【課題】 マルチビームの走査位置ずれを良好に補正し、かつ副走査方向のマルチビーム間隔が一様となる高速高精細な印字が可能なマルチビーム走査光学装置の組立調整方法及び製造方法を提供する。
【解決手段】 複数の発光点を有する光源手段と、該光源手段から射出された複数の光束を偏向する偏向手段と、該偏向手段により偏向された光束を被走査面上に結像させる結像光学系と、を有するマルチビーム走査光学装置の組立調整方法であって、前記結像光学系を構成する結像光学素子に入射する前記複数の光束の、副走査方向の入射位置を調整することにより、前記複数の光束の前記被走査面上での照射位置を調整する入射位置調整と、前記入射位置を変化させずに、前記複数の光束の前記被走査面上での副走査方向における照射位置を調整する照射位置調整と、を含むことを特徴とするマルチビーム走査光学装置の組立調整方法とを含む。 （もっと読む）

【課題】 撮像素子のマイクロレンズの集光位置をより好ましく調整する。
【解決手段】 撮像素子モジュールは、複数の画素と、各々の画素上に配置されたマイクロレンズと、マイクロレンズの位置を光軸方向に調整するレンズ調整部とを備える。 （もっと読む）

【課題】マイクロレンズアレイとマスクが所定間隔をおいて固定された露光装置において、マイクロレンズアレイと露光用基板との間のギャップを容易に高精度でマイクロレンズの合焦点位置に調整することができるマイクロレンズ露光装置を提供する。
【解決手段】露光用のレーザ光はマイクロレンズアレイ３のマイクロレンズ３ａによりレジスト膜２上に照射される。顕微鏡１０からの光は、マスク４のＣｒ膜５の孔５ｂを通過し、マイクロレンズ３ｂを透過してレジスト膜２上に照射される。このマイクロレンズ３ｂを透過した光がレジスト膜２上で合焦点か否かを顕微鏡１０で観察することにより、マイクロレンズ３ａによりレジスト膜２に収束される露光光の合焦点を判別できる。 （もっと読む）

【課題】片ボケの発生を抑え、良好な撮影画像の得られる撮像装置の製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも２つの有効光学面に指標の形成されたレンズ群と、レンズ群を保持する鏡枠と、レンズ群により形成された被写体像を光電変換する撮像素子と、を有する撮像装置の製造方法において、鏡枠にレンズ群を指標に基づいて組み込む工程と、撮像素子の有効画素領域の中心位置の垂線とレンズ群に形成された一方の指標に基づき該指標の形成された有効光学面の光軸位置とを整合させる工程と、垂線とレンズ群に形成された他方の指標に基づき該指標の形成された有効光学面の光軸位置とを整合させる工程と、を有する撮像装置の製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】回転非対称レンズを用いた結像光学系において回転非対称レンズが副走査方向へずれた場合でもずれを効果的に調整し、画像情報を高精度に読み取ることができる結像光学系を得る。
【解決手段】原稿台２に載置した原稿１を照明するための光束を放射する光源手段からの光束を反射させる複数のミラー４ａ〜４ｅと、回転非対称な光学面を有する複数枚のミラーで反射された光束で該原稿の画像情報を結像させる結像光学系５と、該結像光学系で結像された光学像を電気信号に変換する複数の読取画素を主走査方向に配列した光電変換素子、をキャリッジ７内に収納したユニットを用いた画像読取装置に用いられる該結像光学系の副走査方向の取り付け角度および取り付け位置を調整手段によって調整する。 （もっと読む）

【課題】位置決め精度の向上を図ることが可能な光学レンズフィルムおよび当該光学レンズフィルムを用いた表示装置を提供する。
【解決手段】光学レンズフィルム１は、主表面を有するベース体と、複数の光学素子構造としての凸部２と、第１アライメントマーク部１８とを備える。凸部２は、ベース体の主表面に形成された、光の進行方向を変更する要素である。複数の凸部２は、互いに平行して線状に延びるように形成されている。第１アライメントマーク部１８は、複数の凸部２と交差して線状に延びている。 （もっと読む）

