性の劣化を抑えた光学素子を提供する。
【解決手段】投影露光装置に使用される光学素子であって、表面からの水分の吸着量を減少させるように表面に疎水性物質（１０７）を成膜したことを特徴とする光学素子。１実施形態として、疎水性物質が、アラニン、グリシン、トリプトファン、システイン、メチオニン、プロリン、フェニルアラニン、バリン、ロイシン、イソロイシン、アルキルシランのいずれか、またはアルキル基、炭素二重結合、フェニル基、ジスルフィド結合のいずれかを有する物質である。 （もっと読む）

【課題】
極端紫外線その他の対象電磁波に対して長期間にわたって良好な反射特性を示す光学素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】
表面保護膜４３は、深さ方向に関して２分割されており、第１及び第２部分膜４３ａ，４３ｂを含む。つまり、両部分膜４３ａ，４３ｂは、ともにＲｕ等の材料で形成された同質の膜であるが、成膜工程に時間的中断を設けることによって２段階で形成されている。そして、両部分膜４３ａ，４３ｂの成膜の合間に、アルゴンイオンを用いたイオンミリングによって、下側の部分膜４３ａ上に付着した微細なパーティクルを除去する洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、蒸着膜を真空蒸着法、イオンプレーティング法およびスパッタリング法のいずれかで形成されてなるＮＤフィルタにおいて、その蒸着膜の酸化による遮蔽特性の経時変化を蒸着膜上にコーティング処理された撥水性皮膜によって抑えることが出来、また、プラスチックシートの基体材料としてキャスティング加工によりシート状に成形したノルボルネン系の樹脂材料を用いることで複屈折を抑えるとともに、蒸着時の加熱による伸縮変形を抑えシワの発生を防ぎ得るＮＤフィルタ及びその製造方法、並びに得られたＮＤフィルタを組み込んだ光量調整装置を提供することである。
【解決手段】このＮＤフィルタは、ノルボルネン系の樹脂材料から成るプラスチックシートを基体として用い、その基体表面にニッケル−クロム合金の蒸着材料から成る蒸着膜を形成した後に、その蒸着膜上に撥水性皮膜をコーティング処理して成る。 （もっと読む）

【課題】 プロジェクタに備えられる反射ミラーの光学特性を考慮して、投写光の光利用効率を向上させ、明るく、色むらや着色の発生を抑制した投写画像を実現する。
【解決手段】画像を投写するプロジェクタは、スクリーンと、複数の色光で再現される画像を表す投写光を射出する投写部と、投写部から射出された投写光を前記スクリーンの方向に向ける光路変更部と、を備える。投写光は略直線偏光光によって構成される。光路変更部は、少なくとも、入射する投写光を前記スクリーンの方向に反射するメイン反射ミラーを有している。メイン反射ミラーは、樹脂材料を延伸することによって形成された樹脂フィルム上に金属膜をコーティングすることにより形成したフィルム状ミラーで構成され、樹脂フィルムの延伸方向が、メイン反射ミラーの入射面に垂直な方向に一致するように配置される。 （もっと読む）

【課題】 ミラーとしても使用できる覗き見防止フィルムを提供する。
【解決手段】 覗き見防止機能を備えるフィルム本体１２表面にハーフミラーフィルム１４が一体に積層されてなることを特徴とする覗き見防止フィルム。 （もっと読む）

【課題】 反射特性の異なる複数の領域（第１の領域３１、第２の領域３２）にて反射された光の波面の乱れを抑える。
【解決手段】 ガラス基板４ａ上に、反射特性の異なる第１の領域３１および第２の領域３２を形成して立ち上げミラー４を構成する。第１の領域３１には、例えば反射防止膜３１ａが形成され、第２の領域３２には、反射光の位相を調整する位相調整層３３と誘電体多層膜３２ａとがこの順で積層して形成される。このように、ガラス基板４ａ上に位相調整層３３を形成することにより、例えば各領域間での反射光の位相ずれがなくなるような位相の調整や、光ピックアップの対物レンズによって生じる位相ずれをキャンセルするような位相の調整を行うことができる。これにより、反射光全体での波面の乱れを抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】 液晶ディスプレイ装置の反射式基板の製造方法の提供。
【解決手段】 （ａ）少なくとも一種類の軟性金属或いはその合金で形成された第１金属層を表面に具えた基板を提供するステップ、及び、（ｂ）窒化アルミニウム層を第１金属層の上に形成するステップ、を包含する。本発明の方法は単一ステップを利用し、粗化表面を具えた金属反射層を完成し、大幅に製造の時間とコストを低減することができる。 （もっと読む）

