【課題】明光下において高輝度、高コントラストのスクリーンを提供する。
【解決手段】複数の金属酸化物膜４Ｄｉと透過性を有する光吸収薄膜４Ｍ１よりなる光学多層膜と、この光学多層膜の透過光を反射する反射層３とからなり、前記投射光に対応する特定波長領域の光に対して反射特性を有し、前記特定波長領域を除く波長領域の光に対して吸収特性を有する選択反射層２を備え、前記反射膜３直上の金属酸化物膜４Ｄ1は、前記吸収特性の波長領域が前記投射光の赤色成分の輝線ピークの波長と緑色成分の輝線ピークの波長との間、及び緑色成分の輝線ピークの波長と青色成分の輝線ピークの波長との間となるように屈折率及び／または膜厚が調整されてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
奥行きが小さく、光の利用効率が向上した投写型表示装置及びプリズムミラーを提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明に係る投写型表示装置は、映像光を出射する映像光源１３と、
当該映像光源１３から出射された映像光を反射する複数の微小な反射単位が並設されたプリズムミラー１１と、出射された映像光が結像する拡散シート１２とを備えた投写型表示装置１であって、映像光源１３からの映像光は、プリズムミラーシート１１によって反射して拡散シート１２に入射し、プリズムミラーシート１１は、当該プリズムミラーシート１１に入射された映像光を反射する際に、反射後の光線の投影角Ψ２が反射前の光線の投影角Ψ１より小さくなるように反射させるものである。 （もっと読む）

【課題】 携帯電話や情報携帯端末に使用される液晶表示素子の表示面に対して、通常時に、見る角度における反射強度を高め、視認性の良い内面拡散反射板を提供する。
【解決手段】 内面拡散反射板の正反射方向をθ°＝０°として、左右両側の０°≦θ°＜１５°の範囲において、０°≦θ°＜ａ°の範囲の反射強度を均一な基準反射強度とし、且つ、ａ°≦θ°≦２０°の範囲内に、前記基準反射強度よりも大きなピーク反射強度を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 Ａｇの結晶粒の成長や凝集が起り難く、高い光反射率を維持することができ、かつ、黄色化の度合いを表す指標であるｂ* が３以下である光反射膜（Ａｇ基合金膜）、及び、このような光反射膜を用いた光反射板を提供する。
【解決手段】 (1) 希土類元素の１種以上を合計で０．０５〜０．７５ａｔ％含有し、かつ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｐｔの１種以上を合計で０．５〜２．０ａｔ％含有するＡｇ基合金よりなることを特徴とする光反射膜、(2) 前記光反射膜での希土類元素の１種以上がＮｄおよび／またはＹであるもの、(3) 前記光反射膜でのＡｇ基合金がＢｉ、Ｓｂの１種以上を合計で０．０１〜０．７ａｔ％含有するもの、(4) 前記光反射膜のいずれかを備えることを特徴とする光反射板。 （もっと読む）

【課題】材料基板の厚み方向の中間に正確に位置しつつ、より高精度の厚み寸法を有する薄肉のトーションバーを有するマイクロミラー素子の製造方法、及び、そのようなマイミラー素子を提供する。
【解決手段】複数のシリコン層２０，２１および少なくとも１つの中間層１６０を含む積層構造を有する材料基板８において、ミラー形成部と、フレーム部と、トーションバーとを備えるマイクロミラー素子を製造するにあたり、シリコン層２０にエッチング処理を行うことによって、当該シリコン層にて、ミラー形成部よりも薄肉であって中間層に接するプレトーションバーＴ’、プレトーションバーＴ’と連続する、ミラー形成部の少なくとも一部、及び、プレトーションバーＴ’と連続する、フレーム部の少なくとも一部、を形成する工程と、プレトーションバーＴ’に接する中間層１６０を除去してトーションバーＴを形成する工程と、を行うこととした。 （もっと読む）

【課題】界面拡散層が薄く、かつ界面粗さの小さな膜を得る多層膜の製造方法及び多層膜を提供する。
【解決手段】多層膜の製造方法は、薄膜原料を基材とするターゲット１４を有し、ターゲット１４の表面近傍に磁場の作用でプラズマを集中させてスパッタリングを行うマグネトロン・スパッタ装置１を用い、構成元素、組成、結晶構造の少なくとも一つが相違する層を積層させた多層膜を形成する方法である。ターゲット１４の表面に平行な磁場の強度をターゲット１４の表面で０．３Ｔ（テスラ）以上に設定する磁石装置を用意する。次に、積層方向において互いに隣接するように膜を成膜すると共に、積層方向に互いに隣接する膜の界面に存在する界面拡散層の厚みが、隣接する膜のうち薄い側の層の厚みの５０％以下となるように設定する成膜工程を実施する。 （もっと読む）