【課題】レンズの焦点を任意の位置に調整可能な光学装置を提供する。
【解決手段】光学素子と、互いに非平行な２つの面を有し前記２つの面のうち一方の面で前記光学素子と接する透光性部材と、前記透光性部材の前記２つの面のうち他方の面と接し、前記透光性部材の前記２つの面を介して前記光学素子に光学的に結合されるレンズと、を備えた光学装置の製造方法であって、前記光学素子と前記透光性部材と前記レンズとを互いに接触させた状態で前記透光性部材を前記光学素子と前記レンズの両方に対して移動させることにより前記レンズと前記光学素子との距離を調整する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】 比較的簡単かつ安価、コンパクトな構成でありながら、精度良く光軸の偏芯検査や偏芯調整を行いつつ高品質な光学系製品を製造することができる光学系製造装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、光学素子６１と樹脂層６２とを含んで構成される複合型光学素子６０を製造する光学系製造装置１００であって、光学素子６１に所望する樹脂層６２を形成するための光学面７０Ａを有する金型７０と、光束を出射する光源部１０と、光学素子６１、樹脂層６２及び光学面７０Ａに輪帯光線を照射する手段２０と、輪帯光線を分離する分離手段３０と、分離された輪帯光線を受光して像を取得する手段４０と、前記像から輪帯光線の収差量に応じて微調芯補正量を求める手段９０と、前記微調芯補正量に基づいて光学素子６１或いは金型７０の少なくとも一方を位置調整する手段８０と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光学素子の角度を高精度で調整可能であり、角度調整後にロックネジを螺合することなく、そのまま設定角度が長期間安定する光学素子ホルダに対して、角度調整ネジの回転をスムーズにさせる改良を加える。
【解決手段】ミラー46を装着する保持部材14と、保持部材14と対向配置されたベース部材12と、ベース部材12の貫通ネジ穴に螺合され、先端が保持部材14の対向面に当接する複数の角度調整ネジと、保持部材14とベース部材12間を接合方向に付勢する圧縮コイルバネ70を備え、各角度調整ネジの軸にベアリング76のインナーレース76aを装着すると共に、そのアウターレース76bにプーリー78を装着し、このプーリー78間に弾性ベルト80を掛け渡した光学素子ホルダ10において、各角度調整ネジの雄ネジ非形成部とブッシュ30との間にベアリング31を介装させた。 （もっと読む）

【課題】光学装置における光軸調整を容易に行うことができるようにすることを課題とする。
【解決手段】光軸調整システム１０００は、可変波長光源１から出射された通信光が通過する光学部品１１０の位置決めを行う光学部品位置決め手段５と、光学部品１１０を通過した通信光を所望の方向へ反射するミラーアレイ１２０に置き換えて光学部品１１０と対向するように配置され、通信光を透過させるターゲットマスク１３０を備える。また、光軸調整システム１０００は、ターゲットマスク１３０の背面側に配置され、ターゲットマスク１３０に通信光が照射されることによってターゲットマスク１３０に浮かび上がるスポット光を撮影するカメラ３と、このカメラ３によって取得された撮影情報と、に基づいて前記光学部品位置決め手段に位置決め指令を発する制御部と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】製造コストが低減し、発光素子から射出される光の結像位置のずれや像のボケの少ないラインヘッドおよびその製造方法を得ること。
【解決手段】有機ＥＬ発光素子１３１に対するロッドレンズアレイ１３３の位置が決まった状態で、基板１３２およびロッドレンズアレイ１３３を、第１の接着剤１３５および第２の接着剤１３８接着剤を硬化することで固定するので、有機ＥＬ発光素子１３１に対して決めたロッドレンズアレイ１３３の位置を保ったまま固定できる。したがって、有機ＥＬ発光素子１３１から射出された光Ｌを受光面１１１の結像位置１１１０に結像することができ、結像位置１１１０のずれや像のボケの少ないラインヘッドの製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】被検光学素子組体が、複数枚の光学素子を共軸に配置したものである場合に、光学素子の偏芯量の測定、偏芯の調整および光学素子の組立てを、系全体として、高精度かつ効率的に行なうことができるようにする。
【解決手段】最も測定光入射側に位置する第１レンズのみをセットする（Ｓ１）。次に、第１レンズの偏芯量を測定し（Ｓ２）、その測定値に基づき、第１レンズの位置調整量を算出する（Ｓ３）。次に、この偏芯量が０に近づくように、第１のレンズの偏芯を調整し（Ｓ４）、再び、第１レンズの偏芯量を測定し（Ｓ５）、閾値以下となっているかを判断する（Ｓ６）。閾値より大きい場合はステップ３に戻るが、閾値以下の場合は第１レンズをレンズ鏡筒６１の内部に接着保持する（Ｓ７）。この後、セットすべき次のレンズの有無を判断し（Ｓ８）、次のレンズがあれば、そのレンズについて上記ステップ１〜７の処理を繰り返す。 （もっと読む）