本発明は、銀、アルミニウムから選ばれる金属を主体とする金属層を反射体に用いて高反射率を示す反射体を提供するものである。
本発明によれば、高分子基体上に、高屈折率層、低屈折率層、銀またはアルミニウムを主体とする金属層を積層して構成した反射体において、高分子基体表面と内部とを構成するＸＰＳで測定可能な原子がほぼ同一である高分子基体とすることにより、従来よりも高い反射率を実現できる反射体を得ることができる。また、この反射体は、リフレクター、導光板下反射体、バックライト装置、液晶表示装置に使用することができる。
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【課題】 半透過型液晶表示装置に好適に用いられ、カラーフィルタの位置合わせの困難さを大幅に低減し、且つ容易に製造できる半透過膜を提供する。
【解決手段】 ガラス基板上に形成される無色透明な膜であって、４５０〜６３０ｎｍの波長範囲での可視光線の反射率が、１０〜５０％である半透過膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光の入射角度に応じて散乱性が異なる（或いは入射角度選択性を持つ）と共に、光散乱特性に異方性を持つ異方性光散乱フィルムと、それを用いて表示画像の視認性を向上（視野角拡大）させる光学フィルムにおいて、該光学フィルムを構成する拡散層の耐損傷性、耐溶剤性に優れた光学フィルムを提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも、ハードコート層（５）と、透明支持体層（６）と、拡散層（７）とを順次に積層してなる少なくとも、ハードコート層（５）と、透明支持体層（６）と、拡散層（７）とを順次に積層してなり、前記拡散層（７）が水酸基を有すること、また前記透明支持体層（６）が易接着処理されていることを特徴とする光学フィルムである。 （もっと読む）

【課題】
反射率の低下が小さい多層膜反射鏡、その製造装置（成膜装置）等を提供すること。
【解決手段】
イオントラップ９は、側壁に波板状の散乱板１１を有するとともに、開口部１０を有する箱状のものである。標的材料６の表面で散乱したイオン１４ａ、１４ｂはイオントラップ９の散乱板１１に入射する。イオントラップ９の散乱板１１は波板状となっているので、散乱板１１に入射するイオンの一部はその入射角が浅くなり、散乱板１１はスパッタされにくくなる。一方、散乱板１１に対する入射角が深いイオンは散乱板１１をスパッタするが、イオントラップ９の基板５の方向は閉じていて、スパッタされた粒子は基板５の方向には飛散しないため、基板５に成膜される多層膜中に取り込まれることはない。 （もっと読む）

【課題】プラスチック基材を用いて、高強度で高反射率の光反射鏡を提供することである。
【解決手段】強化繊維を８〜２０質量％含有するプラスチック強化層５０ａと、このプラスチック強化層５０ａの表面に形成され強化繊維を５質量％以下含有するプラスチック光沢層５０ｂとを含む基材５０と、この基材５０の前記プラスチック光沢層表面に被着させた反射膜５２とを備えた光反射鏡である。前記基材５０は、金型内に前記プラスチック強化層用およびプラスチック光沢層用の熱硬化性樹脂組成物のいずれかを一方を注入して前記プラスチック強化層またはプラスチック光沢層を成形後、他方の熱硬化性樹脂組成物を注入して光沢層５０ｂまたは強化層５０ａを成形することによって得られる。 （もっと読む）

【課題】 多層膜反射鏡の酸化防止剤として貴金属類を使用しながら、貴金属類の多層膜中への拡散を防止し、長時間に亘って酸化防止作用を持たせることが可能な多層膜反射鏡を提供する。
【解決手段】 基板４の上に、スパッタリング法で、Ｓｉ層２とＭｏ層３を交互に積層して多層膜を形成する。最上層のＳｉ層２の上に、酸化防止層として、ＳｉＯ_２中にＰｔ微粒子を分散させたサーメット薄膜１を形成する。Ｐｔを微粒子としてセラミクスの中に閉じ込めて固定するため、Ｐｔが容易に多層膜中へ拡散することを効果的に防止することができる。また、Ｐｔ微粒子の一部は表面に露出しているため、酸化物のみからなる酸化防止層と比べて、炭素コンタミネーションの付着を効果的に抑止することができる。 （もっと読む）