【課題】
反射率の低下が小さい多層膜反射鏡、その製造方法、及びこの多層膜反射鏡を使用した露光装置を提供すること。
【解決手段】
超電導磁石を用いたマグネトロンスパッタリング法で基板８１上に多層膜８３を形成することにより、プラズマから基板を遠ざけて成膜することができ、成膜中の膜へのダメージを低減することができる。その結果、多層膜界面に形成される拡散層を薄くすることができ、反射率の低下が小さい多層膜反射鏡８０を提供することができる。また、この高反射率の多層膜反射鏡８０を露光装置の光学系に用いることにより、高スループットで露光を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】金属板をプレス加工して光学素子を成形する場合に、高い形状精度と高い表面平滑性を容易に得られるようにする。
【解決手段】金属製板をプレス成形することにより製造された反射光学素子１０であって、金属製の板材からなる基材１と、基材上に形成され、結晶構造を有する金属からなる金属膜２とを具備し、金属膜の表面に現れる結晶の表面の法線と、反射光学素子の目標形状である理想鏡面の表面の法線とのなす角θの反射光学素子の光学有効面内における平均値θaが、０°≦θa≦４５°を満たす。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ放射線を反射し、望ましくない放射線が反射しないように設計されたスペクトル純度フィルタを提供する。
【解決手段】反射防止（ＡＲ）膜を含む光学要素は、超紫外線（ＥＵＶ）放射線のみを反射するように構成される。約１／４λの厚さまたは約１／４λ未満の厚さの単一の膜で基板の表面を覆うことにより、頂部表面で反射した光線は下部表面で反射光線とは１８０°位相がずれ、弱め合う干渉が発生し、特定のλを有する放射線の反射が消去される。多層膜を使用することにより、より広い範囲のスペクトルに渡って光の損失を減少できる。 （もっと読む）

【課題】基板表面上に形成された反射スポットが剥落しにくく、かつ基板からの反射光の発生を抑制し得る反射型ピンホールを得る。
【解決手段】反射型ピンホール１は、基板表面２ａ上に形成された反射スポット３の全体を、基板表面２ａと共に連続的に覆うＡＲコート４を備えている。このＡＲコート４により、被検光束の基板４からの反射率が低減されるとともに、反射スポット３の基板表面２ａからの剥落が防止されるので、反射型ピンホール１は、その取り扱いが極めて容易であるとともに、波面測定等に利用される際において反射型ピンホール１から測定系に戻るノイズ光を減少させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 反射屈折光学系での結像性能を満足する紫外光用反射光学素子，光学系，光学装置及び露光装置を提供する。
【解決手段】 アルミニウム膜１１３上に、複数種の屈折率の異なる誘電体材料からなる誘電体薄膜が積層形成された誘電体多層膜１１４が設けられ、該誘電体多層膜１１４はP偏光とS偏光の平均反射率が８０％以上の高反射膜であって、所要角度帯域においてP偏光とS偏光の反射光の位相差の変化量が４０度以下である紫外光用反射光学素子１１１。 （もっと読む）

【課題】表面の炭素コンタミネーション若しくはもしくはもしくは酸化を抑制しより高品質な軟Ｘ線光学素子及び軟Ｘ線光学機器を提供すること。
【解決手段】軟Ｘ線波長域における屈折率が異なる第１の層と第２の層（真空の屈折率が前記第１の層より小さい）から成る層対を、基板上に複数積層して成る多層膜反射鏡において、前記、多層膜反射鏡の最上層上にＹ３Ａ１５０１２から成る保護層を設けて軟Ｘ線多層膜光学素子を構成する。ここで、前記表面保護層の膜厚は、多層膜反射鏡を形成する屈折率が異なる第１の層と第２の層のうち、少なくともどちらかの膜厚より小さいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、成形品の表面光沢が非常に高く、かつ不揮発分（ガス）発生量が少なく、成形品にアンダーコート等の下塗りをせずに直接光反射金属層を形成することが可能である。また耐熱性さらには金属層との密着性にも優れた光反射成形品が得られ、成形時の型離れが良好なポリエステル樹脂組成物を提供する。
【解決手段】成形品に光反射金属層が形成された光反射成形品を得るためのポリエステル樹脂組成物であって、該組成物が（Ａ）主としてアルキレンテレフタレートを繰り返し単位とするポリエステル樹脂１００質量部に対し、（Ｂ）平均粒径５μｍ以下の無機充填材５〜８０質量部、（Ｃ１）脂肪酸エステル系化合物および（Ｃ２）シリコーン系化合物からなる離型剤をあわせて０．１〜５質量部含むことを特徴とする光反射成形品用ポリエステル樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】 凹凸の周期性に起因する光の干渉を無くすことにより反射板の色付きを解消する。
【解決手段】 基板１１上に感光性の有機膜１８を塗布して該有機膜１８を露光及び現像し、熱処理することにより有機膜１８の表面にゆるやかな波形の第１の凹凸形状１を形成する。第１の凹凸形状１が形成された有機膜１８の表面に、ドライエッチングにより第１の凹凸形状１よりも微小な第２の凹凸形状１９を形成する。有機膜１８上には、第１及び第２の凹凸形状１，２を反映した形状の反射膜１９を形成する。第１の凹凸形状１と第２の凹凸形状１は凹凸のピッチや表面傾斜角度の分布が相互に大きく異なるため、凹凸の周期性が無い。従って、凹凸の周期性に起因する光の干渉を無くし、反射板の色付きを無くすことができる。よって、液晶表示装置の色付き対策として用いている偏光板の拡散糊を無くすことができる。 （もっと読む）