【課題】光学素子の調整量を抑制しながら良好な光学特性を実現可能な露光装置を提供する。
【解決手段】原版のパターンを基板に露光する露光装置であって、光学素子を含み、前記原版のパターンを前記基板に投影する投影光学系と、前記光学素子の位置、姿勢及び形状の少なくとも１つを調整する調整部と、前記光学素子の調整量の１次関数で表される前記投影光学系の１次光学特性値の上限である第１のダミー変数、前記調整量の上限である第２のダミー変数、及び、前記調整量の２次関数で表される前記投影光学系の２次光学特性値の上限である第３のダミー変数によって表される目的関数の値が最小となる場合の前記光学素子の調整量を算出し、算出された前記調整量に基づいて前記調整部を制御する制御部とを有する。 （もっと読む）

【課題】レンズに傷や汚れをつけることなく心出しが行え、しかもレンズ枠に対するレンズの固定精度を高めることができる。
【解決手段】レンズ心出し装置１は、レンズ２を組み込んだレンズ枠３を、その中心軸周りに回転させるための回転ステージ１２と、レンズ枠３の中心軸Ｃ０とレンズ２の光軸Ｃ１との偏心量を測定する偏心測定機１５と、レンズ２とレンズ枠３との間に位置する接着剤４の一部分に向けてＵＶ光を照射するＵＶ照射部１７２と、偏心測定機１５で測定した偏心データに基づいて、接着剤４における照射位置と、その位置におけるＵＶ光の照射時間及び照射強度とを制御する制御部１８とを備えている。ＵＶ照射部１７２によって接着剤４の一部にＵＶ光を照射し、その接着剤４の硬化による収縮作用によりレンズ２を任意の方向に移動させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 露光後に基板を観察することなく変位計測手段（変位センサ）の原点ずれを校正することが可能な投影露光装置を提供する。
【解決手段】 本発明の投影露光装置は、光学要素を有し前記光学要素を制御することにより結像特性を補正する投影光学系を介して、第１物体のパターンを第２物体に投影して露光する投影露光装置であって、前記光学要素の変位を計測する変位計測手段と、前記変位計測手段の計測基準を記憶する記憶手段と、前記投影光学系の結像特性を計測する結像特性計測手段と、前記結像特性計測手段の計測結果に基づいて前記計測基準を校正する校正手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】調整時間の短縮と調整精度の向上を図る。
【解決手段】光学系３の３つ以上の入射高のうちの２つの入射高を第１の入射高対とし、該第１の入射高対から入射する一対の光線のそれぞれを光学系３の像面で受光して得られる第１の出力対のずれ量を第１のずれ量として求め、光学系３の３つ以上の入射高のうち第１の入射高対とは異なる第２の入射高対から入射する一対の光線のそれぞれを光学系３の像面で受光して得られる第２の出力対のずれ量を第２のずれ量として求め、第１および第２のずれ量に基づいて光学系３の位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】光学ユニットの透過光を観察するための観察部の位置合わせを容易に、かつ精確に行うことができる光学ユニット調整装置及び光学ユニット調整方法を提供する。
【解決手段】光学ユニット調整装置５０は、被調整物である光学ユニットを保持する保持部１５と、保持部１５に向かって光束を射出する光源部１６と、光源部１６から保持部１５までの間の光路上に配置され、複数の透過口が形成されたチャート部４と、光源部１６から保持部１５までの間の光路上に配置可能であって、１つの開口を有するマスク１９と、保持部１５を挟んで、光源部１６と反対側に配置された観察部１１と、観察部１１の位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出部と、位置ずれ量に基づいて、観察部１１を移動させる移動機構１２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】光軸調整して作製したレンズユニットを光学ユニットに組み付ける際に、位置調整を不用とし、レンズユニットを光学ユニットに組付調整する工程の短時間化、引いては、組付調整費用のコストダウンを達成する。
【解決手段】光学ユニットの位置基準に対応する位置基準をレンズ系の光軸調整の際に設け、対応する位置基準に対してレンズ系を光軸調整してレンズユニットを作製する。 （もっと読む）

【課題】小型かつ簡単な構成で移動の直進性を確保した光学装置の可動部の駆動装置を提供する。
【解決手段】光学装置の可動部の駆動装置は、可動部を駆動する駆動部と、駆動部の駆動力を可動部に伝達する駆動力伝達部と、駆動力伝達部を直線移動させるための案内部とを有し、案内部は、駆動力伝達部が直線上を移動するために、直線上の移動方向に対し直角方向に働く付勢状態の弾性部を有する。 （もっと読む）