【課題】
極端紫外線下での使用において長期間にわたって良好な反射特性を示す光学素子を提供すること。
【解決手段】
保護層３０は、ＮｉＣｒ系、ＮｉＴｉ系、ＮｉＣｕ系、ＮｉＣｒＳｉ系、ＮｉＣｒＡｌ系、ＮｉＣｏ系、及びＮｉＦｅ系のいずれかの合金材料を含有する。これにより、保護層３０は、構造的に安定したものとなり、比較的透過損失の少ないカーボン抑制膜及び酸化防止膜としての役割を果たす。つまり、Ｎｉ系の合金で形成された保護層３０を光学素子４０の最表面に形成することで、光学素子４０の表面やその近傍に供給される有機物中の炭素を二酸化炭素に変換することができる。よって、光学素子４０表面に炭素コンタミネーションが徐々に堆積される光ＣＶＤ現象の発生を確実に抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 所望の光学特性を容易に得ることができ且つ耐久性を向上させることができる光学膜を提供する。
【解決手段】 反射型液晶基板２０は、ガラス基板１２と、ガラス基板１２の内側主面上に形成された光学膜３０とを有する。光学膜３０は、ガラス基板１２の内側主面上に分散して形成された複数の島状構造体３１と、ガラス基板１２の内側主面上又は島状構造体３１上に形成された金属膜３２と、金属膜３２の内側主面上に分散して形成された複数の島状構造体３３とを有する。金属膜３２は、標準電極電位が正の値である銀である。島状構造体３１及び島状構造体３３の各々は、標準電極電位が負の値であるＩＴＯから成る。島状構造体３１，３３は、その平均ピッチが４００〜９００ｎｍであり、その平均高さが２．０〜７．０ｎｍである。 （もっと読む）

【課題】 多層膜反射鏡の酸化防止剤として貴金属類を使用しながら、貴金属類の多層膜中への拡散を防止し、長時間に亘って酸化防止作用を持たせることが可能な多層膜反射鏡を提供する。
【解決手段】 基板５の上にスパッタリング法でＭｏ／Ｓｉ多層膜を成膜した。４６層目のＳｉ層３の上に、拡散防止層としてＣｒ層２をスパッタリング法により形成した。成膜中は基板を水冷して室温に保った。次に、このＣｒ層２の上に酸化防止層としてＰｔ層１をスパッタリング法により形成した。貴金属材料からなる酸化防止層と、Ｃｒ又はＴｉを含有する拡散防止層の界面では比較的強固な原子間の結合が得られるために、酸化防止層から反射膜への貴金属原子の拡散を効果的に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 極端紫外線下での使用において長期間にわたって良好な反射特性を示す光学素子を提供すること。
【解決手段】
保護層３０は、水素吸蔵合金又はこれを主成分とする材料によって形成されている。水素吸蔵合金に一旦蓄えられた水素は、温度等の環境条件に応じて、表面から徐々に放出されるが、一定以上の貯蔵量が一定期間維持される。ここで、保護層３０中の水素は、強い還元性を示すため、水や酸素の存在によって極端紫外線下で進行する保護層３０やその下側の多層膜２０の酸化反応を抑制することができる。つまり、保護層３０を構成する水素吸蔵合金が酸化されたり、多層膜２０を構成するモリブデンやシリコンが酸化されて、多層膜２０の反射率が低下することを防止できる。 （もっと読む）

モリブデン層（４）及びケイ素層（３）を交互に複数含有するＥＵＶ線反射のための多層ミラー（１）では、モリブデン層（４）及びケイ素層（３）の間の複数の境界面に、窒化ケイ素又はホウ化ケイ素を含有するそのつど１つのバリヤー層（５）が配置されている。窒化ケイ素又はホウ化ケイ素からなるバリヤー層（５）により、高い熱安定性、特に高い長期安定性が、３０００℃より高い温度で、同時に多層ミラーの高い反射で達成される。この種の多層ミラー（１）は、特に、ＥＵＶ線供給源の加熱可能な集光ミラーとして使用できる。
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