【課題】 広波長帯域に対して高い反射率を有すると共に、所定の波長帯域におけるＰ偏光反射成分とＳ偏光反射成分との間の位相差を制御することを可能とした反射ミラー及び露光装置を提供する。
【解決手段】反射ミラ−は、基板上に、金属膜層と、１．３５乃至１．５５の屈折率を有する第１の誘電体膜と１．８５乃至２．４の屈折率を有する第２の誘電体膜とを交互に金属膜層上に積層した誘電体膜層とから構成される９層以上の多層膜を有し、金属膜層は、７０ｎｍ以上の物理膜厚を有し、各誘電体膜層の膜厚は、波長λに対して、基板側の第１層から順に、（０．５乃至１）×λ／４、（２乃至３．５）×λ／４、（１乃至１．５）×λ／４、（１乃至１．８）×λ／４、（０．７乃至１．８）×λ／４、（１．３乃至１．５）×λ／４、（１．３乃至２）×λ／４、（０．９乃至１．５）×λ／４、（１．８乃至２．８）×λ／４、（０．１乃至０．５）×λ／４である。 （もっと読む）

【課題】 露光に不必要であり、投影光学系を構成する反射鏡の熱膨張をもたらす励起光を、その手前で吸収することができる多層膜反射鏡を提供する。
【解決手段】 石英からなる基板１の上に、励起光反射防止膜２が形成され、その上に露光光反射膜３が形成されている。短波長である露光光は、表面側に配置された露光光反射膜３により反射される。一方、長波長である励起光は、露光光反射膜３を透過し、励起光反射防止膜２に到達して吸収されるので、励起光の反射が小さく抑えられる。 （もっと読む）

ミラーは、表面を有する基板と、基板の表面上に設けられ、基板と反対側の表面を覆って研磨仕上げされた表面を有する薄膜の仕上げ層とを含んでいる。本発明の異なる特徴によれば、ミラーの製造方法は、表面を上に有する基板を設け、薄膜技術を使用して基板の表面上に薄膜仕上げ層を形成し、仕上げ層は基板と反対側の表面に表面を有し、仕上げ層の表面を研磨するステップを含んでいる。
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【課題】 誘電体膜を積層するのに必要な酸化プロセスによりＡｇが腐食せず反射率が低下することのない増反射ミラーを提供する。
【解決手段】 金属膜３２上に酸化防止薄膜３３を介して誘電体多層膜３６を成膜してなる。 （もっと読む）

【課題】 ミラー膜が大気中の水分の影響を受けずに歪むことがなく、ミラーの性能が劣化せず、汚れを防止することができる、可変形状ミラー及びそれを用いた光学装置及び眼底観察装置を提供する。
【解決手段】 電圧が印加される電極部と、この電極と対向して配置され、電極部に印加された静電電圧により歪みを生じる薄膜状の反射面とからなる変形ミラー部を備え、反射面光束の波面ひずみを補正する可変形状ミラー１０において、前記変形ミラー部を構成する薄膜ミラー１１と電極部材１４とを覆い、内部を真空状態に保持できる共に、前記ミラー部への入射光、ミラー部からの射出光を透過する透明窓板２１を備えた真空室２０を備え、透明窓板２１を、前記ミラー部の反射面に対して傾斜して構成した。
（もっと読む）

【課題】色の再現性及び光源の利用効率が良く、長期間使用してもが画質が低下しない投射型表示装置を提供する。
【解決手段】 光源から投影レンズとの間に設ける偏光部材として、基板上の少なくとも一面に、第１の酸化アルミニウム層と、銀層または銀合金層と、第２の酸化アルミニウム層と、フッ化マグネシウム層と、チタン酸化物層またはタンタル酸化物層またはチタンとランタンとの複合酸化物層とを、基板側から順に積層した表面鏡を使用する。 （もっと読む）